雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，包括上玻璃平密封板、下玻璃平密封板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室；在上玻璃平密封板上有陽極膜連線層、制作在陽極膜連線層上面的熒光粉層以及與陽極膜連線層相連的陽極銀外導(dǎo)電層；在下玻璃平密封板上有雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)；位于真空室內(nèi)的消氣劑和隔離絕緣墻附屬元件。本發(fā)明具有制作工藝簡單、制作成本低廉、顯示器發(fā)光亮度高的優(yōu)點。
【專利說明】
雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于集成電路科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、真空科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、光電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、微電子科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域、納米科學(xué)與技術(shù)領(lǐng)域以及平面顯示技術(shù)領(lǐng)域的相互交叉領(lǐng)域，涉及到平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作，具體涉及到碳納米管陰極的平面場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作，特別涉及到一種雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器及其制作工藝。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著絲網(wǎng)印刷技術(shù)的引入，促進了場發(fā)射發(fā)光顯示器制作工藝的發(fā)展。不僅使得制作大面積碳納米管陰極已經(jīng)能夠得以實現(xiàn)，而且還有效降低了場發(fā)射發(fā)光顯示器的制作成本。在三極結(jié)構(gòu)的場發(fā)射發(fā)光顯示器中，在陽極和陰極之間增加了門極元件。由于門極和陰極之間的距離很近，那么較低的門極工作電壓就能夠形成迫使碳納米管進行電子發(fā)射所需的電場強度，從而降低了場發(fā)射發(fā)光顯示器的功耗，當(dāng)然這也符合“低壓平面顯示裝置”的主流發(fā)展趨勢。然而，隨著門極元件的加入，也給三極結(jié)構(gòu)場發(fā)射發(fā)光顯示器帶來了許多困難。如果這些困難不能夠得到有效解決，會嚴(yán)重阻礙場發(fā)射發(fā)光顯示器的繼續(xù)向前快速發(fā)展進程。例如，第一，門極對碳納米管陰極的控制能力減弱問題。當(dāng)在門極施加工作電壓以后，只有少部分的碳納米管受到門極工作電壓控制而進行電子發(fā)射，其它碳納米管根本就不會發(fā)射電子。第二，碳納米管陰極的制作面積過小。沒有一定數(shù)量的碳納米管進行電子發(fā)射，這是無法達(dá)到發(fā)光顯示器所需要的額定工作電流的，那么發(fā)光顯示器的各種圖像技術(shù)指標(biāo)下降也就不足為奇了。第三，門極-陰極之間距離過大。由于門極-陰極之間的距離過大，為達(dá)到碳納米管進行電子發(fā)射所必需的電場強度，通常增加門極工作電壓是唯一可行的辦法;這就導(dǎo)致現(xiàn)有發(fā)光顯示器中門極工作電壓都很高，無形中增加了發(fā)光顯示器的功耗，也增大了發(fā)光顯示器的驅(qū)動電路成本。還有，雖然施加門極工作電壓后，碳納米管能夠進行場電子發(fā)射，但是碳納米管發(fā)射電子數(shù)量的多少，無法隨著門極工作電壓的變化而變化，這也是門極對碳納米管陰極無法有效調(diào)控的典型問題。等等。這些問題的解決，需要從門極結(jié)構(gòu)、陰極結(jié)構(gòu)、陰極制作工藝等多方面都加以改進和改良。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的在于克服上述發(fā)光顯示器中存在的缺陷和不足而提供一種制作工藝簡單的、制作成本低廉的、顯示器發(fā)光亮度高的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的顯示器制作及其制作工藝。
[0004]技術(shù)方案:本發(fā)明的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，包括上玻璃平密封板、下玻璃平密封板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室，以及位于真空室內(nèi)的消氣劑和隔離絕緣墻附屬元件;在上玻璃平密封板上有陽極膜連線層、熒光粉層和陽極銀外導(dǎo)電層，所述熒光粉層制作在陽極膜連線層上面，所述陽極銀外導(dǎo)電層與陽極膜連線層相連;在下玻璃平密封板上有雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)。
[0005]具體地，所述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的襯底為下玻璃平密封板，下玻璃平密封板上的印刷的絕緣漿料層形成半透明屏蔽層;半透明屏蔽層上的印刷的銀漿層形成陰極銀外導(dǎo)電層；陰極銀外導(dǎo)電層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底角錐層;所述陰極底角錐層呈現(xiàn)圓環(huán)角錐形狀，其俯視圖為圓環(huán)形，縱剖面為角錐形，下表面為平面，上頂端為角錐尖，外側(cè)面為向內(nèi)凹陷的弧面，內(nèi)側(cè)面為傾斜平面，所述外側(cè)面與內(nèi)側(cè)面相交于角錐尖處；陰極底角錐層外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層；陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的下半部分覆蓋于陰極底角錐層外側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層的角錐尖，且和陰極底角錐層的角錐尖相平齊;陰極底角錐層內(nèi)側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的下半部分覆蓋于陰極底角錐層內(nèi)側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層的角錐尖，且和陰極底角錐層的角錐尖相平齊；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層相互不接觸;半透明屏蔽層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底一層；門極控底一層中存在第一圓形孔，第一圓形孔中暴露出陰極底角錐層、陰極環(huán)傳導(dǎo)外層和陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層；門極控底一層的內(nèi)側(cè)面為圓筒面；門極控底一層的下表面為平面，位于半透明屏蔽層上；門極控底一層的上表面為向上凸起的弧形緩坡面，所述弧形緩坡面向第一圓形孔傾斜；門極控底一層上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極下層；門極坡面電極下層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底二層；門極控底二層中存在第二圓形孔，第二圓形孔的位于第一圓形孔的上方，且與第一圓形孔的直徑相同；門極控底二層覆蓋于門極坡面電極下層上，門極控底二層的上表面為傾斜的平坡面，所述平坡面向第二圓形孔傾斜；門極控底二層上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極上層;半透明屏蔽層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底三層；門極控底三層上的印刷的銀漿層形成門極銀外導(dǎo)電層；門極坡面電極下層、門極坡面電極上層和門極銀外導(dǎo)電層是相互連通的；門極坡面電極上層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底四層;碳納米管層制備在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層上。
[0006]具體地，所述上玻璃平密封板的材質(zhì)為鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。
[0007]具體地，所述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的固定位置為下玻璃平密封板；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層為金屬銀、鉻、鈷、鎳或鉬；陰極環(huán)傳導(dǎo)外層為金屬銀、鉻、鈷、鎳或鉬。
[0008]本發(fā)明同時提供上述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，步驟如下:
[0009]I)下玻璃平密封板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成下玻璃平密封板；
[0010]2)半透明屏蔽層的制作:在下玻璃平密封板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成半透明屏蔽層；
[0011]3)陰極銀外導(dǎo)電層的制作:在半透明屏蔽層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀外導(dǎo)電層；
[0012]4)陰極底角錐層的制作:在陰極銀外導(dǎo)電層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底角錐層；
[0013]5)陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的制作:在陰極底角錐層的外側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層；
[0014]6)陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的制作:在陰極底角錐層的內(nèi)側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層；
[0015]7)門極控底一層的制作:在半透明屏蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底一層；
[0016]8)門極坡面電極下層的制作:在門極控底一層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極下層；
[0017]9)門極控底二層的制作:在門極坡面電極下層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底二層；
[0018]10)門極坡面電極上層的制作:在門極控底二層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極上層；
[0019]11)門極控底三層的制作:在半透明屏蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底三層；
[0020]12)門極銀外導(dǎo)電層的制作:在門極控底三層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀外導(dǎo)電層；
[0021]13)門極控底四層的制作:在門極坡面電極上層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底四層；
[0022]14)雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的清潔:對雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
[0023]15)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層上，形成碳納米管層；
[0024]16)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理，改善其場發(fā)射特性；
[0025]17)上玻璃平密封板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成上玻璃平密封板；
[0026]18)陽極膜連線層的制作:對覆蓋于上玻璃平密封板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕，形成陽極膜連線層；
[0027]19)陽極銀外導(dǎo)電層的制作:在上玻璃平密封板上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀外導(dǎo)電層；
[0028]20)熒光粉層的制作:在陽極膜連線層上印刷熒光粉，經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層；
[0029]21)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝于上玻璃平密封板的非顯示區(qū)域;然后，將上玻璃平密封板、下玻璃平密封板、透明玻璃框和隔離絕緣墻裝配到一起，用夾子固定；
[0030]22)顯示器器件封裝:對已裝配的顯示器器件進行封裝工藝形成成品件。
[0031]所述步驟19具體為:在上玻璃平密封板的非顯示區(qū)域印刷銀漿，經(jīng)過烘烤之后，最高烘烤溫度:180°C，最高烘烤溫度保持時間:8分鐘，放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)，最高燒結(jié)溫度:525 °C，最高燒結(jié)溫度保持時間:8分鐘。
[0032]所述步驟20具體為:在上玻璃平密封板的陽極膜連線層上印刷熒光粉，然后放置在烘箱中進行烘烤，最高烘烤溫度為120°C，最高烘烤溫度保持時間:10分鐘。
[0033]所述步驟22具體為:將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離；在烤消機上對消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
[0034]有益效果:本發(fā)明具有如下的積極效果:
[0035]首先，在所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)中，陰極環(huán)傳導(dǎo)一層和陰極環(huán)傳導(dǎo)二層的上半部分都呈現(xiàn)并行排列尖角刺形。眾所周知，在碳納米管進行電子發(fā)射時，存在“邊緣場增強”現(xiàn)象。那么，一方面，由于陰極環(huán)傳導(dǎo)一層和陰極環(huán)傳導(dǎo)二層的尖角刺形，在陰極環(huán)傳導(dǎo)一層和陰極環(huán)傳導(dǎo)二層的電極邊緣位置，電場強度同樣會得到進一步增強，這十分有助于碳納米管進行更多電子的發(fā)射，從而提升發(fā)光顯示器的發(fā)光亮度。另一方面，由于陰極環(huán)傳導(dǎo)一層和陰極環(huán)傳導(dǎo)二層的尖角刺形，使得電極邊緣位置增多了，這也有利于更多的碳納米管在“邊緣場增強”幫助下進行電子發(fā)射;既然發(fā)射電子的碳納米管增多了，所形成的陽極工作電流也必然會隨之增多，從而也能提升發(fā)光顯示器的發(fā)光強度。
[0036]其次，在所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)中，在陰極底角錐層的內(nèi)側(cè)面制作了陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層，在外側(cè)面制作了陰極環(huán)傳導(dǎo)外層。由于進行電子發(fā)射的碳納米管就分別制作在陰極環(huán)傳導(dǎo)一層和陰極環(huán)傳導(dǎo)二層的上面，故而擴大了碳納米管層的制作面積。能夠進行電子發(fā)射的碳納米管數(shù)量增多了，這對增大發(fā)光顯示器的陽極工作電流、改善發(fā)光顯示器的圖像質(zhì)量是有幫助的。
[0037]第三，在所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)中，制作了門極坡面電極上層和門極坡面電極下層的組合斜坡面結(jié)構(gòu)。一方面，由于門極坡面電極上層和門極坡面電極下層均向上傾斜，從而增大了門極-陰極之間的距離，這就降低了對門極-陰極之間絕緣材料絕緣性能的要求，有助于降低發(fā)光顯示器的制作成本。另一方面，門極坡面電極上層和門極坡面電極下層均與門極銀外導(dǎo)電層相連；當(dāng)施加適當(dāng)門極工作電壓后，就會在碳納米管層表面形成強大電場強度，迫使碳納米管發(fā)射出大量電子。這有助于進一步增強門極對碳納米管陰極的調(diào)控能力。
[0038]此外，在所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)中，陰極底角錐層被制作成了內(nèi)側(cè)面為傾斜平面而外側(cè)面為向內(nèi)凹陷的弧面，這易于縮減門極-陰極之間的有效距離，從而能夠進一步降低門極的工作電壓，有利于降低發(fā)光顯示器的功率損耗。
[0039]除了上面所述的本發(fā)明解決的技術(shù)問題、構(gòu)成技術(shù)方案的技術(shù)特征以及由這些技術(shù)方案的技術(shù)特征所帶來的優(yōu)點外，本發(fā)明的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器所能解決的其他技術(shù)問題、技術(shù)方案中包含的其他技術(shù)特征以及這些技術(shù)特征帶來的優(yōu)點，將結(jié)合附圖做出進一步詳細(xì)的說明。
【附圖說明】
[0040]圖1給出了雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的縱向結(jié)構(gòu)示意圖；
[0041]圖2給出了雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的橫向結(jié)構(gòu)示意圖；
[0042]圖3給出了雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043]圖中:下玻璃平密封板1、半透明屏蔽層2、陰極銀外導(dǎo)電層3、陰極底角錐層4、陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5、陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6、門極控底一層7、門極坡面電極下層8、門極控底二層9、門極坡面電極上層10、門極控底三層11、門極銀外導(dǎo)電層12、門極控底四層13、碳納米管層14、上玻璃平密封板15、陽極膜連線層16、陽極銀外導(dǎo)電層17、熒光粉層18、消氣劑19、透明玻璃框20、隔離絕緣墻21。
【具體實施方式】
[0044]下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明進行進一步說明，但本發(fā)明并不局限于本實施例。
[0045]本實施例的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器如圖1、圖2和圖3所示，包括上玻璃平密封板15、下玻璃平密封板I和透明玻璃框20所構(gòu)成的真空室;在上玻璃平密封板15上有陽極膜連線層16、制作在陽極膜連線層16上面的熒光粉層18以及與陽極膜連線層16相連的陽極銀外導(dǎo)電層17;在下玻璃平密封板I上有雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu);位于真空室內(nèi)的消氣劑19和隔離絕緣墻21附屬元件。
[0046]其中，雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)包括下玻璃平密封板1、半透明屏蔽層2、陰極銀外導(dǎo)電層3、陰極底角錐層4、陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5、陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6、門極控底一層7、門極坡面電極下層8、門極控底二層9、門極坡面電極上層10、門極控底三層11、門極銀外導(dǎo)電層12、門極控底四層13和碳納米管層14。
[0047]雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的襯底材料為玻璃，可以為鈉鈣玻璃、硼硅玻璃，也就是下玻璃平密封板I;下玻璃平密封板I上的印刷的絕緣漿料層形成半透明屏蔽層2;半透明屏蔽層2上的印刷的銀漿層形成陰極銀外導(dǎo)電層3;陰極銀外導(dǎo)電層3上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底角錐層4;陰極底角錐層4呈現(xiàn)圓環(huán)角錐形狀，位于陰極銀外導(dǎo)電層3上;整體陰極底角錐層4呈圓環(huán)形，縱剖面為角錐形狀，即下表面為平面，上頂端為角錐尖，外側(cè)面為向陰極底角錐層4內(nèi)部凹陷的弧面，內(nèi)側(cè)面為傾斜平面，外側(cè)面與內(nèi)側(cè)面相交于頂部角錐尖處；陰極底角錐層4外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5;陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5的下半部分覆蓋于陰極底角錐層4外側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層3相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層4的角錐尖，且和陰極底角錐層4的角錐尖相平齊；陰極底角錐層4內(nèi)側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6;陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6的下半部分覆蓋于陰極底角錐層4內(nèi)側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層3相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層4的角錐尖，且和陰極底角錐層4的角錐尖相平齊;陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5相互不接觸;半透明屏蔽層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底一層7;門極控底一層7中存在圓形孔，圓形孔中暴露出陰極底角錐層4、陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5和陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6;門極控底一層7的內(nèi)側(cè)面為圓筒面；門極控底一層7的下表面為平面，位于半透明屏蔽層2上；門極控底一層7的上表面為向上凸起的弧形緩坡面，靠近門極控底一層7圓形孔部分的門極控底一層7高度低，而遠(yuǎn)離門極控底一層7圓形孔部分的門極控底一層7高度高；門極控底一層7上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極下層8;門極坡面電極下層8上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底二層9;門極控底二層9中存在圓形孔，其圓形孔的直徑與門極控底一層7圓形孔的直徑相同，且位于門極控底一層7圓形孔的上方;9覆蓋于門極坡面電極下層8上，門極控底二層9的上表面為傾斜的平坡面，靠近門極控底二層9圓形孔部分的門極控底二層9高度低，而遠(yuǎn)離門極控底二層9圓形孔部分的門極控底二層9高度高；門極控底二層9上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極上層10;半透明屏蔽層2上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底三層11;門極控底三層11上的印刷的銀漿層形成門極銀外導(dǎo)電層12;門極坡面電極下層8、門極坡面電極上層10和門極銀外導(dǎo)電層12是相互連通的；門極坡面電極上層10上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底四層13;碳納米管層14制備在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5上。
[0048]其中，雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的固定位置為下玻璃平密封板I;陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6可以為金屬銀、鉻、鈷、鎳、鉬；陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5可以為金屬銀、鉻、鈷、鎳、鉬。
[0049]上述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝如下:
[0050]I)下玻璃平密封板I的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成下玻璃平密封板I;[0051 ] 2)半透明屏蔽層2的制作:在下玻璃平密封板I上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成半透明屏蔽層2;
[0052]3)陰極銀外導(dǎo)電層3的制作:在半透明屏蔽層2上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀外導(dǎo)電層3;
[0053]4)陰極底角錐層4的制作:在陰極銀外導(dǎo)電層4上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底角錐層4;
[0054]5)陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5的制作:在陰極底角錐層4的外側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5;
[0055]6)陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6的制作:在陰極底角錐層4的內(nèi)側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6;
[0056]7)門極控底一層7的制作:在半透明屏蔽層2上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底一層7;
[0057]8)門極坡面電極下層8的制作:在門極控底一層7上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極下層8;
[0058]9)門極控底二層9的制作:在門極坡面電極下層8上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底二層9;
[0059]10)門極坡面電極上層10的制作:在門極控底二層9上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極上層10;
[0060]11)門極控底三層11的制作:在半透明屏蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底三層11;
[0061]12)門極銀外導(dǎo)電層12的制作:在門極控底三層11上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀外導(dǎo)電層12;
[0062]13)門極控底四層13的制作:在門極坡面電極上層10上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底四層13;
[0063]14)雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的清潔:對雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵；
[0064]15)碳納米管層14的制作:將碳納米管印刷在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層6和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層5上，形成碳納米管層14;
[0065]16)碳納米管層14的處理:對碳納米管層14進行后處理，改善其場發(fā)射特性；
[0066]17)上玻璃平密封板15的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成上玻璃平密封板 15；
[0067]18)陽極膜連線層16的制作:對覆蓋于上玻璃平密封板15表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕，形成陽極膜連線層16;
[0068]19)陽極銀外導(dǎo)電層17的制作:在上玻璃平密封板15上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀外導(dǎo)電層17;具體是在上玻璃平密封板15的非顯示區(qū)域印刷銀漿，經(jīng)過烘烤(最高烘烤溫度:180°C，最高烘烤溫度保持時間:8分鐘)之后，放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)(最高燒結(jié)溫度:525 °C，最高燒結(jié)溫度保持時間:8分鐘)
[0069]20)熒光粉層18的制作:在陽極膜連線層16上印刷熒光粉，經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層18;具體是在上玻璃平密封板15的陽極膜連線層16上印刷熒光粉，然后放置在烘箱中進行烘烤(最高烘烤溫度為120°C，最高烘烤溫度保持時間:10分鐘)。21)顯示器器件裝配:將消氣劑19安裝于上玻璃平密封板15的非顯示區(qū)域;然后，將上玻璃平密封板15、下玻璃平密封板1、透明玻璃框20和隔離絕緣墻21裝配到一起，用夾子固定；
[0070]22)顯示器器件封裝:對已裝配的顯示器器件進行封裝工藝形成成品件，具體是將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié)；在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑19進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
【主權(quán)項】
1.一種雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，包括上玻璃平密封板、下玻璃平密封板和透明玻璃框所構(gòu)成的真空室，以及位于真空室內(nèi)的消氣劑和隔離絕緣墻附屬元件;其特征在于:在上玻璃平密封板上有陽極膜連線層、熒光粉層和陽極銀外導(dǎo)電層，所述熒光粉層制作在陽極膜連線層上面，所述陽極銀外導(dǎo)電層與陽極膜連線層相連;在下玻璃平密封板上有雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，其特征在于:所述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的襯底為下玻璃平密封板，下玻璃平密封板上的印刷的絕緣漿料層形成半透明屏蔽層;半透明屏蔽層上的印刷的銀漿層形成陰極銀外導(dǎo)電層；陰極銀外導(dǎo)電層上的印刷的絕緣漿料層形成陰極底角錐層;所述陰極底角錐層呈現(xiàn)圓環(huán)角錐形狀，其俯視圖為圓環(huán)形，縱剖面為角錐形，下表面為平面，上頂端為角錐尖，外側(cè)面為向內(nèi)凹陷的弧面，內(nèi)側(cè)面為傾斜平面，所述外側(cè)面與內(nèi)側(cè)面相交于角錐尖處；陰極底角錐層外側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層；陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的下半部分覆蓋于陰極底角錐層外側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層的角錐尖，且和陰極底角錐層的角錐尖相平齊;陰極底角錐層內(nèi)側(cè)面上的刻蝕的金屬層形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的下半部分覆蓋于陰極底角錐層內(nèi)側(cè)面，且和陰極銀外導(dǎo)電層相互連通，陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的上半部分為并行排列尖角刺形，尖角刺的刺尖指向陰極底角錐層的角錐尖，且和陰極底角錐層的角錐尖相平齊；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層相互不接觸;半透明屏蔽層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底一層；門極控底一層中存在第一圓形孔，第一圓形孔中暴露出陰極底角錐層、陰極環(huán)傳導(dǎo)外層和陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層；門極控底一層的內(nèi)側(cè)面為圓筒面；門極控底一層的下表面為平面，位于半透明屏蔽層上；門極控底一層的上表面為向上凸起的弧形緩坡面，所述弧形緩坡面向第一圓形孔傾斜；門極控底一層上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極下層；門極坡面電極下層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底二層；門極控底二層中存在第二圓形孔，第二圓形孔的位于第一圓形孔的上方，且與第一圓形孔的直徑相同；門極控底二層覆蓋于門極坡面電極下層上，門極控底二層的上表面為傾斜的平坡面，所述平坡面向第二圓形孔傾斜；門極控底二層上的印刷的銀漿層形成門極坡面電極上層;半透明屏蔽層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底三層；門極控底三層上的印刷的銀漿層形成門極銀外導(dǎo)電層；門極坡面電極下層、門極坡面電極上層和門極銀外導(dǎo)電層是相互連通的；門極坡面電極上層上的印刷的絕緣漿料層形成門極控底四層;碳納米管層制備在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，其特征在于:所述上玻璃平密封板的材質(zhì)為鈉鈣玻璃或硼硅玻璃。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器，其特征在于:所述雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的固定位置為下玻璃平密封板；陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層為金屬銀、鉻、鈷、鎳或鉬；陰極環(huán)傳導(dǎo)外層為金屬銀、鉻、鈷、鎳或鉬。5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，其特征在于包括以下步驟: I)下玻璃平密封板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成下玻璃平密封板； 2)半透明屏蔽層的制作:在下玻璃平密封板上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成半透明屏蔽層； 3)陰極銀外導(dǎo)電層的制作:在半透明屏蔽層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極銀外導(dǎo)電層； 4)陰極底角錐層的制作:在陰極銀外導(dǎo)電層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陰極底角錐層； 5)陰極環(huán)傳導(dǎo)外層的制作:在陰極底角錐層的外側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)外層； 6)陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層的制作:在陰極底角錐層的內(nèi)側(cè)面制備出一個金屬鎳層，刻蝕后形成陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層； 7)門極控底一層的制作:在半透明屏蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底一層； 8)門極坡面電極下層的制作:在門極控底一層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極下層； 9)門極控底二層的制作:在門極坡面電極下層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底二層； 10)門極坡面電極上層的制作:在門極控底二層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極坡面電極上層； 11)門極控底三層的制作:在半透明屏蔽層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底三層； 12)門極銀外導(dǎo)電層的制作:在門極控底三層上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極銀外導(dǎo)電層； 13)門極控底四層的制作:在門極坡面電極上層上印刷絕緣漿料，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成門極控底四層； 14)雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的清潔:對雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的表面進行清潔處理，除掉雜質(zhì)和灰塵； 15)碳納米管層的制作:將碳納米管印刷在陰極環(huán)傳導(dǎo)內(nèi)層和陰極環(huán)傳導(dǎo)外層上，形成碳納米管層； 16)碳納米管層的處理:對碳納米管層進行后處理，改善其場發(fā)射特性； 17)上玻璃平密封板的制作:對平面鈉鈣玻璃進行劃割，形成上玻璃平密封板； 18)陽極膜連線層的制作:對覆蓋于上玻璃平密封板表面的錫銦氧化物膜層進行刻蝕，形成陽極膜連線層； 19)陽極銀外導(dǎo)電層的制作:在上玻璃平密封板上印刷銀漿，經(jīng)烘烤、燒結(jié)工藝后形成陽極銀外導(dǎo)電層； 20)熒光粉層的制作:在陽極膜連線層上印刷熒光粉，經(jīng)烘烤工藝后形成熒光粉層； 21)顯示器器件裝配:將消氣劑安裝于上玻璃平密封板的非顯示區(qū)域;然后，將上玻璃平密封板、下玻璃平密封板、透明玻璃框和隔離絕緣墻裝配到一起，用夾子固定； 22)顯示器器件封裝:對已裝配的顯示器器件進行封裝工藝形成成品件。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，其特征在于:所述步驟19中，在上玻璃平密封板的非顯示區(qū)域印刷銀漿，經(jīng)過烘烤之后，最高烘烤溫度:180 °C，最高烘烤溫度保持時間:8分鐘，放置在燒結(jié)爐中進行燒結(jié)，最高燒結(jié)溫度:525 °C，最高燒結(jié)溫度保持時間:8分鐘。7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，其特征在于:所述步驟20中，在上玻璃平密封板的陽極膜連線層上印刷熒光粉，然后放置在烘箱中進行烘烤，最高烘烤溫度為120°C，最高烘烤溫度保持時間:10分鐘。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的雙側(cè)環(huán)平凹尖角刺陰極組合斜坡面上門控結(jié)構(gòu)的發(fā)光顯示器的制作工藝，其特征在于:所述步驟22中，將顯示器器件放入烘箱中進行烘烤;放入燒結(jié)爐中進行燒結(jié);在排氣臺上進行器件排氣、封離;在烤消機上對消氣劑進行烤消，最后加裝管腳形成成品件。
【文檔編號】H01J9/00GK106024556SQ201610532803
【公開日】2016年10月12日
【申請日】2016年7月7日
【發(fā)明人】李玉魁
【申請人】金陵科技學(xué)院