一種抗pid槽體裝置的制造方法
【專利摘要】本實(shí)用新型公開了一種抗PID槽體裝置，包括臭氧槽，所述臭氧槽的外部設(shè)置有臭氧發(fā)生器，所述臭氧槽的內(nèi)部設(shè)置有用于傳輸硅片的傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的上方設(shè)置有臭氧噴淋板，所述臭氧噴淋板連接所述臭氧發(fā)生器；所述傳輸滾輪的下方正對(duì)所述臭氧噴淋板的位置處設(shè)置有臭氧收集框，所述臭氧收集框連接有第一臭氧管路；所述臭氧噴淋板的上方設(shè)置有能夠?qū)⑺龀粞鯂娏馨迮c所述傳輸滾輪罩在其下方的隔離罩，所述隔離罩的頂部連接有第二臭氧管路；所述第一臭氧管路和所述第二臭氧管路均連接外部抽風(fēng)裝置；其能夠有效、集中地抽掉溢出的臭氧，從而避免臭氧溢出到其他槽體或環(huán)境中。
【專利說明】
一種抗PID槽體裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及太陽能應(yīng)用技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種抗PID槽體裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池在抗PID(Potential Induced Degradat1n，電位誘發(fā)衰減)工藝中，需要在臭氧槽中使用臭氧使得硅片表面形成一層氧化硅薄膜。如圖1所示，臭氧槽2的內(nèi)部設(shè)置有穿過臭氧槽2的傳輸滾輪4，傳輸滾輪4用于輸送硅片，傳輸滾輪4的上方設(shè)置臭氧噴淋板3，臭氧槽2的外部設(shè)置有臭氧發(fā)生器I，臭氧發(fā)生器I連接臭氧噴淋板3;加工時(shí)，臭氧發(fā)生器I發(fā)生臭氧，臭氧被送至臭氧槽2中臭氧噴淋板3處，通過臭氧噴淋板3對(duì)運(yùn)行在傳輸滾輪4上的硅片向下噴臭氧處理。在此過程中，臭氧噴淋板3向下噴出后，需要及時(shí)收集，避免臭氧漂流至流水線的其他工位進(jìn)而影響加工后硅片的表面一致性;因而，現(xiàn)有技術(shù)中，在傳輸滾輪4的下方正對(duì)臭氧噴淋板3的位置處設(shè)置臭氧收集框5，臭氧收集框5通過第一臭氧管路6連通外部的收集裝置。由于其只在臭氧噴淋板3的底部設(shè)有臭氧收集框5，再通過抽風(fēng)將溢出的臭氧經(jīng)第一臭氧管路6抽走;但當(dāng)硅片的前端一部分剛剛進(jìn)入臭氧噴淋板3的下方，而硅片未完全進(jìn)入到臭氧噴淋板3的下方時(shí)，臭氧會(huì)從硅片的未進(jìn)入的部分表面反沖到整個(gè)臭氧槽2中，而臭氧收集框5的收集范圍和收集能力存在區(qū)域局限性，無法將反沖后的臭氧全部抽走，因而反沖溢出的臭氧就會(huì)逃散到流水線工位的其他槽體或外部環(huán)境中。
[0003]然而，由于臭氧具有很強(qiáng)的氧化性，若臭氧溢出到水槽及烘干槽，則極易使硅片局部先氧化，當(dāng)硅片再次被臭氧氧化時(shí)，硅片表面各個(gè)部位的氧化程度就不均勻，如此會(huì)導(dǎo)致電池片的外觀質(zhì)量等級(jí)下降，從而影響電池片的出售價(jià)格;若溢出到車間環(huán)境中，又會(huì)影響到人員的安全。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提出一種抗PID槽體裝置，能夠有效、集中地抽掉溢出的臭氧，從而避免臭氧溢出到其他槽體或環(huán)境中。
[0005]為達(dá)此目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:
[0006]—種抗PID槽體裝置，包括臭氧槽，所述臭氧槽的外部設(shè)置有臭氧發(fā)生器，所述臭氧槽的內(nèi)部設(shè)置有用于傳輸硅片的傳輸滾輪，所述傳輸滾輪的上方設(shè)置有臭氧噴淋板，所述臭氧噴淋板連接所述臭氧發(fā)生器；
[0007]所述傳輸滾輪的下方正對(duì)所述臭氧噴淋板的位置處設(shè)置有臭氧收集框，所述臭氧收集框連接有第一臭氧管路；
[0008]所述臭氧噴淋板的上方設(shè)置有能夠?qū)⑺龀粞鯂娏馨迮c所述傳輸滾輪罩在其下方的隔離罩，所述隔離罩的頂部連接有第二臭氧管路；
[0009]所述第一臭氧管路和所述第二臭氧管路均連接外部抽風(fēng)裝置。
[0010]作為一種優(yōu)選，所述隔離罩呈“人”字形形狀。
[0011]其中，所述隔離罩包括兩個(gè)側(cè)板，兩個(gè)所述側(cè)板傾斜設(shè)置，且兩個(gè)所述側(cè)板的底端連接所述臭氧槽的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁的中部，所述側(cè)板的頂端連接所述臭氧槽的頂壁。
[0012]其中，兩個(gè)所述側(cè)板之間的夾角為60°?150°。
[0013]其中，每個(gè)所述側(cè)板與所述臭氧槽的對(duì)應(yīng)的側(cè)壁之間的夾角為30°?75°。
[0014]作為另一種優(yōu)選，所述隔離罩呈錐形形狀。
[0015]其中，所述隔離罩的底端連接所述臭氧槽的側(cè)壁的中部。
[0016]其中，所述隔離罩的錐角為60°?150°。
[0017]優(yōu)選的，所述臭氧發(fā)生器為紫外線臭氧發(fā)生器或電弧臭氧發(fā)生器。
[0018]本實(shí)用新型的有益效果為:
[0019]本實(shí)用新型的抗PID槽體裝置，通過臭氧收集框和隔離罩在上下方位的配合，從而可以全方位、有效地、集中地抽掉溢出的臭氧，即有效避免臭氧溢出到其他槽體或環(huán)境中。
【附圖說明】
[0020]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的抗PID槽體裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0021 ]圖2是本實(shí)用新型的抗PID槽體裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0022]圖中:1-臭氧發(fā)生器;2-臭氧槽;3-臭氧噴淋板;4-傳輸滾輪;5-臭氧收集框;6_第一臭氧管路;7-隔離罩;8-第二臭氧管路。
【具體實(shí)施方式】
[0023]下面結(jié)合附圖并通過【具體實(shí)施方式】來進(jìn)一步說明本實(shí)用新型的技術(shù)方案。
[0024]如圖2所示，一種抗PID槽體裝置，包括臭氧槽2，所述臭氧槽2的外部設(shè)置有臭氧發(fā)生器I，所述臭氧槽2的內(nèi)部設(shè)置有用于傳輸硅片的傳輸滾輪4，所述傳輸滾輪4的上方設(shè)置有臭氧噴淋板3，所述臭氧噴淋板3連接所述臭氧發(fā)生器I;
[0025]所述傳輸滾輪4的下方正對(duì)所述臭氧噴淋板3的位置處設(shè)置有臭氧收集框5，所述臭氧收集框5連接有第一臭氧管路6;
[0026]所述臭氧噴淋板3的上方設(shè)置有能夠?qū)⑺龀粞鯂娏馨?與所述傳輸滾輪4罩在其下方的隔離罩7，所述隔離罩7的頂部連接有第二臭氧管路8;
[0027]所述第一臭氧管路6和所述第二臭氧管路8均連接外部抽風(fēng)裝置。
[0028]在實(shí)際使用時(shí)，硅片通過傳輸滾輪從臭氧槽的外部輸送至臭氧槽中，這時(shí)，臭氧發(fā)生器產(chǎn)生臭氧，臭氧通過臭氧噴淋板向下噴灑臭氧；
[0029]當(dāng)硅片經(jīng)過臭氧噴淋板的下方時(shí)，臭氧被噴灑至硅片的表面，從而實(shí)現(xiàn)臭氧處理；同時(shí)，向下擴(kuò)散的臭氧通過設(shè)置在臭氧噴淋板下方的臭氧收集框進(jìn)行收集，并通過第一臭氧通道和外部的抽風(fēng)裝置的共同作用，將對(duì)于的臭氧向外抽出，實(shí)現(xiàn)下方臭氧的收集；
[0030]然而，由于硅片的進(jìn)入臭氧噴淋板的下方的初期，一部分硅片還未進(jìn)入臭氧噴淋板的下方，這時(shí)，已經(jīng)進(jìn)入臭氧噴淋板下方的硅片的表面經(jīng)臭氧噴淋板噴灑臭氧處理，而噴灑到硅片這部分表面的臭氧會(huì)經(jīng)該表面反沖向上擴(kuò)散到整個(gè)臭氧槽中，為了防止臭氧繼續(xù)擴(kuò)散至其他工藝步驟的水槽或者外部環(huán)境中，設(shè)置了能夠?qū)⒊粞鯂娏馨搴洼斔蜐L輪罩住的隔離板，利用隔離板在臭氧噴淋板的上方收集經(jīng)硅片的表面反沖后向上擴(kuò)散的臭氧，并通過第二臭氧管道8和外部的抽風(fēng)裝置配合，實(shí)現(xiàn)上側(cè)臭氧的收集；
[0031]通過臭氧收集框5和隔離罩7就可以在上下方位的配合，從而可以全方位、有效地、集中地抽掉溢出的臭氧，即有效避免臭氧溢出到其他槽體或環(huán)境中。
[0032]作為一種優(yōu)選，所述隔離罩7呈“人”字形形狀。其中，所述隔離罩7包括兩個(gè)側(cè)板，兩個(gè)所述側(cè)板傾斜設(shè)置，且兩個(gè)所述側(cè)板的底端連接所述臭氧槽2的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁的中部，所述側(cè)板的頂端連接所述臭氧槽2的頂壁。優(yōu)選的，兩個(gè)所述側(cè)板之間的夾角為60°?150°，每個(gè)所述側(cè)板與所述臭氧槽2的對(duì)應(yīng)的側(cè)壁之間的夾角為30°?75°。
[0033]作為另一種優(yōu)選，所述隔離罩7呈錐形形狀。其中，所述隔離罩7的底端連接所述臭氧槽2的側(cè)壁的中部。優(yōu)選的，所述隔離罩7的錐角為60°?150°。
[0034]在本實(shí)施例中，隔離罩選用的是頂部小、底部大的類似罩的結(jié)構(gòu)，這種結(jié)構(gòu)的好處在于，底部的大尺寸可以用于很好地收納臭氧，而頂部的小尺寸則可以達(dá)到收攏的效果，從而達(dá)到臭氧很好的聚集、聚攏的目的，便于抽取，抽取更完全。
[0035]優(yōu)選的，所述臭氧發(fā)生器I為紫外線臭氧發(fā)生器或電弧臭氧發(fā)生器。
[0036]本實(shí)用新型的抗PID槽體裝置，其能夠有效避免臭氧溢出外逃至其他槽體，進(jìn)而能夠避免臭氧對(duì)硅片的某些部位進(jìn)行多次氧化處理，也就避免了因氧化不均造成的電池片外觀降級(jí)，不影響電池片的銷售價(jià)格;也避免了臭氧逃散至車間環(huán)境而影響人員的安全。
[0037]以上結(jié)合具體實(shí)施例描述了本實(shí)用新型的技術(shù)原理。這些描述只是為了解釋本實(shí)用新型的原理，而不能以任何方式解釋為對(duì)本實(shí)用新型保護(hù)范圍的限制?；诖颂幍慕忉?，本領(lǐng)域的技術(shù)人員不需要付出創(chuàng)造性的勞動(dòng)即可聯(lián)想到本實(shí)用新型的其它【具體實(shí)施方式】，這些方式都將落入本實(shí)用新型的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種抗PID槽體裝置，包括臭氧槽(2)，所述臭氧槽(2)的外部設(shè)置有臭氧發(fā)生器(I)，所述臭氧槽(2)的內(nèi)部設(shè)置有用于傳輸硅片的傳輸滾輪(4)，所述傳輸滾輪(4)的上方設(shè)置有臭氧噴淋板(3)，所述臭氧噴淋板(3)連接所述臭氧發(fā)生器(I);其特征在于， 所述傳輸滾輪(4)的下方正對(duì)所述臭氧噴淋板(3)的位置處設(shè)置有臭氧收集框(5)，所述臭氧收集框(5)連接有第一臭氧管路(6); 所述臭氧噴淋板(3)的上方設(shè)置有能夠?qū)⑺龀粞鯂娏馨?3)與所述傳輸滾輪(4)罩在其下方的隔離罩(7)，所述隔離罩(7)的頂部連接有第二臭氧管路(8); 所述第一臭氧管路(6)和所述第二臭氧管路(8)均連接外部抽風(fēng)裝置。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述隔離罩(7)呈“人”字形形狀。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述隔離罩(7)包括兩個(gè)側(cè)板，兩個(gè)所述側(cè)板傾斜設(shè)置，且兩個(gè)所述側(cè)板的底端連接所述臭氧槽(2)的兩個(gè)相對(duì)的側(cè)壁的中部，所述側(cè)板的頂端連接所述臭氧槽(2)的頂壁。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，兩個(gè)所述側(cè)板之間的夾角為60°?150。。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，每個(gè)所述側(cè)板與所述臭氧槽(2)的對(duì)應(yīng)的側(cè)壁之間的夾角為30°?75°。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述隔離罩(7)呈錐形形狀。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述隔離罩(7)的底端連接所述臭氧槽(2)的側(cè)壁的中部。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述隔離罩(7)的錐角為60°?150。。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8任一項(xiàng)所述的抗PID槽體裝置，其特征在于，所述臭氧發(fā)生器(I)為紫外線臭氧發(fā)生器或電弧臭氧發(fā)生器。
【文檔編號(hào)】H01L21/02GK205452327SQ201620252787
【公開日】2016年8月10日
【申請(qǐng)日】2016年3月29日
【發(fā)明人】周軍, 黨繼東, 劉東續(xù)
【申請(qǐng)人】鹽城阭特斯協(xié)鑫陽光電力科技有限公司