防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)的制作方法
【專利說明】
[0001]技術(shù)領(lǐng)域:
[0002]本實用新型涉及一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，屬于機械技術(shù)領(lǐng)域。
[0003]【背景技術(shù)】:
[0004]目前在太陽能電池的刻蝕下料處安裝臭氧氧化設(shè)備，用于生長氧化膜以便實現(xiàn)組件的抗PID效果，但是現(xiàn)有的臭氧噴淋設(shè)備存在以下弊端:設(shè)備采用開放式模式，臭氧除與設(shè)備下方的硅片發(fā)生反應(yīng)外，多余的臭氧很容易擴散至其他地方，繼續(xù)與前方和后方的硅片發(fā)生反應(yīng)，產(chǎn)生厚度不均的氧化膜的生長，并且會擴散至其他區(qū)域影響操作人員的健康，并造成了極大的環(huán)境污染。
[0005]
【發(fā)明內(nèi)容】
:
[0006]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是，提供一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，通過對設(shè)備進行改進，在設(shè)備前方和后方增加氣幕，以隔絕臭氧氣體的擴散，在設(shè)備上方和下方增加抽風(fēng)裝置，以阻止多余氣體的擴散。
[0007]為了解決上述技術(shù)問題，本實用新型是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的:一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，包括有底座。
[0008]為了方便硅片運行，進一步地，所述底座上等距間隔分布有多個傳動滾輪。
[0009]為了增加硅片的使用效果，再進一步地，所述底座上方還設(shè)置有臭氧發(fā)生器，所述臭氧發(fā)生器安裝于上支架上。
[0010]為了能夠方便固定臭氧發(fā)生器，再進一步地，所述上支架上設(shè)置有內(nèi)部中空的臭氧發(fā)生器安裝槽。
[0011]為了能夠使臭氧通到外面，再進一步地，所述安裝槽的底部設(shè)置有多個圓形通氣孔。
[0012]為了防止臭氧前后擴散，再進一步地，所述安裝槽的左右兩邊設(shè)置有氮氣阻擋槽，所述氮氣阻擋槽的底部設(shè)置有多個圓形通孔。
[0013]為了防止廢氣擴散到空氣中，再進一步地，所述上支架的左右兩邊設(shè)置有多個排氣通孔，所述排氣通孔上設(shè)置有排氣管，所述上支架的底面設(shè)置有支撐柱，所述臭氧發(fā)生器上設(shè)置有進氣管，所述底座上設(shè)置有多個廢氣排氣通孔，所述底部排氣通孔上設(shè)置有廢氣排氣罩。
[0014]為了能夠固定上支架，更進一步地，所述底座的側(cè)邊設(shè)置有支撐板，所述支撐板上設(shè)置有支撐柱安裝槽，所述支撐板的側(cè)邊設(shè)置有豎直擋板。
[0015]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的有益之處是:通過對設(shè)備進行改進，在設(shè)備前方和后方增加氣幕，以隔絕臭氧氣體的擴散，在設(shè)備上方和下方增加抽風(fēng)裝置，以阻止多余氣體的擴散，通過這樣的改進，有效的阻止了臭氧的擴散，從而有效的提高了操作的安全性及產(chǎn)品的合格率，并有效的降低了空氣的污染。
[0016]【附圖說明】:
[0017]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。
[0018]圖1是本實用新型的總裝配體軸測圖。
[0019]圖2是本實用新型的底座的軸測圖。
[0020]圖3是本實用新型的上支架的軸測圖。
[0021]圖中:1、底座；2、傳動滾輪；3、臭氧發(fā)生器；4、上支架；5、安裝槽；6、圓形通氣孔；7、氮氣阻擋槽；8、圓形通孔；9、排氣通孔；10、排氣管；11、支撐柱；12、進氣管；13、支撐板；14、支撐柱安裝槽；15、豎直擋板；16、廢氣排氣通孔；17、廢氣排氣罩。
[0022]【具體實施方式】:
[0023]下面結(jié)合附圖及【具體實施方式】對本實用新型進行詳細描述:根據(jù)圖1、圖2和圖3所述的一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，包括有底座1，所述底座I上等距間隔分布有多個傳動滾輪2，所述底座I上方還設(shè)置有臭氧發(fā)生器3，所述臭氧發(fā)生器3安裝于上支架4上，所述上支架4上設(shè)置有內(nèi)部中空的臭氧發(fā)生器安裝槽5，所述安裝槽5的底部設(shè)置有多個圓形通氣孔6，所述安裝槽5的左右兩邊設(shè)置有氮氣阻擋槽7，所述氮氣阻擋槽7的底部設(shè)置有多個圓形通孔8，所述上支架4的左右兩邊設(shè)置有多個排氣通孔9，所述排氣通孔9上設(shè)置有排氣管10，所述上支架4的底面設(shè)置有支撐柱11，所述臭氧發(fā)生器3上設(shè)置有進氣管12，所述底座I的側(cè)邊設(shè)置有支撐板13，所述支撐板13上設(shè)置有支撐柱安裝槽14，所述支撐板13的側(cè)邊設(shè)置有豎直擋板15，所述底座I上設(shè)置有多個廢氣排氣通孔16，所述廢氣排氣通孔16上設(shè)置有廢氣排氣罩17。
[0024]使用時，啟動設(shè)備，將傳動滾輪2運轉(zhuǎn)起來，將硅片放置到傳動滾輪2上，傳動滾輪2將硅片運送到臭氧發(fā)生器3的底部，臭氧發(fā)生器3開始運行，產(chǎn)生臭氧從圓形通氣孔6中出來跟硅片進行反應(yīng)，同時從氮氣阻擋槽7排出氮氣，所述氮氣從圓形通孔8中出來，從而形成了氣幕，阻擋了臭氧從設(shè)備的左右兩端逸出，為了將產(chǎn)生的廢氣及時排走，同時打開廢氣排氣罩17和排氣管10，從而不會使產(chǎn)生的臭氧逸出污染空氣。
[0025]需要強調(diào)的是:以上僅是本實用新型的較佳實施例而已，并非對本實用新型作任何形式上的限制，凡是依據(jù)本實用新型的技術(shù)實質(zhì)對以上實施例所作的任何簡單修改、等同變化與修飾，均仍屬于本實用新型技術(shù)方案的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，包括有底座(I )，所述底座(I)上等距間隔分布有多個傳動滾輪(2)，所述底座(I)上方還設(shè)置有臭氧發(fā)生器(3)，所述臭氧發(fā)生器(3)安裝于上支架(4)上，其特征在于:所述上支架(4)上設(shè)置有內(nèi)部中空的臭氧發(fā)生器安裝槽(5)，所述安裝槽(5)的底部設(shè)置有多個圓形通氣孔(6)，所述安裝槽(5)的左右兩邊設(shè)置有氮氣阻擋槽(7)，所述氮氣阻擋槽(7)的底部設(shè)置有多個圓形通孔(8)，所述上支架(4)的左右兩邊設(shè)置有多個排氣通孔(9)，所述排氣通孔(9)上設(shè)置有排氣管(10)，所述上支架(4)的底面設(shè)置有支撐柱(11)，所述臭氧發(fā)生器(3 )上設(shè)置有進氣管(12)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底座(I)的側(cè)邊設(shè)置有支撐板(13)，所述支撐板(13)上設(shè)置有支撐柱安裝槽(14)，所述支撐板(13)的側(cè)邊設(shè)置有豎直擋板(15)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述底座(I)上設(shè)置有多個廢氣排氣通孔(16)，所述廢氣排氣通孔(16)上設(shè)置有廢氣排氣罩(17)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種防臭氧擴散保護結(jié)構(gòu)，包括有底座，所述底座上方還設(shè)置有臭氧發(fā)生器，所述臭氧發(fā)生器安裝于上支架上，所述上支架上設(shè)置有內(nèi)部中空的臭氧發(fā)生器安裝槽，所述安裝槽的左右兩邊設(shè)置有氮氣阻擋槽，所述氮氣阻擋槽的底部設(shè)置有多個圓形通孔，所述上支架的底面設(shè)置有支撐柱，所述底部排氣通孔上設(shè)置有廢氣排氣罩。本實用新型的有益之處是：通過對設(shè)備進行改進，在設(shè)備前方和后方增加氣幕，以隔絕臭氧氣體的擴散，在設(shè)備上方和下方增加抽風(fēng)裝置，以阻止多余氣體的擴散，通過這樣的改進，有效的阻止了臭氧的擴散，從而有效的提高了操作的安全性及產(chǎn)品的合格率，并有效的降低了空氣的污染。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號】CN204391141
【申請?zhí)枴緾N201520066251
【發(fā)明人】魯偉明, 費存勇, 李省, 初仁龍
【申請人】泰州德通電氣有限公司
【公開日】2015年6月10日
【申請日】2015年1月30日