團簇式oled腔體切換裝置的制造方法
【技術領域】
[0001]本實用新型屬于OLED顯示技術領域，具體涉及一種團簇式OLED腔體切換裝置。
【背景技術】
[0002]OLED的中文名為“有機電致發(fā)光顯示器”，又稱“有機電激發(fā)光顯示器”，OLED技術被視為繼LCD與PDP之后發(fā)展?jié)摿ψ畲蟮男滦推桨屣@示技術，由于其突出的性能優(yōu)勢得到了世界上許多國家和企業(yè)的重視，目前正處于技術快速發(fā)展、產(chǎn)業(yè)逐步啟動的階段。OLED具有主動發(fā)光、響應速度快、低壓驅動、耗電量低、全固態(tài)結構、超輕薄、視角寬、可使用溫度范圍大等諸多優(yōu)點，被業(yè)內稱為“夢幻顯示器”，代表了目前顯示技術的發(fā)展方向。
[0003]在OLED研發(fā)和制造中大量使用到團簇式設備，這些設備通常是集成了預處理、有機蒸鍍、金屬蒸鍍、磁控濺射、CVD于一體的綜合鍍膜設備。交換腔位于簇群中心，其他各個獨立的工藝腔均布在其周圍形成團簇式結構。工藝腔是在高真空條件下，在基板上沉積各種化合物的單層或多層薄膜，而交換腔內機械手則在各工藝腔完成作業(yè)后，在工藝腔內取放基板并退回交換腔，在回轉傳輸?shù)较乱粋€工藝腔體。團簇式設備巨大而沉重，在平時大規(guī)模生產(chǎn)時不會做出變動，但遇到其他情況時，如在設備安裝調試時，在設備進行大修和維護時，在工藝變更或者產(chǎn)品升級換代需要改變腔體位置時，腔體結構難以調整，極大的影響了工程進度和生產(chǎn)任務。
【實用新型內容】
[0004]本實用新型的目的是解決上述問題，提供一種切換裝置，能夠方便切換團簇式OLED腔體的工藝腔。
[0005]為解決上述技術問題，本實用新型的技術方案是:一種團簇式OLED腔體切換裝置，包括環(huán)形軌道、機架以及安裝在機架上的弧形輪組、液壓夾持器和動力機構，所述環(huán)形軌道以團簇式OLED腔體的交換腔中心為圓點，弧形輪組與環(huán)形軌道活動連接，動力機構的輸出端與弧形輪組相連用于驅動弧形輪組；液壓夾持器位于機架下部，與團簇式OLED腔體的工藝腔相對。
[0006]優(yōu)選地，還包括安裝在機架上的減速電機、液壓耦合器和轉向齒輪箱，所述減速電機的輸出端與液壓親合器的輸入端相連，液壓親合器的輸出端與轉向齒輪箱的輸入端相連，轉向齒輪箱的輸出端與液壓夾持器相連。
[0007]優(yōu)選地，所述環(huán)形軌道的數(shù)量為二。
[0008]優(yōu)選地，所述減速電機為行星齒輪減速電機。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型所提供的團簇式OLED腔體切換裝置，在團簇式OLED腔體外圍的頂部設置環(huán)形軌道，通過動力機構和弧形輪組實現(xiàn)機架沿環(huán)形軌道的移動，并在機架下懸掛液壓夾持器對接單個工藝腔，從而實現(xiàn)各個腔體的進退和換位作業(yè)。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型團簇式OLED腔體切換裝置的示意圖；
[0011]圖2是本實用新型環(huán)形軌道與團簇式OLED腔體的位置關系示意圖。
[0012]附圖標記說明:1、環(huán)形軌道；2、弧形輪組；3、液壓夾持器；4、減速電機；5、液壓耦合器；6、轉向齒輪箱；7、交換腔；8、工藝腔。
【具體實施方式】
[0013]下面結合附圖和具體實施例對本實用新型做進一步的說明:
[0014]如圖1和圖2所示，本實用新型的團簇式OLED腔體切換裝置，包括機架、環(huán)形軌道1、弧形輪組2、液壓夾持器3和動力機構，環(huán)形軌道I以團簇式OLED腔體的交換腔7中心為圓點進行設置，位于團簇式OLED腔體外圍的頂部，在本實施例中，環(huán)形軌道I的數(shù)量為二 ；弧形輪組2、液壓夾持器3和動力機構均安裝在機架上，具體的，弧形輪組2與環(huán)形軌道I活動連接，動力機構的輸出端與弧形輪組2相連用于驅動弧形輪組2 ;液壓夾持器3位于機架下部，與團簇式OLED腔體的工藝腔8相對；本裝置還包括安裝在機架上的減速電機4、液壓親合器5和轉向齒輪箱6，減速電機4的輸出端與液壓親合器5的輸入端相連，液壓親合器5的輸出端與轉向齒輪箱6的輸入端相連，轉向齒輪箱6的輸出端與液壓夾持器3相連；其中，減速電機4為行星齒輪減速電機。
[0015]以下對上述團簇式OLED腔體切換裝置的工作過程作進一步的詳細描述，以表示其工作原理:
[0016]操作人員通過控制動力機構驅動的弧形輪組使機架沿著環(huán)形軌道運行到對應的工藝腔的位置附近。減速電機用于驅動液壓夾持器前進和后退，當液壓夾持器推進至與工藝腔接觸后，操作人員通過控制液壓夾持器與工藝腔連接，在確認夾持穩(wěn)固后，操作減速電機使液壓夾持器回退。待達到安全位置后，操作人員控制松開液壓夾持器，由設備技術人員把工藝腔推移至暫存區(qū)后，再對下個工藝腔進行作業(yè)。同樣道理，在設備完成維修、改進或者升級后，由操作人員和設備技術員合作進行反向操作把原來或者變更后的工藝腔推進對接到交換腔對應的位置上。
[0017]本領域的普通技術人員將會意識到，這里所述的實施例是為了幫助讀者理解本實用新型的原理，應被理解為本實用新型的保護范圍并不局限于這樣的特別陳述和實施例。本領域的普通技術人員可以根據(jù)本實用新型公開的這些技術啟示做出各種不脫離本實用新型實質的其它各種具體變形和組合，這些變形和組合仍然在本實用新型的保護范圍內。
【主權項】
1.團簇式OLED腔體切換裝置，其特征在于:包括環(huán)形軌道(I)、機架以及安裝在機架上的弧形輪組(2)、液壓夾持器(3)和動力機構，所述環(huán)形軌道(I)以團簇式OLED腔體的交換腔(7)中心為圓點，弧形輪組(2)與環(huán)形軌道(I)活動連接，動力機構的輸出端與弧形輪組(2)相連用于驅動弧形輪組(2);液壓夾持器(3)位于機架下部，與團簇式OLED腔體的工藝腔⑶相對。2.根據(jù)權利要求1所述的團簇式OLED腔體切換裝置，其特征在于:還包括安裝在機架上的減速電機(4)、液壓親合器(5)和轉向齒輪箱(6)，所述減速電機(4)的輸出端與液壓親合器(5)的輸入端相連，液壓親合器(5)的輸出端與轉向齒輪箱(6)的輸入端相連，轉向齒輪箱(6)的輸出端與液壓夾持器(3)相連。3.根據(jù)權利要求1所述的團簇式OLED腔體切換裝置，其特征在于:所述環(huán)形軌道(I)的數(shù)量為二。4.根據(jù)權利要求2所述的團簇式OLED腔體切換裝置，其特征在于:所述減速電機(4)為行星齒輪減速電機。
【專利摘要】本實用新型公開了一種團簇式OLED腔體切換裝置，包括環(huán)形軌道、機架以及安裝在機架上的弧形輪組、液壓夾持器和動力機構，所述環(huán)形軌道以團簇式OLED腔體的交換腔中心為圓點，弧形輪組與環(huán)形軌道活動連接，動力機構的輸出端與弧形輪組相連用于驅動弧形輪組；液壓夾持器位于機架下部，與團簇式OLED腔體的工藝腔相對。本實用新型所提供的團簇式OLED腔體切換裝置，在團簇式OLED腔體外圍的頂部設置環(huán)形軌道，通過動力機構和弧形輪組實現(xiàn)機架沿環(huán)形軌道的移動，并在機架下懸掛液壓夾持器對接單個工藝腔，從而實現(xiàn)各個腔體的進退和換位作業(yè)。
【IPC分類】H01L51/56
【公開號】CN204857791
【申請?zhí)枴緾N201520535474
【發(fā)明人】向欣, 敬啟毓, 任海, 魏鋒, 唐元剛, 黃 俊
【申請人】四川虹視顯示技術有限公司
【公開日】2015年12月9日
【申請日】2015年7月22日