一種刻蝕液供液裝置及使用該裝置的濕化刻蝕設(shè)備的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及濕化刻蝕設(shè)備，尤其涉及一種濕化刻蝕設(shè)備中的刻蝕液供液壓力瓶。
【背景技術(shù)】
[0002]ZnO是一種寬禁帶半導(dǎo)體材料，由它制備而成薄膜是一種理想的透明導(dǎo)電薄膜，在光伏、LED行業(yè)有著良好的應(yīng)用前景。為方便外部接線的引入，ZnO薄膜制備完成后一般采用濕化刻蝕方法，在其表面刻蝕加工出電極。刻蝕液供液系統(tǒng)能否均勻穩(wěn)定地輸送刻蝕液，對(duì)刻蝕的可控性、均勻性影響很大。目前廠商一般參照文丘里結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)。而這種設(shè)計(jì)存在以下不足和缺陷:
[0003]1、由于刻蝕液粘度較大，采用文丘里結(jié)構(gòu)的供液系統(tǒng)供液速度過小，在高液位差的情況下甚至不供液，不利于刻蝕工藝的調(diào)試。
[0004]2、刻蝕工藝過程中，刻蝕液不斷供出，液位不斷下降，采用文丘里結(jié)構(gòu)的供液系統(tǒng)吸液越來越困難，供液速度也隨之降低，影響工藝的均勻穩(wěn)定性。
[0005]因此，如何提供一種可以均勻、穩(wěn)定地輸送刻蝕液的刻蝕液供液系統(tǒng)是業(yè)界亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本實(shí)用新型為了解決上述現(xiàn)有技術(shù)的問題，提出一種刻蝕液供液裝置，包括用于盛裝刻蝕液的蝕液瓶、用于導(dǎo)出刻蝕液的輸液管，所述蝕液瓶外設(shè)有一密封的壓力瓶，所述輸液管一端位于蝕液瓶內(nèi)、另一端伸出所述壓力瓶，所述蝕液瓶的上方設(shè)有與壓力瓶連通的空氣入口，所述壓力瓶分別與一可注入空氣的壓縮空氣接口以及一泄壓閥連通。
[0007]優(yōu)選的，所述壓力瓶還與一壓力表連通。
[0008]優(yōu)選的，還包括一用于檢測(cè)蝕液瓶內(nèi)液位高度的液面檢測(cè)模塊。所述壓力瓶的側(cè)壁底部設(shè)有一垂直于其軸向的開口通管；所述液面檢測(cè)模塊包括設(shè)于通管內(nèi)且將壓力瓶密封的護(hù)套，設(shè)置在護(hù)套內(nèi)的液位傳感器，與通管的外圍螺紋連接、用于調(diào)整護(hù)套及傳感器與蝕液瓶距離的調(diào)節(jié)螺母。
[0009]優(yōu)選的，所述輸液管伸出壓力瓶的一端設(shè)有噴淋頭。
[0010]進(jìn)一步，本實(shí)用新型的空氣入口有兩種實(shí)施方式，一種是所述蝕液瓶的瓶口與壓力瓶的內(nèi)表面之間設(shè)有一 C型頂塊作為與壓力瓶連通的空氣入口。另一種是所述蝕液瓶的瓶口處設(shè)有一缺口作為與壓力瓶連通的空氣入口。
[0011]本實(shí)用新型還提出了使用了如上述刻蝕液供液裝置的濕化刻蝕設(shè)備。
[0012]本實(shí)用新型的通過壓縮空氣提供一定的壓力，將刻蝕液勻速壓出，達(dá)到均勻供液的目的。同時(shí)將裝有刻蝕液的蝕液瓶與壓力瓶以及液面檢測(cè)裝置等隔離，避免了雜質(zhì)混入刻蝕液，不會(huì)影響刻蝕反應(yīng)，同時(shí)使蝕液瓶可以用完就更換，供液系統(tǒng)的其他部件可以免于清洗，方便維護(hù)。本實(shí)用新型進(jìn)一步設(shè)置的刻蝕液液位傳感，可以在刻蝕液余量不足時(shí)提醒操作人員及時(shí)補(bǔ)充刻蝕液，同時(shí)保證壓力供液系統(tǒng)的密封性以及液位傳感器的可調(diào)性，使用方便，檢測(cè)精準(zhǔn)。
【附圖說明】
[0013]圖1是本實(shí)用新型的立體圖；
[0014]圖2是本實(shí)用新型的剖視圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]以下結(jié)合附圖和實(shí)施例，詳細(xì)說明本實(shí)用新型的工作過程。
[0016]如圖1所示，本實(shí)用新型的刻蝕液供液裝置，主要包括用于盛裝刻蝕液的蝕液瓶2、設(shè)置在蝕液瓶2外的壓力瓶1、穿過壓力瓶I插入至蝕液瓶2底部的輸液管3以及檢測(cè)蝕液瓶2內(nèi)液面高度的液面檢測(cè)模塊4。
[0017]本實(shí)用新型的壓力瓶I是一個(gè)密封的金屬容器，包括一帶瓶口的瓶身以及將瓶口進(jìn)行密封的法蘭頂蓋。法蘭上安裝了所一個(gè)可注入壓縮空氣的壓縮空氣接口 5以及一個(gè)與泄壓閥連通的接口 6，然后蝕液瓶2的上方設(shè)有與壓力瓶I連通的空氣入口，需要輸出刻蝕液時(shí)，將壓縮空氣從壓縮空氣接口中注入，然后通過空氣入口從蝕液瓶2的瓶口進(jìn)入至蝕液瓶2內(nèi)，從而將促使刻蝕液從輸液管中流出，輸液管的出口處還可以連接噴淋頭，這樣噴出的刻蝕液更加均勻。該方法可以使供液速度不受液量的大小，而且供液速度可以滿足要求。進(jìn)一步還可以在法蘭上進(jìn)一步安裝一與壓力表連通的壓力表接口 7，以便可以精確控制輸出刻蝕液的量。
[0018]由于壓力瓶I內(nèi)的蝕液瓶2的液量大小無法直觀觀察到，通過液面檢測(cè)模塊檢測(cè)到液面到一定高度，就可以打開法蘭頂蓋，更換新的蝕液瓶。本實(shí)用新型的液面檢測(cè)模塊包括護(hù)套8、液位傳感器9以及調(diào)節(jié)螺母10。為了安裝該液面檢測(cè)模塊，壓力瓶I的側(cè)壁底部設(shè)有一垂直于其軸向的開口通管11，該通管11與壓力瓶I內(nèi)部是連通的，可以與壓力瓶I 一起鑄造形成一個(gè)整體，護(hù)套8就安裝在這通管11內(nèi)，護(hù)套8采用塑料制成，其外圍設(shè)有環(huán)形凹槽，環(huán)形凹槽內(nèi)設(shè)有略微凸出于凹槽開口的密封圈12，因此護(hù)套8將在該通管內(nèi)對(duì)壓力瓶I進(jìn)行了密封，護(hù)套8內(nèi)則放置著液位傳感器9，液位傳感器可以采用超聲波液位傳感器還可以采用電容式液位傳感器，金屬的通管可以避免外界對(duì)傳感器進(jìn)行干擾，而護(hù)套8可以避免壓力瓶內(nèi)的壓力對(duì)液位傳感器造成影響，同時(shí)也因?yàn)槠洳捎盟芰喜馁|(zhì)，不會(huì)影響傳感器的工作。通管的外圍設(shè)有螺紋，調(diào)節(jié)螺母10與通管螺紋連接，同時(shí)還與傳感器以及護(hù)套固定連接，旋轉(zhuǎn)調(diào)節(jié)螺母10，就可以沿通管的軸向調(diào)節(jié)傳感器以及護(hù)套的位置，這樣可以根據(jù)實(shí)際情況調(diào)整傳感器與蝕液瓶的距離，便于檢測(cè)。一旦檢測(cè)到刻蝕液快要用完時(shí)，就可以發(fā)出警報(bào)聲，提醒工作人員及時(shí)更換新的蝕液瓶，十分方便。
[0019]本實(shí)用新型壓力瓶瓶口處的空氣入口可以采用在蝕液瓶的瓶口與壓力瓶法蘭頂蓋的內(nèi)表面之間設(shè)置一個(gè)C型頂塊13，壓縮空氣從C型頂蓋的缺口處從瓶口進(jìn)入瓶內(nèi)，對(duì)刻蝕液的液面施加壓力，使刻蝕液順利從輸液管中流出，這種方式將刻蝕液與供液壓力瓶隔離，以避免雜質(zhì)混入刻蝕液，影響刻蝕反應(yīng)。同時(shí)供液系統(tǒng)可免于清洗，方便維護(hù)。壓力瓶瓶口處的空氣入口還可以是在瓶口處設(shè)置一缺口，雖然瓶口上端與法蘭蓋的內(nèi)表面相接觸，但是壓縮空氣可以從缺口處進(jìn)入，同樣也可以達(dá)到相同的效果。
[0020]本實(shí)用新型同樣也保護(hù)使用了上述任一一個(gè)實(shí)施例中的刻蝕液供液裝置的濕化刻蝕設(shè)備。
[0021]應(yīng)當(dāng)理解的是，上述針對(duì)具體實(shí)施例的描述較為詳細(xì)，并不能因此而認(rèn)為是對(duì)本實(shí)用新型專利保護(hù)范圍的限制，本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍應(yīng)以所附權(quán)利要求為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種刻蝕液供液裝置，包括用于盛裝刻蝕液的蝕液瓶、用于導(dǎo)出刻蝕液的輸液管，其特征在于，所述蝕液瓶外設(shè)有一密封的壓力瓶，所述輸液管一端位于蝕液瓶內(nèi)、另一端伸出所述壓力瓶，所述蝕液瓶的上方設(shè)有與壓力瓶連通的空氣入口，所述壓力瓶分別與一可注入空氣的壓縮空氣接口以及一泄壓閥連通。2.如權(quán)利要求1所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述壓力瓶還與一壓力表連通。3.如權(quán)利要求1所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，還包括一用于檢測(cè)蝕液瓶內(nèi)液位高度的液面檢測(cè)模塊。4.如權(quán)利要求3所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述壓力瓶的側(cè)壁底部設(shè)有一垂直于其軸向的開口通管；所述液面檢測(cè)模塊包括設(shè)于通管內(nèi)且將壓力瓶密封的護(hù)套，設(shè)置在護(hù)套內(nèi)的液位傳感器，與通管的外圍螺紋連接、用于調(diào)整護(hù)套及傳感器與蝕液瓶距離的調(diào)節(jié)螺母。5.如權(quán)利要求4所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述液位傳感器為超聲波液位傳感器或電容式液位傳感器。6.如權(quán)利要求1所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述輸液管伸出壓力瓶的一端設(shè)有噴淋頭。7.如權(quán)利要求1至6任意一項(xiàng)所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述蝕液瓶的瓶口與壓力瓶的內(nèi)表面之間設(shè)有一 C型頂塊作為與壓力瓶連通的空氣入口。8.如權(quán)利要求1至6任意一項(xiàng)所述的刻蝕液供液裝置，其特征在于，所述蝕液瓶的瓶口處設(shè)有一缺口作為與壓力瓶連通的空氣入口。9.使用了如上述任一權(quán)利要求所述的刻蝕液供液裝置的濕化刻蝕設(shè)備。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種刻蝕液供液裝置<b>及使用該裝置的濕化刻蝕設(shè)備</b>，刻蝕液供液裝置包括用于盛裝刻蝕液的蝕液瓶、用于導(dǎo)出刻蝕液的輸液管，所述蝕液瓶外設(shè)有一密封的壓力瓶，所述輸液管一端位于蝕液瓶內(nèi)、另一端伸出所述壓力瓶，所述蝕液瓶的上方設(shè)有與壓力瓶連通的空氣入口，所述壓力瓶分別與一可注入空氣的壓縮空氣接口以及一泄壓閥連通。本實(shí)用新型采用壓縮空氣對(duì)蝕液瓶內(nèi)的液面施加一定的壓力，從而使刻蝕液均勻流出，并且還將蝕液瓶與供液系統(tǒng)的其他部分分離開來，維護(hù)和使用都十分方便。更進(jìn)一步還提供了液面檢測(cè)模塊，可以提醒工作人員及時(shí)更換蝕液瓶。
【IPC分類】H01L21/67
【公開號(hào)】CN204946867
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520530060
【發(fā)明人】郭峰成, 羅偉斌, 楊寶立
【申請(qǐng)人】深圳市捷佳偉創(chuàng)新能源裝備股份有限公司
【公開日】2016年1月6日
【申請(qǐng)日】2015年7月21日