一種水膜覆蓋裝置的制造方法
【專利摘要】一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺(tái)，所述輸料臺(tái)上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩側(cè)，所述固定耳上設(shè)置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上，本實(shí)用新型可有效實(shí)現(xiàn)水膜的覆蓋，并且可有效降低藥液使用量，減少了生產(chǎn)成本，增加了產(chǎn)品質(zhì)量。
【專利說明】
_種水膜覆蓋裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種水膜覆蓋裝置，具體涉及一種在硅片刻蝕工藝中對(duì)硅片進(jìn)行覆蓋水膜使用的水膜覆蓋裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，在硅片刻蝕工藝生產(chǎn)過程中，由于噴水異常或者噴水量波動(dòng)，導(dǎo)致載體上部分位置水膜無法完全覆蓋，不能起到良好的掩膜效果，導(dǎo)致不良產(chǎn)品產(chǎn)生;另外局部水量過大，過量的水進(jìn)入槽體稀釋藥液，導(dǎo)致藥液使用量增加，增加了生產(chǎn)成本。
[0003]
【發(fā)明內(nèi)容】
:
[0004]為解決現(xiàn)有問題，本實(shí)用新型提供了一種水膜覆蓋裝置，其能夠在不影響生產(chǎn)的情況下，保證水膜達(dá)到完全覆蓋的效果，減少不良片的產(chǎn)生，降低化學(xué)藥品損耗。
[0005]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本實(shí)用新型采用以下技術(shù)方案:一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺(tái)，所述輸料臺(tái)上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩偵U，所述固定耳上設(shè)置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。
[0006]進(jìn)一步，所述擋板為PP材質(zhì)擋板。
[0007]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型可有效實(shí)現(xiàn)水膜的覆蓋，并且可有效降低藥液使用量，減少了生產(chǎn)成本，增加了產(chǎn)品質(zhì)量。
【附圖說明】
[0008]為對(duì)本實(shí)用新型做進(jìn)一步說明，下面列舉附圖和【具體實(shí)施方式】。
[0009]圖1為本實(shí)用新型結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0010]如圖1所示，一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺(tái)I，所述輸料臺(tái)I上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳2及擋板3組成，所述固定耳2位于擋板3的兩側(cè)，所述固定耳2上設(shè)置有螺栓固定裝置，所述固定耳2通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。
[0011]進(jìn)一步，所述擋板3為PP材質(zhì)擋板。
[0012]顯而易見，上述實(shí)施方式僅僅為本實(shí)用新型的其中一個(gè)實(shí)施例，任何在本實(shí)用新型所提供結(jié)構(gòu)或原理上的簡(jiǎn)單改變均屬于本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種水膜覆蓋裝置，包括硅片水膜貼覆裝置，所述硅片水膜覆蓋裝置包括輸料臺(tái)，其特征在于所述輸料臺(tái)上方的硅片水膜貼覆裝置上安裝有水膜覆蓋裝置，所述水膜覆蓋裝置由固定耳及擋板組成，所述固定耳位于擋板的兩側(cè)，所述固定耳上設(shè)置有螺栓固定裝置，所述固定耳通過螺栓固定裝置固定在硅片水膜貼覆裝置上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種水膜覆蓋裝置，其特征在于所述擋板為PP材質(zhì)擋板。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK205582895SQ201620321882
【公開日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2016年4月18日
【發(fā)明人】任壯, 陳陽泉, 錢金梁
【申請(qǐng)人】潤(rùn)峰電力有限公司