太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)設(shè)備，具體為一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽(yáng)能電池片的生產(chǎn)工藝流程分為硅片檢測(cè)，表面制絨及酸洗，擴(kuò)散制結(jié)，去磷硅玻璃，等離子刻蝕及酸洗，鍍減反射膜，絲網(wǎng)印刷，快速燒結(jié)等。
[0003]等離子刻蝕的主要步驟是，
[0004]由于在擴(kuò)散過程中，即使采用背靠背擴(kuò)散，硅片的所有表面包括邊緣都將不可避免地?cái)U(kuò)散上磷。PN結(jié)的正面所收集到的光生電子會(huì)沿著邊緣擴(kuò)散有磷的區(qū)域流到PN結(jié)的背面，而造成短路。因此，必須對(duì)太陽(yáng)能電池周邊的摻雜硅進(jìn)行刻蝕，以去除電池邊緣的PN結(jié)。通常采用等離子刻蝕技術(shù)完成這一工藝。等離子刻蝕是在低壓狀態(tài)下，反應(yīng)氣體CF4的母體分子在射頻功率的激發(fā)下，產(chǎn)生電離并形成等離子體。等離子體是由帶電的電子和離子組成，反應(yīng)腔體中的氣體在電子的撞擊下，除了轉(zhuǎn)變成離子外，還能吸收能量并形成大量的活性基團(tuán)?；钚苑磻?yīng)基團(tuán)由于擴(kuò)散或者在電場(chǎng)作用下到達(dá)Si02表面，在那里與被刻蝕材料表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，并形成揮發(fā)性的反應(yīng)生成物脫離被刻蝕物質(zhì)表面，被真空系統(tǒng)抽出腔體。
[0005]經(jīng)過刻蝕之后的硅片放在石墨舟中，需要PECVD鍍膜處理，介質(zhì)的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積(PECVD)設(shè)備工作原理為，在真空壓力下，加在電極板上的射頻電場(chǎng)，使反應(yīng)室氣體發(fā)生輝光放電，在輝光發(fā)電區(qū)域產(chǎn)生大量的電子。這些電子在電場(chǎng)的作用下獲得充足的能量，其本身溫度很高，它與氣體分子相碰撞，使氣體分子活化。它們吸附在襯底上，并發(fā)生化學(xué)反應(yīng)生成介質(zhì)膜，副產(chǎn)物從襯底上解吸，隨主氣流由真空泵抽走。
[0006]這中間需要使用到一種專用裝置石墨舟，而石墨舟本身很精密，而且溫度較高，人不能直接接觸，因此需要一個(gè)轉(zhuǎn)運(yùn)設(shè)備，處理完之后，石墨舟還得使用該設(shè)備送至冷卻房，冷卻完之后，還需要使用該設(shè)備送到工作臺(tái)，再取片。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本實(shí)用新型為了解決太陽(yáng)能硅片加工中專用的石墨舟的轉(zhuǎn)運(yùn)問題，提供了一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車。
[0008]本實(shí)用新型的技術(shù)方案是，一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)架，在移動(dòng)架中部設(shè)有平臺(tái)，在平臺(tái)中部設(shè)有兩個(gè)支架板，支架板中間通過軸穿設(shè)有擺塊，擺塊上連接把手，擺塊前側(cè)設(shè)有鎖具，擺塊中部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)20上設(shè)有石墨舟的放置臺(tái)；
[0009]所述的鎖具中部為鉸接架，鉸接架中穿設(shè)轉(zhuǎn)桿，轉(zhuǎn)桿上設(shè)有撥桿，轉(zhuǎn)桿兩端設(shè)有鎖母，在鉸接架兩側(cè)設(shè)有鎖扣，所述的鎖扣和鎖母之間為閉鎖區(qū)間，所述的轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有鎖桿，鎖桿位于閉鎖區(qū)間內(nèi)；
[0010]所述的支架板上設(shè)有前定位桿、后定位桿，前定位桿上設(shè)有前支桿7，后定位桿上設(shè)有后支桿。
[0011]使用中，石墨舟可以直接放置在放置臺(tái)上，可以在車間內(nèi)輸送石墨舟，要去取片或者插片操作，只需要下壓把手，可以使擺塊逆時(shí)針轉(zhuǎn)動(dòng)，帶動(dòng)放置臺(tái)形成一個(gè)傾斜狀態(tài)，方便工作人員操作，當(dāng)石墨舟需要旋轉(zhuǎn)時(shí)候，下壓撥桿，使轉(zhuǎn)桿帶動(dòng)鎖母轉(zhuǎn)動(dòng)，鎖桿則脫離閉鎖區(qū)間，整個(gè)轉(zhuǎn)臺(tái)轉(zhuǎn)動(dòng)180°后，鎖桿另一端又轉(zhuǎn)動(dòng)到鎖具的另一側(cè)，重新進(jìn)入鎖母和鎖扣形成的閉鎖區(qū)間內(nèi)，將轉(zhuǎn)臺(tái)固定，工作人員開始操作。
[0012]本實(shí)用新型所述的石墨舟運(yùn)轉(zhuǎn)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，可以實(shí)現(xiàn)石墨舟的輸送目的，同時(shí)還可以使石墨舟具有前后轉(zhuǎn)動(dòng)，以及水平旋轉(zhuǎn)的功能。方便石墨舟上太陽(yáng)能電池片的取片，插片工作，分揀等工作。提高了勞動(dòng)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
【附圖說明】
[0013]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖
[0014]圖2為本實(shí)用新型的側(cè)視圖
[0015]圖3為鎖具結(jié)構(gòu)示意圖
[0016]圖4為鎖具的俯視圖
[0017]圖5為圖1的A-A剖視圖
[0018]圖中:1-移動(dòng)架、2-放置臺(tái)、3-把手、4-鎖桿、5-鎖具、6-前定位桿、7-前支桿、8-擺塊、9-支架板、10-平臺(tái)、11-橫向推桿、12-縱向推桿、13-拉手、14-萬向輪、15-鉸接架、16-轉(zhuǎn)桿、17-撥桿、18-鎖母、19-鎖扣、20-轉(zhuǎn)臺(tái)、21-轉(zhuǎn)軸、22-后定位桿。
【具體實(shí)施方式】
[0019]如圖1、2所示意，一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)架1，在移動(dòng)架I中部設(shè)有平臺(tái)10，在平臺(tái)中部設(shè)有兩個(gè)支架板9，支架板9中間通過軸穿設(shè)有擺塊8，擺塊8上連接把手3，擺塊8前側(cè)設(shè)有鎖具5，擺塊8中部設(shè)有轉(zhuǎn)軸21，轉(zhuǎn)軸21上設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)20，轉(zhuǎn)臺(tái)20上設(shè)有石墨舟的放置臺(tái)2，
[0020]如圖3、4所示意，所述的鎖具5中部為鉸接架15，鉸接架15中穿設(shè)轉(zhuǎn)桿16，轉(zhuǎn)桿16上設(shè)有撥桿17，轉(zhuǎn)桿16兩端設(shè)有鎖母18，在鉸接架15兩側(cè)設(shè)有鎖扣19，所述的鎖扣19和鎖母18之間為閉鎖區(qū)間，
[0021]所述的轉(zhuǎn)臺(tái)20上設(shè)有鎖桿4，鎖桿4位于閉鎖區(qū)間內(nèi)。
[0022]如圖5所示意，所述的支架板9上設(shè)有前定位桿6、后定位桿22，前定位桿6上設(shè)有前支桿7，后定位桿22上設(shè)有后支桿。
[0023]該設(shè)計(jì)是使擺塊8只能在一個(gè)較小的范圍內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)，這個(gè)角度使石墨舟的傾斜角度與人適應(yīng)性最佳。
[0024]在移動(dòng)架下側(cè)設(shè)有萬向輪14，上側(cè)設(shè)有橫向推桿11、縱向推桿12、拉手13。該設(shè)計(jì)可以使本裝置有較好的操控性。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，其特征在于:結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)架(1)，在移動(dòng)架(I)中部設(shè)有平臺(tái)(10)，在平臺(tái)中部設(shè)有兩個(gè)支架板(9)，支架板(9)中間通過軸穿設(shè)有擺塊(8)，擺塊(8)上連接把手(3)，擺塊(8)前側(cè)設(shè)有鎖具(5)，擺塊(8)中部設(shè)有轉(zhuǎn)軸(21)，轉(zhuǎn)軸(21)上設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)(20)，轉(zhuǎn)臺(tái)(20)上設(shè)有石墨舟的放置臺(tái)(2)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，其特征在于:所述的鎖具(5)中部為鉸接架(15)，鉸接架(15)中穿設(shè)轉(zhuǎn)桿(16)，轉(zhuǎn)桿(16)上設(shè)有撥桿(17)，轉(zhuǎn)桿(16)兩端設(shè)有鎖母(18)，在鉸接架(15)兩側(cè)設(shè)有鎖扣(19)，所述的鎖扣(19)和鎖母(18 )之間為閉鎖區(qū)間，所述的轉(zhuǎn)臺(tái)(20 )上設(shè)有鎖桿(4 )，鎖桿(4 )位于閉鎖區(qū)間內(nèi)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，其特征在于:所述的支架板(9 )上設(shè)有前定位桿(6 )、后定位桿(22 )，前定位桿(6 )上設(shè)有前支桿(7 )，后定位桿(22)上設(shè)有后支桿。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車，其特征在于:在移動(dòng)架下側(cè)設(shè)有萬向輪(14)，上側(cè)設(shè)有橫向推桿(11)、縱向推桿(12)、拉手(13)。
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)設(shè)備，具體為一種太陽(yáng)能電池片生產(chǎn)中的石墨舟轉(zhuǎn)運(yùn)車。解決太陽(yáng)能硅片加工中專用的石墨舟的轉(zhuǎn)運(yùn)問題結(jié)構(gòu)包括移動(dòng)架，在移動(dòng)架中部設(shè)有平臺(tái)，在平臺(tái)中部設(shè)有兩個(gè)支架板，支架板中間通過軸穿設(shè)有擺塊，擺塊上連接把手，擺塊前側(cè)設(shè)有鎖具，擺塊中部設(shè)有轉(zhuǎn)軸，轉(zhuǎn)軸上設(shè)有轉(zhuǎn)臺(tái)，轉(zhuǎn)臺(tái)上設(shè)有石墨舟的放置臺(tái)。本實(shí)用新型所述的石墨舟運(yùn)轉(zhuǎn)裝置，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，設(shè)計(jì)合理，可以實(shí)現(xiàn)石墨舟的輸送目的，同時(shí)還可以使石墨舟具有前后轉(zhuǎn)動(dòng)，以及水平旋轉(zhuǎn)的功能。方便石墨舟上太陽(yáng)能電池片的取片，插片工作，分揀等工作。提高了勞動(dòng)效率和產(chǎn)品質(zhì)量。
【IPC分類】H01L31-18, H01L21-677
【公開號(hào)】CN204407314
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520159235
【發(fā)明人】焦惠峰
【申請(qǐng)人】山西晨洋光伏科技有限公司
【公開日】2015年6月17日
【申請(qǐng)日】2015年3月20日