一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置的制造方法
【專利摘要】一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置，包括機架，所述機架兩側端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接，本實用新型基本結構由一個簡易測試平臺和傳感器組成，結構簡單，實用性強，可避免人為測試直接觸摸硅片，能有效減少外觀不良、頻繁停止上料等問題，提高產(chǎn)量，降低成本。
【專利說明】
一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種減薄量測試輔助裝置，尤其適用于對硅片清洗自動化上下料過程中對硅片減薄量進行檢測的裝置。
【背景技術】
[0002]目前，減薄量作為清洗監(jiān)控點，必須按規(guī)定時間多次測試，但由于自動化上下料的連續(xù)性，上測試片必須暫停自動化上料設備，導致產(chǎn)量的浪費；另生產(chǎn)員工在測試減薄量時須直接接觸制絨面，極易造成絨面臟污等外觀不良，不良片的返工或降級造成人力物力的浪費，增加生產(chǎn)成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為了克服現(xiàn)有測試問題，本實用新型提供一種減薄量測試輔助裝置，其全程無需人工接觸，因此不會對硅片絨面造成破壞，并且自動化運行，增加了生產(chǎn)效率，減少返工率，減少生產(chǎn)成本。
[0004]為實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用以下技術方案:一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置，包括機架，所述機架兩側端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接。
[0005]進一步，所述升降裝置為氣缸升降裝置。
[0006]與現(xiàn)有技術相比，本實用新型基本結構由一個簡易測試平臺和傳感器組成，結構簡單，實用性強，可避免人為測試直接觸摸硅片，能有效減少外觀不良、頻繁停止上料等問題，提高產(chǎn)量，降低成本;硅片每經(jīng)過測試儀器，儀器自動升起測試，并把信號傳輸回機臺界面，機臺界面自動顯示測試結果。在測試程序設置時，可設置減薄量范圍，超范圍自動報警，且可隨時調(diào)用查看減薄量趨勢圖，方便且精確。
【附圖說明】
[0007]為對本實用新型做進一步說明，下面列舉附圖和【具體實施方式】。
[0008]圖1為本實用新型結構不意圖。
【具體實施方式】
[0009]如圖1所示，一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置，包括機架I，所述機架I兩側端安裝有硅片傳送裝置2，所述硅片傳送裝置2為硅片輸送帶，所述硅片傳送裝置2之間的機架I上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置3、傳感器4及電腦，所述升降裝置3的底端固定安裝在機架I上，升降裝置3的頂端安裝有傳感器4，所述傳感器4與電腦通訊連接。
[0010]進一步，所述升降裝置3為氣缸升降裝置。
[0011]顯而易見，上述實施方式僅僅為本實用新型的其中一個實施例，任何在本實用新型結構或原理上的簡單改進均屬于本實用新型的保護范圍。
【主權項】
1.一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置，其特征在于包括機架，所述機架兩側端安裝有硅片傳送裝置，所述硅片傳送裝置之間的機架上安裝有測試輔助裝置，所述測試輔助裝置包括升降裝置、傳感器及電腦，所述升降裝置的底端固定安裝在機架上，升降裝置的頂端安裝有傳感器，所述傳感器與電腦通訊連接。2.根據(jù)權利要求1所述的一種清洗機臺減薄量測試輔助裝置，其特征在于所述升降裝置為氣缸升降裝置。
【文檔編號】H01L21/66GK205564711SQ201620323210
【公開日】2016年9月7日
【申請日】2016年4月18日
【發(fā)明人】張美玲, 陳陽泉, 錢金梁
【申請人】潤峰電力有限公司