一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，屬于太陽(yáng)能光伏技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]近年來，太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步，生產(chǎn)成本不斷降低，轉(zhuǎn)換效率不斷提高，使得光伏發(fā)電的應(yīng)用日益普及并迅猛發(fā)展，逐漸成為電力供應(yīng)的重要來源。
[0003]太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)工藝主要包括:制絨、擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、印刷和燒結(jié)等。其中，刻蝕工序的作用去掉硅片背面和硅片側(cè)面的PN結(jié)，達(dá)到正面與背面絕緣的目的。目前，RENA設(shè)備是一種常用的濕法刻蝕設(shè)備。這種設(shè)備基本結(jié)構(gòu)為:刻蝕槽-水噴淋槽-堿槽-水噴淋槽-去PSG槽-水噴淋槽-吹干。該設(shè)備在使用過程中表現(xiàn)出許多優(yōu)異的性能。然而，目前RENA刻蝕設(shè)備在生產(chǎn)應(yīng)用中，常會(huì)出現(xiàn)刻蝕槽蓋板出現(xiàn)水汽凝結(jié)的現(xiàn)象，它主要由于刻蝕槽后的水噴淋槽在噴淋過程中會(huì)形成大量水汽，進(jìn)入到刻蝕槽中。而槽體蓋板的溫度是受車間的溫度控制的，低于進(jìn)入槽體內(nèi)的水蒸氣的溫度，當(dāng)水蒸氣遇到溫度較低的蓋板時(shí)就發(fā)生凝結(jié)。凝結(jié)的液滴會(huì)滴落在正在生產(chǎn)流通的硅片表面上，與硅片上發(fā)生腐蝕反應(yīng)，導(dǎo)致硅片的外觀不良甚至片子的PN結(jié)被破壞，造成產(chǎn)量下降和成本浪費(fèi)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本實(shí)用新型的目的是提供一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，蓋板設(shè)計(jì)為中空結(jié)構(gòu)，并在其內(nèi)部安裝有加熱器，該結(jié)構(gòu)可以有效控制蓋板的溫度，能夠防止水汽在蓋板下表面凝結(jié)，從而避免了由于液滴滴落在硅片上而造成的返工，減少成本浪費(fèi)，提高了經(jīng)濟(jì)效益。
[0005]一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，包括蓋板頂層，蓋板底層，蓋板側(cè)壁，加熱器，加熱器保護(hù)材料，溫度傳感器，溫度控制器；蓋板頂層、蓋板底層和蓋板側(cè)壁組合成中空蓋板結(jié)構(gòu)，加熱器安裝在蓋板中空位置，加熱器外圍包裹有加熱器保護(hù)材料，蓋板中心安裝有溫度傳感器，加熱器及溫度傳感器由導(dǎo)線連接至溫度控制器。
[0006]一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，加熱器外包裹有耐高溫和耐腐蝕保護(hù)材料，材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0007]一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，所述溫度傳感器為熱電偶，安裝在蓋板底層的中心位置，其熱電偶測(cè)溫點(diǎn)位置離蓋板底層0.5-lcmo
[0008]一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，溫度控制器可控溫度范圍0_100°C。
[0009]本實(shí)用新型的有益效果是:能夠防止水汽在蓋板下表面凝結(jié)，從而避免了由于液滴滴落在硅片上而造成的返工，減少了成本的浪費(fèi)，其設(shè)計(jì)經(jīng)濟(jì)環(huán)保，且易于實(shí)現(xiàn)。
【附圖說明】
[0010]圖1:本實(shí)用新型蓋板結(jié)構(gòu)的主視圖。
[0011]圖2:本實(shí)用新型蓋板結(jié)構(gòu)的一種俯視圖。
[0012]圖3:本實(shí)用新型蓋板結(jié)構(gòu)的另一種俯視圖。
[0013]附圖標(biāo)記:蓋板頂層1、蓋板底層2、蓋板側(cè)壁3、加熱器4、加熱器保護(hù)材料5、溫度傳感器6、溫度控制器7。
【具體實(shí)施方式】
[0014]實(shí)施例1:
[0015]一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括蓋板頂層1，蓋板底層2，蓋板側(cè)壁3，加熱器4，加熱器保護(hù)材料5，溫度傳感器6，溫度控制器7 ;蓋板頂層1、蓋板底層2和蓋板側(cè)壁3組合成中空蓋板結(jié)構(gòu)，加熱器4安裝在蓋板中空位置，加熱器外圍包裹有加熱器保護(hù)材料5，蓋板中心安裝有溫度傳感器6，加熱器4及溫度傳感器6由導(dǎo)線連接至溫度控制器7。
[0016]實(shí)施例2:
[0017]加熱器外包裹有耐高溫和耐腐蝕保護(hù)材料5，材質(zhì)為聚四氟乙烯。
[0018]其余同實(shí)施例1。
[0019]實(shí)施例3:
[0020]溫度傳感器6為熱電偶，安裝在蓋板底層2的中心位置，其熱電偶測(cè)溫點(diǎn)位置離蓋板底層0.5-lcmo
[0021]其余同實(shí)施例1或2。
[0022]實(shí)施例4:
[0023]溫度控制器7可控溫度范圍0_100°C。
[0024]其余同實(shí)施例1或2或3。
[0025]以上所述實(shí)施例僅表達(dá)了本實(shí)用新型的幾種實(shí)施方式，其描述較為具體和詳細(xì)，但并不能因此而理解為對(duì)本實(shí)用新型專利范圍的限制。應(yīng)當(dāng)指出的是，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本實(shí)用新型構(gòu)思的前提下，還可以做出若干變形和改進(jìn)，這些都屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。因此，本實(shí)用新型專利的保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:包括蓋板頂層(1)，蓋板底層(2)，蓋板側(cè)壁(3)，加熱器(4)，加熱器保護(hù)材料(5)，溫度傳感器(6)，溫度控制器(7);蓋板頂層(1)、蓋板底層(2)和蓋板側(cè)壁(3)組合成中空蓋板結(jié)構(gòu)，加熱器(4)安裝在蓋板中空位置，加熱器外圍包裹有加熱器保護(hù)材料(5)，蓋板中心安裝有溫度傳感器(6)，加熱器(4)及溫度傳感器(6)由導(dǎo)線連接至溫度控制器(7)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:加熱器外包裹有耐高溫和耐腐蝕保護(hù)材料(5)，材質(zhì)為聚四氟乙烯。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:所述溫度傳感器(6)為熱電偶，安裝在蓋板底層(2)的中心位置，其熱電偶測(cè)溫點(diǎn)位置離蓋板底層0.5_lcm0
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)，其特征在于:溫度控制器(7)可控溫度范圍0-100°C。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種改善刻蝕槽滴液的蓋板結(jié)構(gòu)。包括蓋板頂層，蓋板底層，蓋板側(cè)壁，加熱器，加熱器保護(hù)材料，溫度傳感器，溫度控制器，其特征在于，蓋板設(shè)計(jì)為中空結(jié)構(gòu)，并在其內(nèi)部安裝有加熱器，該結(jié)構(gòu)可以有效控制蓋板的溫度，能夠防止水汽在蓋板下表面凝結(jié)，從而避免了由于液滴滴落在硅片上而造成的返工，減少成本浪費(fèi)，提高了經(jīng)濟(jì)效益。
【IPC分類】C23F1-08, H01L21-67
【公開號(hào)】CN204407298
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201420746356
【發(fā)明人】楊曉琴, 陳園, 張宇, 王鵬, 柳杉, 殷建安, 梅超, 張偉
【申請(qǐng)人】上饒光電高科技有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2014年12月3日