一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能電池片加工設(shè)備領(lǐng)域，特別涉及一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管。
【背景技術(shù)】
[0002]石墨舟是給太陽能電池片中的硅片鍍膜的載體，在進(jìn)行鍍膜時，將插有未鍍膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空鍍膜設(shè)備腔體內(nèi)且利用PECVD工藝進(jìn)行放電鍍膜。鍍膜結(jié)束后，取出石墨舟，將硅片從石墨舟上卸取下來。
[0003]目前的石墨舟一般包括石墨舟片、陶瓷管、石墨棒、石墨隔塊等石墨配件構(gòu)成，如中國專利申請公布號CN102354676A(申請公布日2012.02.15)公開了一種石墨舟，其包括交錯分布的第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間通過石墨棒及石墨螺母串接后緊固連接；所述第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間均通過陶瓷管相隔離；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片間端部的石墨棒上套有石墨塊；第一石墨舟片、第二石墨舟片、第三石墨舟片及第四石墨舟片上均設(shè)置有石墨棒安裝孔。但是目前這種結(jié)構(gòu)的石墨舟的陶瓷管與石墨棒之間通過間隙配合，使得陶瓷管內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔，而在進(jìn)行PECVD工藝時，需要要求設(shè)備內(nèi)為無氧環(huán)境，但是該空氣腔內(nèi)的空氣在鍍膜過程中會緩慢釋放氧氣，影響設(shè)備內(nèi)的無氧環(huán)境，從而影響鍍膜效果。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于針對現(xiàn)有的石墨舟的陶瓷管的上述不足和缺陷，提供一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，該陶瓷管可以避免陶瓷管內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成空氣腔，以解決上述問題。
[0005]本實(shí)用新型所解決的技術(shù)問題可以采用以下技術(shù)方案來實(shí)現(xiàn):
[0006]一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設(shè)置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔，其特征在于，所述陶瓷管本體上開設(shè)有與所述空氣腔連通的通孔。
[0007]在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述通孔包括設(shè)置在所述陶瓷管本體一端或兩端的缺口。
[0008]在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述陶瓷管本體的每一端均設(shè)置有兩個所述缺口，且同一端的兩個所述缺口關(guān)于所述陶瓷管本體的中軸線對稱設(shè)置。
[0009]在本實(shí)用新型的一個優(yōu)選實(shí)施例中，所述陶瓷管本體的至少一端外壁為漸縮錐形面。
[0010]由于采用了如上的技術(shù)方案，本實(shí)用新型在進(jìn)行PECVD工藝時，空氣腔內(nèi)部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成空氣腔，保證設(shè)備內(nèi)為無氧環(huán)境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
【附圖說明】
[0011]為了更清楚地說明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本實(shí)用新型的一些實(shí)施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1是本實(shí)用新型的實(shí)施例1的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]圖2是圖1的左視圖。
[0014]圖3是圖1的俯視圖。
[0015]圖4是本實(shí)用新型的實(shí)施例1的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
[0016]圖5是本實(shí)用新型的實(shí)施例2的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖6是圖5的左視圖。
[0018]圖7是圖6的右視圖。
[0019]圖8是圖6的俯視圖。
[0020]圖9是本實(shí)用新型的實(shí)施例2的使用狀態(tài)結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0021]為了使本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達(dá)成目的與功效易于明白了解，下面進(jìn)一步闡述本實(shí)用新型。
[0022]實(shí)施例1
[0023]參見圖1至圖4所示的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設(shè)置在相鄰兩石墨舟片10a、10b之間且與石墨棒20間隙配合的陶瓷管本體30，陶瓷管本體30內(nèi)壁31、石墨棒20外壁以及相鄰兩石墨舟片10a、1b之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔。在陶瓷管本體30上開設(shè)有與空氣腔連通的通孔。本實(shí)施例中的通孔為開設(shè)在陶瓷管本體30其中一端的缺口 32。
[0024]實(shí)施例2
[0025]參見圖5至圖9所示的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設(shè)置在相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間且與石墨棒20’間隙配合的陶瓷管本體30’，陶瓷管本體30’內(nèi)壁31’、石墨棒20’外壁以及相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔。在陶瓷管本體30’上開設(shè)有與空氣腔連通的通孔。本實(shí)施例中的通孔為分別開設(shè)在陶瓷管本體30’兩端的一對缺口 32’，且同一端的兩個缺口 32’關(guān)于陶瓷管本體30’的中軸線對稱設(shè)置，陶瓷管本體30’兩端的一對缺口 32’的中心連線相互垂直。為了使得陶瓷管本體30’與相鄰兩石墨舟片10a’、10b’之間的配合更加緊密，本實(shí)施例中的陶瓷管本體30’的其中一端外壁為漸縮錐形面33’。
[0026]本實(shí)用新型在進(jìn)行PECVD工藝時，空氣腔內(nèi)部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成空氣腔，保證設(shè)備內(nèi)為無氧環(huán)境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
[0027]以上顯示和描述了本實(shí)用新型的基本原理和主要特征和本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本實(shí)用新型不受上述實(shí)施例的限制，上述實(shí)施例和說明書中描述的只是說明本實(shí)用新型的原理，在不脫離本實(shí)用新型精神和范圍的前提下，本實(shí)用新型還會有各種變化和改進(jìn)，這些變化和改進(jìn)都落入要求保護(hù)的本實(shí)用新型范圍內(nèi)。本實(shí)用新型要求保護(hù)范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設(shè)置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔，其特征在于，所述陶瓷管本體上開設(shè)有與所述空氣腔連通的通孔。
2.如權(quán)利要求1所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述通孔包括設(shè)置在所述陶瓷管本體一端或兩端的缺口。
3.如權(quán)利要求2所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述陶瓷管本體的每一端均設(shè)置有兩個所述缺口，且同一端的兩個所述缺口關(guān)于所述陶瓷管本體的中軸線對稱設(shè)置。
4.如權(quán)利要求1至3任一權(quán)利要求所述的一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，其特征在于，所述陶瓷管本體的至少一端外壁為漸縮錐形面。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種用于大功率太陽能電池片石墨舟的陶瓷管，包括設(shè)置在相鄰兩石墨舟片之間且與石墨棒間隙配合的陶瓷管本體，所述陶瓷管本體內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成一空氣腔，所述陶瓷管本體上開設(shè)有與所述空氣腔連通的通孔。本實(shí)用新型在進(jìn)行PECVD工藝時，空氣腔內(nèi)部可被抽成真空，所以該陶瓷管可以避免陶瓷管內(nèi)壁、石墨棒外壁以及相鄰兩石墨舟片之間所圍成區(qū)域形成空氣腔，保證設(shè)備內(nèi)為無氧環(huán)境，保證利用PECVD工藝鍍膜的效果。
【IPC分類】H01L21-673
【公開號】CN204558430
【申請?zhí)枴緾N201520257122
【發(fā)明人】張孟彤
【申請人】上海弘楓實(shí)業(yè)有限公司
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年4月24日