真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型屬于太陽能電池片的制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能離子注入機(jī)行業(yè)中，太陽能硅片工件需要通過托盤連續(xù)傳輸，托盤從大氣環(huán)境下進(jìn)入，依次經(jīng)過處于真空環(huán)境的進(jìn)片腔、注入前緩沖腔、離子束注入?yún)^(qū)域、注入后緩沖腔和出片腔后出到大氣環(huán)境中，完成整個(gè)離子注入過程。當(dāng)托盤運(yùn)動(dòng)到注入后緩沖腔時(shí)，當(dāng)托盤觸碰到腔壁時(shí)，托盤容易被反彈回來，影響后續(xù)托盤前進(jìn)，導(dǎo)致托盤隊(duì)列不能連續(xù)勻速傳輸，這將影響設(shè)備的生產(chǎn)效率。
[0003]有鑒于此，確有必要提供一種真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其可以防止托盤碰到注入后緩沖腔的腔壁時(shí)被反彈回來。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于:針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，而提供一種真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其可以防止托盤碰到注入后緩沖腔的腔壁時(shí)被反彈回來。
[0005]為了達(dá)到上述目的，本實(shí)用新型采用如下技術(shù)方案:
[0006]真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，包括擋塊、連接桿、連接軸，所述連接軸穿過所述連接桿，所述連接桿的下部末端與所述擋塊接觸。
[0007]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述連接桿上設(shè)置有安裝孔，所述連接軸穿過所述安裝孔，所述安裝孔到所述連接桿的頂部的重量小于所述安裝孔到所述連接桿的末端的重量。
[0008]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，位于真空腔內(nèi)的托盤通過接觸所述連接桿的頂部對(duì)所述連接軸所產(chǎn)生的力矩大于所述安裝孔到所述連接桿末端的重量對(duì)所述連接軸所產(chǎn)生的力矩。
[0009]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述連接桿的末端的形狀為球形、長方體形、棱柱形或橢球形。
[0010]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述連接軸設(shè)置為銷軸。
[0011]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述安裝孔到所述連接桿的頂部的距離與所述連接桿的長度的比小于1/2。
[0012]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述連接桿的頂部為平面，所述連接桿的頂部所在平面高出于位于真空腔內(nèi)的托盤的底部所在平面。
[0013]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述真空腔的一端設(shè)置有擋板，所述連接桿與所述擋板之間的水平距離大于或等于位于真空腔內(nèi)的托盤的長度。
[0014]作為本實(shí)用新型真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)的一種改進(jìn)，所述連接桿的頂部的遠(yuǎn)離所述擋塊的一側(cè)設(shè)置有倒角。
[0015]相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型包括擋塊、連接桿、連接軸，所述連接軸穿過所述連接桿，所述連接桿的下部末端與所述擋塊接觸，當(dāng)托盤進(jìn)入時(shí)，托盤的底部與連接桿的頂部的一端接觸，托盤對(duì)連接桿施加的力使得連接桿繞著連接軸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，從而使得連接桿的另一端遠(yuǎn)離托盤的底部，托盤得以自由通過，當(dāng)托盤的底部完全通過連接桿的頂部后，連接桿繞著連接軸逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)回復(fù)到原位，當(dāng)托盤運(yùn)動(dòng)到與腔壁接觸的位置欲反彈時(shí)，由于連接桿的頂部高出于托盤的底部，因此，托盤無法反彈。如此，就實(shí)現(xiàn)了阻止托盤反彈的功會(huì)K。
【附圖說明】
[0016]圖1為本實(shí)用新型的立體結(jié)構(gòu)示意圖。
[0017]圖2為本實(shí)用新型的工作原理圖(托盤未與連接桿接觸時(shí))。
[0018]圖3為本實(shí)用新型的工作原理圖(托盤與連接桿接觸時(shí))。
[0019]圖4為本實(shí)用新型的工作原理圖(托盤離開連接桿后)。
[0020]其中:
[0021]1-擋塊；
[0022]2-連接桿；
[0023]3-連接軸；
[0024]4-安裝孔；
[0025]5-托盤；
[0026]6-擋板。
【具體實(shí)施方式】
[0027]如圖1至圖4所示，本實(shí)用新型提供的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，包括擋塊1、連接桿2、連接軸3，連接軸3穿過連接桿2，連接桿2可以繞著連接軸3順時(shí)針或逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)，連接桿2的下部末端與擋塊I接觸，以防止連接桿2過度旋轉(zhuǎn)，妨礙托盤的通過。
[0028]連接桿2上設(shè)置有安裝孔4，連接軸3穿過安裝孔4內(nèi)，安裝孔4到連接桿2的頂部的重量小于安裝孔4到連接桿2的末端的重量，即連接桿2的末端形成重力下墜塊，以引導(dǎo)連接桿2的旋轉(zhuǎn)復(fù)位。
[0029]位于真空腔內(nèi)的托盤5通過接觸連接桿2的頂部對(duì)連接軸3所產(chǎn)生的力矩大于安裝孔4到連接桿2末端的重量對(duì)連接軸3所產(chǎn)生的力矩，從而當(dāng)托盤5的底部與連接桿2的頂部接觸時(shí)，托盤5施加的力能夠使得連接桿2順時(shí)針旋轉(zhuǎn)起來。
[0030]連接桿2的末端的形狀為球形、長方體形、棱柱形或橢球形，其形狀可以根據(jù)實(shí)際需要進(jìn)行合理的選擇。本實(shí)施例中設(shè)置為球形。
[0031]連接軸3設(shè)置為銷軸，結(jié)構(gòu)簡單，成本低。
[0032]安裝孔4到連接桿2的頂部的距離與連接桿2的長度的比小于1/2，以在連接桿2的末端形成重力下墜塊，從而引導(dǎo)連接桿2的旋轉(zhuǎn)復(fù)位。
[0033]連接桿2的頂部為平面，連接桿2的頂部所在平面高出于位于真空腔內(nèi)的托盤5的底部所在平面，當(dāng)托盤5完全通過連接桿2的頂部時(shí)，連接桿2能夠阻止托盤5的回彈。
[0034]真空腔的一端設(shè)置有擋板6，連接桿2與擋板6之間的水平距離大于或等于位于真空腔內(nèi)的托盤5的長度，若連接桿2與擋板6之間的水平距離小于位于真空腔內(nèi)的托盤5的長度，則托盤5無法完全通過連接桿2，從而無法實(shí)現(xiàn)阻止反彈的功能。優(yōu)選的，連接桿2與擋板6之間的水平距離略略大于位于真空腔內(nèi)的托盤5的長度，這樣能起到最佳的阻止反彈的效果。
[0035]連接桿2的頂部的遠(yuǎn)離擋塊I的一側(cè)設(shè)置有倒角，便于托盤5的底部與連接桿2的接觸，倒角的設(shè)置不僅不會(huì)阻礙托盤5的運(yùn)動(dòng)，還可以引導(dǎo)托盤5的運(yùn)動(dòng)，同時(shí)，倒角的設(shè)置也不會(huì)劃傷托盤5的底部。
[0036]本實(shí)用新型的工作原理如下:
[0037]如圖2所示，位于真空腔內(nèi)的托盤5 —個(gè)一個(gè)順次地向著本實(shí)用新型和擋板的方向運(yùn)動(dòng)，位于最前面的托盤5逐漸運(yùn)動(dòng)到連接桿2所在位置處，此時(shí)，如圖3所示，托盤5的底部與連接桿2的倒角接觸，在托盤5施加的作用力下，連接桿2繞著連接軸3順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，從而使得連接桿2的另一端遠(yuǎn)離托盤5的底部，托盤5得以自由通過，連接桿2的末端逐漸遠(yuǎn)離擋塊1，托盤5逐漸的通過連接桿2的頂部，當(dāng)托盤5的底部完全通過連接桿2的底部后，連接桿2繞著連接軸3逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)回位，直到連接桿2的末端與擋塊I接觸，此時(shí)，如圖4所示，該托盤5位于本實(shí)用新型和擋板6之間，托盤5繼續(xù)運(yùn)動(dòng)，直至觸碰到擋板6時(shí)，在反作用力的作用下，托盤5向后反彈運(yùn)動(dòng)，但是，連接桿2會(huì)阻止托盤5的繼續(xù)反彈。如此，就實(shí)現(xiàn)了阻止托盤5反彈的功能。其余的托盤5也是如此通過連接桿2的頂部。
[0038]根據(jù)上述說明書的揭示和教導(dǎo)，本實(shí)用新型所屬領(lǐng)域的技術(shù)人員還可以對(duì)上述實(shí)施方式進(jìn)行適當(dāng)?shù)淖兏托薷?。因此，本?shí)用新型并不局限于上面揭示和描述的【具體實(shí)施方式】，對(duì)本實(shí)用新型的一些修改和變更也應(yīng)當(dāng)落入本實(shí)用新型的權(quán)利要求的保護(hù)范圍內(nèi)。此外，盡管本說明書中使用了一些特定的術(shù)語，但這些術(shù)語只是為了方便說明，并不對(duì)本實(shí)用新型構(gòu)成任何限制。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:包括擋塊、連接桿、連接軸，所述連接軸穿過所述連接桿，所述連接桿的下部末端與所述擋塊接觸。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述連接桿上設(shè)置有安裝孔，所述連接軸穿過所述安裝孔，所述安裝孔到所述連接桿的頂部的重量小于所述安裝孔到所述連接桿的末端的重量。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:位于真空腔內(nèi)的托盤通過接觸所述連接桿的頂部對(duì)所述連接軸所產(chǎn)生的力矩大于所述安裝孔到所述連接桿末端的重量對(duì)所述連接軸所產(chǎn)生的力矩。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述連接桿的末端的形狀為球形、長方體形、棱柱形或橢球形。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述連接軸設(shè)置為銷軸。6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述安裝孔到所述連接桿的頂部的距離與所述連接桿的長度的比小于1/2。7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述連接桿的頂部為平面，所述連接桿的頂部所在平面高出于位于真空腔內(nèi)的托盤的底部所在平面。8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述真空腔的一端設(shè)置有擋板，所述連接桿與所述擋板之間的水平距離大于或等于位于真空腔內(nèi)的托盤的長度。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，其特征在于:所述連接桿的頂部的遠(yuǎn)離所述擋塊的一側(cè)設(shè)置有倒角。
【專利摘要】本實(shí)用新型屬于太陽能電池片的制造設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種真空腔內(nèi)阻止托盤回彈的機(jī)構(gòu)，包括擋塊、連接桿、連接軸，連接軸穿過連接桿，連接桿的下部末端與擋塊接觸。相對(duì)于現(xiàn)有技術(shù)，本實(shí)用新型包括擋塊、連接桿、連接軸，連接軸穿過連接桿，連接桿的下部末端與擋塊接觸，當(dāng)托盤進(jìn)入時(shí)，托盤的底部與連接桿的頂部的一端接觸，托盤對(duì)連接桿施加的力使得連接桿繞著連接軸順時(shí)針旋轉(zhuǎn)，從而使得連接桿的另一端遠(yuǎn)離托盤的底部，托盤得以自由通過，當(dāng)托盤的底部完全通過連接桿的頂部后，連接桿繞著連接軸逆時(shí)針旋轉(zhuǎn)回復(fù)到原位，當(dāng)托盤運(yùn)動(dòng)到與腔壁接觸的位置欲反彈時(shí)，由于連接桿的頂部高出于托盤的底部，因此，托盤無法反彈。
【IPC分類】H01L21/265, H01L31/18
【公開號(hào)】CN204857762
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520506620
【發(fā)明人】錢鋒, 李丙科, 姚飛, 孫丁群, 宋銀海
【申請(qǐng)人】東莞帕薩電子裝備有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請(qǐng)日】2015年7月14日