吸附治具的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種吸附治具，包括多個(gè)吸附桿，每個(gè)吸附桿上均設(shè)置有吸盤，所述吸盤上形成有氣孔，所述吸附桿內(nèi)形成有吸附通道，所述吸附通道與相應(yīng)吸盤的氣孔連通，所述吸附通道內(nèi)設(shè)置有分隔件，所述分隔件將所述吸附通道分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔和吸附后腔，所述吸盤與相應(yīng)的吸附通道的吸附后腔連通，多個(gè)所述吸附通道的吸附前腔相互連通；所述分隔件的至少一部分能夠朝向或遠(yuǎn)離所述吸附后腔移動(dòng)，以使所述吸附后腔的體積相應(yīng)減小或增大。本發(fā)明在其中一個(gè)吸盤漏氣時(shí)，仍然能夠穩(wěn)定地對(duì)器件進(jìn)行吸附，減少器件掉落而損壞的情況發(fā)生。
【專利說明】
吸附治具
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及顯示裝置的制作領(lǐng)域，具體涉及一種吸附治具。
【背景技術(shù)】
[0002]液晶顯示裝置的制作過程中，經(jīng)常移動(dòng)顯示面板。由于手動(dòng)移動(dòng)顯示面板時(shí)容易對(duì)其造成損傷，因此，通常利用吸附治具對(duì)顯示面板進(jìn)行吸附并移動(dòng)?，F(xiàn)有的吸附治具多采用普通式通腔設(shè)計(jì)或四腳通腔設(shè)計(jì)，這兩種結(jié)構(gòu)的吸附治具都存在一定的問題:
[0003]普通式單腔結(jié)構(gòu)的吸附治具只有一個(gè)吸附腔，而無緩沖腔體，導(dǎo)致吸附治具的吸附力過強(qiáng);并且吸附腔僅與一個(gè)吸盤連通，吸附顯示面板時(shí)的接觸面積小，造成顯示面板形變量較大，易產(chǎn)生藍(lán)斑等不良。
[0004]而對(duì)于四腳通腔結(jié)構(gòu)的吸附治具，其包括四個(gè)相連通的吸附腔，因此，和普通式通腔結(jié)構(gòu)的吸附治具相比，吸附力適中，且與顯示面板的接觸面積增大，因此對(duì)顯示面板的吸附較穩(wěn)定;但是由于多個(gè)吸附腔是相互連通的，而吸盤又容易出現(xiàn)漏氣，因此，一旦其中一個(gè)吸盤漏氣時(shí)，每個(gè)吸附腔均破真空，導(dǎo)致顯示面板掉落而破損。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]本發(fā)明旨在至少解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的技術(shù)問題之一，提出了一種吸附治具，以提尚吸附的穩(wěn)定性。
[0006]為了解決上述技術(shù)問題之一，本發(fā)明提供一種吸附治具，包括多個(gè)吸附桿，每個(gè)吸附桿上均設(shè)置有吸盤，所述吸盤上形成有氣孔，所述吸附桿內(nèi)形成有吸附通道，所述吸附通道與相應(yīng)吸盤的氣孔連通，所述吸附通道內(nèi)設(shè)置有分隔件，所述分隔件將所述吸附通道分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔和吸附后腔，所述吸盤與相應(yīng)的吸附通道的吸附后腔連通，多個(gè)所述吸附通道的吸附前腔相互連通;所述分隔件的至少一部分能夠朝向或遠(yuǎn)離所述吸附后腔移動(dòng)，以使所述吸附后腔的體積相應(yīng)減小或增大。
[0007]優(yōu)選地，所述分隔件包括可移動(dòng)的活塞;所述吸附通道內(nèi)還設(shè)置有彈性件，所述彈性件的一端固定設(shè)置在所述吸附通道內(nèi)，所述彈性件的另一端與所述活塞相連；
[0008]當(dāng)所述吸附前腔充入氣體時(shí)，所述活塞能夠朝向所述吸附后腔移動(dòng)，并使所述彈性件發(fā)生形變;當(dāng)所述吸附前腔內(nèi)停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性件能夠回復(fù)初始狀態(tài)。
[0009]優(yōu)選地，所述吸附治具還包括體積可變的按壓件，所述按壓件內(nèi)部形成有空腔，所述空腔與多個(gè)吸附桿內(nèi)的吸附前腔均連通，所述按壓件由彈性材料制成。
[0010]優(yōu)選地，所述吸附桿上還設(shè)置有固定塞，所述固定塞的一部分塞入所述吸附前腔，所述固定塞上形成有通孔，所述吸附通道通過所述通孔與所述按壓件內(nèi)部的空腔連通;所述彈性件的一端固定設(shè)置在所述固定塞上。
[0011]優(yōu)選地，所述吸附治具還包括連接在多個(gè)固定塞之間的連接件，所述按壓件固定在所述連接件上，所述連接件內(nèi)形成有氣體通道，每個(gè)固定塞的通孔通過所述氣體通道與所述按壓件內(nèi)的空腔連通。
[0012]優(yōu)選地，所述彈性件包括彈簧。
[0013]優(yōu)選地，所述分隔件包括彈性膜層，所述彈性膜層的邊緣固定在所述吸附通道的內(nèi)壁上；
[0014]當(dāng)所述吸附前腔充入氣體時(shí)，所述彈性膜層的中部能夠朝向所述吸附后腔移動(dòng)，以發(fā)生形變;當(dāng)所述吸附前腔停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性膜層能夠回復(fù)初始狀態(tài)。
[0015]優(yōu)選地，制成所述彈性膜層的材料包括乳膠。
[0016]優(yōu)選地，所述吸附后腔包括相連通的第一吸附子腔和第二吸附子腔，所述第一吸附子腔位于第二吸附子腔與所述分隔件之間，所述第二吸附子腔與所述吸盤的氣孔相連通，所述第一吸附子腔的直徑大于所述第二吸附子腔的直徑。
[0017]優(yōu)選地，所述吸附桿包括直立部和彎折部，所述直立部的一端與所述彎折部的一端相連，所述吸盤設(shè)置在所述直立部的另一端，多個(gè)所述吸盤的接觸面位于同一平面上;所述吸附前腔形成在所述彎折部?jī)?nèi)，所述吸附后腔的一部分形成在所述彎折部?jī)?nèi)，所述吸附后腔的另一部分形成在所述直立部?jī)?nèi)。
[0018]在本發(fā)明中，吸附通道被分隔件分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔和吸附后腔，因此，在吸附過程中，當(dāng)某一個(gè)吸盤發(fā)生漏氣時(shí)，該吸盤的漏氣并不會(huì)對(duì)其他吸附后腔內(nèi)的壓力產(chǎn)生影響，從而保證器件仍然能夠穩(wěn)定地被吸附治具吸附，減少了器件掉落而破損的發(fā)生。并且，吸附后腔分為直徑不同的第一吸附子腔和第二吸附子腔的結(jié)構(gòu)，能夠使得第二吸附子腔產(chǎn)生更大的真空度，從而增大吸盤的吸附力。
【附圖說明】
[0019]附圖是用來提供對(duì)本發(fā)明的進(jìn)一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實(shí)施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對(duì)本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0020]圖1是本發(fā)明提供的吸附治具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖2是圖1中的吸附治具的縱剖示意圖。
[0022]其中，附圖標(biāo)記為:
[0023]1、吸附桿；1 a、直立部；1 b、彎折部；11、吸附前腔；12、吸附后腔；121、第一吸附子腔；122、第二吸附子腔;20、吸盤;30、活塞;40、彈性件;50、按壓件;51、空腔;60、固定塞；61、通孔;70、連接件;71、氣體通道。
【具體實(shí)施方式】
[0024]以下結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明提供的吸附治具進(jìn)行詳細(xì)說明。應(yīng)當(dāng)理解的是，此處所描述的【具體實(shí)施方式】?jī)H用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0025]圖1是本發(fā)明提供的吸附治具的立體結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是圖1中的吸附治具的縱剖示意圖。如圖1和圖2所示，所述吸附治具包括多個(gè)吸附桿10，每個(gè)吸附桿10上均設(shè)置有吸盤20，吸盤20上形成有氣孔。吸附桿10內(nèi)形成有吸附通道，吸附通道與相應(yīng)吸盤20的氣孔連通。所述吸附通道內(nèi)設(shè)置有分隔件，所述分隔件將所述吸附通道分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔11和吸附后腔12，吸盤20與相應(yīng)的吸附通道的吸附后腔12連通，多個(gè)所述吸附通道的吸附前腔11相互連通。分隔件20的至少一部分能夠朝向或遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)，以使吸附后腔12的體積相應(yīng)減小或增大。
[0026]所述吸附治具尤其適用于對(duì)基板、顯示面板等器件的吸附。其中，吸附桿10的數(shù)量不作具體限定，如圖1和圖2所示，吸附桿10的數(shù)量為四個(gè)。當(dāng)所述分隔件的至少一部分遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)時(shí)，吸附后腔12的體積變大，吸附后腔12內(nèi)形成負(fù)壓，從而使待吸附的器件被吸盤20吸附。當(dāng)所述分隔件的至少一部分朝向吸附后腔12移動(dòng)時(shí)，吸附后腔12的體積減小，產(chǎn)生正壓，從而將吸盤20與被吸附的器件分離。和現(xiàn)有技術(shù)中普通式單腔結(jié)構(gòu)的吸附治具相比，本發(fā)明中的吸附治具包括多個(gè)吸盤20，與待吸附的器件接觸面積較大，對(duì)待吸附的器件損傷較小;和現(xiàn)有技術(shù)中四角通腔結(jié)構(gòu)的吸附治具相比，由于本發(fā)明的吸附通腔被分隔件分隔為吸附前腔11和吸附后腔12，因此，在吸附過程中，當(dāng)某一個(gè)吸盤20發(fā)生漏氣時(shí)，該吸盤20的漏氣并不會(huì)對(duì)其他吸附后腔12內(nèi)的壓力產(chǎn)生影響，從而保證器件仍然能夠穩(wěn)定地被所述吸附治具吸附，減少了器件掉落而破損的發(fā)生。
[0027]作為本發(fā)明的一種【具體實(shí)施方式】，如圖1和圖2所示，所述分隔件包括可移動(dòng)的活塞30，吸附通道被活塞30分隔為吸附前腔11和吸附后腔12。所述吸附通道內(nèi)還設(shè)置有彈性件40，彈性件40的一端固定設(shè)置在所述吸附通道內(nèi)，彈性件40的另一端與活塞30相連。當(dāng)吸附前腔11充入氣體時(shí)，活塞30能夠朝向吸附后腔12移動(dòng)，并使彈性件40發(fā)生形變，此時(shí)，吸附后腔12內(nèi)的體積減小，產(chǎn)生正壓；當(dāng)吸附前腔11停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性件40能夠回復(fù)初始狀態(tài)(即自然狀態(tài))，此時(shí)，和彈性件40發(fā)生形變的時(shí)刻相比，吸附后腔12的體積增大，產(chǎn)生負(fù)壓，從而可以對(duì)器件吸附。
[0028]具體地，彈性件40可以設(shè)置在吸附前腔11，也可以設(shè)置在吸附后腔12，只要不影響向吸附前腔11的充氣過程即可。彈性件40設(shè)置在吸附前腔11的情況下，當(dāng)吸附前腔11中充入氣體時(shí)，活塞30朝向吸附后腔12移動(dòng)，此時(shí)彈性件40發(fā)生的形變?yōu)槔煨巫?停止充氣時(shí)，彈性件40回復(fù)至初始狀態(tài)，從而拉動(dòng)活塞遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)。彈性件40設(shè)置在吸附后腔12的情況下，當(dāng)吸附前腔11充入氣體時(shí)，活塞30朝向吸附后腔12移動(dòng)，此時(shí)彈性件40發(fā)生的形變?yōu)閴嚎s形變;停止充氣時(shí)，彈性件40回復(fù)初始狀態(tài)，從而推動(dòng)彈性件40遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)。需要說明的是，當(dāng)彈性件40回復(fù)初始狀態(tài)時(shí)，吸附前腔11內(nèi)的氣體應(yīng)能夠向外排出。
[0029]需要說明的是，所述“彈性件40的一端固定設(shè)置在所述吸附通道內(nèi)”是指，彈性件40的一端在吸附通道內(nèi)的位置是固定的，具體可以采用不同的方式將彈性件40的一端在所述吸附通道。例如，直接將彈性件40的一端固定在吸附通道的內(nèi)壁上;或者，在吸附通道的內(nèi)壁上固定設(shè)置安裝柱，將彈性件40的一端設(shè)置在安裝柱上。
[0030]彈性件40具體可以為彈簧，當(dāng)然，也可以為其他能夠發(fā)生彈性形變并能回復(fù)至初始狀態(tài)的結(jié)構(gòu)。
[0031 ]為了向吸附前腔11內(nèi)充入氣體，以推動(dòng)活塞30朝向吸附后腔12移動(dòng)，具體地，如圖1和圖2所示，所述吸附治具還包括體積可變的按壓件50，按壓件50內(nèi)部形成有空腔51，空腔51與多個(gè)吸附桿10內(nèi)的吸附前腔11均連通，按壓件50由彈性材料制成。在進(jìn)行吸附時(shí)，首先擠壓按壓件50，以使按壓件50內(nèi)的空腔51內(nèi)的空氣流入吸附前腔11，推動(dòng)活塞30朝向吸附后腔12移動(dòng)，從而使得吸附后腔12的體積減小，同時(shí)彈性件40發(fā)生形變;然后，將吸盤20放置在待吸附的器件的表面，并停止擠壓按壓件50，這時(shí)，彈性件40的回復(fù)力帶動(dòng)活塞30遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)，從而使得吸附后腔12的體積變大，產(chǎn)生負(fù)壓，進(jìn)而將待吸附的器件吸附。
[0032]需要說明的是，也可以利用其它充氣結(jié)構(gòu)和方式向吸附前腔11充入氣體，例如，將充氣抽氣栗的氣口與吸附前腔11連通;在進(jìn)行吸附時(shí)，首先利用所述充氣抽氣栗向吸附前腔11充氣，以使得活塞30朝向吸附后腔12移動(dòng)，同時(shí)彈性件40發(fā)生形變;然后利用所述充氣抽氣栗進(jìn)行抽氣，此時(shí)，彈性件40的回復(fù)力帶動(dòng)活塞30遠(yuǎn)離吸附后腔12移動(dòng)，從而使得吸附后腔12的體積變大。
[0033]在本發(fā)明中，如圖1和圖2所示，吸附桿10上還設(shè)置有固定塞60，固定塞60的一部分塞入吸附前腔11，固定塞60上形成有通孔61，所述吸附通道通過通孔61與按壓件50內(nèi)部的空腔51連通。彈性件40的一端固定設(shè)置在固定塞60上。應(yīng)當(dāng)理解的是，彈性件40的一端設(shè)置在固定塞60的未形成通孔61的位置，防止影響通孔61的通氣。
[0034]進(jìn)一步地，如圖1和圖2所示，所述吸附治具還可以包括連接在多個(gè)固定塞60之間的連接件70 ο按壓件50固定在連接件70上，連接件70內(nèi)形成有氣體通道71，每個(gè)固定塞60的通孔61通過氣體通道71與按壓件50內(nèi)的空腔51連通。具體地，連接件70可以為內(nèi)部形成氣體通道的管道。另外，可以將吸盤20設(shè)置在吸附桿10的一端，并將多個(gè)吸附桿10的另一端連接在一起，以便于多個(gè)吸附桿10同時(shí)移動(dòng)。
[0035]優(yōu)選地，在本發(fā)明中，吸附后腔12包括相連通的第一吸附子腔121和第二吸附子腔122。如圖1和圖2所示，第一吸附子腔121位于第二吸附子腔122與分隔件30之間，第二吸附子腔122與吸盤20的氣孔相連通，第一吸附子腔121的直徑大于第二吸附子腔122的直徑。需要說明的是，本發(fā)明中的吸附前腔11、吸附后腔12的第一吸附子腔121和第二吸附子腔122是分隔件位于初始位置時(shí)形成的結(jié)構(gòu)，其中，第一吸附子腔121的直徑可以與吸附前腔11的直徑相同，以便于分隔件的移動(dòng)。如圖2所示，當(dāng)活塞30位于初始位置時(shí)，吸附通道被分為吸附前腔11、第一吸附子腔121和第二吸附子腔122;當(dāng)吸附前腔11充入足夠的氣體時(shí)，第一吸附子腔121的體積為零，S卩，吸附后腔12只剩余第二吸附子腔122。將吸附后腔12分為直徑不同的第一吸附子腔121和第二吸附子腔122的好處在于，當(dāng)向吸附前腔11充氣而使分隔件朝向第二吸附子腔122移動(dòng)一定距離時(shí)，由于第二吸附子腔122的體積較小，內(nèi)部剩余的空氣量較少；因此，當(dāng)分隔件回到初始位置時(shí)，第二吸附子腔122能夠產(chǎn)生更高的真空度，從而增大吸盤20的吸附力。
[0036]可選地，如圖1和圖2所示，吸附桿10包括直立部1a和彎折部10b，直立部1a的一端與彎折部1b的一端相連，吸盤20設(shè)置在直立部1a的另一端，多個(gè)吸盤20的接觸面位于同一平面上。吸附前腔11形成在彎折部1b內(nèi)，吸附后腔12的一部分形成在彎折部1b內(nèi)，吸附后腔12的另一部分形成在直立部1a內(nèi)。即，分隔件在對(duì)應(yīng)于彎折部1b的范圍內(nèi)移動(dòng)，而不會(huì)移動(dòng)至直立部10a，保證分隔件與吸附通道的內(nèi)壁之間的緊密接觸。
[0037]作為本發(fā)明的另一種【具體實(shí)施方式】，分隔件包括彈性膜層(未給出相應(yīng)的附圖)，所述彈性膜層的邊緣固定在吸附通道的內(nèi)壁上。當(dāng)吸附前腔11充入氣體時(shí)，所述彈性膜層的中部能夠朝向吸附后腔12移動(dòng)，以發(fā)生形變;當(dāng)吸附前腔11停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性膜層能夠回復(fù)初始狀態(tài)。具體地，制成所述彈性膜層的材料包括乳膠。該實(shí)施方式和第一種實(shí)施方式的區(qū)別僅在于，分隔件采用彈性膜層，且不使用彈性件，其余結(jié)構(gòu)均可以與第一種實(shí)施方式相同。當(dāng)所述分隔件采用彈性膜層時(shí)，與上述采用活塞30的實(shí)施方式相類似，區(qū)別僅在于彈性膜層是部分移動(dòng)，并通過自身的彈力回復(fù)至初始狀態(tài);具體吸附過程這里不再贅述。
[0038]通過以上描述可以看出，在本發(fā)明中，吸附通道被分隔件分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔和吸附后腔，因此，在吸附過程中，當(dāng)某一個(gè)吸盤發(fā)生漏氣時(shí)，該吸盤的漏氣并不會(huì)對(duì)其他吸附后腔內(nèi)的氣壓產(chǎn)生影響，從而保證器件仍然能夠穩(wěn)定地被吸附治具吸附，減少了器件掉落而破損的發(fā)生。并且，吸附后腔12分為直徑不同的第一吸附子腔121和第二吸附子腔122的結(jié)構(gòu)，能夠使得所述分隔件遠(yuǎn)離吸附后腔移動(dòng)時(shí)，第二吸附子腔122產(chǎn)生更大的真空度，從而增大吸盤20的吸附力。
[0039]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本發(fā)明的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本發(fā)明并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本發(fā)明的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種吸附治具，包括多個(gè)吸附桿，每個(gè)吸附桿上均設(shè)置有吸盤，所述吸盤上形成有氣孔，所述吸附桿內(nèi)形成有吸附通道，所述吸附通道與相應(yīng)吸盤的氣孔連通，其特征在于， 所述吸附通道內(nèi)設(shè)置有分隔件，所述分隔件將所述吸附通道分隔為相互獨(dú)立的吸附前腔和吸附后腔，所述吸盤與相應(yīng)的吸附通道的吸附后腔連通，多個(gè)所述吸附通道的吸附前腔相互連通;所述分隔件的至少一部分能夠朝向或遠(yuǎn)離所述吸附后腔移動(dòng)，以使所述吸附后腔的體積相應(yīng)減小或增大。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附治具，其特征在于，所述分隔件包括可移動(dòng)的活塞;所述吸附通道內(nèi)還設(shè)置有彈性件，所述彈性件的一端固定設(shè)置在所述吸附通道內(nèi)，所述彈性件的另一端與所述活塞相連； 當(dāng)所述吸附前腔充入氣體時(shí)，所述活塞能夠朝向所述吸附后腔移動(dòng)，并使所述彈性件發(fā)生形變;當(dāng)所述吸附前腔內(nèi)停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性件能夠回復(fù)初始狀態(tài)。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸附治具，其特征在于，所述吸附治具還包括體積可變的按壓件，所述按壓件內(nèi)部形成有空腔，所述空腔與多個(gè)吸附桿內(nèi)的吸附前腔均連通，所述按壓件由彈性材料制成。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的吸附治具，其特征在于，所述吸附桿上還設(shè)置有固定塞，所述固定塞的一部分塞入所述吸附前腔，所述固定塞上形成有通孔，所述吸附通道通過所述通孔與所述按壓件內(nèi)部的空腔連通;所述彈性件的一端固定設(shè)置在所述固定塞上。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的吸附治具，其特征在于，所述吸附治具還包括連接在多個(gè)固定塞之間的連接件，所述按壓件固定在所述連接件上，所述連接件內(nèi)形成有氣體通道，每個(gè)固定塞的通孔通過所述氣體通道與所述按壓件內(nèi)的空腔連通。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的吸附治具，其特征在于，所述彈性件包括彈簧。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的吸附治具，其特征在于，所述分隔件包括彈性膜層，所述彈性膜層的邊緣固定在所述吸附通道的內(nèi)壁上； 當(dāng)所述吸附前腔充入氣體時(shí)，所述彈性膜層的中部能夠朝向所述吸附后腔移動(dòng)，以發(fā)生形變;當(dāng)所述吸附前腔停止充氣時(shí)，發(fā)生形變的彈性膜層能夠回復(fù)初始狀態(tài)。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的吸附治具，其特征在于，制成所述彈性膜層的材料包括乳膠。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的吸附治具，其特征在于，所述吸附后腔包括相連通的第一吸附子腔和第二吸附子腔，所述第一吸附子腔位于第二吸附子腔與所述分隔件之間，所述第二吸附子腔與所述吸盤的氣孔相連通，所述第一吸附子腔的直徑大于所述第二吸附子腔的直徑。10.根據(jù)權(quán)利要求1至8中任意一項(xiàng)所述的吸附治具，其特征在于，所述吸附桿包括直立部和彎折部，所述直立部的一端與所述彎折部的一端相連，所述吸盤設(shè)置在所述直立部的另一端，多個(gè)所述吸盤的接觸面位于同一平面上;所述吸附前腔形成在所述彎折部?jī)?nèi)，所述吸附后腔的一部分形成在所述彎折部?jī)?nèi)，所述吸附后腔的另一部分形成在所述直立部?jī)?nèi)。
【文檔編號(hào)】H01L21/683GK106057721SQ201610580550
【公開日】2016年10月26日
【申請(qǐng)日】2016年7月21日 公開號(hào)201610580550.4, CN 106057721 A, CN 106057721A, CN 201610580550, CN-A-106057721, CN106057721 A, CN106057721A, CN201610580550, CN201610580550.4
【發(fā)明人】蔣展望, 金磊, 李銀海, 吳聰
【申請(qǐng)人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 合肥京東方光電科技有限公司