一種多晶硅片單面制絨系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型涉及太陽能硅片制絨領(lǐng)域，具體涉及一種多晶硅片單面制絨系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在太陽能電池的生產(chǎn)環(huán)節(jié)中，制絨是一個非常關(guān)鍵的工序。多晶硅片的制絨是利用酸性腐蝕液對硅片表面進行刻蝕，該反應(yīng)為各向同性反應(yīng)，會在多晶硅片表面形成粒狀的腐蝕坑，這些腐蝕坑有助于入射光在其表面多次反射，增加了入射進硅片的幾率，從而降低了反射率，提高太陽能電池的光電轉(zhuǎn)換效率。目前多晶制絨的設(shè)備分為鏈?zhǔn)胶筒凼絻煞N，鏈?zhǔn)秸紦?jù)80%以上的份額。無論采用哪種設(shè)備，在制絨時硅片兩面都需要浸沒在藥液中，在制絨完成后，硅片的正反兩面都會被刻蝕形成絨面。正面的絨面有利于光線吸收，是有益的。但背面的絨面并沒有益處。一方面，背面的絨面減少了背反射，使得長波段的光線更少地反射回硅片內(nèi)部進行二次吸收，從而降低光電轉(zhuǎn)換效率；另一方面，背面的絨面會使得硅片的減薄提高約4個微米，這既增加了藥液的反應(yīng)消耗，提高了生產(chǎn)成本，又使得硅片厚度變薄，碎片率會隨之上升。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本實用新型目的在于提供一種多晶硅片的單面制絨系統(tǒng)，該系統(tǒng)克服了現(xiàn)有雙面制絨裝置的不足，更加適合應(yīng)用于電池片的工業(yè)化生產(chǎn)中。
[0004]為實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本實用新型采取的技術(shù)方案為:
[0005]一種多晶硅片單面制絨系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括滾輪、噴淋器、硅片探測器、循環(huán)控溫系統(tǒng)、槽體及藥液，所述噴淋器位于所述滾輪的上方。
[0006]作為優(yōu)選，所述噴淋器的前端和后端至少各設(shè)置一個硅片探測器。
[0007]作為優(yōu)選，所述滾輪與所述槽體中的藥液沒有直接接觸。
[0008]由于采用了上述技術(shù)方案，與現(xiàn)有設(shè)備相比，本實用新型的有益效果包括:
[0009]本實用新型相比傳統(tǒng)的雙面制絨裝置，硅片不是浸沒在藥液中進行制絨，而是將藥液通過噴淋器噴灑在硅片上表面，而硅片的下表面不與藥液接觸，從而僅對硅片的上表面進行單面制絨。這樣一方面減少了藥液的消耗，降低了生產(chǎn)成本；另一方面減少了硅片的去損量，提高了制絨后硅片的厚度，從而降低了制絨工序的碎片率。
【附圖說明】
[0010]下面結(jié)合附圖對本實用新型進一步說明。
[0011]圖1是本實用新型實施例的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]附圖標(biāo)記:1-滾輪，2-噴淋器，3-硅片探測器，4-循環(huán)控溫系統(tǒng)，5-槽體，6_藥液，
7-娃片。
【具體實施方式】
[0013]下面結(jié)合實例對本實用新型進行詳細的說明。
[0014]具體實施例僅僅是對本實用新型的解釋，并不是對本實用新型的限制，本領(lǐng)域技術(shù)人員在閱讀完本說明書后可以根據(jù)需要對本實施例做出沒有創(chuàng)造性貢獻的修改，但只要在本實用新型的權(quán)利要求范圍內(nèi)都受到專利法的保護。
[0015]實施例:
[0016]如圖1所示，多晶硅片單面制絨系統(tǒng)包括滾輪1、噴淋器2、硅片探測器3、循環(huán)控溫系統(tǒng)4、槽體5及藥液6。噴淋器2設(shè)置在滾輪1的上方，用于對硅片上表面噴灑藥液。滾輪的材質(zhì)為不銹鋼內(nèi)芯外部包裹PVDF ;槽體材質(zhì)為PVDF ;硅片探測器4為耐酸光電開關(guān)。
[0017]本系統(tǒng)在使用時，硅片隨滾輪的滾動向前移動，當(dāng)硅片探測器探測到硅片進入槽體范圍時，噴淋器開始工作，向硅片上表面噴淋藥液直至其離開槽體。藥液只對硅片的上表面進行腐蝕制絨。多余的藥液會排入槽體中重復(fù)使用，循環(huán)控溫系統(tǒng)從槽體中抽取藥液，達到工藝溫度后將藥液栗送至噴淋器。槽體中藥液的高度始終低于滾輪，從而保證滾輪不會將藥液帶至硅片下表面。
【主權(quán)項】
1.一種多晶硅片單面制絨系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括滾輪(1)、噴淋器(2)、硅片探測器(3)、循環(huán)控溫系統(tǒng)(4)、槽體(5 )及藥液(6 )，其特征在于，所述噴淋器(2 )位于所述滾輪(1)的上方。2.如權(quán)利要求1所述的多晶硅片單面制絨系統(tǒng)，其特征在于:所述噴淋器(2)的前端和后端至少各設(shè)置一個硅片探測器(3 )。3.如權(quán)利要求1所述的多晶硅片單面制絨系統(tǒng)，其特征在于:所述滾輪(1)與所述槽體(5)中的藥液(6)沒有直接接觸。
【專利摘要】本實用新型提供了一種多晶硅片單面制絨系統(tǒng)，包括滾輪、噴淋器、傳感器、循環(huán)控溫系統(tǒng)、槽體及藥液。本實用新型結(jié)構(gòu)合理，構(gòu)造簡單，可以實現(xiàn)多晶硅片的單面制絨。相比傳統(tǒng)的雙面制絨裝置，本實用新型裝置僅對硅片的上表面進行制絨，一方面減少了藥液的消耗，降低了生產(chǎn)成本；另一方面減少了硅片的去損量，提高了制絨后硅片的厚度，從而降低了制絨工序的碎片率。
【IPC分類】C30B33/10, H01L31/18
【公開號】CN205016550
【申請?zhí)枴緾N201520788310
【發(fā)明人】季根華, 劉鋒, 李翔
【申請人】蘇州旭環(huán)光伏科技有限公司
【公開日】2016年2月3日
【申請日】2015年10月14日