一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，主要用于冷卻硅片清洗機(jī)中的酸堿液，涉及太陽(yáng)能電池制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]常規(guī)的化石燃料日益消耗殆盡，在現(xiàn)有的可持續(xù)能源中，太陽(yáng)能無(wú)疑是一種最清潔、最普遍和最有潛力的替代能源。太陽(yáng)能發(fā)電裝置又稱為太陽(yáng)能電池或光伏電池，可以將太陽(yáng)能直接轉(zhuǎn)換成電能，其發(fā)電原理是基于半導(dǎo)體PN結(jié)的光生伏特效應(yīng)。在各類太陽(yáng)能電池中，晶體硅(單晶、多晶)太陽(yáng)能電池占有極其重要的地位，目前占據(jù)了光伏市場(chǎng)75%以上的份額。晶體硅太陽(yáng)能電池利用p-n結(jié)的光生伏特效應(yīng)實(shí)現(xiàn)光電轉(zhuǎn)換，因此從發(fā)展的觀點(diǎn)來(lái)看，晶體硅太陽(yáng)能電池在未來(lái)很長(zhǎng)的一段時(shí)間仍將占據(jù)主導(dǎo)地位。
[0003]現(xiàn)有的晶體硅太陽(yáng)能電池的制造流程為:表面清洗、硅片表面織構(gòu)化、擴(kuò)散、清洗刻蝕去邊、鍍減反射膜、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)形成歐姆接觸、測(cè)試。這種商業(yè)化晶體硅電池制造技術(shù)相對(duì)簡(jiǎn)單、成本較低，適合工業(yè)化、自動(dòng)化生產(chǎn)，因而得到了廣泛應(yīng)用。其中，表面清洗工藝是必不可少的?，F(xiàn)有技術(shù)中，表面清洗工藝一般都是在硅片清洗機(jī)中進(jìn)行，硅片清洗機(jī)主要包括槽體，槽體內(nèi)裝有酸堿液；為了能達(dá)到較好的清洗效果，減少因酸堿液溫度過(guò)高而導(dǎo)致的硅片表面朦朧等問(wèn)題，有必要對(duì)硅片清洗機(jī)槽體內(nèi)的酸堿液進(jìn)行降溫處理。
[0004]針對(duì)上述技術(shù)問(wèn)題，現(xiàn)有的方法是采用普通的熱交換裝置，將酸堿液置于熱交換器的儲(chǔ)存箱內(nèi)，再通過(guò)冷凝盤(pán)管進(jìn)行熱交換降溫。然而，由于需要處理的酸堿液的量很大，因此為了有效地進(jìn)行降溫處理，一般需要采用冷卻媒介(如冷卻劑)在冷凝盤(pán)管內(nèi)流通，同時(shí)需要采用冷凍機(jī)對(duì)冷卻媒介進(jìn)行持續(xù)制冷處理。因此現(xiàn)有的設(shè)備和方法不僅成本較高，而且冷卻效果差強(qiáng)人意。
[0005]因此，開(kāi)發(fā)一種低成本的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，以有效地對(duì)酸堿液進(jìn)行降溫處理，顯然具有積極的現(xiàn)實(shí)意義。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型的發(fā)明目的是提供一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置。
[0007]為達(dá)到上述發(fā)明目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案是:一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，包括冷凝水儲(chǔ)存箱，冷凝水儲(chǔ)存箱上設(shè)有進(jìn)水管和出水管；
[0008]冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)設(shè)有冷凝盤(pán)管，冷凝盤(pán)管的一端與酸堿液輸入管連通，另一端與酸堿液輸出管連通。
[0009]上文中，所述冷凝水儲(chǔ)存箱是用來(lái)走冷凝水的，達(dá)到冷卻的目的，而冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)的冷凝盤(pán)管是用來(lái)走待處理的酸堿液的。
[0010]冷凝水可以采用廠務(wù)系統(tǒng)的冷卻水，無(wú)需外加冷凍機(jī)(或壓縮機(jī))進(jìn)行制冷，因此成本極低。
[0011]上述技術(shù)方案中，所述冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)還設(shè)有液位監(jiān)控系統(tǒng)，冷凝水儲(chǔ)存箱的上方設(shè)有溢流管?？梢苑乐挂何槐O(jiān)控系統(tǒng)失效而導(dǎo)致的冷凝水儲(chǔ)存箱中冷凝水溢出。所述液位監(jiān)控系統(tǒng)可以由PLC進(jìn)行邏輯控制。
[0012]上述技術(shù)方案中，所述冷凝水儲(chǔ)存箱為密封結(jié)構(gòu)。
[0013]上述技術(shù)方案中，還包括動(dòng)力系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。所述動(dòng)力系統(tǒng)是使冷凝水和酸堿液分別實(shí)現(xiàn)循環(huán)流動(dòng)，例如可以采用水泵。
[0014]上述技術(shù)方案中，所述進(jìn)水管的管路上設(shè)有閥門(mén)。
[0015]上述技術(shù)方案中，所述酸堿液輸入管的管路上設(shè)有閥門(mén)。
[0016]由于上述技術(shù)方案運(yùn)用，本實(shí)用新型與現(xiàn)有技術(shù)相比具有下列優(yōu)點(diǎn):
[0017]1、本實(shí)用新型設(shè)計(jì)了一種專門(mén)用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，利用冷凝水儲(chǔ)存箱走冷凝水，而在冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)的冷凝盤(pán)管走待處理的酸堿液的，使冷凝水可以在外圍全面覆蓋冷凝盤(pán)管，因此冷卻效果較好；
[0018]2、本實(shí)用新型可以采用廠務(wù)系統(tǒng)的冷卻水作為冷卻媒介，無(wú)需外加壓縮機(jī)進(jìn)行制冷，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本極低；
[0019]3、本實(shí)用新型的冷凝水和待處理的酸堿液采用非接觸式進(jìn)行熱交換，可有效防止酸堿液間的互相污染；
[0020]4、本實(shí)用新型設(shè)有液位監(jiān)控系統(tǒng)及溢流管，運(yùn)行安全可靠；
[0021]5、本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低，適于推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0022]圖1是本實(shí)用新型實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0023]其中:1、冷凝水儲(chǔ)存箱；2、進(jìn)水管；3、出水管；4、冷凝盤(pán)管；5、酸堿液輸入管；6、酸堿液輸出管；7、液位監(jiān)控系統(tǒng)；8、溢流管；9、閥門(mén)。
【具體實(shí)施方式】
[0024]下面結(jié)合實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)一步描述。
[0025]實(shí)施例一:
[0026]參見(jiàn)圖1所示，一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，包括冷凝水儲(chǔ)存箱1，冷凝水儲(chǔ)存箱上設(shè)有進(jìn)水管2和出水管3 ;
[0027]冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)設(shè)有冷凝盤(pán)管4，冷凝盤(pán)管的一端與酸堿液輸入管5連通，另一端與酸堿液輸出管6連通。
[0028]所述冷凝盤(pán)管可以由細(xì)的PP軟管纏繞而成。
[0029]所述冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)還設(shè)有液位監(jiān)控系統(tǒng)7，冷凝水儲(chǔ)存箱的上方設(shè)有溢流管8。
[0030]還包括動(dòng)力系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。
[0031]所述進(jìn)水管的管路上設(shè)有閥門(mén)9。
[0032]所述酸堿液輸入管的管路上設(shè)有閥門(mén)。
[0033]本實(shí)施例通過(guò)非接觸式的熱交換，非常好的將酸堿液冷卻到20度以下，避免了朦朧片的產(chǎn)生。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:包括冷凝水儲(chǔ)存箱(I)，冷凝水儲(chǔ)存箱上設(shè)有進(jìn)水管(2)和出水管(3)； 冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)設(shè)有冷凝盤(pán)管(4)，冷凝盤(pán)管的一端與酸堿液輸入管(5)連通，另一端與酸堿液輸出管(6)連通。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:所述冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)還設(shè)有液位監(jiān)控系統(tǒng)(7)，冷凝水儲(chǔ)存箱的上方設(shè)有溢流管(8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:所述冷凝水儲(chǔ)存箱為密封結(jié)構(gòu)。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:還包括動(dòng)力系統(tǒng)和控制系統(tǒng)。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:所述進(jìn)水管的管路上設(shè)有閥門(mén)(9)。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，其特征在于:所述酸堿液輸入管的管路上設(shè)有閥門(mén)。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種用于硅片清洗機(jī)的熱交換裝置，包括冷凝水儲(chǔ)存箱，冷凝水儲(chǔ)存箱上設(shè)有進(jìn)水管和出水管；冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)設(shè)有冷凝盤(pán)管，冷凝盤(pán)管的一端與酸堿液輸入管連通，另一端與酸堿液輸出管連通。本實(shí)用新型利用冷凝水儲(chǔ)存箱走冷凝水，而在冷凝水儲(chǔ)存箱內(nèi)的冷凝盤(pán)管走待處理的酸堿液的，使冷凝水可以在外圍全面覆蓋冷凝盤(pán)管，因此冷卻效果較好。
【IPC分類】H01L21-67
【公開(kāi)號(hào)】CN204464248
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520172721
【發(fā)明人】曾艷輝, 嚴(yán)柏林, 劉裕通, 史珺峰, 謝賢清
【申請(qǐng)人】蘇州阿特斯陽(yáng)光電力科技有限公司, 鹽城阿特斯協(xié)鑫陽(yáng)光電力科技有限公司
【公開(kāi)日】2015年7月8日
【申請(qǐng)日】2015年3月25日