一種使用連體十字回氣管的激光器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本實(shí)用新型設(shè)及激光器技術(shù)領(lǐng)域，更具體的說(shuō)，特別設(shè)及一種使用連體十字回氣 管的激光器。
【背景技術(shù)】
[0002] 高功率軸快流C〇2激光器W化、N2和C〇2的低壓混合氣體作為工作物質(zhì)，諧振腔內(nèi) 光束傳輸方向與氣體流動(dòng)方向沿同一軸線(xiàn)。為了提高激光器輸出功率，廣泛使用折疊式諧 振腔來(lái)增加工作物質(zhì)的模體積。工作氣體在風(fēng)機(jī)驅(qū)動(dòng)下經(jīng)放電管陽(yáng)極孔1位置進(jìn)入放電管 2,如圖1中箭頭所示方向。在放電管2中被高壓放電或者射頻放電激勵(lì)，從而產(chǎn)生激光。放 電后的工作氣體進(jìn)入十字管3,由十字管3匯聚后，流向兩側(cè)的熱交換器進(jìn)行冷卻。
[0003] 諧振腔中間的十字管3是由石英玻璃管焊接而成，對(duì)于折疊式諧振腔，=路放電 管2采用=根十字管3組合合成，相鄰的十字管3之間中間用硅膠管4密封，由于諧振腔內(nèi) 工作氣體在放電時(shí)處于高溫狀態(tài)，所W密封用的硅膠管4必須屬于耐高溫材料。由于加工 可能存在的誤差，相鄰十字管3的連接處通常用鐵氣龍墊圈5,W保證連在一起的十字管3 和放電管2能夠良好裝配，兩者之間還通過(guò)環(huán)氧樹(shù)脂板7連接，端板8上設(shè)置有折返鏡片9 和輸出鏡片10。連成一體的十字管3共同匯聚工作氣體回流到熱交換器的工作。
[0004] 隨著激光器功率的提高和制造工藝的改進(jìn)，十字管3的該種組合方式的缺點(diǎn)也開(kāi) 始出現(xiàn)。十字管3之間密封用的硅膠管4,由于平時(shí)工作在高溫狀態(tài)，隨著使用時(shí)間增加會(huì) 逐步老化，密封性變差，導(dǎo)致連接處容易漏氣。當(dāng)外界空氣進(jìn)入諧振腔內(nèi)部時(shí)，會(huì)導(dǎo)致激光 器功率下降、輸出光束模式變差和鏡片容易污染等問(wèn)題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本實(shí)用新型的目的在于針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)存在的技術(shù)問(wèn)題，提供一種使用連體十字回 氣管的激光器，能夠減少激光器諧振腔的密封點(diǎn)，有效提高諧振腔的密封程度。
[0006] 為了解決W上提出的問(wèn)題，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為：
[0007] -種使用連體十字回氣管的激光器，該激光器采用=連體十字管，所述=連體十 字管的中部為主支管，主支管的兩端作為工作氣體流出的出口，管徑設(shè)為D;主支管沿軸線(xiàn) 的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有=根進(jìn)氣管，作為氣體流進(jìn)的進(jìn)口，管徑設(shè)為d;每根進(jìn)氣管均連接放電管 形成=個(gè)進(jìn)氣支路。
[0008] 所述=連體十字管中進(jìn)氣管的管徑d大于放電管的管徑。
[0009] 所述S連體十字管中主支管的管徑D與進(jìn)氣管的管徑d關(guān)系為：D> 〇
[0010] 與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果在于：
[0011] 本實(shí)用新型中采用=連體十字管能夠減少氣體激光器諧振腔的密封點(diǎn)，有效提高 諧振腔的密封程度，與常規(guī)分離式十字管的激光器比起來(lái)，其性能更加穩(wěn)定、可靠；此外，密 封點(diǎn)的減少對(duì)于提高整個(gè)激光器的氣密性具有重要作用，有利于高功率激光器壓縮開(kāi)機(jī)時(shí) 間和提高工作穩(wěn)定性。同時(shí)氣密性提高有助于激光器耗氣量的降低，對(duì)于激光器運(yùn)行成本 的降低具有一定的意義。
【附圖說(shuō)明】
[0012] 圖1為常見(jiàn)高功率c〇2激光器諧振腔的局部示意圖。
[0013] 圖2為本實(shí)用新型使用連體十字回氣管的激光器的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0014] 附圖標(biāo)記說(shuō)明；1-放電管陽(yáng)極孔、2-放電管、3-十字管、4-硅膠管、5-鐵氣龍墊 圈、6-S連體十字管
【具體實(shí)施方式】
[0015] 為了便于理解本實(shí)用新型，下面將參照相關(guān)附圖對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行更全面的描 述。附圖中給出了本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例。但是，本實(shí)用新型可許多不同的形式來(lái) 實(shí)現(xiàn)，并不限于本文所描述的實(shí)施例。相反地，提供該些實(shí)施例的目的是使對(duì)本實(shí)用新型的 公開(kāi)內(nèi)容的理解更加透徹全面。
[0016] 除非另有定義，本文所使用的所有的技術(shù)和科學(xué)術(shù)語(yǔ)與屬于本實(shí)用新型的技術(shù)領(lǐng) 域的技術(shù)人員通常理解的含義相同。本文中在本實(shí)用新型的說(shuō)明書(shū)中所使用的術(shù)語(yǔ)只是為 了描述具體的實(shí)施例的目的，不是旨在于限制本實(shí)用新型。
[0017] 參閱圖2所示，本實(shí)用新型提供的一種使用連體十字回氣管的激光器，該激光器 采用S連體十字管6,用于放電管2內(nèi)工作氣體回流。
[0018] 所述=連體十字管6的中部為主支管，主支管的兩端作為工作氣體流出的出口， 管徑設(shè)為D。主支管沿軸線(xiàn)的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有=根進(jìn)氣管，作為氣體流進(jìn)的進(jìn)口，管徑設(shè)為d。 相鄰兩根進(jìn)氣管中屯、線(xiàn)之間即相鄰進(jìn)氣口之間的距離設(shè)為以其在激光器諧振腔中的安裝 方式與分立的十字管類(lèi)似，即每根進(jìn)氣管均連接放電管2形成=個(gè)進(jìn)氣支路。對(duì)=個(gè)進(jìn)氣 支路由上至下依次設(shè)為A、B、C，相鄰兩個(gè)進(jìn)氣支路中屯、線(xiàn)之間的距離設(shè)為S，即A-B進(jìn)氣之 路或者B-C進(jìn)氣之路中屯、線(xiàn)之間的距離。
[0019] 上述中，相鄰進(jìn)氣口之間的距離L與相鄰兩個(gè)進(jìn)氣之路中屯、線(xiàn)之間的距離S兩者 一致。
[0020] 上述中，=連體十字管6的進(jìn)氣口，即進(jìn)氣管通過(guò)法蘭套與放電管2連接端的直徑 山要大于放電管2的直徑。一方面可W使放電管2內(nèi)產(chǎn)生的激光束能順利通過(guò)=連體十字 管6的進(jìn)氣口，另一方面可W使放電管2內(nèi)的工作氣體順利流進(jìn)=連體十字管6內(nèi)。為了 能使進(jìn)入=連體十字管6的氣體順利流出兩端的出口，兩端出口的截面面積之和要大于六 個(gè)進(jìn)氣口截面積之和，即；
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種使用連體十字回氣管的激光器，其特征在于：該激光器采用三連體十字管，所 述三連體十字管的中部為主支管，主支管的兩端作為工作氣體流出的出口，管徑設(shè)為D;主 支管沿軸線(xiàn)的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有三根進(jìn)氣管，作為氣體流進(jìn)的進(jìn)口，管徑設(shè)為d;每根進(jìn)氣管均 連接放電管形成三個(gè)進(jìn)氣支路。
2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用連體十字回氣管的激光器，其特征在于：所述三連體十 字管中進(jìn)氣管的管徑d大于放電管的管徑。
3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的使用連體十字回氣管的激光器，其特征在于：所述三連體十 字管中主支管的管徑D與進(jìn)氣管的管徑d關(guān)系為
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，公開(kāi)了一種使用連體十字回氣管的激光器，該激光器采用三連體十字管，所述三連體十字管的中部為主支管，主支管的兩端作為工作氣體流出的出口，管徑設(shè)為D；主支管沿軸線(xiàn)的兩側(cè)對(duì)稱(chēng)設(shè)有三根進(jìn)氣管，作為氣體流進(jìn)的進(jìn)口，管徑設(shè)為d；每根進(jìn)氣管均連接放電管形成三個(gè)進(jìn)氣支路。本實(shí)用新型中采用三連體十字管能夠減少氣體激光器諧振腔的密封點(diǎn)，有效提高諧振腔的密封程度，與常規(guī)分離式十字管的激光器比起來(lái)，其性能更加穩(wěn)定、可靠。
【IPC分類(lèi)】H01S3-02
【公開(kāi)號(hào)】CN204538458
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520193714
【發(fā)明人】魏寧, 陳永興, 周桂兵, 陳根余, 陳燚, 高云峰
【申請(qǐng)人】大族激光科技產(chǎn)業(yè)集團(tuán)股份有限公司
【公開(kāi)日】2015年8月5日
【申請(qǐng)日】2015年4月2日