一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器。
【背景技術(shù)】
[0002]低溫等離子體是在常溫下發(fā)生的等離子體(雖然電子的溫度很高)，低溫等離子體可以被用于氧化、變性等表面處理或者在有機(jī)物和無機(jī)物上進(jìn)行沉淀涂層處理。現(xiàn)有的等離子體反應(yīng)器結(jié)構(gòu)復(fù)雜，價(jià)格高昂，而且操作麻煩，導(dǎo)致企業(yè)、學(xué)校等單位經(jīng)費(fèi)緊張，更要對操作人員進(jìn)行培訓(xùn)，費(fèi)時(shí)耗力。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型針對上述現(xiàn)有技術(shù)存在的問題做出改進(jìn)，即本實(shí)用新型所要解決的技術(shù)問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、適用性好的簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器。
[0004]為了解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型的技術(shù)方案是:一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，包括橫置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端連接有進(jìn)氣總管，所述進(jìn)氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應(yīng)氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進(jìn)氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內(nèi)靠近線圈區(qū)域?yàn)檩x光放電區(qū)，遠(yuǎn)離線圈區(qū)域?yàn)楦男苑磻?yīng)區(qū)，所述改性反應(yīng)區(qū)內(nèi)置有待改性樣品。
[0005]進(jìn)一步的，所述待改性樣品置于樣品臺上，所述樣品臺與可動(dòng)支架栓接，所述可動(dòng)支架置于鐵架臺并沿鐵架臺上下升降。
[0006]進(jìn)一步的，所述第一支管和第二支管沿其進(jìn)氣方向上均依次設(shè)置有流量計(jì)和針閥。
[0007]進(jìn)一步的，所述水冷紫銅管上設(shè)有水冷循環(huán)機(jī)。
[0008]進(jìn)一步的，所述線圈經(jīng)匹配網(wǎng)絡(luò)與射頻電源相連接。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型具有以下有益效果:本實(shí)用新型不僅能夠產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體對待改性產(chǎn)品進(jìn)行改性，適合在常溫常壓下對各種實(shí)驗(yàn)所需等離子進(jìn)行科學(xué)實(shí)驗(yàn)方面的初步探索，而且用材簡單，價(jià)格低廉，適用性好，便于推廣。
[0010]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對本實(shí)用新型做進(jìn)一步詳細(xì)的說明。
【附圖說明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型實(shí)施例的構(gòu)造示意圖。
[0012]圖中:1-石英玻璃管，2-進(jìn)氣總管，21-第一支管，22-第二支管，3-線圈，4-水冷紫銅管，5-輝光放電區(qū)，6-改性反應(yīng)區(qū)，7-待改性樣品，8-密封塞，9-壓力表，10-樣品臺，11-可動(dòng)支架，12-鐵架臺，13-流量計(jì)，14-針閥，15-水冷循環(huán)機(jī)，16-匹配網(wǎng)絡(luò)，17-射頻電源。
【具體實(shí)施方式】
[0013]如圖1所示，一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，包括橫置的石英玻璃管1，所述石英玻璃管I的一端連接有進(jìn)氣總管2，所述進(jìn)氣總管2分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管21和引入反應(yīng)氣體的第二支管22，所述石英玻璃管I靠近進(jìn)氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈3與水冷紫銅管4，所述石英玻璃管I內(nèi)靠近線圈3區(qū)域?yàn)檩x光放電區(qū)5，遠(yuǎn)離線圈3區(qū)域?yàn)楦男苑磻?yīng)區(qū)6，所述改性反應(yīng)區(qū)6內(nèi)置有待改性樣品7。優(yōu)選的，所述惰性氣體為氬氣。
[0014]在本實(shí)施例中，石英玻璃管I的另一端設(shè)有密封塞8，當(dāng)石英玻璃管I內(nèi)反應(yīng)完全后，打開密封塞8，排出氣體；所述石英玻璃管I上設(shè)有用于測量管內(nèi)壓力的壓力表9，避免管內(nèi)壓力超過一個(gè)大氣壓而爆裂，此時(shí)石英玻璃管I內(nèi)的壓力為常壓。當(dāng)然，石英玻璃管I的另一端也可以不設(shè)密封塞8。
[0015]在本實(shí)施例中，所述待改性樣品7置于樣品臺10上，所述樣品臺10傾斜設(shè)置在石英玻璃管I的改性反應(yīng)區(qū)6內(nèi)，所述樣品臺10與可動(dòng)支架11栓接，所述可動(dòng)支架11橫置于鐵架臺12上并沿鐵架臺12上下升降，通過左右移動(dòng)鐵架臺12、上下升降可動(dòng)支架11將待改性樣品7置于最佳位置；通過轉(zhuǎn)動(dòng)樣品臺10從而將待改性樣品7置于適宜角度，所述角度范圍為1(Γ30度，優(yōu)選15度，所采用角度避免樣品從樣品臺10滑落。
[0016]在本實(shí)施例中，所述第一支管21和第二支管22沿其進(jìn)氣方向上均依次設(shè)置有流量計(jì)13和針閥14，通過流量計(jì)13和針閥14便于控制進(jìn)入進(jìn)氣總管2的氬氣、反應(yīng)氣體的量。
[0017]在本實(shí)施例中，所述水冷紫銅管4上設(shè)有水冷循環(huán)機(jī)15，通過水冷循環(huán)機(jī)15使得冷卻水得以循環(huán)利用，提高冷卻水的利用率；通過水冷紫銅管4內(nèi)流通的冷卻水不斷對石英玻璃管1、線圈3進(jìn)行冷卻，其中線圈3外部包裹有用于絕緣的皮管；纏繞在石英玻璃管I外周壁的水冷紫銅管4使得石英玻璃管I冷卻均勻，避免石英玻璃管I冷卻不均引起破裂；水冷紫銅管4與線圈3并列交叉，加速線圈3的散熱，延緩皮管老化。
[0018]在本實(shí)施例中，線圈3經(jīng)匹配網(wǎng)絡(luò)16與射頻電源17相連接。
[0019]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例，凡依本實(shí)用新型申請專利范圍所做的均等變化與修飾，皆應(yīng)屬本實(shí)用新型的涵蓋范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，包括橫置的石英玻璃管，其特征在于:所述石英玻璃管的一端連接有進(jìn)氣總管，所述進(jìn)氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應(yīng)氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進(jìn)氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內(nèi)靠近線圈區(qū)域?yàn)檩x光放電區(qū)，遠(yuǎn)離線圈區(qū)域?yàn)楦男苑磻?yīng)區(qū)，所述改性反應(yīng)區(qū)內(nèi)置有待改性樣品。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，其特征在于:所述待改性樣品置于樣品臺上，所述樣品臺與可動(dòng)支架栓接，所述可動(dòng)支架置于鐵架臺并沿鐵架臺上下升降。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，其特征在于:所述第一支管和第二支管沿其進(jìn)氣方向上均依次設(shè)置有流量計(jì)和針閥。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，其特征在于:所述水冷紫銅管上設(shè)有水冷循環(huán)機(jī)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，其特征在于:所述線圈經(jīng)匹配網(wǎng)絡(luò)與射頻電源相連接。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種簡易常壓低溫射頻等離子體反應(yīng)器，包括橫置的石英玻璃管，所述石英玻璃管的一端連接有進(jìn)氣總管，所述進(jìn)氣總管分別連接有用于引入惰性氣體的第一支管和引入反應(yīng)氣體的第二支管，所述石英玻璃管靠近進(jìn)氣端的外周壁上交叉纏繞有線圈與水冷紫銅管，所述石英玻璃管內(nèi)靠近線圈區(qū)域?yàn)檩x光放電區(qū)，遠(yuǎn)離線圈區(qū)域?yàn)楦男苑磻?yīng)區(qū)，所述改性反應(yīng)區(qū)內(nèi)置有待改性樣品。本實(shí)用新型不僅能夠產(chǎn)生等離子體，并利用等離子體對待改性產(chǎn)品進(jìn)行改性，而且用材簡單，價(jià)格低廉，適合在常溫常壓下使用，適用性好，便于推廣。
【IPC分類】H01J37-32
【公開號】CN204289365
【申請?zhí)枴緾N201420713723
【發(fā)明人】高松華, 高立華, 陳禮煒
【申請人】三明學(xué)院
【公開日】2015年4月22日
【申請日】2014年11月25日