單面研磨機(jī)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，特別是一種適用于銅拋的單面研磨機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]在進(jìn)行單面研磨時(shí)，所選用的銅定盤表面加工有螺旋狀槽，通過螺旋槽來排出金剛砂研磨液，通常槽的深度為0.15毫米到0.2毫米。如果通過一次性加工開槽的話，通常會(huì)因?yàn)樨?fù)載過重而造成定盤損傷。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]本實(shí)用新型的目的在于提供一種能夠防止開槽時(shí)銅定盤的損傷的單面研磨機(jī)。
[0004]為解決上述技術(shù)問題，本實(shí)用新型單面研磨機(jī)，包括:銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接；監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。
[0005]所述監(jiān)測(cè)器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測(cè)編碼器。
[0006]本實(shí)用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測(cè)編碼器，以實(shí)現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時(shí)銅定盤的損傷。
【附圖說明】
[0007]圖1為本實(shí)用新型單面研磨機(jī)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]本實(shí)用新型單面研磨機(jī)附圖中附圖標(biāo)記說明:
[0009]1-銅定盤2-轉(zhuǎn)軸 3-原點(diǎn)傳感器
[0010]4_角度檢測(cè)編碼器5_修面機(jī) 6_刀具
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本實(shí)用新型單面研磨機(jī)作進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0012]如圖1所示，本實(shí)用新型單面研磨機(jī)，在銅定盤I旋轉(zhuǎn)軸2上設(shè)置角度檢測(cè)編碼器4并同時(shí)增加基準(zhǔn)板。在銅定盤I旋轉(zhuǎn)軸2外側(cè)設(shè)置原點(diǎn)傳感器3，感應(yīng)出基準(zhǔn)板位置以定位原點(diǎn)。
[0013]開槽時(shí)，讓修面機(jī)5移動(dòng)到加工開始位置，旋轉(zhuǎn)銅定盤I讓其停在原點(diǎn)位置，。另夕卜，為防止速度波動(dòng)導(dǎo)致槽距偏差，通過角度檢測(cè)編碼器4監(jiān)視銅定盤I速度，必要時(shí)調(diào)整修面機(jī)5的送出速度，第一次加工完成后，讓修面機(jī)5和銅定盤I移動(dòng)到加工開始位置，減小修面機(jī)5的刀具6的加工量，再次開始加工。通過減小單次加工量，重復(fù)以上動(dòng)作分多次加工的方式，能夠防止損傷并開出較深的溝槽。
[0014]本實(shí)用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測(cè)編碼器，以實(shí)現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時(shí)銅定盤的損傷。
[0015]以上已對(duì)本實(shí)用新型創(chuàng)造的較佳實(shí)施例進(jìn)行了具體說明，但本實(shí)用新型創(chuàng)造并不限于所述實(shí)施例，熟悉本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不違背本發(fā)明創(chuàng)造精神的前提下還可作出種種的等同的變型或替換，這些等同的變型或替換均包含在本申請(qǐng)權(quán)利要求所限定的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.單面研磨機(jī)，其特征在于，包括: 銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接； 監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上； 修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的單面研磨機(jī)，其特征在于，所述監(jiān)測(cè)器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測(cè)編碼器。
【專利摘要】本實(shí)用新型單面研磨機(jī)，包括：銅定盤，在所述銅定盤的底部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，所述轉(zhuǎn)軸與變頻器馬達(dá)連接；監(jiān)測(cè)器，所述監(jiān)測(cè)器設(shè)置在所述轉(zhuǎn)軸上；修面機(jī)，在所述修面機(jī)的一端連接有刀具，所述刀具位于所述銅定盤的上方。所述監(jiān)測(cè)器為原點(diǎn)傳感器及角度檢測(cè)編碼器。本實(shí)用新型單面研磨機(jī)增加了原點(diǎn)傳感器和角度檢測(cè)編碼器，以實(shí)現(xiàn)定位定角度功能。每次開槽加工前，讓開槽加工的位置每次都保持相同，減少第一次開槽深度，分?jǐn)?shù)次加工，這樣能夠防止開槽時(shí)銅定盤的損傷。
【IPC分類】H01L21-67
【公開號(hào)】CN204361057
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420745413
【發(fā)明人】郡司拓, 賀賢漢
【申請(qǐng)人】上海漢虹精密機(jī)械有限公司
【公開日】2015年5月27日
【申請(qǐng)日】2014年12月2日