一種硅片輸送升降裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型公開了一種硅片輸送升降裝置，包括固定底板，所述固定底板上設置輸送組件，所述固定底板下方設有用于升降所述輸送組件的凸輪，所述凸輪通過一聯(lián)軸器連接到凸輪驅動伺服電機，所述凸輪驅動伺服電機旋轉時帶動所述凸輪轉動，從而帶動所述輸送組件實現(xiàn)升降運動。本實用新型裝置解決單硅片連續(xù)進入硅片盒的過渡作用，在不影響效率的前提下減少了設備報警，降低碎片率，同時減輕了作業(yè)人員的勞動強度。
【專利說明】
一種硅片輸送升降裝置
技術領域
[0001]本實用新型涉及一種硅片的運輸裝置，特別是一種硅片單一輸送升降裝置?！颈尘凹夹g】
[0002]現(xiàn)有技術中生產中清洗設備例如:硅片清洗下料工藝中，硅片同時以5片或者8片排列進入清洗設備中，硅片清洗后前后左右位置已變動，開始設計5片或8片硅片同時進入硅片盒(硅片盒也是5片或8片同時上下)，實際生產中因硅片清洗后位置的變動時常有硅片無法插入到料盒中，即使有加入硅片導向也無法減少此問題；因同時進入硅片盒，若出現(xiàn)1 片未插入硅片盒設備就會報警，報警后硅片盒要退出從而產生大量的碎片，效率無法提升， 因報警過多也增加了操作人員的勞動。
[0003]后更改為硅片單片插入到硅片盒中，生產效率沒有降低(單片過渡升降速度快)， 設備報警也減少了，創(chuàng)新型機構就是解決硅片連續(xù)進入硅片盒的過渡裝置;此升降裝置開始用氣缸帶動輸送帶升降，因輸送帶機構不對稱且重心偏移，直接影響到氣缸壽命，每4個月要更換一次損耗非常大，且每次更換都要停機，影響了工作效率?！緦嵱眯滦蛢热荨?br>[0004]實用新型目的:本實用新型所要解決的技術問題是針對現(xiàn)有技術的不足，提供一種硅片輸送升降裝置。
[0005]為了解決上述技術問題，本實用新型公開了一種硅片輸送升降裝置，包括固定底板，所述固定底板上設置輸送組件，所述固定底板下方設有用于升降所述輸送組件的凸輪， 所述凸輪通過一聯(lián)軸器連接到凸輪驅動伺服電機，所述凸輪驅動伺服電機旋轉時帶動所述凸輪轉動，從而帶動所述輸送組件實現(xiàn)升降運動。
[0006]本實用新型中，所述固定底板上貫穿的設有導向軸，固定底板與導向軸接觸的位置設有導向直線軸承，從而對輸送組件進行導向定位。
[0007]本實用新型中，所述導向軸為兩個，分別設置在所述輸送組件的兩側。
[0008]本實用新型中，所述凸輪為一個，設置在所述輸送組件的下方。
[0009]本實用新型中，所述導向軸位于固定底板下方的部分外套有壓縮彈簧。
[0010]本實用新型中，所述凸輪驅動伺服電機連接在固定底板上。
[0011]本實用新型中，所述輸送組件包括設置在固定底板上的輸送伺服電機，以及由輸送伺服電機驅動的第一同步帶輪、第二同步帶輪以及輸送帶輪，第一同步帶輪和第二同步帶輪之間設置同步帶，第二同步帶輪和輸送帶輪之間同軸驅動。
[0012]有益效果:本實用新型裝置解決單硅片連續(xù)進入硅片盒的過渡作用，在不影響效率的前提下減少了設備報警，降低碎片率，同時減輕了作業(yè)人員的勞動強度。【附圖說明】
[0013]下面結合附圖和【具體實施方式】對本實用新型做更進一步的具體說明，本實用新型的上述和/或其他方面的優(yōu)點將會變得更加清楚。
[0014]圖1為實施例俯視立體視圖。[0〇15]圖2為實施例仰視立體視圖。
[0016]圖3為實施例結構示意圖。[〇〇17]圖4為圖3的側視圖?！揪唧w實施方式】
[0018]本實用新型公開了一種硅片輸送升降裝置，包括固定底板，所述固定底板上設置輸送組件，所述固定底板下方設有用于升降所述輸送組件的凸輪，所述凸輪通過一聯(lián)軸器連接到凸輪驅動伺服電機，所述凸輪驅動伺服電機旋轉時帶動所述凸輪轉動，從而帶動所述輸送組件實現(xiàn)升降運動。所述固定底板上貫穿的設有導向軸，固定底板與導向軸接觸的位置設有導向直線軸承，從而對輸送組件進行導向定位。所述導向軸為兩個，分別設置在所述輸送組件的兩側。所述導向軸位于固定底板下方的部分外套有壓縮彈簧。所述凸輪驅動伺服電機連接在固定底板上。
[0019]本實用新型中可選地，所述凸輪為一個，設置在所述輸送組件的下方。
[0020]本實用新型為實現(xiàn)主設備硅片輸送到下料設備時硅片脫離作用，改為凸輪升降， 已驗證長時間使用。
[0021]實施例
[0022]本實施例中圖1附圖標記如下:1_凸輪驅動伺服電機、2-聯(lián)軸器、3-凸輪、4-輸送伺服電機、5-固定底板、6-導向軸、7-導向直線軸承、8輸送固定板、9-同步帶輪A、10-同步帶、 11-同步帶輪B、12-輸送帶輪、13-輸送帶、14-凸輪隨動器
[0023]如圖1所示，本實施例工作過程如下:凸輪驅動伺服電機1通電后程序設定原點位置后，啟動，凸輪驅動伺服電機1將力傳輸給聯(lián)軸器2,聯(lián)軸器2帶動凸輪3轉動，凸輪3輪廓曲線已做最大優(yōu)化，升降動作平穩(wěn)順滑。凸輪驅動伺服電機1帶動聯(lián)軸器2將力傳輸?shù)酵馆? 上，固定在底板5上；輸送伺服電機4轉動帶動同步帶輪A 9轉動，同步帶10帶動同步帶輪B 11轉動，同步帶輪B 11通過輸送帶13帶動輸送帶輪12轉動，以上均固定在輸送固定板8上實現(xiàn)輸送組件，固定板8下方與凸輪隨動器14固定。凸輪隨動器14會隨凸輪3軌跡升降，轉動凸輪帶動輸送組件做升降動作，導向軸6與輸送固定板8固定相連，并在導向直線軸承7內實現(xiàn)上下動作。硅片輸送到下料設備時會經(jīng)過此升降輸送，輸送組件的作用硅片與輸送脫離作用，然后進入硅片料盒，不影響輸送過程中的硅片，起到快速脫離的作用。[〇〇24]本實施例結構緊湊，運行穩(wěn)定、成本低、壽命高，實際生產中已得到驗證，設備碎片率降低到0.02%，新型裝置稼動率在100% ;可以在清洗機等設備上使用。
[0025]本實施例的替代的方案還有伺服電機帶絲杠，但占用空間大，成本更高;此結構經(jīng)多次調試和改進，此新型裝置已做到緊湊、安裝調試方便;并完全取代人工;還沒有別的替代方案能同時做到既經(jīng)濟又穩(wěn)定達到本申請的技術目的。
[0026]本實用新型提供了一種硅片輸送升降裝置，具體實現(xiàn)該技術方案的方法和途徑很多，以上所述僅是本實用新型的優(yōu)選實施方式，應當指出，對于本技術領域的普通技術人員來說，在不脫離本實用新型原理的前提下，還可以做出若干改進和潤飾，這些改進和潤飾也應視為本實用新型的保護范圍。本實施例中未明確的各組成部分均可用現(xiàn)有技術加以實現(xiàn)。
【主權項】
1.一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，包括固定底板，所述固定底板上設置輸送組 件，輸送組件下方安裝凸輪隨動器，所述固定底板下方設有用于升降所述輸送組件的凸輪， 所述凸輪通過一聯(lián)軸器連接到凸輪驅動伺服電機，所述凸輪驅動伺服電機旋轉時帶動所述 凸輪轉動帶動凸輪隨動器轉動，固定底板上設置輸送組件已做限位，從而帶動所述輸送組 件實現(xiàn)升降運動。2.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述固定底板上貫穿的 設有導向軸，固定底板與導向軸接觸的位置設有導向直線軸承，從而對輸送組件進行導向 定位。3.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述導向軸為兩個，分 別設置在所述輸送組件的兩側。4.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述凸輪為一個，輸送 組件下方固定凸輪隨動器，凸輪隨動器延凸輪曲線上下動作。5.根據(jù)權利要求2所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述導向軸位于固定底 板下方的部分外套有壓縮彈簧。6.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述凸輪驅動伺服電機 連接在固定底板上。7.根據(jù)權利要求1所述的一種硅片輸送升降裝置，其特征在于，所述輸送組件包括設置 在固定底板上的輸送伺服電機，以及由輸送伺服電機驅動的第一同步帶輪、第二同步帶輪 以及輸送帶輪，第一同步帶輪和第二同步帶輪之間設置同步帶，第二同步帶輪和輸送帶輪 之間同軸驅動。
【文檔編號】H01L21/677GK205595316SQ201620381803
【公開日】2016年9月21日
【申請日】2016年4月29日
【發(fā)明人】張弛, 王志剛, 孫小俊, 王四海
【申請人】南京卓勝自動化設備有限公司