一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及擴(kuò)散爐中晶片自動進(jìn)出爐定位技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]已涂敷雜質(zhì)源的晶片在常溫下是不能形成半導(dǎo)體器件所需的PN結(jié)，必須置于擴(kuò)散爐在高溫下進(jìn)行擴(kuò)散。將晶片用石英勾手動送至擴(kuò)散爐恒溫區(qū)，晶片移動速率不均勻，硅片易產(chǎn)生形變，造成擴(kuò)散后硅片脫片過程中碎片多，同時擴(kuò)散后硅片結(jié)面不平整，結(jié)深不均
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【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了解決上述問題，本實用新型提出了一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，設(shè)計簡單，使用方便，保證晶片在進(jìn)出爐過程中內(nèi)外溫差較小，有利于減小熱應(yīng)力，擴(kuò)散后硅片碎片少，且結(jié)面線性良好，結(jié)深一致性好。
[0004]為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本實用新型提出了以下的技術(shù)方案:
[0005]—種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，它包括擴(kuò)散爐、滑座、調(diào)速電機(jī)、滑塊、絲桿、機(jī)械臂、推拉桿、機(jī)械手，其特征是擴(kuò)散爐一側(cè)裝有滑座，滑座內(nèi)裝有滑塊，滑塊內(nèi)裝有絲桿，絲桿一端裝有調(diào)速電機(jī)，滑座外側(cè)裝有推拉桿，推拉桿一端通過圓銷連接滑塊上端，推拉桿另一端穿過導(dǎo)輪支撐連接機(jī)械臂，機(jī)械臂下端連接機(jī)械手；滑座上端左側(cè)裝有第一停止感應(yīng)光偶，滑座上端右側(cè)裝有第二停止感應(yīng)光偶，第一停止感應(yīng)光偶右側(cè)10cm處裝有減速感應(yīng)光偶，推拉桿右端上面裝有感應(yīng)塊。
[0006]所述的導(dǎo)輪支撐包括支架和導(dǎo)輪，支架裝在擴(kuò)散爐側(cè)面位于滑座左側(cè)，支架內(nèi)部設(shè)計長方形通道，通道內(nèi)部上端和下端分別裝有導(dǎo)輪，導(dǎo)輪中間開有V型環(huán)槽。
[0007]所述的推拉桿是方形鋼桿。
[0008]所述的機(jī)械手包括銷桿、鎖緊螺釘、固定夾、活動夾、螺釘和橡膠墊，銷桿一端貫穿機(jī)械臂下端，鎖緊螺釘旋緊裝在機(jī)械臂底部把銷桿固定壓緊，銷桿另一端連接固定夾，固定夾是L型狀，固定夾上端裝有活動夾，螺釘從固定夾下端貫穿且上端旋入活動夾內(nèi)，活動夾和固定夾內(nèi)側(cè)都開有V型夾口，V型夾口內(nèi)側(cè)裝有橡膠墊。
[0009]本實用新型的優(yōu)點是設(shè)計簡單，使用方便，通過本裝置可以勻速控制物品進(jìn)入擴(kuò)散爐，保證晶片在進(jìn)出爐過程中內(nèi)外溫差較小，有利于減小熱應(yīng)力，擴(kuò)散后硅片碎片少，且結(jié)面線性良好，結(jié)深一致性好。
【附圖說明】
[0010]圖1是本實用新型的正視示意圖。
[0011]圖2是本實用新型的側(cè)視示意圖。
【具體實施方式】
[0012]為了對本發(fā)明進(jìn)一步的說明，下面結(jié)合說明書附圖來介紹:
[0013]參照附圖，一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，它包括擴(kuò)散爐1、滑座2、調(diào)速電機(jī)3、滑塊4、絲桿5、機(jī)械臂6、推拉桿7、機(jī)械手8，擴(kuò)散爐1 一側(cè)裝有滑座2，滑座2內(nèi)裝有滑塊4，滑塊4內(nèi)裝有絲桿5，絲桿5 —端裝有調(diào)速電機(jī)3，滑座2外側(cè)裝有推拉桿7，推拉桿7 —端通過圓銷9連接滑塊4上端，推拉桿7另一端穿過導(dǎo)輪支撐10連接機(jī)械臂6，機(jī)械臂6下端連接機(jī)械手8 ;滑座2上端左側(cè)裝有第一停止感應(yīng)光偶11，滑座2上端右側(cè)裝有第二停止感應(yīng)光偶12，第一停止感應(yīng)光偶11右側(cè)10cm處裝有減速感應(yīng)光偶13，推拉桿7右端上面裝有感應(yīng)塊14。
[0014]所述的導(dǎo)輪支撐10包括支架和導(dǎo)輪15，支架裝在擴(kuò)散爐1側(cè)面位于滑座2左側(cè)，支架內(nèi)部設(shè)計長方形通道，通道內(nèi)部上端和下端分別裝有導(dǎo)輪15，導(dǎo)輪15中間開有V型環(huán)槽。
[0015]所述的推拉桿7是方形鋼桿。
[0016]所述的機(jī)械手8包括銷桿81、鎖緊螺釘82、固定夾83、活動夾84、螺釘85和橡膠墊86，銷桿81 —端貫穿機(jī)械臂6下端，鎖緊螺釘82旋緊裝在機(jī)械臂6底部把銷桿81固定壓緊，銷桿81另一端連接固定夾83，固定夾83是L型狀，固定夾83上端裝有活動夾84，螺釘85從固定夾83下端貫穿且上端旋入活動夾84內(nèi)，活動夾84和固定夾83內(nèi)側(cè)都開有V型夾口，V型夾口內(nèi)側(cè)裝有橡膠墊86。
[0017]本實用新型的使用時，通過機(jī)械手把石英勾夾緊，石英勾另一端就勾住推拉舟，啟動本裝置，在調(diào)速電機(jī)運行帶動絲桿旋轉(zhuǎn)，絲桿旋轉(zhuǎn)帶動滑塊在滑座內(nèi)移動，滑塊帶動推拉桿移動，推拉桿帶動機(jī)械臂，機(jī)械臂帶動機(jī)械手，從而機(jī)械手按照設(shè)計的運行速度勻速進(jìn)入擴(kuò)散爐內(nèi)，當(dāng)推拉桿外側(cè)端部的感應(yīng)塊到達(dá)第二停止感應(yīng)光偶下端時，調(diào)速電機(jī)停止，這時說明推拉舟內(nèi)產(chǎn)品也已經(jīng)完成擴(kuò)散，調(diào)速電機(jī)反轉(zhuǎn)，先快速旋轉(zhuǎn)，使推拉舟快速往回拉，當(dāng)推拉桿外側(cè)端部感應(yīng)塊被減速感應(yīng)光偶感應(yīng)到，調(diào)速電機(jī)開始減速運行，推拉舟則開始減速拉出，當(dāng)推拉桿上的感應(yīng)塊被第一停止感應(yīng)光偶檢測到，調(diào)速電機(jī)就會停止，此時推拉舟也被拉出；將本裝置安裝于擴(kuò)散爐一側(cè)，靠爐口一端裝上機(jī)械手(用于夾住進(jìn)爐石英勾)，另一端連接調(diào)速電機(jī)，調(diào)整電機(jī)引出線接調(diào)速控制器(控制進(jìn)出爐速率)，調(diào)速控制器安裝于擴(kuò)散爐控制器面板上。然后在本裝置對應(yīng)位置固定兩個光偶，加貼一方塊磁鐵，磁鐵與光偶感應(yīng)，以控制機(jī)械臂行程，保證機(jī)械臂推舟時將硅舟置于恒溫區(qū)中心位置。PN擴(kuò)散碎片數(shù)由每批(總量500片)3.5片減少到1.2片；顯結(jié)后硅片結(jié)面更為平整均一。手動進(jìn)出爐δ xj=xjmax-xjmin=4.5 μπι;自動機(jī)械手進(jìn)出爐 δ xj=xjmax-xjmin=l.6 ym(XJ 測試取三點，δ xj是最大值減最小值。
【主權(quán)項】
1.一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，它包括擴(kuò)散爐、滑座、調(diào)速電機(jī)、滑塊、絲桿、機(jī)械臂、推拉桿、機(jī)械手，其特征是擴(kuò)散爐一側(cè)裝有滑座，滑座內(nèi)裝有滑塊，滑塊內(nèi)裝有絲桿，絲桿一端裝有調(diào)速電機(jī)，滑座外側(cè)裝有推拉桿，推拉桿一端通過圓銷連接滑塊上端，推拉桿另一端穿過導(dǎo)輪支撐連接機(jī)械臂，機(jī)械臂下端連接機(jī)械手；滑座上端左側(cè)裝有第一停止感應(yīng)光偶，滑座上端右側(cè)裝有第二停止感應(yīng)光偶，第一停止感應(yīng)光偶右側(cè)10cm處裝有減速感應(yīng)光偶，推拉桿右端上面裝有感應(yīng)塊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，其特征是所述的導(dǎo)輪支撐包括支架和導(dǎo)輪，支架裝在擴(kuò)散爐側(cè)面位于滑座左側(cè)，支架內(nèi)部設(shè)計長方形通道，通道內(nèi)部上端和下端分別裝有導(dǎo)輪，導(dǎo)輪中間開有V型環(huán)槽。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，其特征是所述的推拉桿是方形鋼桿。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置，其特征是所述的機(jī)械手包括銷桿、鎖緊螺釘、固定夾、活動夾、螺釘和橡膠墊，銷桿一端貫穿機(jī)械臂下端，鎖緊螺釘旋緊裝在機(jī)械臂底部把銷桿固定壓緊，銷桿另一端連接固定夾，固定夾是L型狀，固定夾上端裝有活動夾，螺釘從固定夾下端貫穿且上端旋入活動夾內(nèi)，活動夾和固定夾內(nèi)側(cè)都開有V型夾口，V型夾口內(nèi)側(cè)裝有橡膠墊。
【專利摘要】本實用新型涉及一種擴(kuò)散進(jìn)出爐自動推拉舟系統(tǒng)裝置。它包括擴(kuò)散爐、滑座、調(diào)速電機(jī)、滑塊、絲桿、機(jī)械臂、推拉桿、機(jī)械手，擴(kuò)散爐一側(cè)裝有滑座，滑座內(nèi)裝有滑塊，滑塊內(nèi)裝有絲桿，絲桿一端裝有調(diào)速電機(jī)，滑座外側(cè)裝有推拉桿，推拉桿一端通過圓銷連接滑塊上端，推拉桿另一端穿過導(dǎo)輪支撐連接機(jī)械臂，機(jī)械臂下端連接機(jī)械手；滑座上端左側(cè)裝有第一停止感應(yīng)光偶，滑座上端右側(cè)裝有第二停止感應(yīng)光偶，第一停止感應(yīng)光偶右側(cè)10cm處裝有減速感應(yīng)光偶，推拉桿右端上面裝有感應(yīng)塊。優(yōu)點是簡單方便，通過本裝置勻速控制物品進(jìn)入擴(kuò)散爐，保證晶片在進(jìn)出爐過程中內(nèi)外溫差較小，減小熱應(yīng)力，擴(kuò)散后硅片碎片少，且結(jié)面線性良好，結(jié)深一致性好。
【IPC分類】H01L21/687, H01L21/677
【公開號】CN204966475
【申請?zhí)枴緾N201520559602
【發(fā)明人】陳許平
【申請人】南通皋鑫電子股份有限公司
【公開日】2016年1月13日
【申請日】2015年7月30日