一種燒結(jié)設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提供一種燒結(jié)設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)，屬于有機(jī)發(fā)光二極管技術(shù)領(lǐng)域，其可解決現(xiàn)有的有機(jī)發(fā)光二極管器件高溫?zé)Y(jié)工藝時(shí)間長(zhǎng)、成本高的問題。本實(shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備中有兩個(gè)燒結(jié)腔室，兩個(gè)燒結(jié)腔室之間可聯(lián)通，使用時(shí)，將涂覆有玻璃膠的基板先放置封閉的第一燒結(jié)腔室，完成第一步工藝；然后將基板放置第二燒結(jié)腔室，完成第二步工藝。這樣可以縮短第一步與第二步工藝之間的間隔，且兩步工藝之間不會(huì)浪費(fèi)大量氮?dú)狻?br>【專利說明】
一種燒結(jié)設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型屬于有機(jī)發(fā)光二極管的技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種燒結(jié)設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]有機(jī)發(fā)光二極管(Organic Light Emitting D1de，簡(jiǎn)稱0LED)器件是通過電流驅(qū)動(dòng)發(fā)光材料自主發(fā)光的顯示器件。OLED器件中常用的發(fā)光材料包括小分子的染料、顏料，這些小分子對(duì)水和氧氣十分敏感，暴露在水和氧氣中很快會(huì)失去發(fā)光特性。因此良好的密封環(huán)境對(duì)OLED器件的壽命十分重要?，F(xiàn)有封裝技術(shù)主要有玻璃膠封裝、薄膜封裝和滴注封裝等。在工藝和材料成熟的玻璃膠封裝中，涂覆在玻璃基板上的玻璃膠需要經(jīng)過高溫?zé)Y(jié)工藝去除玻璃膠內(nèi)部的有機(jī)添加劑和溶劑來提高玻璃膠的封裝信賴性。
[0003]玻璃膠的高溫?zé)Y(jié)工藝通常包括兩步:第一步是將涂覆有玻璃膠的基板先在空氣環(huán)境下進(jìn)行烘烤;第二步是在氮?dú)猸h(huán)境下進(jìn)行處理。
[0004]發(fā)明人發(fā)現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)中至少存在如下問題:現(xiàn)有高溫?zé)Y(jié)設(shè)備如圖1所示，包括一個(gè)燒結(jié)腔室I，燒結(jié)腔室I設(shè)有腔室門13，燒結(jié)腔室I上還設(shè)有與外界空氣相通的空氣通氣管11和用于通氮?dú)獾牡獨(dú)馔夤?2。在涂覆有玻璃膠的基板5完成第一步工藝后，必須持續(xù)向燒結(jié)腔室I內(nèi)充入大量氮?dú)庵钡綗Y(jié)腔室I內(nèi)的氧氣和水含量降低至10ppm以下，才能進(jìn)行第二步工藝。這一過程耗費(fèi)時(shí)間很長(zhǎng)(大約60min)，并且會(huì)消耗大量氮?dú)?，成本較高。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0005]本實(shí)用新型針對(duì)現(xiàn)有的高溫?zé)Y(jié)的工藝時(shí)間長(zhǎng)、成本高的問題，提供一種燒結(jié)設(shè)備、有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)。
[0006]解決本實(shí)用新型技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:
[0007]—種燒結(jié)設(shè)備，用于燒結(jié)涂覆有玻璃膠的基板，包括相鄰設(shè)置的第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室；
[0008]所述第一燒結(jié)腔室設(shè)有可開合的第一腔室門，以及與外界空氣相通的第一管道；
[0009]所述第二燒結(jié)腔室設(shè)有第二通氣管，用于通入第二氣體；
[0010]所述第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室之間可聯(lián)通。
[0011 ]優(yōu)選的是，所述第一燒結(jié)腔室還包括鼓風(fēng)設(shè)備。
[0012]優(yōu)選的是，所述第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第二腔室門。
[0013]優(yōu)選的是，所述第二腔室門由硬質(zhì)密封隔熱板構(gòu)成。
[0014]優(yōu)選的是，所述第二燒結(jié)腔室靠近第二腔室門的位置處設(shè)有用于通入第二氣體的第三通氣管。
[0015]優(yōu)選的是，所述燒結(jié)設(shè)備還包括運(yùn)輸裝置，用于在第一燒結(jié)腔室與第二燒結(jié)腔室間運(yùn)送基板。
[0016]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室上方。
[0017]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室下方。
[0018]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置為傳輸滑軌，所述第一燒結(jié)腔室與所述第二燒結(jié)腔室并排設(shè)置。
[0019]優(yōu)選的是，所述燒結(jié)設(shè)備還包括傳輸腔室，所述傳輸腔室與所述第一燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第三腔室門，所述傳輸腔室與所述第二燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第四腔室門。
[0020]本實(shí)用新型還提供一種有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)，包括上述的燒結(jié)設(shè)備。
[0021]本實(shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備中有兩個(gè)燒結(jié)腔室，兩個(gè)燒結(jié)腔室之間可聯(lián)通，且兩個(gè)腔室分別設(shè)有通入不同氣體(如空氣和氮?dú)?的管道，故兩個(gè)腔室中的氣氛可不同，使用時(shí)，將涂覆有玻璃膠的基板先放置封閉的第一燒結(jié)腔室，完成第一步工藝;然后將基板放置第二燒結(jié)腔室，完成第二步工藝。與現(xiàn)有技術(shù)相比，這樣可以縮短第一步與第二步工藝之間的間隔，且兩步工藝之間不會(huì)浪費(fèi)大量第二氣體。本實(shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備適用于顯示器件的燒結(jié)工藝。
【附圖說明】
[0022]圖1為本實(shí)用新型的實(shí)施例1的燒結(jié)設(shè)備的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖2為本實(shí)用新型的實(shí)施例2燒結(jié)設(shè)備的一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖3為本實(shí)用新型的實(shí)施例2燒結(jié)設(shè)備的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0025]圖4為本實(shí)用新型的實(shí)施例2燒結(jié)設(shè)備的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖5為本實(shí)用新型的實(shí)施例2燒結(jié)設(shè)備的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖6為本實(shí)用新型的實(shí)施例2燒結(jié)設(shè)備的另一種結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]其中，附圖標(biāo)記為:1、燒結(jié)腔室；11、空氣通氣管；12、氮?dú)馔夤埽?3、腔室門；10、第一燒結(jié)腔室；101第一通氣管；103、第一腔室門；20、第二燒結(jié)腔室；201第二通氣管；202、第二腔室門；203、第三通氣管；3、運(yùn)輸裝置;4、傳輸腔室；401、第三腔室門；402、第四腔室門；5、基板。
【具體實(shí)施方式】
[0029]為使本領(lǐng)域技術(shù)人員更好地理解本實(shí)用新型的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本實(shí)用新型作進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0030]實(shí)施例1:
[0031]本實(shí)施例提供一種燒結(jié)設(shè)備，用于燒結(jié)涂覆有玻璃膠的基板5，如圖2所示，包括相鄰設(shè)置的第一燒結(jié)腔室10和第二燒結(jié)腔室20;
[0032]所述第一燒結(jié)腔室10設(shè)有可開合的第一腔室門103，以及與外界空氣相通的第一通氣管101;
[0033]所述第二燒結(jié)腔室20設(shè)有第二通氣管201，用于通入第二氣體；
[0034]所述第一燒結(jié)腔室10和第二燒結(jié)腔室20之間可聯(lián)通。
[0035]本實(shí)施例的燒結(jié)設(shè)備中有兩個(gè)燒結(jié)腔室，兩個(gè)燒結(jié)腔室之間可聯(lián)通，使用時(shí)，將涂覆有玻璃膠的基板5先放置封閉的第一燒結(jié)腔室10，完成第一步工藝;然后將基板5放置第二燒結(jié)腔室20，完成第二步工藝。與現(xiàn)有技術(shù)相比，這樣可以縮短第一步與第二步工藝之間的間隔，且兩步工藝之間不會(huì)浪費(fèi)大量第二氣體。本實(shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備適用于顯示器件的燒結(jié)工藝。
[0036]實(shí)施例2:
[0037]本實(shí)施例提供一種燒結(jié)設(shè)備，用于燒結(jié)涂覆有玻璃膠的基板5，如圖2-6所示，包括相鄰設(shè)置的第一燒結(jié)腔室10和第二燒結(jié)腔室20;
[0038]所述第一燒結(jié)腔室10設(shè)有可開合的第一腔室門103，以及與外界空氣相通的第一通氣管101;
[0039]所述第二燒結(jié)腔室20設(shè)有第二通氣管201，用于通入第二氣體；
[0040]所述第一燒結(jié)腔室10和第二燒結(jié)腔室20之間設(shè)有可開合的第二腔室門202。
[0041]其中，第二氣體是指高溫?zé)Y(jié)工藝中常用的惰性氣體，在此本實(shí)施例以氮?dú)鉃槔M(jìn)行說明。具體的，為了提高生產(chǎn)效率，通常將多塊涂覆有玻璃膠的基板5放置于一個(gè)卡夾上，由機(jī)械手將卡夾送入燒結(jié)腔室。
[0042]本實(shí)施例的燒結(jié)設(shè)備中有兩個(gè)燒結(jié)腔室，兩個(gè)燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第二腔室門202，使用時(shí)，將涂覆有玻璃膠的基板5先放置封閉的第一燒結(jié)腔室10，完成第一步工藝;然后打開第二腔室門202，將基板5放置第二燒結(jié)腔室20，完成第二步工藝。具體的，第一步工藝燒結(jié)的時(shí)間為20-40min，溫度為300-350°C;第二步工藝燒結(jié)的時(shí)間為60-80min，溫度為400-350 °C。
[0043]與現(xiàn)有技術(shù)相比，這樣可以縮短第一步與第二步工藝之間的間隔，且兩步工藝之間不會(huì)浪費(fèi)大量氮?dú)?。本?shí)用新型的燒結(jié)設(shè)備適用于顯示器件的燒結(jié)工藝。
[0044]優(yōu)選的是，所述第一燒結(jié)腔室10還包括鼓風(fēng)設(shè)備。
[0045]也就是說，第一燒結(jié)腔室10靠第一通氣管101與外界空氣相通，第二腔室門202開合的過程中，不可避免會(huì)帶入些許的第二燒結(jié)腔室20中的氮?dú)?，在第一燒結(jié)腔室10設(shè)置鼓風(fēng)設(shè)備可以盡快使得第一燒結(jié)腔室10中空氣達(dá)到相應(yīng)的純度。
[0046]優(yōu)選的是，所述第二燒結(jié)腔室20靠近第二腔室門202的位置處設(shè)有用于通入第二氣體的第三通氣管203。
[0047]也就是說，如圖3所示，第二腔室門202開合的過程中，不可避免會(huì)給第二燒結(jié)腔室20帶入些許的第一燒結(jié)腔室10中的空氣，在靠近第二腔室門202的位置處給第二燒結(jié)腔室20通入第二氣體，可以盡快使得第二燒結(jié)腔室20中第二氣體達(dá)到相應(yīng)的純度。
[0048]優(yōu)選的是，所述第二腔室門202由硬質(zhì)密封隔熱板構(gòu)成。
[0049]也就是說，通常的燒結(jié)工藝中，第一燒結(jié)腔室10或第二燒結(jié)腔室20的溫度達(dá)到幾百攝氏度，采用硬質(zhì)密封隔熱板構(gòu)成的第二腔室門202可以延長(zhǎng)第二腔室門202的使用壽命O
[0050]優(yōu)選的是，所述燒結(jié)設(shè)備還包括運(yùn)輸裝置3，用于運(yùn)送基板5。
[0051 ]也就是說，如圖3所示，設(shè)置一個(gè)運(yùn)輸裝置3運(yùn)送裝有多個(gè)基板5的卡夾，在完成第一步工藝后將卡夾從第一燒結(jié)腔室10運(yùn)送至第二燒結(jié)腔室20;在完成第二步工藝后將卡夾從第二燒結(jié)腔室20運(yùn)送至第一燒結(jié)腔室10。
[0052]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置3為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室20設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室10上方。
[0053]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置3為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室20設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室10下方。
[0054]也就是說，圖3中第二燒結(jié)腔室20設(shè)于第一燒結(jié)腔室10上方，圖4中第二燒結(jié)腔室20設(shè)于第一燒結(jié)腔室10下方，這兩種形式均可采用升降臺(tái)的形式。具體的，先用機(jī)械手將卡夾放置第一燒結(jié)腔室10中，完成第一步工藝后，采用升降臺(tái)將卡夾第一燒結(jié)腔室10運(yùn)送至第二燒結(jié)腔室20;在完成第二步工藝后升降臺(tái)將卡夾從第二燒結(jié)腔室20運(yùn)送至第一燒結(jié)腔室10，然后機(jī)械手將卡夾從第一腔室門103運(yùn)出。
[0055]優(yōu)選的是，所述運(yùn)輸裝置3為傳輸滑軌，所述第一燒結(jié)腔室10與所述第二燒結(jié)腔室20并排設(shè)置。
[0056]也就是說，如圖5所示，第一燒結(jié)腔室10與第二燒結(jié)腔室20并排設(shè)置依靠傳輸滑軌將卡夾從第一燒結(jié)腔室10移送或移出第二燒結(jié)腔室20。
[0057]優(yōu)選的是，所述燒結(jié)設(shè)備還包括傳輸腔室4，所述傳輸腔室4與所述第一燒結(jié)腔室10之間設(shè)有可開合的第三腔室門401，所述傳輸腔室4與所述第二燒結(jié)腔室20之間設(shè)有可開合的第四腔室門402。
[0058]也就是說，如圖6所示，燒結(jié)設(shè)備包括第一燒結(jié)腔室10、第二燒結(jié)腔室20、傳輸腔室4三個(gè)腔室，其中第一燒結(jié)腔室10中通過第一通氣管101通空氣，第二燒結(jié)腔室20中通過第二通氣管201通氮?dú)猓瑐鬏斍皇?為過度腔室。當(dāng)打開第三腔室門401采用運(yùn)輸裝置3運(yùn)送基板的過程中，會(huì)有少量空氣帶入傳輸腔室4，當(dāng)打開第四腔室門402運(yùn)送基板的過程中，會(huì)有少量氮?dú)鈳雮鬏斍皇?，傳輸腔室4起到緩沖作用，第一燒結(jié)腔室10或第二燒結(jié)腔室20中的氣體純度不會(huì)有太大改變。
[0059]實(shí)施例3:
[0060]本實(shí)施例提供一種有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)，其包括上述實(shí)施例的燒結(jié)設(shè)備。
[0061]顯然，上述各實(shí)施例的【具體實(shí)施方式】還可進(jìn)行許多變化;例如:腔室門可以采用雙開門的形式也可采用單開門的形式，腔室門的設(shè)置位置及具體尺寸可以根據(jù)需要進(jìn)行改變。
[0062]可以理解的是，以上實(shí)施方式僅僅是為了說明本實(shí)用新型的原理而采用的示例性實(shí)施方式，然而本實(shí)用新型并不局限于此。對(duì)于本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員而言，在不脫離本實(shí)用新型的精神和實(shí)質(zhì)的情況下，可以做出各種變型和改進(jìn)，這些變型和改進(jìn)也視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種燒結(jié)設(shè)備，用于燒結(jié)基板上涂覆的玻璃膠，其特征在于，包括相鄰設(shè)置的第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室； 所述第一燒結(jié)腔室設(shè)有可開合的第一腔室門，以及與外界空氣相通的第一管道； 所述第二燒結(jié)腔室設(shè)有第二通氣管，用于通入第二氣體； 所述第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室之間可聯(lián)通。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第一燒結(jié)腔室還包括鼓風(fēng)設(shè)備。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第一燒結(jié)腔室和第二燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第二腔室門。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第二腔室門由硬質(zhì)密封隔熱板構(gòu)成。5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述第二燒結(jié)腔室靠近第二腔室門的位置處設(shè)有用于通入第二氣體的第三通氣管。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述燒結(jié)設(shè)備還包括運(yùn)輸裝置，用于在第一燒結(jié)腔室與第二燒結(jié)腔室間運(yùn)送基板。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述運(yùn)輸裝置為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室上方。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述運(yùn)輸裝置為升降臺(tái)，所述第二燒結(jié)腔室設(shè)于所述第一燒結(jié)腔室下方。9.根據(jù)權(quán)利要求6所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述運(yùn)輸裝置為傳輸滑軌，所述第一燒結(jié)腔室與所述第二燒結(jié)腔室并排設(shè)置。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的燒結(jié)設(shè)備，其特征在于，所述燒結(jié)設(shè)備還包括傳輸腔室，所述傳輸腔室與所述第一燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第三腔室門，所述傳輸腔室與所述第二燒結(jié)腔室之間設(shè)有可開合的第四腔室門。11.一種有機(jī)發(fā)光二極管器件用封裝系統(tǒng)，其特征在于，包括權(quán)利要求1-9任一項(xiàng)所述的燒結(jié)設(shè)備。
【文檔編號(hào)】H01L51/56GK205542906SQ201620331113
【公開日】2016年8月31日
【申請(qǐng)日】2016年4月19日
【發(fā)明人】李兵, 肖昂, 崔富毅, 陳靜靜, 張學(xué)勇, 賈丹, 王利娜
【申請(qǐng)人】鄂爾多斯市源盛光電有限責(zé)任公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司