感器一 ；24、油水分離冷卻過濾器；
[0028]25、加熱除氧器；26、干燥冷卻過濾器；
[0029]27、壓力傳感器二 ；28、儲(chǔ)氣罐二 ；
[0030]29、儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥；30、油水分離冷卻過濾器輸入閥；
[0031]31、加熱除氧器輸入閥；32、干燥冷卻過濾器輸入閥；
[0032]33、干燥冷卻過濾器輸出閥；34、儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥；
[0033]35、儲(chǔ)氣罐二排空取樣閥；36、儲(chǔ)氣罐一排空取樣閥；
[0034]37、真空泵排空電磁閥；38、油水分離冷卻過濾器排氣排污閥；
[0035]39、油水分離冷卻過濾器進(jìn)水口 ； 40、油水分離冷卻過濾器出水口 ；
[0036]41、干燥冷卻過濾器進(jìn)水口 ；42、干燥冷卻過濾器出水口 ；
[0037]43、加熱除氧器排氣閥；44、干燥冷卻過濾器排氣排污閥。
【具體實(shí)施方式】
[0038]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例對(duì)實(shí)用新型做詳細(xì)的說明:
[0039]本實(shí)用新型提出了一種帶工作氣體回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，其對(duì)現(xiàn)有軸快流0)2激光器配以相應(yīng)的回收再利用裝置，以實(shí)現(xiàn)對(duì)工作氣體的回收再利用。
[0040]作為本實(shí)用新型一種具體實(shí)施例，本實(shí)用新型提供示意圖如圖2所示的一種帶回收再利用裝置的軸快流CO2激光器，包括CO 2高壓氣瓶12、He高壓氣瓶13』2高壓氣瓶14、氣體單元15、軸快流0)2激光器工作主體20、真空泵、儲(chǔ)氣罐一 22、油水分離冷卻過濾器24、加熱除氧器25、干燥冷卻過濾器26、儲(chǔ)氣罐二 28和真空泵排空電磁閥37，所述軸快流C0#光器工作主體20內(nèi)高壓側(cè)熱交換器3通過管道與氣體單兀輸出電磁閥16和儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥34相連，所述氣體單元輸出電磁閥16通過管道與氣體單元15相連，所述氣體單元15通過管道與0)2高壓氣瓶減壓閥17、He高壓氣瓶減壓閥18和N 2高壓氣瓶減壓閥19相連，所述CO2高壓氣瓶減壓閥17接CO 2高壓氣瓶12，所述He高壓氣瓶減壓閥18接He高壓氣瓶13，所述隊(duì)高壓氣瓶減壓閥19接N 2高壓氣瓶14，所述儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥34接儲(chǔ)氣罐二 28，所述儲(chǔ)氣罐二 28通過干燥冷卻過濾器輸出閥33接干燥冷卻過濾器26，所述干燥冷卻過濾器26下方有干燥冷卻過濾器進(jìn)水口 41和干燥冷卻過濾器出水口 42，所述干燥冷卻過濾器26通過干燥冷卻過濾器輸入閥32接加熱除氧器25，所述加熱除氧器25通過加熱除氧器輸入閥31接油水分離冷卻過濾器24，所述油水分離冷卻過濾器24下方有油水分離冷卻過濾器進(jìn)水口 39和油水分離冷卻過濾器出水口 40，所述油水分離冷卻過濾器24通過油水分離冷卻過濾器輸入閥30接儲(chǔ)氣罐一 22，所述儲(chǔ)氣罐一 22通過管道儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥29接真空泵，所述儲(chǔ)氣罐一 22與儲(chǔ)氣罐一輸入電磁閥29相連管道一側(cè)有真空泵排空電磁閥37，所述真空泵通過管道接低壓側(cè)抽真空電磁閥8和齒輪箱抽真空電磁閥7，所述軸快流0)2激光器工作主體20內(nèi)低壓側(cè)熱交換器5通過管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥8相連，所述軸快流0)2激光器工作主體20內(nèi)齒輪箱11通過管道與齒輪箱抽真空電磁閥7相連。
[0041]本實(shí)用新型所述軸快流0)2激光器工作主體20包括羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)1、高壓側(cè)熱交換器3、放電管4、低壓側(cè)熱交換器5和羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱11，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)I的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)出風(fēng)口 2通過管道與高壓側(cè)熱交換器3相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)I的羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)進(jìn)風(fēng)口 6通過管道與低壓側(cè)熱交換器5相連，所述放電管4在高壓側(cè)熱交換器3與低壓側(cè)熱交換器5之間，所述放電管4通過管道與高壓側(cè)熱交換器3和低壓側(cè)熱交換器5相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)I 一側(cè)有羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱11，所述高壓側(cè)熱交換器3通過管道與氣體單元輸出電磁閥16和儲(chǔ)氣罐二輸出電磁閥34相連，所述低壓側(cè)熱交換器5通過管道與低壓側(cè)抽真空電磁閥8相連，所述羅茨泵或羅茨風(fēng)機(jī)齒輪箱11通過管道與齒輪箱抽真空電磁閥7相連，本實(shí)用新型軸快流CO2激光器工作主體主要使用以上常用軸快流CO2激光器結(jié)構(gòu)主體。
[0042]本實(shí)用新型所述真空泵為正壓輸出真空泵21，采用此真空泵，其真空泵的輸出口壓強(qiáng)相對(duì)較高，約為0.2MPa?
[0043]本實(shí)用新型所述儲(chǔ)氣罐一 22容積為3-5升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa，所述儲(chǔ)氣罐二 28容積為1-2升，額定工作壓強(qiáng)為0.6MPa，儲(chǔ)氣罐一主要用于正壓輸出真空泵的輸出緩沖，儲(chǔ)氣罐二主要用于凈化后工作氣體的輸出緩沖，因此根據(jù)相應(yīng)情況采用以上規(guī)格，所述儲(chǔ)氣罐一 22上有壓力傳感器一 23，所述儲(chǔ)氣罐二 28上有壓力傳感器二 27，設(shè)置壓力傳感器可為對(duì)應(yīng)儲(chǔ)氣罐的工作壓強(qiáng)提供實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，所述儲(chǔ)氣罐一 22上設(shè)有儲(chǔ)氣罐一排空取樣閥36，所述儲(chǔ)氣罐二 28上設(shè)有儲(chǔ)氣罐二排空取樣閥35，儲(chǔ)氣罐一排空取樣閥用于抽取工作氣體，以對(duì)軸快流CO2激光器工作主體中抽出的工作氣體進(jìn)行取樣分析，儲(chǔ)氣罐二排空取樣閥用于抽取凈化系統(tǒng)中的工作氣體，用于對(duì)凈化系統(tǒng)中的工作氣體進(jìn)行取樣分析。
[0044]本實(shí)用新型所述油水分離冷卻過濾器24下方設(shè)有油水分離冷卻過濾器排氣排污閥34，所述干燥冷卻過濾器26下方設(shè)有干燥冷卻過濾器排氣排污閥44，設(shè)置排氣排污閥后可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)需要進(jìn)行定期排氣排污。
[0045]本實(shí)用新型所述加熱除氧器25下方有加熱除氧器排氣閥43，用于加熱除氧過程中進(jìn)行排氣，所述加熱除氧器25內(nèi)有銅粉或銅肩，加熱維持溫度為600°C -700°C，在600°C _700°C溫度下會(huì)產(chǎn)生以下兩個(gè)化學(xué)反應(yīng):2Cu+02==2Cu0，C0+ CuO== C02+Cu其中第一個(gè)反應(yīng)的結(jié)果是工作氣體中的氧氣被銅粉或銅肩吸收生成了固體CuO，第二個(gè)反應(yīng)的結(jié)果是工作氣體中的CO與CuO反應(yīng)生成了 CO2氣體和固體Cu，由于CO本來就是CO 2分解生成的，故它被氧化生成CO2氣體實(shí)際上是恢復(fù)了工作氣體中原有的0)2氣體數(shù)量；另由于CO2分解生成的CO數(shù)量遠(yuǎn)小于因泄漏而進(jìn)入系統(tǒng)的氧氣，故在這一環(huán)節(jié)是安全的，氧氣與銅反應(yīng)生成的固體CuO的數(shù)量也足夠把CO氧化成CO2。
[0046]本實(shí)用新型裝置結(jié)構(gòu)及功能說明:
[0047]本實(shí)用新型中該軸快流CO2激光器工作氣體回收再利用裝置主要包括氣體單元、高壓氣瓶、軸快流0)2激光器工作主體、正壓輸出真空泵、儲(chǔ)氣罐一、油水分離冷卻過濾器、加熱除氧器、干燥冷卻過濾器、儲(chǔ)氣罐二等幾個(gè)部分，為保證凈化系統(tǒng)保持微正壓運(yùn)行，在這一系統(tǒng)中將原真空泵改用正壓輸出真空泵，即真空泵的輸出口壓強(qiáng)相對(duì)較高，約為
0.2MPa，通過電磁閥將含有少量雜質(zhì)的工作氣體送入儲(chǔ)氣罐一，儲(chǔ)氣罐一容積約3~5升，額定工作壓強(qiáng)0.6MPa，主要用于正壓輸出真空泵的輸出緩沖，其上有一壓力傳感器，為凈化系統(tǒng)監(jiān)控儲(chǔ)氣罐一的工作壓強(qiáng)提供實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)。
[0048]再經(jīng)過緩沖的工作氣體通過相應(yīng)閥門進(jìn)入油水分離冷卻過濾器，在這一環(huán)節(jié)，工作氣體中的油蒸汽經(jīng)冷卻后變成液體而被分離出來，并可經(jīng)排氣排污閥定期排出。
[0049]去除油蒸汽的工作氣體再經(jīng)相應(yīng)閥門進(jìn)入加熱除氧器，在加熱除氧器中主要有銅粉或銅肩，加熱維持溫度約為600°C ~700°C，在這一溫度下會(huì)產(chǎn)生以下兩個(gè)化學(xué)反應(yīng):
[0050]2Cu+02==2Cu0 ;
[0051]CO+ CuO== C02+Cu ；
[0052]其中第一個(gè)反應(yīng)的結(jié)果是工作氣體中的氧氣被銅粉或銅肩吸收生成了固體CuO，第二個(gè)反應(yīng)的結(jié)果是工作氣體中的CO與CuO反應(yīng)生成了 CO2氣體和固體Cu，由于CO本來就是CO2分解生成的，故它被氧化生成CO2氣體實(shí)際上是恢復(fù)了工作氣體中原有的CO 2氣體數(shù)量；另由于CO2分解生成的CO數(shù)量遠(yuǎn)小于因泄漏而進(jìn)入系統(tǒng)的氧氣，故在這一環(huán)節(jié)，氧氣與銅反應(yīng)生成的固體CuO足夠把CO氧化成co2。
[0053]去除了 02和CO的工作氣體是被加熱過的熱氣體，所以在經(jīng)過相應(yīng)閥門后就進(jìn)入了干燥冷卻過濾器，工作氣體在這里首先是被冷卻，然后是通過硅膠吸濕干燥并過慮輸出，經(jīng)過相應(yīng)閥門送到儲(chǔ)氣罐二，儲(chǔ)氣罐二容積約1~2升，額定工作壓強(qiáng)0.6MPa，主要用于凈化后工作氣體的輸出緩沖，其上有一壓力傳感器，為儲(chǔ)氣罐二的工作壓強(qiáng)提供實(shí)時(shí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)，儲(chǔ)氣罐二的實(shí)際工作壓強(qiáng)一般控制在0.12-0.18MPa，最大不超過0.2MPa，通過電磁閥向軸快流0)2激光器工作主體供氣。
[0054]為便于對(duì)工作氣體成分進(jìn)行檢測(cè)，本實(shí)用新型在儲(chǔ)氣罐一上設(shè)有儲(chǔ)氣罐一排空取樣閥，用于對(duì)軸快流0)2激光器工作主體中抽出的工作氣體進(jìn)行取樣分析；本實(shí)用新型在儲(chǔ)氣罐二上設(shè)有儲(chǔ)氣罐二排空取樣閥，用于對(duì)凈化系統(tǒng)中的工作氣體進(jìn)行取樣分析。
[0055]本實(shí)用新型油水分離冷卻過濾器，有冷卻水進(jìn)水口和冷卻水出水口，用于對(duì)工作氣體降溫以使?jié)櫥驼羝浞掷鋮s液化，內(nèi)部另含有傘狀等促進(jìn)潤(rùn)滑油凝結(jié)的裝置；設(shè)有排氣排污閥，可根據(jù)實(shí)際生產(chǎn)情況確定每天或每周排污時(shí)間，另外在更換該部件時(shí)只需要關(guān)閉其前后閥門即可將其拆卸更換。
[0056]本實(shí)用新型加熱除氧器，本實(shí)用新型在加熱除氧器外部有保溫，其上有一排氣閥，內(nèi)部放置適量銅