被加工物的搬送托盤的制作方法
【專利摘要】提供被加工物的搬送托盤，能夠削減被加工物的加工成本。搬送托盤(5)具有形成為與以往的環(huán)狀框架大致相同的外形的主體框架部(5a)，在主體框架部(5a)中設(shè)置有開口部(5b)。開口部(5b)具有：對(duì)被加工物的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承的外周支承部(5d)；以及對(duì)被加工物向面方向的移動(dòng)進(jìn)行限制的移動(dòng)限制部(5e)。由此，在不需要對(duì)被加工物進(jìn)行全切割的情況下，可以不使用粘接帶而僅通過將被加工物載置在搬送托盤(5)的開口部(5b)中來進(jìn)行固定。
【專利說明】
被加工物的搬送托盤
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及被加工物的搬送托盤。
【背景技術(shù)】
[0002]在將半導(dǎo)體晶片等板狀的被加工物分割成各個(gè)器件芯片或者對(duì)其形成分割用的槽時(shí)，采用使用切削刀具的切削裝置或通過激光進(jìn)行加工的激光加工裝置。在這些裝置中，使用框架單元來使對(duì)被加工物的搬送容易，該框架單元在環(huán)狀框架的開口部中隔著粘接帶(劃片帶)對(duì)被加工物進(jìn)行支承(專利文獻(xiàn)I)。
[0003]專利文獻(xiàn)1:日本特開2002-110777號(hào)公報(bào)
[0004]然而，由于粘接帶是消耗品，因此當(dāng)被加工物的加工結(jié)束時(shí)，每次重新進(jìn)行粘貼，因此存在加工成本增加的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]因此，本發(fā)明是鑒于上述課題而完成的，其目的在于提供一種搬送托盤，能夠削減被加工物的加工成本。
[0006]為了解決上述的課題并實(shí)現(xiàn)目的，本發(fā)明的被加工物的搬送托盤在具有卡盤工作臺(tái)以及加工構(gòu)件的加工裝置中，當(dāng)將板狀的被加工物相對(duì)于該卡盤工作臺(tái)進(jìn)行搬入搬出時(shí)使用該搬送托盤，其中，所述卡盤工作臺(tái)具有對(duì)被加工物進(jìn)行保持的保持面，所述加工構(gòu)件對(duì)保持在該卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工，該被加工物的搬送托盤的特征在于，具有:環(huán)狀的主體框架部，其具有比該板狀的被加工物的外形大的內(nèi)周;外周支承部，其從該主體框架部的內(nèi)周朝向中心突出，對(duì)被加工物的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承；以及移動(dòng)限制部，其形成在該主體框架部與該外周支承部的邊界，對(duì)所載置的被加工物向面方向的移動(dòng)進(jìn)行限制。
[0007]并且，在上述被加工物的搬送托盤中，優(yōu)選該加工裝置具有:盒載置區(qū)域，其對(duì)收納多個(gè)框架單元的盒進(jìn)行載置，該框架單元在環(huán)狀框架的開口中隔著粘接帶對(duì)被加工物進(jìn)行支承；以及搬送構(gòu)件，其在被載置于該盒載置區(qū)域的該盒與該卡盤工作臺(tái)之間支承該環(huán)狀框架而對(duì)該框架單元進(jìn)行搬送，該主體框架部形成為與該環(huán)狀框架相同的外徑，并能夠收納于該盒。
[0008]本發(fā)明的被加工物的搬送托盤具有:外周支承部，其對(duì)被加工物的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承；以及移動(dòng)限制部，其對(duì)被加工物向面方向的移動(dòng)進(jìn)行限制，由此，可以不使用粘接帶而將被加工物固定于搬送托盤，因此能夠大幅削減加工成本。
【附圖說明】
[0009]圖1是示出實(shí)施方式I的加工裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0010]圖2是示出實(shí)施方式I的盒的結(jié)構(gòu)例的主視圖。
[0011]圖3是示出實(shí)施方式I的被加工物的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0012]圖4是示出實(shí)施方式I的搬送托盤的結(jié)構(gòu)例的立體圖。
[0013]圖5是示出在實(shí)施方式I的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的立體圖。
[0014]圖6是示出在實(shí)施方式I的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的P-P箭頭的剖視圖。
[0015]圖7是示出向?qū)嵤┓绞絀的卡盤工作臺(tái)搬入載置有被加工物的搬送托盤的搬入例的剖視圖。
[0016]圖8是示出對(duì)保持在實(shí)施方式I的卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工的加工例的剖視圖。
[0017]圖9是示出在實(shí)施方式2的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的剖視圖。
[0018]圖10是示出向?qū)嵤┓绞?的卡盤工作臺(tái)搬入載置有被加工物的搬送托盤的搬入例的剖視圖。
[0019]圖11是示出對(duì)保持在實(shí)施方式2的卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工的加工例的剖視圖。
[0020]標(biāo)號(hào)說明
[0021]1:加工裝置;5、6:搬送托盤;5&、6&:主體框架部;513、613:開口部;5(1、6(1:外周支承部;5e、6e:移動(dòng)限制部；10A:卡盤工作臺(tái)；10B:凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)；11a、Ilb:保持面;50:第I搬送構(gòu)件;60:第2搬送構(gòu)件;91:盒;92:盒載置構(gòu)件;W(Wl、W2):被加工物;U:被加工物保持單元;U1A、U1B:搬送托盤單元;U2:框架單元。
【具體實(shí)施方式】
[0022]關(guān)于用于實(shí)施本發(fā)明的方式(實(shí)施方式)，一邊參照附圖一邊詳細(xì)地說明。本發(fā)明不限于以下的實(shí)施方式中記載的內(nèi)容。并且，以下所記載的結(jié)構(gòu)要素包含能夠容易地被本領(lǐng)域技術(shù)人員想到的要素或?qū)嵸|(zhì)上相同的要素。此外，以下記載的結(jié)構(gòu)可以適當(dāng)組合。并且，在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)可以省略各種結(jié)構(gòu)，進(jìn)行取代或者變更。
[0023]〔實(shí)施方式I〕
[0024]對(duì)實(shí)施方式I的加工裝置和被加工物的搬送托盤的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明。圖1是示出實(shí)施方式I的加工裝置的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖2是示出實(shí)施方式I的盒的結(jié)構(gòu)例的主視圖。圖3是示出實(shí)施方式I的被加工物的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖4是示出實(shí)施方式I的搬送托盤的結(jié)構(gòu)例的立體圖。圖5是示出在實(shí)施方式I的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的立體圖。圖6是示出在實(shí)施方式I的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的P-P箭頭的剖視圖。
[0025]加工裝置I對(duì)被加工物W進(jìn)行加工。如圖1所示，加工裝置I具有卡盤工作臺(tái)10A、加工構(gòu)件20、加工進(jìn)給構(gòu)件30、切入進(jìn)給構(gòu)件40、第I搬送構(gòu)件50、第2搬送構(gòu)件60、臨時(shí)放置用的軌道70、清洗構(gòu)件80、盒機(jī)構(gòu)90、未圖示的分度進(jìn)給構(gòu)件、以及未圖示的控制構(gòu)件。
[0026]卡盤工作臺(tái)1A以能夠在X軸方向上移動(dòng)的方式配設(shè)在裝置主體2的上表面上?？ūP工作臺(tái)1A形成為圓板狀，具有保持面Ila和夾持部12?？ūP工作臺(tái)1A通過未圖示的旋轉(zhuǎn)構(gòu)件利用與保持面Ila的中心垂直的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)。保持面Ila是卡盤工作臺(tái)1A的鉛垂方向的上端面，相對(duì)于水平面形成為平坦。保持面Ila例如由多孔陶瓷材料等構(gòu)成，通過未圖示的真空吸引源的負(fù)壓對(duì)被加工物保持單元U (例如，搬送托盤單元Ul A或者框架單元U2)的被加工物W進(jìn)行吸引保持。夾持部12對(duì)被加工物保持單元U進(jìn)行夾持，將被加工物保持單元U的外周緣從上下夾住并保持。
[0027]加工構(gòu)件20對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)1A上的被加工物W進(jìn)行加工。加工構(gòu)件20經(jīng)由分度進(jìn)給構(gòu)件和切入進(jìn)給構(gòu)件40配設(shè)于第I門型框架3。這里，第I門型框架3以在Y軸方向上橫跨卡盤工作臺(tái)1A的X軸方向上的移動(dòng)路徑的方式豎立設(shè)置于裝置主體2。加工構(gòu)件20具有:對(duì)被加工物W進(jìn)行切削的切削刀具21、以能夠裝卸的方式安裝于切削刀具21的主軸22、以及將主軸22支承為繞Y軸方向的旋轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)自如的殼體23。
[0028]加工進(jìn)給構(gòu)件30使卡盤工作臺(tái)1A和加工構(gòu)件20在X軸方向上相對(duì)移動(dòng)。例如，加工進(jìn)給構(gòu)件30具有在X軸方向上延伸的未圖示的滾珠絲杠和脈沖電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源，使對(duì)卡盤工作臺(tái)1A進(jìn)行支承的未圖示的X軸移動(dòng)基臺(tái)在X軸方向上移動(dòng)。
[0029]分度進(jìn)給構(gòu)件使卡盤工作臺(tái)1A和加工構(gòu)件20在Y軸方向上相對(duì)移動(dòng)。例如，分度進(jìn)給構(gòu)件具有在Y軸方向上延伸的未圖示的滾珠絲杠和脈沖電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源，使對(duì)切入進(jìn)給構(gòu)件40進(jìn)行支承的未圖示的Y軸移動(dòng)基臺(tái)在Y軸方向上移動(dòng)。
[0030]切入進(jìn)給構(gòu)件40使加工構(gòu)件20在與卡盤工作臺(tái)1A的保持面IIa大致垂直的Z軸方向上移動(dòng)。例如，切入進(jìn)給構(gòu)件40具有在Z軸方向上延伸的未圖示的滾珠絲杠和脈沖電動(dòng)機(jī)等驅(qū)動(dòng)源，使對(duì)加工構(gòu)件20進(jìn)行支承的未圖示的Z軸移動(dòng)部件在Z軸方向上移動(dòng)。
[0031]第I搬送構(gòu)件50以能夠在Y、Z軸方向上移動(dòng)的方式配設(shè)于第2門型框架4，并由未圖示的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。這里，第2門型框架4與第I門型框架3同樣地以在Y軸方向上橫跨卡盤工作臺(tái)1A的移動(dòng)路徑的方式豎立設(shè)置于裝置主體2。第I搬送構(gòu)件50具有夾持部51和吸附部52。第I搬送構(gòu)件50通過夾持部51從盒機(jī)構(gòu)90夾持并取出固定有加工前的被加工物W的被加工物保持單元U，并將被加工物保持單元U臨時(shí)放置于一對(duì)臨時(shí)放置用的軌道70。并且，第I搬送構(gòu)件50通過吸附部52吸附保持臨時(shí)放置在軌道70上的被加工物保持單元U而將其搬送到卡盤工作臺(tái)10Α。并且，第I搬送構(gòu)件50對(duì)固定有清洗后的被加工物W的被加工物保持單元U進(jìn)行吸附保持而將其臨時(shí)放置在軌道70上。
[0032]第2搬送構(gòu)件60以能夠在Χ、Υ、Ζ軸方向上移動(dòng)的方式配設(shè)于第2門型框架4，并由未圖示的致動(dòng)器驅(qū)動(dòng)。第2搬送構(gòu)件60具有吸附部61，將保持在卡盤工作臺(tái)1A上的固定有加工后的被加工物W的被加工物保持單元U臨時(shí)放置在軌道70上。并且，第2搬送構(gòu)件60通過吸附部61對(duì)臨時(shí)放置在軌道70上的加工后的被加工物保持單元U進(jìn)行吸附保持并搬送到清洗構(gòu)件80。
[0033]清洗構(gòu)件80對(duì)被加工物保持單元U的被加工物W進(jìn)行清洗并使其干燥。清洗構(gòu)件80具有對(duì)被加工物保持單元U進(jìn)行保持的旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)81。清洗構(gòu)件80通過旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)81對(duì)被加工物保持單元U進(jìn)行吸引保持并使其高速旋轉(zhuǎn)，并且朝向被加工物W噴射純水等清洗液而進(jìn)行清洗，并朝向被加工物W噴射清潔的空氣(壓縮空氣)等而使其干燥。
[0034]盒機(jī)構(gòu)90收納被加工物保持單元U，具有盒91和盒載置構(gòu)件92。例如，盒91收納多個(gè)被加工物保持單元U。如圖2所示，盒91具有搬入搬出用的開口部91a以及收納架91b。盒91的開口部91a被配設(shè)為與第I搬送構(gòu)件50相對(duì)，通過第I搬送構(gòu)件50將被加工物保持單元U搬入搬出。收納架91b以從相對(duì)的側(cè)壁向盒91的寬度方向(X軸方向)突出的方式形成有多個(gè)對(duì)被加工物保持單元U進(jìn)行支承的支承板91c。支承板91c在高度方向(Z軸方向)上等間隔地配設(shè)。高度方向上的支承板91c的間隔被設(shè)定為比被加工物保持單元U的厚度大。在盒91的寬度方向上相對(duì)的一對(duì)支承板91c對(duì)被加工物保持單元U水平地進(jìn)行支承。在本實(shí)施方式I中，在盒91中收納有3張搬送托盤單元UlA并收納有5張以往的框架單元U2，該搬送托盤單元UlA通過本發(fā)明的搬送托盤5支承被加工物Wl，該框架單元U2在環(huán)狀框架F的開口中隔著粘接帶T支承被加工物W2。
[0035]盒載置構(gòu)件92將盒91載置為在Z軸方向上上下移動(dòng)自如。盒載置構(gòu)件92具有盒載置區(qū)域92a以及使載置區(qū)域92a在Z軸方向上升降的未圖示的升降構(gòu)件。在盒載置區(qū)域92a中以盒91的開口部91a與第I搬送構(gòu)件50相對(duì)的方式載置盒91。盒載置構(gòu)件92通過借助升降構(gòu)件使載置在盒載置區(qū)域92a上的盒91升降，而將盒91定位在通過第I搬送構(gòu)件50對(duì)被加工物保持單元U進(jìn)行搬入搬出的位置。
[0036]搬送托盤單元UlA由被加工物Wl和搬送托盤5構(gòu)成。被加工物Wl是在硅或砷化鎵等基板上形成有半導(dǎo)體器件或者在藍(lán)寶石或SiC等基板上形成有光器件的材料，是半導(dǎo)體晶片或光器件晶片、無機(jī)材料基板、延性樹脂材料基板、陶瓷基板或玻璃板等各種加工材料。如圖3所示，被加工物Wl形成為矩形的板狀。
[0037]搬送托盤5是在將被加工物Wl對(duì)卡盤工作臺(tái)1A或清洗構(gòu)件80進(jìn)行搬入搬出時(shí)所使用的部件。如圖4所示，搬送托盤5具有形成為與環(huán)狀框架F相同的外形的主體框架部5a。另外，關(guān)于主體框架部5a的外徑，只要第1、第2搬送構(gòu)件50、60能夠以與環(huán)狀框架F相同的方式對(duì)其進(jìn)行搬送、且能夠通過卡盤工作臺(tái)1A對(duì)其進(jìn)行保持，就不限于與環(huán)狀框架F完全相同的外徑。主體框架部5a具有開口部5b，該開口部5b具有比被加工物Wl的外形大的內(nèi)周。開口部5b具有對(duì)被加工物Wl進(jìn)行固定的功能，具有:開口上部5c，其開口為比被加工物Wl的外形稍大；外周支承部5d，其形成在開口部5b的下方，對(duì)被加工物Wl的外周部進(jìn)行支承；以及移動(dòng)限制部5e，其限制被加工物Wl向面方向的移動(dòng)。
[0038]外周支承部5d從開口部5b的下部的內(nèi)周朝向中心突出規(guī)定的長(zhǎng)度而形成。例如，作為外周支承部5d，在對(duì)主體框架部5進(jìn)行開口而得到的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上，沿著內(nèi)周壁面的周向通過焊接或粘接劑等固定有一定寬度的板狀部件。外周支承部5d形成為比被加工物Wl的外形稍小的開口。在外周支承部5d的支承面5f上，在整個(gè)區(qū)域中形成有硅等合成樹脂。如圖6所示，外周支承部5d對(duì)載置在開口部5b上的被加工物Wl的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承。
[0039]移動(dòng)限制部5e形成在外周支承部5d與主體框架部5a的邊界、即開口部5b的內(nèi)周壁面上。移動(dòng)限制部5e形成為相對(duì)于主體框架部5a的面方向大致垂直。移動(dòng)限制部5e與載置在開口部5b上的被加工物Wl的側(cè)面Wl c抵接而限制被加工物Wl向面方向的移動(dòng)。另外，在移動(dòng)限制部5e與被加工物Wl的側(cè)面Wlc之間存在間隙，但由于在加工被加工物Wl時(shí)實(shí)施對(duì)準(zhǔn)，因此即使在被加工物Wl與被加工物Wl的側(cè)面Wl c之間存在間隙，在加工時(shí)也不存在問題。
[0040]控制構(gòu)件對(duì)加工裝置I的各結(jié)構(gòu)要素進(jìn)行控制。例如，控制構(gòu)件與驅(qū)動(dòng)加工進(jìn)給構(gòu)件30、分度進(jìn)給構(gòu)件、切入進(jìn)給構(gòu)件40的脈沖電動(dòng)機(jī)的未圖示的驅(qū)動(dòng)電路連接，控制驅(qū)動(dòng)電路而決定卡盤工作臺(tái)1A的X軸方向上的位置和加工構(gòu)件20的Y軸方向及Z軸方向上的位置。
[0041]接著，對(duì)實(shí)施方式I的加工裝置的動(dòng)作例進(jìn)行說明。在對(duì)被加工物W進(jìn)行加工的情況下，首先，加工裝置I的控制構(gòu)件控制盒載置構(gòu)件92，使盒91在Z軸方向上升降而將其定位在規(guī)定的位置。接著，控制構(gòu)件控制第I搬送構(gòu)件50，將收納在盒91中的加工對(duì)象的被加工物保持單元U、例如搬送托盤單元UlA取出并臨時(shí)放置在軌道70上。例如，第I搬送構(gòu)件50通過夾持部51對(duì)搬送托盤單元UlA的主體框架部5a進(jìn)行夾持而從盒91取出搬送托盤單元U1A。
[0042]接著，控制構(gòu)件控制第I搬送構(gòu)件50，通過吸附部52吸附保持臨時(shí)放置在軌道70上的搬送托盤單元UlA并搬送到卡盤工作臺(tái)10A。例如，如圖7所示，第I搬送構(gòu)件50通過吸附部52的吸附墊52a對(duì)主體框架部5a的外周部進(jìn)行吸附保持而將搬送托盤單元UlA搬送到卡盤工作臺(tái)10A。此時(shí)，搬送托盤單元UlA的被加工物Wl被移動(dòng)限制部5e限制面方向上的移動(dòng)，并固定于開口部5b?？ūP工作臺(tái)1A通過保持面Ila對(duì)搬送托盤單元UlA進(jìn)行吸引保持。并且，如圖8所示，作為卡盤工作臺(tái)1A，在吸附部52的吸附墊52a從主體框架部5a的外周部被釋放之后，通過夾持部12對(duì)主體框架部5a的外周緣進(jìn)行夾持。由于在外周支承部5d的支承面5f上形成有合成樹脂，因此由支承面5f支承的被加工物Wl與卡盤工作臺(tái)1A的保持面I Ia成為氣密狀態(tài)。由此，當(dāng)對(duì)保持面Ila作用負(fù)壓時(shí)，被加工物Wl經(jīng)由外周支承部5d被吸引保持在保持面11 a上。
[0043]接著，控制構(gòu)件實(shí)施對(duì)保持在卡盤工作臺(tái)1A上的搬送托盤單元UlA的被加工物Wl的對(duì)準(zhǔn)。并且，控制構(gòu)件控制加工構(gòu)件20，對(duì)被加工物Wl進(jìn)行切削加工。例如，加工構(gòu)件20利用切削刀具21不對(duì)被加工物Wl進(jìn)行全切割而是切削到被加工物Wl的中途。當(dāng)被加工物Wl的切削結(jié)束時(shí)，控制構(gòu)件控制第2搬送構(gòu)件60，將保持在卡盤工作臺(tái)1A上的搬送托盤單元UlA臨時(shí)放置在軌道70上。并且，控制構(gòu)件控制第2搬送構(gòu)件60，將臨時(shí)放置在軌道70上的搬送托盤單元UlA搬送到清洗構(gòu)件80。接著，控制構(gòu)件控制清洗構(gòu)件80，對(duì)搬送托盤單元UlA的被加工物Wl進(jìn)行清洗并使其干燥。并且，控制構(gòu)件控制第I搬送構(gòu)件50，將由清洗構(gòu)件80對(duì)被加工物Wl進(jìn)行了清洗及干燥的搬送托盤單元UlA臨時(shí)放置在軌道70上。并且，控制構(gòu)件控制第I搬送構(gòu)件50和盒機(jī)構(gòu)90，將臨時(shí)放置在軌道70上的搬送托盤單元UlA收納在盒91的規(guī)定的收納架91b中。
[0044]如上所述，根據(jù)實(shí)施方式I的搬送托盤5，具有對(duì)被加工物Wl的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承的外周支承部5d以及限制被加工物Wl向面方向移動(dòng)的移動(dòng)限制部5e。由此，由于在不需要實(shí)施用于完全地分離被加工物Wl的全切割的情況下，僅通過將被加工物Wl載置在搬送托盤5上便能夠進(jìn)行固定，因此可以不需要粘接帶T，能夠大幅地削減加工成本。并且，由于省略了像以往那樣將粘接帶T粘貼在環(huán)狀框架F上、在粘貼于環(huán)狀框架F的粘接帶T上粘貼被加工物W2而進(jìn)行固定的作業(yè)，因此能夠降低作業(yè)的勞動(dòng)力。并且，由于搬送托盤5形成為與以往的環(huán)狀框架F相同的外徑，因此能夠在不改造以往的搬送構(gòu)件的情況下搬送被加工物Wl，因此實(shí)現(xiàn)不花費(fèi)導(dǎo)入成本這樣的效果。
[0045]〔變形例〕
[0046]接著，對(duì)實(shí)施方式I的變形例進(jìn)行說明。對(duì)將I個(gè)被加工物Wl固定于搬送托盤5的例子進(jìn)行了說明，但也可以將多個(gè)被加工物Wl固定于搬送托盤5。在該情況下，例如在搬送托盤5的主體框架部5a上設(shè)置多個(gè)開口部5b，在各個(gè)開口部5b中固定被加工物Wl。
[0047]并且，關(guān)于外周支承部5d，對(duì)其是在對(duì)主體框架部5進(jìn)行開口而得到的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上、沿著內(nèi)周壁面的周向?qū)⒁欢ǖ膶挾鹊陌鍫畈考ㄟ^焊接或粘接劑等進(jìn)行固定而得到的分體成型的例子進(jìn)行了說明，但外周支承部5d也可以與主體框架部5—體成型。并且，在將外周支承部5d和主體框架部5分體成型的情況下，也可以為了在主體框架部5上牢固地固定外周支承部5d，而在主體框架部5的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上設(shè)置用于與板狀部件的外周支承部5d嵌合的凹部，將外周支承部5d固定在主體框架部5的凹部中。
[0048]〔實(shí)施方式2〕
[0049]接著，對(duì)實(shí)施方式2的被加工物的搬送托盤的結(jié)構(gòu)例進(jìn)行說明。圖9是示出在實(shí)施方式2的搬送托盤上載置了被加工物的載置例的剖視圖。圖10是示出將在實(shí)施方式2的卡盤工作臺(tái)上載置了被加工物的搬送托盤搬入的搬入例的剖視圖。圖11是示出對(duì)保持在實(shí)施方式2的卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工的加工例的剖視圖。
[0050]實(shí)施方式2的搬送托盤6在具有能夠應(yīng)用于形成為圓狀且凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B的結(jié)構(gòu)的方面與實(shí)施方式I不同。
[0051 ]搬送托盤6是在將被加工物Wl相對(duì)于凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B或清洗構(gòu)件80進(jìn)行搬入搬出時(shí)使用的部件。如圖9所示，搬送托盤6具有形成為與環(huán)狀框架F相同的外形的主體框架部6a。另外，關(guān)于主體框架部6a的外徑，只要第1、第2搬送構(gòu)件50、60能夠以與環(huán)狀框架F相同的方式對(duì)搬送托盤6進(jìn)行搬送，就不限于與環(huán)狀框架F完全相同的外徑。主體框架部6a具有開口部6b，該開口部6b具有比被加工物Wl的外形大的內(nèi)周。開口部6b具有對(duì)被加工物Wl進(jìn)行固定的功能，具有:開口上部6c，其開口為比被加工物Wl的外形稍微大；外周支承部6d，其形成在開口部6b的下方，對(duì)被加工物Wl的外周部進(jìn)行支承；以及移動(dòng)限制部6e，其限制被加工物Wl的移動(dòng)。
[0052]外周支承部6d形成為從開口部6b的下部的內(nèi)周朝向中心突出規(guī)定的長(zhǎng)度。例如，外周支承部6d是在對(duì)主體框架部6進(jìn)行開口而得到的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上沿著內(nèi)周壁面的周向通過焊接或粘接劑等將一定寬度的板狀部件固定而得到的。外周支承部6d形成比被加工物Wl的外形稍微小的開口。如圖9所示，外周支承部6d對(duì)載置在開口部6b上的被加工物Wl的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承。
[0053]這里，在通過凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B對(duì)固定在搬送托盤6的開口部6b上的被加工物Wl進(jìn)行吸引保持的情況下，凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B的保持面Ilb插入到搬送托盤6的開口部6b中。此時(shí)，由于保持面Ilb與被加工物Wl的底面直接抵接而進(jìn)行吸引保持，因此也可以不在外周支承部6d的支承面6f上形成合成樹脂。并且，外周支承部6d的寬度方向的長(zhǎng)度Hl形成為比實(shí)施方式I的外周支承部5d的寬度方向的長(zhǎng)度H2短。這是因?yàn)橥範(fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B的保持面Ilb需要牢固地吸引保持被加工物Wl，因此以與被加工物Wl的底面抵接的區(qū)域盡可能大的方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，而外周支承部6d需要使其內(nèi)周比保持面Ilb的外周大。
[0054]移動(dòng)限制部6e形成在外周支承部6d與主體框架部6a的邊界、S卩開口部6b的內(nèi)周壁面。移動(dòng)限制部6e形成為相對(duì)于主體框架部6a的面方向大致垂直。移動(dòng)限制部6e與載置在開口部6b上的被加工物Wl的側(cè)面Wlc抵接，而限制被加工物Wl向面方向的移動(dòng)。
[0055]接著，對(duì)使用搬送托盤6搬送被加工物Wl的搬送例進(jìn)行說明。如圖10所示，第I搬送構(gòu)件50通過吸附部52的吸附墊52a對(duì)主體框架部6a的外周部進(jìn)行吸附保持并搬送到凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)10B。此時(shí)，搬送托盤單元UlB的被加工物Wl被移動(dòng)限制部6e限制面方向的移動(dòng)，并固定于開口部6b。如圖11所示，凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B通過保持面Ilb僅對(duì)搬送托盤單元UlB的被加工物Wl進(jìn)行吸引保持。例如，在搬送托盤單元UlB載置于凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B時(shí)，保持面Ilb從搬送托盤6推起被加工物Wl，保持面Ilb與被加工物Wl的背面抵接而吸引保持被加工物Wl。在被加工物Wl被吸引保持在保持面Ilb上的狀態(tài)下，加工構(gòu)件20對(duì)被加工物Wl進(jìn)行切削加工。
[0056]如上所述，根據(jù)實(shí)施方式2的搬送托盤6，具有外周支承部6d，其形成為寬度方向的長(zhǎng)度Hl比實(shí)施方式I的外周支承部5d短；以及移動(dòng)限制部6e，其限制被加工物Wl向面方向的移動(dòng)，由此能夠具有與實(shí)施方式I同等的效果，并且有效地相對(duì)于凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B搬送被加工物Wl。例如，在為了需要牢固地吸引保持被加工物Wl而以盡可能擴(kuò)大與被加工物Wl的底面抵接的區(qū)域的方式設(shè)計(jì)保持面Ilb的情況下，能夠在外周支承部6d不會(huì)與保持面
IIb沖撞的情況下，對(duì)凸?fàn)畹目ūP工作臺(tái)1B搬入被加工物Wl。
[0057]〔變形例〕
[0058]接著，對(duì)實(shí)施方式2的變形例進(jìn)行說明。對(duì)外周支承部6d是在對(duì)主體框架部6進(jìn)行開口而得到的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上沿著內(nèi)周壁面的周向通過焊接或粘接劑等將一定寬度的板狀部件固定而得到的分體成型的例子進(jìn)行了說明，但外周支承部6d也可以與主體框架部6—體成型。并且，在將外周支承部6d和主體框架部6分體成型的情況下，也可以為了在主體框架部6上牢固地固定外周支承部6d，而在主體框架部6的開口孔的下部的內(nèi)周壁面上設(shè)置用于與板狀部件的外周支承部6d嵌合的凹部，并將外周支承部6d固定在主體框架部6的凹部中。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種被加工物的搬送托盤，在具有卡盤工作臺(tái)以及加工構(gòu)件的加工裝置中，當(dāng)將板狀的被加工物相對(duì)于該卡盤工作臺(tái)進(jìn)行搬入搬出時(shí)使用該搬送托盤，所述卡盤工作臺(tái)具有對(duì)被加工物進(jìn)行保持的保持面，所述加工構(gòu)件對(duì)保持在該卡盤工作臺(tái)上的被加工物進(jìn)行加工，該被加工物的搬送托盤的特征在于，具有: 環(huán)狀的主體框架部，其具有比該板狀的被加工物的外形大的內(nèi)周； 外周支承部，其從該主體框架部的內(nèi)周朝向中心突出，對(duì)被加工物的下表面?zhèn)鹊耐庵軈^(qū)域進(jìn)行支承；以及 移動(dòng)限制部，其形成在該主體框架部與該外周支承部的邊界，對(duì)所載置的被加工物向面方向的移動(dòng)進(jìn)行限制。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的被加工物的搬送托盤，其特征在于， 該加工裝置具有: 盒載置區(qū)域，其對(duì)收納多個(gè)框架單元的盒進(jìn)行載置，該框架單元在環(huán)狀框架的開口中隔著粘接帶對(duì)被加工物進(jìn)行支承；以及 搬送構(gòu)件，其在被載置于該盒載置區(qū)域的該盒與該卡盤工作臺(tái)之間支承該環(huán)狀框架而對(duì)該框架單元進(jìn)行搬送， 該主體框架部形成為與該環(huán)狀框架相同的外徑，并能夠收納于該盒。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK106057715SQ201610186899
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年3月29日 公開號(hào)201610186899.X, CN 106057715 A, CN 106057715A, CN 201610186899, CN-A-106057715, CN106057715 A, CN106057715A, CN201610186899, CN201610186899.X
【發(fā)明人】田中英明, 井上克己
【申請(qǐng)人】株式會(huì)社迪思科