一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其包括第一手動閥等，第一手動閥和第二手動閥都與氮氣罐連接，第一氣動閥連接于第一手動閥下方，第二氣動閥連接于第一手動閥下方，氮氣加熱管的兩端分別與第一氣動閥和噴淋管相連，第二流量計的兩端分別與第二氣動閥和噴淋管相連，第一流量計與噴淋管相連，第三氣動閥的兩端分別與第三手動閥和第一流量計相連，臭氧發(fā)生機和氧氣罐相連且位于第三手動閥上方，抽風(fēng)機的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機連接，第一流量計、噴淋管、第二流量計都位于甩干機內(nèi)。本發(fā)明解決了臭氧外泄問題，使氧化層更加均勻，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。
【專利說明】
一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種臭氧噴淋系統(tǒng)，特別是涉及一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，刻蝕后氧化采用的傳統(tǒng)臭氧方式是一個常規(guī)工藝，但傳統(tǒng)的臭氧方式穩(wěn)定性較差，受環(huán)境影響較大。由于臭氧噴淋板是半封閉狀態(tài)，設(shè)備抽風(fēng)和環(huán)境負(fù)壓都會對臭氧效果造成影響。
[0003]針對傳統(tǒng)臭氧方式的不足，提出設(shè)計一種新的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，以減小環(huán)境對氧化層的影響，充分發(fā)揮氧化層的最大化優(yōu)勢。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，不但可以有效解決臭氧外泄問題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。
[0005]本發(fā)明是通過下述技術(shù)方案來解決上述技術(shù)問題的:一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，其包括第一手動閥、第一氣動閥、第二手動閥、第二氣動閥、第三手動閥、第三氣動閥、第一流量計、噴淋管、第二流量計、氮氣加熱管、甩干機、抽風(fēng)機、出風(fēng)口、氧氣罐、氮氣罐、臭氧發(fā)生機，第一手動閥和第二手動閥都與氮氣罐連接，第一氣動閥連接于第一手動閥下方，第二氣動閥連接于第一手動閥下方，氮氣加熱管的兩端分別與第一氣動閥和噴淋管相連，第二流量計的兩端分別與第二氣動閥和噴淋管相連，第一流量計與噴淋管相連，第三氣動閥的兩端分別與第三手動閥和第一流量計相連，臭氧發(fā)生機和氧氣罐相連且位于第三手動閥上方，抽風(fēng)機的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機連接，第一流量計、噴淋管、第二流量計都位于甩干機內(nèi)。
[0006]優(yōu)選地，所述噴淋管貼有膠帶。
[0007]優(yōu)選地，所述清洗機貼有膠帶。
[0008]優(yōu)選地，所述甩干機的形狀為長方體。
[0009]本發(fā)明的積極進步效果在于:本發(fā)明不但可以有效解決臭氧外泄問題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率，結(jié)構(gòu)簡單，成本低。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)的原理框圖。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實施例，以詳細(xì)說明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0012]如圖1所示，本發(fā)明封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)包括第一手動閥1、第一氣動閥2、第二手動閥3、第二氣動閥4、第三手動閥5、第三氣動閥6、第一流量計7、噴淋管8、第二流量計9、氮氣加熱管10、甩干機11、抽風(fēng)機12、出風(fēng)口 13、氧氣罐14、氮氣罐15、臭氧發(fā)生機16，第一手動閥I和第二手動閥3都與氮氣罐15連接，第一氣動閥2連接于第一手動閥I下方，第二氣動閥4連接于第一手動閥3下方，氮氣加熱管10的兩端分別與第一氣動閥2和噴淋管8相連，第二流量計9的兩端分別與第二氣動閥4和噴淋管8相連，第一流量計7與噴淋管8相連，第三氣動閥6的兩端分別與第三手動閥5和第一流量計7相連，臭氧發(fā)生機16和氧氣罐14相連且位于第三手動閥5上方，抽風(fēng)機12的兩端分別與出風(fēng)口 13、甩干機11連接，第一流量計7、噴淋管8、第二流量計9都位于用干機11內(nèi)。
[0013]本發(fā)明的工作原理如下:第一氣動閥、第二氣動閥、第三氣動閥都有專門的氣動控制口，當(dāng)有氣信號輸入可以執(zhí)行指令。第一手動閥、第二手動閥、第三手動閥都可以手動控制，當(dāng)出現(xiàn)意外情況時，可以人為控制。進氣口與抽風(fēng)機同時運行，使甩干機腔體壓力穩(wěn)定。氮氣罐為設(shè)備輸送氮氣，氧氣罐為設(shè)備輸送氧氣，流量計可以測量流量。甩干機利用離心率將物體變干燥，出風(fēng)口使得氣體由專門排放的地方，氮氣加熱管可以加熱氮氣。
[0014]硅片放入甩干機內(nèi)，關(guān)閉甩干機蓋板，電機轉(zhuǎn)動進行甩干同時第一氣動閥打開進行氮氣清洗硅片。甩干完成后第一氣動閥關(guān)閉，第三氣動閥和第二氣動閥同時打開混合后，氣體進入甩干機腔體，臭氧的作用是在硅片表面形成氧化層，氮氣作為平衡氣體使腔體內(nèi)氣體更加均勻，更好的與硅片接觸，在甩干和臭氧通入的整個過程抽風(fēng)機是處于工作狀態(tài)。氧化層生成后，第三氣動閥和第二氣動閥關(guān)閉，隨后第一氣動閥打開進行清洗，主要目的稀釋臭氧并進行抽風(fēng)，確保在甩干機打開蓋板的時候沒有臭氧味道。過程完成后抽風(fēng)機停止抽風(fēng)，取出硅片并進行親水性測試。
[0015]噴淋管貼有膠帶，這樣可以防止環(huán)境負(fù)壓對臭氧的影響。氮氣加熱管針對的對象是硅片，這樣可以使硅片表面更加清潔，氧化層更加容易生成。甩干機的形狀為長方體，這樣更加節(jié)省材料，減少體積。
[0016]綜上所述，本發(fā)明采用的是全封閉式的臭氧氧化方式，不但可以有效解決臭氧外泄問題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，封閉式臭氧噴淋使生產(chǎn)環(huán)境更加安全，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明采用對硅片進行加熱氮氣預(yù)清洗，使硅片表面更加清潔，使氧化層更容易生成。本發(fā)明采用進氣與主動抽風(fēng)方式同時進行，使甩干機腔體壓力穩(wěn)定。
[0017]以上所述的具體實施例，對本發(fā)明的解決的技術(shù)問題、技術(shù)方案和有益效果進行了進一步詳細(xì)說明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，其包括第一手動閥、第一氣動閥、第二手動閥、第二氣動閥、第三手動閥、第三氣動閥、第一流量計、噴淋管、第二流量計、氮氣加熱管、甩干機、抽風(fēng)機、出風(fēng)口、氧氣罐、氮氣罐、臭氧發(fā)生機，第一手動閥和第二手動閥都與氮氣罐連接，第一氣動閥連接于第一手動閥下方，第二氣動閥連接于第一手動閥下方，氮氣加熱管的兩端分別與第一氣動閥和噴淋管相連，第二流量計的兩端分別與第二氣動閥和噴淋管相連，第一流量計與噴淋管相連，第三氣動閥的兩端分別與第三手動閥和第一流量計相連，臭氧發(fā)生機和氧氣罐相連且位于第三手動閥上方，抽風(fēng)機的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機連接，第一流量計、噴淋管、第二流量計都位于甩干機內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述噴淋管貼有膠帶。3.如權(quán)利要求1所述的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述甩干機的形狀為長方體。
【文檔編號】H01L21/67GK106098597SQ201610574943
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年7月14日
【發(fā)明人】常宇峰, 王亞豪, 龐國峰, 張亦平
【申請人】江蘇永能光伏科技有限公司