一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽(yáng)能晶片設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具。
【背景技術(shù)】
[0002]現(xiàn)在隨著科技的發(fā)展，使得在一些裝置上常常會(huì)用到太陽(yáng)能多晶硅片，由于多晶硅片能夠在極小的面積上，集成數(shù)千萬(wàn)的晶體管，工程精細(xì)極高，特別是在現(xiàn)在的微電子技術(shù)領(lǐng)域，航空航天、工業(yè)、農(nóng)業(yè)以及商業(yè)上也被廣泛應(yīng)用。
[0003]對(duì)于現(xiàn)在生產(chǎn)太陽(yáng)能多晶硅片的方法中，常常需要對(duì)多晶硅片在生產(chǎn)時(shí)進(jìn)行轉(zhuǎn)移進(jìn)行進(jìn)一步加工，但是洗浴現(xiàn)在轉(zhuǎn)移多晶硅片的夾具過(guò)于粗糙，僅僅是通過(guò)機(jī)械的夾持件進(jìn)行夾持轉(zhuǎn)移，這樣會(huì)對(duì)多晶硅片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)造成進(jìn)一步的損害，損壞率高，不僅會(huì)增加成本，還會(huì)使得制備的工期受到影響。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，在生產(chǎn)加工時(shí)，通過(guò)真空吸盤結(jié)構(gòu)對(duì)多晶硅片繼續(xù)擰夾持轉(zhuǎn)移，能夠有效的夾持多晶硅片，操作簡(jiǎn)單，使用方便。
[0005]為實(shí)現(xiàn)以上目的，本實(shí)用新型通過(guò)以下技術(shù)方案予以實(shí)現(xiàn):
[0006]—種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，包括夾持件本體、吸盤、吸氣本體和活動(dòng)桿，所述的夾持件本體內(nèi)為空心，所述的吸盤結(jié)構(gòu)安裝在夾持件本體的中心，并通過(guò)連接管與吸氣本體，所述的吸盤與吸氣本體之間還設(shè)有承壓彈簧，所述的夾持件本體空心側(cè)壁設(shè)有裝置的活動(dòng)桿，所述的活動(dòng)桿前端設(shè)置與夾持件本體空心內(nèi)，且在活動(dòng)桿前端設(shè)置有防滑墊。
[0007]優(yōu)選地，所述的活動(dòng)桿設(shè)置為2個(gè)。
[0008]優(yōu)選地，所述的活動(dòng)桿與防滑墊可拆卸連接。
[0009]優(yōu)選地，所述的活動(dòng)桿設(shè)有限位塊。
[0010]本實(shí)用新型提供了一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，通過(guò)設(shè)置的吸盤結(jié)構(gòu)能夠有效的將加工時(shí)的多晶硅片進(jìn)行接觸黏吸，防止了普通機(jī)械夾持件會(huì)對(duì)多晶硅片夾持造成多晶硅片的損壞。整個(gè)裝置設(shè)計(jì)合理，操作簡(jiǎn)單，可進(jìn)一步推廣應(yīng)用。
【附圖說(shuō)明】
[0011]為了更清楚地說(shuō)明本實(shí)用新型實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡(jiǎn)單地介紹，顯而易見地，對(duì)于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來(lái)講，在不付出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0012]圖1本實(shí)用新型的整體結(jié)構(gòu)示意圖；
[0013]圖2本實(shí)用新型的俯視結(jié)構(gòu)不意圖；
[0014]其中:1、夾持件本體;2、吸盤;3、連接管;4、吸氣本體;5、活動(dòng)桿;501、防滑墊;502、限位塊。
【具體實(shí)施方式】
[0015]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例中的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述?；诒緦?shí)用新型中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有作出創(chuàng)造性勞動(dòng)前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0016]如圖1、圖2所示，本實(shí)施例提供一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，包括夾持件本體1、吸盤2、吸氣本體4和活動(dòng)桿5，夾持件本體I內(nèi)為空心結(jié)構(gòu)，吸盤2安裝在夾持件本體I的中心位置，并通過(guò)連接管3與吸氣本體4，吸盤2與吸氣本體4之間還設(shè)有承壓彈簧301，在擠壓時(shí)候能夠有效的起到緩沖作用，通過(guò)將吸氣本體4進(jìn)行上、下活動(dòng)，將送至夾持件本體I空心內(nèi)的多晶硅片通過(guò)吸盤2相接觸，再通過(guò)吸氣本體4吸氣就可實(shí)現(xiàn)與吸盤2穩(wěn)定連接，不易掉落，夾持件本體I空心側(cè)壁設(shè)有裝置的活動(dòng)桿5，活動(dòng)桿5前端設(shè)置與夾持件本體I空心內(nèi)，且在活動(dòng)桿5前端設(shè)置有防滑墊501，能夠有效將運(yùn)送的多晶硅片擺正，便于吸盤2進(jìn)行黏吸固定。
[0017]活動(dòng)桿5設(shè)置為2個(gè)，左右相對(duì)設(shè)置，簡(jiǎn)單方便;活動(dòng)桿5與防滑墊501可拆卸連接，方便對(duì)防滑墊501進(jìn)行拆卸維修，活動(dòng)桿5設(shè)有限位塊502，可對(duì)不同規(guī)格大小的太陽(yáng)能多晶硅片進(jìn)行調(diào)節(jié)操作，方便固定。
[0018]以上實(shí)施例僅用以說(shuō)明本實(shí)用新型的技術(shù)方案，而非對(duì)其限制；盡管參照前述實(shí)施例對(duì)本實(shí)用新型進(jìn)行了詳細(xì)的說(shuō)明，本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員應(yīng)當(dāng)理解:其依然可以對(duì)前述各實(shí)施例所記載的技術(shù)方案進(jìn)行修改，或者對(duì)其中部分技術(shù)特征進(jìn)行等同替換;而這些修改或者替換，并不使相應(yīng)技術(shù)方案的本質(zhì)脫離本實(shí)用新型各實(shí)施例技術(shù)方案的精神和范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，包括夾持件本體、吸盤、吸氣本體和活動(dòng)桿，其特征在于，所述的夾持件本體內(nèi)為空心，所述的吸盤結(jié)構(gòu)安裝在夾持件本體的中心，并通過(guò)連接管與吸氣本體，所述的吸盤與吸氣本體之間還設(shè)有承壓彈簧，所述的夾持件本體空心側(cè)壁設(shè)有裝置的活動(dòng)桿，所述的活動(dòng)桿前端設(shè)置與夾持件本體空心內(nèi)，且在活動(dòng)桿前端設(shè)置有防滑墊。2.如權(quán)利要求1所述的新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，其特征在于，所述的活動(dòng)桿設(shè)置為2個(gè)。3.如權(quán)利要求1所述的新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，其特征在于，所述的活動(dòng)桿與防滑墊可拆卸連接。4.如權(quán)利要求1所述的新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，其特征在于，所述的活動(dòng)桿設(shè)有限位塊。
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種新型太陽(yáng)能多晶硅片夾具，包括夾持件本體、吸盤、吸氣本體和活動(dòng)桿，所述的夾持件本體內(nèi)為空心，所述的吸盤結(jié)構(gòu)安裝在夾持件本體的中心，并通過(guò)連接管與吸氣本體，所述的吸盤與吸氣本體之間還設(shè)有承壓彈簧，所述的夾持件本體空心側(cè)壁設(shè)有裝置的活動(dòng)桿，所述的活動(dòng)桿前端設(shè)置與夾持件本體空心內(nèi)，且在活動(dòng)桿前端設(shè)置有防滑墊。整個(gè)裝置設(shè)計(jì)合理，在生產(chǎn)加工過(guò)程中能夠有效將太陽(yáng)能多晶硅片夾持，操作簡(jiǎn)單，可進(jìn)一步推廣應(yīng)用。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號(hào)】CN205355029
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201620041514
【發(fā)明人】劉凱波, 劉權(quán)
【申請(qǐng)人】溫州冠天科技有限公司
【公開日】2016年6月29日
【申請(qǐng)日】2016年1月15日