一種蒸鍍坩堝的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種蒸鍍坩堝，以解決現(xiàn)有的真空熱蒸鍍技術(shù)中，以解決熔融型金屬材料進(jìn)行蒸鍍時(shí)出現(xiàn)的升華速率不穩(wěn)定所導(dǎo)致的蒸鍍效率低和燒壞蒸鍍坩堝的問題。所述蒸鍍坩堝，包括坩堝本體，所述坩堝本體的底部的內(nèi)表面形成有網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)。
【專利說明】
一種蒸鍍坩堝
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及有機(jī)電致發(fā)光顯示技術(shù)制程領(lǐng)域，尤其涉及一種蒸鍍坩禍。
【背景技術(shù)】
[0002]平板顯示器件具有機(jī)身薄、省電、無輻射等眾多優(yōu)點(diǎn)，得到了廣泛的應(yīng)用?，F(xiàn)有的平板顯示器件主要包括液晶顯示器件(Liquid CrystalDisplay，LCD)及有機(jī)電致發(fā)光顯示器件(Organic Light Emitting Display，0LED)。其中，OLED顯不器件相較于LCD，不僅具有十分優(yōu)異的顯示性能，還具有全固態(tài)、白發(fā)光、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、超輕薄、響應(yīng)速度快、寬視角、室溫工作、低功耗及易于實(shí)現(xiàn)柔性顯示和3D顯示等優(yōu)點(diǎn)，得到了各大顯示器廠家的青睞。
[0003]OLED顯示器件通常由陽極、陰極、以及夾在陽極和陰極之間的有機(jī)電致發(fā)光材料層構(gòu)成，有機(jī)電致發(fā)光材料層又包括空穴注入層、空穴傳輸層、發(fā)光層、電子傳輸層、及電子注入層。OLED顯示器件的發(fā)光機(jī)理是從陰、陽兩級(jí)分別注入電子和空穴，被注入的電子和空穴經(jīng)傳輸在發(fā)光層內(nèi)復(fù)合，從而激發(fā)發(fā)光層分子產(chǎn)生單態(tài)激子，單態(tài)激子輻射衰減而發(fā)光。
[0004]目前，制備OLED顯示器件主流的主要方式是真空熱蒸鍍技術(shù)，即在真空腔體內(nèi)使用蒸鍍坩禍加熱OLED材料，使其在一定溫度下升華或者熔融汽化成蒸汽，透過金屬掩膜板上的開孔沉積在基板上。真空熱蒸鍍技術(shù)是在低于5xlO-5Pa的真空環(huán)境下，通過加熱的方式將材料由固態(tài)變?yōu)檎羝麪顟B(tài)，高速運(yùn)動(dòng)的氣態(tài)分子到達(dá)基板并在基板上沉積固化，再變回為OLED材料的固體薄膜。對(duì)于熔融型金屬材料，其受熱后會(huì)由固態(tài)變?yōu)橐簯B(tài)最后變?yōu)闅鈶B(tài)分子，但是由于液體金屬表面張力的作用，液滴呈球狀與蒸鍍坩禍內(nèi)壁的接觸面積較小，導(dǎo)致升華的速率不穩(wěn)，降低蒸鍍效率;如果設(shè)備運(yùn)行在速率固定模式下，為保持升華速率，設(shè)備會(huì)不斷加熱以提高溫度，這樣極有可能出現(xiàn)蒸鍍坩禍燒壞的現(xiàn)象。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明的目的是提供一種蒸鍍坩禍，以解決現(xiàn)有的真空熱蒸鍍技術(shù)中，以解決熔融型金屬材料進(jìn)行蒸鍍時(shí)出現(xiàn)的升華速率不穩(wěn)定所導(dǎo)致的蒸鍍效率低和燒壞蒸鍍坩禍的問題。
[0006]本發(fā)明的目的是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
[0007]本發(fā)明實(shí)施例提供一種蒸鍍坩禍，包括坩禍本體，所述坩禍本體的底部的內(nèi)表面形成有網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)。
[0008]本實(shí)施例中，在所述坩禍本體的底部的內(nèi)表面設(shè)置網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)，即便液體金屬由于表面張力的作用而成球狀，但是網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)能夠的邊沿仍然能夠接觸球狀的液體金屬，而且網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)還能夠部分的減小液體金屬由于表面張力的影響，因此可以較大程度的增大所述坩禍本體的接觸面積，從而使升華的速率穩(wěn)定，提高蒸鍍效率并避免蒸鍍坩禍燒壞的現(xiàn)象。
[0009]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)之上形成有導(dǎo)熱膜層。本實(shí)施例中，所述導(dǎo)熱膜層能夠使加熱均勻。
[0010]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)的每一條凸起線段的橫截面的寬度為0.5?I毫米。本實(shí)施例中，凸起線段的橫截面的寬度為0.5?I毫米，能夠有效分散液滴體積，且使液體金屬的整體不會(huì)被完全被分隔開幾部分。
[0011]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)的高度為I?2毫米。本實(shí)施例中，高度為I?2毫米的所述凸起結(jié)構(gòu)接近液體金屬所形成液滴的直徑，能有效分散液滴體積。
[0012]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)圍設(shè)的多個(gè)凹陷圖形為規(guī)則的幾何圖形。
[0013]優(yōu)選的，所述凹陷圖形包括矩形、菱形、圓形、三角形、扇形、正五邊形和正六邊形中的至少一種。
[0014]優(yōu)選的，所述導(dǎo)熱膜層的厚度為0.5?3微米。
[0015]優(yōu)選的，所述導(dǎo)熱膜層為氧化鋁膜層。
[0016]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)與所述坩禍本體為一體結(jié)構(gòu)。
[0017]優(yōu)選的，所述凸起結(jié)構(gòu)的材料為鈦合金、鉬或鎢。
[0018]本發(fā)明實(shí)施例有益效果如下:在所述坩禍本體的底部的內(nèi)表面設(shè)置網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)，即便液體金屬由于表面張力的作用而成球狀，但是網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)能夠的邊沿仍然能夠接觸球狀的液體金屬，而且網(wǎng)格狀的所述凸起結(jié)構(gòu)還能夠部分的減小液體金屬由于表面張力的影響，因此可以較大程度的增大所述坩禍本體的接觸面積，從而使升華的速率穩(wěn)定，提高蒸鍍效率并避免蒸鍍坩禍燒壞的現(xiàn)象。
【附圖說明】
[0019]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的蒸鍍坩禍的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2為圖1所示的蒸鍍坩禍在AB處的剖面示意圖；
[0021 ]圖3為圖1所示的蒸鍍坩禍在CD處的剖面示意圖；
[0022]圖4為圖1所示的網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)上形成有導(dǎo)熱膜層的剖面示意圖；
[0023]圖5為本發(fā)明實(shí)施例中凸起結(jié)構(gòu)的凸起線段的寬度和高度的示意圖；
[0024]圖6為本發(fā)明實(shí)施例中凸起結(jié)構(gòu)圍設(shè)的凹陷圖形為矩形的示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合說明書附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施例的實(shí)現(xiàn)過程進(jìn)行詳細(xì)說明。需要注意的是，自始至終相同或類似的標(biāo)號(hào)表示相同或類似的元件或具有相同或類似功能的元件。下面通過參考附圖描述的實(shí)施例是示例性的，僅用于解釋本發(fā)明，而不能理解為對(duì)本發(fā)明的限制。
[0026]參見圖1至圖3，本發(fā)明實(shí)施例提供一種蒸鍍坩禍，包括坩禍本體I，坩禍本體I的底部的內(nèi)表面形成有網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)2。
[0027]圖2為圖1所示蒸鍍坩禍在AB處的剖面示意圖，圖3為圖1所示蒸鍍坩禍在CD處的剖面示意圖，顯然該凸起結(jié)構(gòu)2形成于坩禍本體I的底部的內(nèi)表面，即便液體金屬由于表面張力的作用而成球狀，但是網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)2能夠的邊沿仍然能夠接觸球狀的液體金屬，而且網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)2還能夠部分的減小液體金屬由于表面張力的影響，因此可以較大程度的增大坩禍本體I的接觸面積，從而使升華的速率穩(wěn)定，提高蒸鍍效率并避免蒸鍍坩禍燒壞的現(xiàn)象。
[0028]為了蒸鍍坩禍加熱更均勻，如圖4所示，在凸起結(jié)構(gòu)2之上形成有導(dǎo)熱膜層3，該導(dǎo)熱膜層3能夠有效的傳導(dǎo)熱能，使蒸鍍坩禍對(duì)液體金屬的加熱更均勻，有利于升華的速率穩(wěn)定，從而提高蒸鍍效率。該導(dǎo)熱膜層3可以選擇多種利于導(dǎo)熱且具有較高熔點(diǎn)的材料制備，例如以氧化鋁形成的氧化鋁膜層作為導(dǎo)熱膜層3。優(yōu)選的，導(dǎo)熱膜層3的厚度為0.5?3微米。
[0029]基于有效分散液滴體積，且使液體金屬的整體不會(huì)被完全被分隔開幾部分的考慮，優(yōu)選的，凸起結(jié)構(gòu)2的每一條凸起線段的橫截面的寬度為0.5?I毫米，凸起結(jié)構(gòu)2的高度為I?2毫米。如圖5所示，凸起線段的橫截面的寬度W為0.5?I毫米，凸起結(jié)構(gòu)2的高度H為I?2毫米，實(shí)際上凸起結(jié)構(gòu)2的高度H也即凸起線段的高度。需要說明的是，本實(shí)施例中凸起線段的橫截面的寬度W和高度H只是為了對(duì)本發(fā)明進(jìn)行說明，本發(fā)明并不以此為限，在實(shí)際應(yīng)用中，該凸起線段的橫截面的寬度W和高度H可以考慮接近液體金屬所形成液滴的直徑，這樣有利于有效分散液滴體積。
[0030]凸起結(jié)構(gòu)2圍設(shè)的多個(gè)凹陷圖形可以為各種幾何圖形。以規(guī)則的幾何圖形較佳，便于設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)，其中規(guī)定的幾何圖形可以為矩形、菱形、圓形、三角形、扇形、正五邊形和正六邊形中的至少一種或者組合，在此不再贅述。優(yōu)選的，如圖6所示，坩禍本體I的底部的內(nèi)壁形成有凸起結(jié)構(gòu)2，凸起結(jié)構(gòu)2圍設(shè)的凹陷圖形4為矩形，矩形的寬度為2?3毫米，矩形的長(zhǎng)度為3?4暈米。
[0031]需要說明的是，凸起結(jié)構(gòu)2與坩禍本體I可以為一體結(jié)構(gòu)，也可以是凸起結(jié)構(gòu)2在坩禍本體I的底部單獨(dú)形成或者連接于坩禍本體I的底部，這并不影響本發(fā)明的實(shí)施。優(yōu)選的，凸起結(jié)構(gòu)2的材料為鈦合金、鉬或鎢。
[0032]本發(fā)明實(shí)施例有益效果如下:在坩禍本體的底部的內(nèi)表面設(shè)置網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)，即便液體金屬由于表面張力的作用而成球狀，但是網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)能夠的邊沿仍然能夠接觸球狀的液體金屬，而且網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)還能夠部分的減小液體金屬由于表面張力的影響，因此可以較大程度的增大坩禍本體的接觸面積，從而使升華的速率穩(wěn)定，提高蒸鍍效率并避免蒸鍍坩禍燒壞的現(xiàn)象。
[0033]顯然，本領(lǐng)域的技術(shù)人員可以對(duì)本發(fā)明進(jìn)行各種改動(dòng)和變型而不脫離本發(fā)明的精神和范圍。這樣，倘若本發(fā)明的這些修改和變型屬于本發(fā)明權(quán)利要求及其等同技術(shù)的范圍之內(nèi)，則本發(fā)明也意圖包含這些改動(dòng)和變型在內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種蒸鍍坩禍，包括坩禍本體，其特征在于，所述坩禍本體的底部的內(nèi)表面形成有網(wǎng)格狀的凸起結(jié)構(gòu)。2.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)之上形成有導(dǎo)熱膜層。3.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)的每一條凸起線段的橫截面的寬度為0.5?I毫米。4.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)的高度為I?2毫米。5.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)圍設(shè)的多個(gè)凹陷圖形為規(guī)則的幾何圖形。6.如權(quán)利要求5所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凹陷圖形包括矩形、菱形、圓形、三角形、扇形、正五邊形和正六邊形中的至少一種。7.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述導(dǎo)熱膜層的厚度為0.5?3微米。8.如權(quán)利要求2所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述導(dǎo)熱膜層為氧化鋁膜層。9.如權(quán)利要求1所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)與所述坩禍本體為一體結(jié)構(gòu)。10.如權(quán)利要求1至9任一項(xiàng)所述的蒸鍍坩禍，其特征在于，所述凸起結(jié)構(gòu)的材料為鈦合金、鉬或媽。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK106025102SQ201610366063
【公開日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年5月27日
【發(fā)明人】張微
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司