一種掃描電鏡載物臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種掃描電鏡載物臺。
【背景技術(shù)】
[0002]掃描電子顯微鏡簡稱掃描電鏡，是一種利用電子束轟擊樣品，收集樣品表面信號從而成像的電子光學儀器。由于其具有制樣簡單、放大倍數(shù)可調(diào)范圍寬、圖像分辨率高、景深大等特點，現(xiàn)已經(jīng)被廣泛地應用于材料、化學、生物、微電子等多領(lǐng)域的研宄和工業(yè)生產(chǎn)。
[0003]樣品做掃描電鏡時，需要將樣品固定在載物臺上然后放入樣品倉進行觀測。但是，現(xiàn)有的載物臺多是用于平面觀測，載物臺為普通圓形平臺，此種載物臺無法固定住底部不平整的柱狀樣品。因此當要觀察樣品截面的時候，平面載物臺很難將樣品豎直固定，樣品晃動會對觀察結(jié)果造成很大影響。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)存在的問題，本實用新型所要解決的技術(shù)問題就是提供一種掃描電鏡載物臺，它能夾持底面不平整的柱狀樣品，有利于對該類柱狀樣品截面進行觀察。
[0005]本實用新型所要解決的技術(shù)問題是通過這樣的技術(shù)方案實現(xiàn)的，它包括有載物平臺和爪狀插桿，載物平臺下表面設有與掃描電鏡樣品室的樣品座連接的螺桿，載物平臺上表面開設有多個螺紋插孔，爪狀插桿的頂部裝有金屬爪、下部為插桿螺桿，爪狀插桿的插桿螺桿對應裝在載物平臺的螺紋插孔內(nèi)。
[0006]本實用新型的技術(shù)效果是:使用時，爪狀插桿能夠插入多個不同直徑的柱狀樣品，樣品置入爪狀插桿后，爪狀插桿能將樣品牢牢卡住，當測試完畢之后可以直接取出樣品。樣品即插即用，方便測試不同的柱狀樣品，提高測試效率，特別適用于底部不平整的柱狀樣品O
【附圖說明】
[0007]本實用新型的【附圖說明】如下:
[0008]圖1為本實用新型的一個實施例結(jié)構(gòu)示意圖；
[0009]圖2是圖1中爪狀插桿的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0010]圖中:1.載物平臺；2.螺桿；3.螺紋插孔；4.爪狀插桿；5.金屬爪；6.插桿螺桿。
【具體實施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖和實施例對本實用新型作進一步說明:
[0012]如圖1和圖2所示，本實用新型包括有載物平臺I和爪狀插桿4，載物平臺I下表面設有與掃描電鏡樣品室的樣品座連接的螺桿2，載物平臺I上表面開設有多個螺紋插孔3，爪狀插桿4的頂部裝有金屬爪5、下部為插桿螺桿6，爪狀插桿4的插桿螺桿6對應裝在載物平臺I的螺紋插孔3內(nèi)。
[0013]本實用新型主要用于柱狀樣品截面的掃描電鏡觀察，圖1所示，載物平臺上表面設有8個裝配爪狀插桿4的螺紋插孔3。在觀察柱狀樣品時直接將樣品插入爪狀插桿4的金屬爪中，金屬爪能夾持樣品底部不平整的柱狀樣品，且適應于尺寸大小在一定范圍內(nèi)變化的柱狀樣品。當觀察完畢之后，直接將樣品取出。樣品即插即用，一次可以測試多個柱狀樣品，使用方便，效率高。
【主權(quán)項】
1.一種掃描電鏡載物臺，其特征是:包括有載物平臺(I)和爪狀插桿(4)，載物平臺(I)下表面設有與掃描電鏡樣品室的樣品座連接的螺桿(2)，載物平臺(I)上表面開設有多個螺紋插孔(3 )，爪狀插桿(4)的頂部裝有金屬爪(5 )、下部為插桿螺桿(6 )，爪狀插桿(4)的插桿螺桿(6)對應裝在載物平臺(I)的螺紋插孔(3)內(nèi)。
【專利摘要】本實用新型公開了一種掃描電鏡載物臺，包括有載物平臺（1）和爪狀插桿（4），載物平臺（1）下表面設有與掃描電鏡樣品室的樣品座連接的螺桿（2），載物平臺（1）上表面開設有多個螺紋插孔（3），爪狀插桿（4）的頂部裝有金屬爪（5）、下部為插桿螺桿（6），爪狀插桿（4）的插桿螺桿（6）對應裝在載物平臺（1）的螺紋插孔（3）內(nèi)。本實用新型的技術(shù)效果是：爪狀插桿能夠插入多個不同直徑的柱狀樣品，樣品置入爪狀插桿后，爪狀插桿能將樣品牢牢卡住，當測試完畢之后可以直接取出樣品。樣品即插即用，方便測試不同的柱狀樣品，提高測試效率，特別適用于底部不平整的柱狀樣品。
【IPC分類】H01J37-20, H01J37-28
【公開號】CN204441245
【申請?zhí)枴緾N201520200781
【發(fā)明人】覃麗祿, 覃麗婷, 董強
【申請人】重慶大學
【公開日】2015年7月1日
【申請日】2015年4月3日