一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于半導(dǎo)體硅晶片化學(xué)液腐蝕技術(shù)領(lǐng)域，主要涉及一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器。
【背景技術(shù)】
[0002]單晶硅片是半導(dǎo)體行業(yè)的基礎(chǔ)材料。硅片經(jīng)過(guò)切、倒、磨等機(jī)械加工后，表面損傷層的去除，直接鍵合硅片的減薄，硅中缺陷的化學(xué)腐蝕等方面要用到硅的化學(xué)腐蝕過(guò)程。硅表面的化學(xué)腐蝕一般采用濕法腐蝕，硅表面腐蝕形成隨機(jī)分布的微小原電池，腐蝕電流較大，一般超過(guò)100A / cm2 ο但是處于對(duì)腐蝕液高純度和減少可能金屬離子污染的要求，目前主要使用氫氟酸、硝酸、冰乙酸混合的酸性腐蝕液，以及氫氧化鉀或氫氧化鈉等堿性腐蝕液。在采用氫氧化鈉化學(xué)腐蝕時(shí)，要嚴(yán)格控制堿蝕液中氫氧化鈉濃度。過(guò)高的氫氧化鈉濃度雖然有利于提高堿蝕件表面的光亮度，但也加速了硅與堿的反應(yīng)速度。氫氧化鈉濃度越高，硅與氫氧化鈉反應(yīng)越快。故氫氧化鈉濃度要控制在工藝配方范圍之內(nèi)，不宜過(guò)高，且濃度過(guò)高時(shí)隨單晶硅片帶出量也隨之加大，既加速了硅的溶解速度，又加大了氫氧化鈉的無(wú)謂損耗，在堿蝕復(fù)大批量單晶硅片時(shí)往往會(huì)引起難以控制的局面，由此過(guò)腐蝕的現(xiàn)象亦較多見(jiàn)。同時(shí)，堿蝕時(shí)要嚴(yán)格控制時(shí)間和溫度。硅在堿蝕時(shí)溶解的質(zhì)量損失與浸蝕時(shí)間是成正比的，并隨著浸蝕時(shí)間的延長(zhǎng)，制件外表質(zhì)量會(huì)受到不同程度的降低，由此可見(jiàn)控制堿蝕時(shí)間不僅僅是為防止過(guò)腐蝕的需要，也是保證表面質(zhì)量的關(guān)鍵之一。溫度過(guò)高也會(huì)加速腐蝕，所以溶液溫度的穩(wěn)定持續(xù)，在堿腐蝕工藝中是十分重要的，現(xiàn)有堿腐蝕及堿溶液槽的溶液加熱采用蜂窩盤(pán)管板式特氟龍加熱器，放置于槽底部，出現(xiàn)以下問(wèn)題:1)特氟龍傳熱軟管過(guò)于密集，在連續(xù)生產(chǎn)中，長(zhǎng)時(shí)間加熱使用，熱量聚集在溶液槽底部，不易散發(fā)，極易燒損特氟龍軟管，造成加熱金屬絲裸露于溶液中，造成硅片沾污，引發(fā)安全事故。2)長(zhǎng)時(shí)間停止使用，殘留的堿溶液易結(jié)晶，蜂窩板式加熱器清理困難。3)造價(jià)高，整體可靠性差。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0003]為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，該加熱器把加熱區(qū)域設(shè)計(jì)成環(huán)形立式，易于堿溶液的均勻穩(wěn)定持續(xù)加熱，環(huán)與環(huán)之間用特氟龍隔板隔離，使環(huán)與環(huán)之間的熱量不易聚集，便于熱量快速散發(fā)。
[0004]本實(shí)用新型所采用的技術(shù)方案是:一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，包括多個(gè)設(shè)置在堿溶液槽內(nèi)的環(huán)形加熱器主體，加熱器主體通過(guò)加熱電源線與電源線連接盒連接，電源線連接盒上設(shè)有安裝孔，加熱電源線外套設(shè)有特氟龍軟管；所述多個(gè)加熱器主體由上至下并排設(shè)置，且多個(gè)加熱器主體之間通過(guò)隔離板間隔開(kāi)，所述隔離板為矩形片狀結(jié)構(gòu)，隔離板沿豎直方向的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)用于卡設(shè)加熱器主體的環(huán)形卡孔。
[0005]進(jìn)一步優(yōu)化，所述加熱器主體為不銹鋼加熱管。
[0006]進(jìn)一步優(yōu)化，所述加熱器主體與加熱電源線之間的連接處填充有樹(shù)脂。
[0007]進(jìn)一步優(yōu)化，所述加熱器主體至少為三個(gè)。
[0008]進(jìn)一步優(yōu)化，相鄰兩個(gè)加熱器主體之間的間隔為10mm。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型至少具有下述優(yōu)點(diǎn)及有益效果:
[0010]本實(shí)用新型提供的環(huán)形立式特氟龍加熱器，主要用于生產(chǎn)半導(dǎo)體硅片的堿腐蝕機(jī)堿溶液槽中，加熱器主體為一體式設(shè)計(jì)，把加熱區(qū)域設(shè)計(jì)成環(huán)形立式，易于堿溶液的均勻穩(wěn)定持續(xù)加熱，環(huán)與環(huán)之間用特氟龍隔板隔離，使環(huán)與環(huán)之間的熱量不易聚集，便于熱量快速散發(fā)，解決了蜂窩板式加熱器所存在的問(wèn)題。本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)能夠延長(zhǎng)加熱器的使用壽命，防止硅片沾污，方便清理，且能降低使用成本，提高工作效率。
【附圖說(shuō)明】
[0011]圖1為本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖2為本實(shí)用新型中隔離板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖3為本實(shí)用新型中加熱器主體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]附圖標(biāo)記:1、加熱器主體，2、加熱電源線，3、電源線連接盒，4、安裝孔，5、特氟龍軟管，6、隔咼板。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型的內(nèi)容更明顯易懂，以下結(jié)合具體實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行詳細(xì)描述。
[0016]如圖所示，一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，包括多個(gè)設(shè)置在堿溶液槽內(nèi)的環(huán)形加熱器主體I，加熱器主體I通過(guò)加熱電源線2與電源線連接盒3連接，電源線連接盒3上設(shè)有安裝孔4，加熱電源線2外套設(shè)有特氟龍軟管5 ;所述多個(gè)加熱器主體I由上至下并排設(shè)置，且多個(gè)加熱器主體I之間通過(guò)隔離板6間隔開(kāi)，所述隔離板6為矩形片狀結(jié)構(gòu)，隔離板6沿豎直方向的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)用于卡設(shè)加熱器主體I的環(huán)形卡孔。
[0017]為了使本實(shí)用新型具有更好的使用效果，所述加熱器主體I為不銹鋼加熱管，加熱器主體I與加熱電源線2之間的連接處填充有樹(shù)脂。
[0018]作為另一種優(yōu)選方式，加熱器主體I至少為三個(gè)，環(huán)數(shù)的多少根據(jù)所需加熱功率和槽的尺寸來(lái)計(jì)算，相鄰兩個(gè)加熱器主體I之間的間隔為10_。
[0019]本技術(shù)方案中，在進(jìn)行安裝時(shí)，將加熱器主體I安裝到隔離板6的環(huán)形卡孔上，上下疊置成加熱器，然后將加熱器水平放置堿溶液槽中，并將安裝孔4內(nèi)插入聚四氟乙烯螺絲，固定加熱器，連接加熱電源線至合適電源。
[0020]本實(shí)用新型所列舉的技術(shù)方案和實(shí)施方式并非是限制，與本實(shí)用新型所列舉的技術(shù)方案和實(shí)施方式等同或者效果相同方案都在本實(shí)用新型所保護(hù)的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，其特征在于:包括多個(gè)設(shè)置在堿溶液槽內(nèi)的環(huán)形加熱器主體(1)，加熱器主體(I)通過(guò)加熱電源線(2)與電源線連接盒(3)連接，電源線連接盒(3)上設(shè)有安裝孔(4)，加熱電源線(2)外套設(shè)有特氟龍軟管(5);所述多個(gè)加熱器主體(I)由上至下并排設(shè)置，且多個(gè)加熱器主體(I)之間通過(guò)隔離板(6)間隔開(kāi)，所述隔離板(6)為矩形片狀結(jié)構(gòu)，隔離板(6)沿豎直方向的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)用于卡設(shè)加熱器主體(I)的卡孔。2.如權(quán)利要求1所述的一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，其特征在于:所述加熱器主體(I)為不銹鋼加熱管。3.如權(quán)利要求1所述的一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，其特征在于:所述加熱器主體(I)與加熱電源線(2)之間的連接處填充有樹(shù)脂。4.如權(quán)利要求1所述的一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，其特征在于:所述加熱器主體(I)至少為三個(gè)。5.如權(quán)利要求1所述的一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，其特征在于:相鄰兩個(gè)加熱器主體(I)之間的間隔為10mm。
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)一種用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器，包括多個(gè)設(shè)置在堿溶液槽內(nèi)的環(huán)形加熱器主體，加熱器主體通過(guò)加熱電源線與電源線連接盒連接，電源線連接盒上設(shè)有安裝孔，加熱電源線外套設(shè)有特氟龍軟管；所述多個(gè)加熱器主體由上至下并排設(shè)置，且多個(gè)加熱器主體之間通過(guò)隔離板間隔開(kāi)，所述隔離板為矩形片狀結(jié)構(gòu)，隔離板沿豎直方向的側(cè)壁上設(shè)有多個(gè)用于卡設(shè)加熱器主體的環(huán)形卡孔。本實(shí)用新型提供的用于堿腐蝕機(jī)的環(huán)形立式特氟龍加熱器把加熱區(qū)域設(shè)計(jì)成環(huán)形立式，易于堿溶液的均勻穩(wěn)定持續(xù)加熱，環(huán)與環(huán)之間用特氟龍隔板隔離，使環(huán)與環(huán)之間的熱量不易聚集，便于熱量快速散發(fā)。
【IPC分類(lèi)】H01L21/67
【公開(kāi)號(hào)】CN204857675
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520528002
【發(fā)明人】王曉飛, 張明亮, 卓圓, 李建剛, 李海濤, 孫智武
【申請(qǐng)人】麥斯克電子材料有限公司
【公開(kāi)日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日