一種碳納米管陣列分形散熱裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及一種散熱片裝置，具體涉及一種碳納米管陣列分形散熱裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]通常的散熱片結(jié)構(gòu)為金屬結(jié)構(gòu)，多為平行排列的金屬肋片，在空氣或液體環(huán)境中增加散熱表面積，達到散熱效果。中國發(fā)明專利CN201080008123.X提供了一種碳納米管結(jié)構(gòu)的散熱片，此裝置將碳納米管作為散熱體，散熱面積大，熱傳導(dǎo)率高，易延展，不易斷裂。
[0003]隨著CPU及半導(dǎo)體加工工藝的提高，電子元器件微型化趨勢明顯。如何進一步提高散熱效率，特別是微納尺度高效散熱裝置，具有現(xiàn)實意義。
【實用新型內(nèi)容】
[0004]本實用新型目的在于，提供一種適用于微納米器件高效散熱裝置。
[0005]本實用新型為達到上述目的，提供一種碳納米管陣列分形散熱裝置。包括散熱鰭片和基底，其特征在于:所述散熱鰭片為碳納米管陣列，所述碳納米管陣列在基底上成分形排列。
[0006]所述排列碳納米管陣列的分形襯底，呈工字型拓撲結(jié)構(gòu)。
[0007]電子芯片所產(chǎn)生的熱量通過基底，主要以導(dǎo)熱方式傳遞給鰭片散熱器，鰭片散熱器通過鰭片網(wǎng)絡(luò)傳輸?shù)街車h(huán)境。鰭片散熱器是由矩形鰭片按照工字型分形分叉網(wǎng)絡(luò)的方式進行組合和連接，矩形鰭片具有相同的高度，然后將分形鰭片網(wǎng)絡(luò)加工在同種材料的基底上。
【附圖說明】
[0008]圖1為本實用新型結(jié)構(gòu)圖；
[0009]圖2為本結(jié)構(gòu)碳納米管陣列圖。
【具體實施方式】
[0010]采用CVD方法，將碳納米管陣列2沉積到基底3表面，碳納米管垂直表面生長。采用光刻蝕技術(shù)將碳納米管陣列2的結(jié)構(gòu)刻蝕成圖1的效果。圖1為碳納米管陣列2分形結(jié)構(gòu)，其微觀結(jié)構(gòu)如圖2所示。所述排列碳納米管陣列2的分形襯底，呈工字型拓撲結(jié)構(gòu)。
[0011]本實用新型有益效果:散熱片采用分型結(jié)構(gòu)，使其具有更大的表面積，從而允許該裝置達到更快的散熱效果；通常技術(shù)的散熱單元的極限尺度是1mm，本技術(shù)具有1-1OOnm的散熱單元尺度，能夠滿足器件微型化的需要。
【主權(quán)項】
1.一種碳納米管陣列分形散熱裝置，包括散熱鰭片和基底(3)，其特征在于:所述散熱鰭片為碳納米管陣列(2)，所述碳納米管陣列(2)在基底(3)上成分形排列。
2.根據(jù)管理要求I所述一種碳納米管陣列分形散熱裝置，其特征在于:排列碳納米管陣列(2)的分形襯底(I)，呈工字型拓撲結(jié)構(gòu)。
【專利摘要】本實用新型涉及一種散熱片裝置，具體涉及一種碳納米管陣列分形散熱裝置。其特征在于：所述散熱鰭片為碳納米管陣列，所述碳納米管陣列在基底上成分形排列。本實用新型有益效果：散熱片采用分型結(jié)構(gòu)，使其具有更大的表面積，從而允許該裝置達到更快的散熱效果；通常技術(shù)的散熱單元的極限尺度是1mm，本技術(shù)具有10-100nm的散熱單元尺度，能夠滿足器件微型化的需要。
【IPC分類】H05K7-20, H01L23-367
【公開號】CN204558451
【申請?zhí)枴緾N201520327841
【發(fā)明人】喬憲武, 吳昊
【申請人】中國計量學院
【公開日】2015年8月12日
【申請日】2015年5月19日