一種硅片載具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉涉及一種硅片腐蝕用具，特別涉及一種硅片載具。
【背景技術(shù)】
[0002]目前在硅片腐蝕工藝中，硅片專用載具放入恒溫腐蝕池中腐蝕一定時(shí)間，并在機(jī)械臂的作用下抖動(dòng)，硅片上沒(méi)有保護(hù)的地方被腐蝕形成溝槽，勾畫出芯片的初步形狀，同時(shí)將芯片的PN結(jié)暴露出來(lái)待進(jìn)一步處理。
[0003]而目前的硅片載具在恒溫腐蝕池抖動(dòng)時(shí)，由于硅片載具對(duì)硅片并沒(méi)有固定作用，所以在硅片抖動(dòng)的作用下會(huì)產(chǎn)生不可控制的自旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致硅片在腐蝕過(guò)程中每個(gè)方向腐蝕的力度不一致從而形成的溝槽深度不一，批次一致性差，對(duì)之后工序的質(zhì)量甚至成品質(zhì)量都有重大影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的發(fā)明目的在于對(duì)硅片載具在抖動(dòng)過(guò)程中發(fā)生的自旋轉(zhuǎn)，導(dǎo)致硅片各方向力度不一致而形成的溝槽深度不一、批次一致性差的問(wèn)題，提供一種能控制硅片在腐蝕過(guò)程中的自旋轉(zhuǎn)，提高溝槽深度的均勻性和一致性的硅片載具。
[0005]為了實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用的技術(shù)方案為:
[0006]—種娃片載具，包括:
[0007]載具主體，用于承放硅片，所述載具主體一側(cè)留有開(kāi)口，用于將硅片放入所述載具主體內(nèi)部；
[0008]至少一個(gè)固定單元，所述固定單元設(shè)置在所述載具主體的開(kāi)口側(cè)，包括
[0009]V形槽固定條，所述V形槽固定條用于卡住硅片位于開(kāi)口側(cè)的邊緣端以固定硅片。
[0010]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述固定單元還包括，至少一個(gè)定位調(diào)節(jié)件，所述定位調(diào)節(jié)件用于調(diào)整硅片的緊固程度；
[0011]壓片條，位于所述V形槽固定條背面并與所述V形槽固定條通過(guò)相同緊固件固定于所述載具主體上，，所述定位調(diào)節(jié)件設(shè)置于與所述壓片條上。
[0012]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述的硅片載具包括2個(gè)固定單元。
[0013]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述硅片載具還包括旋轉(zhuǎn)單元，所述旋轉(zhuǎn)單元活動(dòng)連接所述載具主體，所述載具主體和所述固定單元通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)單元做同軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0014]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選方案，所述旋轉(zhuǎn)單元包括2個(gè)活動(dòng)懸桿，所述活動(dòng)懸桿分別活動(dòng)連接于所述載具主體的兩側(cè)壁相同位置上，在所述側(cè)壁上設(shè)置有至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔；
[0015]所述旋轉(zhuǎn)定位孔與所述活動(dòng)懸桿和所述載具主體的連接點(diǎn)等距，且任一相鄰2個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔所構(gòu)成的圓弧的弧度相等；
[0016]所述活動(dòng)懸桿上設(shè)置有定位孔，所述定位孔與所述旋轉(zhuǎn)定位孔位置重疊，通過(guò)使用緊固件穿過(guò)所述定位孔和旋轉(zhuǎn)定位孔將所述活動(dòng)懸桿和載具主體及固定單元固定。
[0017]綜上所述，由于采用了上述技術(shù)方案，本實(shí)用新型的有益效果是:
[0018]硅片在抖動(dòng)過(guò)程中不在發(fā)生自旋轉(zhuǎn)，使其在抖動(dòng)腐蝕過(guò)程中被固定不再產(chǎn)生法自旋轉(zhuǎn)，保證了硅片在腐蝕過(guò)程中的自旋轉(zhuǎn)提高溝槽深度的均勻性和一致性。
[0019]加裝旋轉(zhuǎn)單元，在腐蝕一定時(shí)間后，將硅片載具旋轉(zhuǎn)90°再進(jìn)行腐蝕，再處理再旋轉(zhuǎn)90°，以此類推，保證硅片四端都能均勻腐蝕從而保證其腐蝕深度均勻性以及腐蝕的一致性。
【附圖說(shuō)明】
[0020]圖1為本實(shí)用新型一種硅片載具的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021]圖2為本實(shí)用新型一種硅片載具的正視圖。
[0022]圖3為本實(shí)用新型一種硅片載具的俯視圖。
[0023]圖4為本實(shí)用新型一種硅片載具的旋轉(zhuǎn)單元結(jié)構(gòu)示意圖。
[0024]圖中標(biāo)記:1_載具主體，2-V形槽固定條，3-活動(dòng)懸桿，31-活動(dòng)懸桿和載具主體的連接點(diǎn)，32-定位孔，4-旋轉(zhuǎn)定位孔，5-定位調(diào)節(jié)螺釘，6-壓片條，7-固定螺絲-7，33-旋轉(zhuǎn)定位固定螺絲。
【具體實(shí)施方式】
[0025]下面結(jié)合附圖，對(duì)本實(shí)用新型作詳細(xì)的說(shuō)明。
[0026]為了使本實(shí)用新型的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點(diǎn)更加清楚明白，以下結(jié)合附圖及實(shí)施例，對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明。應(yīng)當(dāng)理解，此處所描述的具體實(shí)施例僅用以解釋本實(shí)用新型，并不用于限定本實(shí)用新型。
[0027]實(shí)施例1
[0028]參看圖1，一種硅片載具，包括:承放硅片的載具主體1，所述載具主體一側(cè)留有開(kāi)口，用于將硅片放入所述載具主體1內(nèi)部；
[0029]2個(gè)固定單元，所述固定單元設(shè)置在所述載具主體1的開(kāi)口側(cè)，分別位于載具主體1的頂部和側(cè)面，每個(gè)固定單元均包括:
[0030]V形槽固定條2，所述V形槽固定條2用于卡住硅片位于開(kāi)口側(cè)的邊緣端以固定硅片;
[0031]壓片條6，所述壓片條6位于所述V形槽固定條2背面，所述V形槽固定條2與所述壓片條6兩側(cè)同一位置均設(shè)有一孔，通過(guò)固定螺絲7穿過(guò)該孔將V形槽固定條2和壓片條6 —同固定于所述載具主體1上，所述定位調(diào)節(jié)螺釘5設(shè)置于與所述壓片條6上，通過(guò)所述定位調(diào)節(jié)螺釘5調(diào)節(jié)硅片的緊固程度。
[0032]在具體實(shí)施中，首先安裝側(cè)面的固定單元，此時(shí)固定螺釘7未完全旋緊，方便裝入硅片，待硅片安裝完成后將頂面固定單元安裝到位，此時(shí)將2個(gè)固定單元中的緊固螺釘7均完全旋緊，并通過(guò)調(diào)節(jié)2個(gè)單元中的定位調(diào)節(jié)螺釘5將硅片固定至完全不動(dòng)。
[0033]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，所述硅片載具還包括旋轉(zhuǎn)單元，所述旋轉(zhuǎn)單元活動(dòng)連接所述載具主體1，所述載具主體1和所述固定單元通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)單元做同軸轉(zhuǎn)動(dòng)。
[0034]作為本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，參看圖4，所述旋轉(zhuǎn)單元包括2個(gè)活動(dòng)懸桿3，所述活動(dòng)懸桿3分別活動(dòng)連接于所述載具主體1的兩側(cè)壁相同位置上，在所述側(cè)壁上設(shè)置有4個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔4 ；
[0035]所述旋轉(zhuǎn)定位孔4與所述活動(dòng)懸桿3和所述載具主體1的連接點(diǎn)31等距，且任一相鄰2個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔4所構(gòu)成的圓弧的弧度均為90度；
[0036]所述活動(dòng)懸桿3上設(shè)置有定位孔32，所述定位孔32與所述旋轉(zhuǎn)定位孔位置重疊，通過(guò)使用旋轉(zhuǎn)定位固定螺絲33穿過(guò)所述定位孔32和旋轉(zhuǎn)定位孔4將所述活動(dòng)懸桿3和載具主體1及固定單元固定。
[0037]在具體實(shí)施中，當(dāng)放置于載具主體1內(nèi)部的硅片通過(guò)所述2個(gè)固定單元固定后，轉(zhuǎn)動(dòng)所述載具主體1，使其側(cè)壁的旋轉(zhuǎn)定位孔4與設(shè)置于活動(dòng)懸桿3上的定位孔32重合，通過(guò)旋轉(zhuǎn)定位固定螺絲33將載具主體1和活動(dòng)懸桿3固定，本實(shí)施例中載具主體側(cè)壁共設(shè)有4個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔4，在硅片復(fù)腐蝕中，可定時(shí)將載具進(jìn)行90度旋轉(zhuǎn)后再次進(jìn)行腐蝕，使硅片四端都能均勻腐蝕從而保證其腐蝕深度均勻性以及腐蝕的一致性。
[0038]以上所述僅為本實(shí)用新型的較佳實(shí)施例而已，并不用以限制本實(shí)用新型，凡在本實(shí)用新型的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種硅片載具，其特征在于，包括: 載具主體，用于承放硅片，所述載具主體一側(cè)留有開(kāi)口，用于將硅片放入所述載具主體內(nèi)部； 至少一個(gè)固定單元，所述固定單元設(shè)置在所述載具主體的開(kāi)口側(cè)，包括 V形槽固定條，所述V形槽固定條用于卡住硅片位于開(kāi)口側(cè)的邊緣端以固定硅片。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種硅片載具，其特征在于，所述固定單元還包括，至少一個(gè)定位調(diào)節(jié)件，所述定位調(diào)節(jié)件用于調(diào)整硅片的緊固程度； 壓片條，位于所述V形槽固定條背面并與所述V形槽固定條通過(guò)相同緊固件固定于所述載具主體上，所述定位調(diào)節(jié)件設(shè)置于與所述壓片條上。3.根據(jù)權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述的一種硅片載具，其特征在于，包括2個(gè)固定單元。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種娃片載具，其特征在于，還包括旋轉(zhuǎn)單元，所述旋轉(zhuǎn)單元活動(dòng)連接所述載具主體，所述載具主體和所述固定單元通過(guò)所述旋轉(zhuǎn)單元做同軸轉(zhuǎn)動(dòng)。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種硅片載具，其特征在于，所述旋轉(zhuǎn)單元包括2個(gè)活動(dòng)懸桿，所述活動(dòng)懸桿分別活動(dòng)連接于所述載具主體的兩側(cè)壁相同位置上，在所述側(cè)壁上設(shè)置有至少2個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔； 所述旋轉(zhuǎn)定位孔與所述活動(dòng)懸桿和所述載具主體的連接點(diǎn)等距，且任一相鄰2個(gè)旋轉(zhuǎn)定位孔所構(gòu)成的圓弧的弧度相等； 所述活動(dòng)懸桿上設(shè)置有定位孔，所述定位孔與所述旋轉(zhuǎn)定位孔位置重疊，通過(guò)使用緊固件穿過(guò)所述定位孔和旋轉(zhuǎn)定位孔將所述活動(dòng)懸桿和載具主體及固定單元固定。
【專利摘要】本實(shí)用新型公開(kāi)了一種硅片載具，包括：載具主體（1），用于承放硅片，所述載具主體一側(cè)留有開(kāi)口，用于將硅片放入所述載具主體內(nèi)部。至少一個(gè)固定單元，所述固定單元設(shè)置在所述載具主體的開(kāi)口側(cè)，包括，V形槽固定條（2），所述V形槽固定條用于卡住硅片位于開(kāi)口側(cè)的邊緣端以固定硅片，通過(guò)V形槽固定條的固定，使得硅片在抖動(dòng)過(guò)程中不在發(fā)生自旋轉(zhuǎn)，保證了硅片在腐蝕過(guò)程中的自旋轉(zhuǎn)提高溝槽深度的均勻性和一致性。
【IPC分類】H01L21/673, H01L21/68, H01L21/683
【公開(kāi)號(hào)】CN204991669
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201520599369
【發(fā)明人】滕勇, 彭應(yīng)龍, 周毅
【申請(qǐng)人】樂(lè)山無(wú)線電股份有限公司
【公開(kāi)日】2016年1月20日
【申請(qǐng)日】2015年8月10日