一種石英舟托盤的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型涉及一種石英舟托盤，包括：石英舟托盤主體,所述托盤主體底面向下延伸至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的凸耳，所述凸耳上設(shè)有通孔;滾輪組件，所述滾輪組件包含套設(shè)于滾軸上并與之形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接的滾輪，所述滾軸穿過所述通孔架設(shè)于所述凸耳上。本實(shí)用新型的石英舟托盤采用滾輪結(jié)構(gòu)后，石英舟底部與石英管內(nèi)管壁之間由滑動(dòng)摩擦變?yōu)闈L動(dòng)摩擦，摩擦力小，使得安裝方便、省力；且滾輪結(jié)構(gòu)與石英舟托盤主體可分開加工，降低加工難度。
【專利說明】
一種石英舟托盤
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及一種石英舟托盤，特別是一種安裝方便的石英舟托盤。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池作為新興的清結(jié)可再生能源，因其具有直接將太陽能轉(zhuǎn)換為電能，且壽命長、維護(hù)簡(jiǎn)單等優(yōu)點(diǎn)而備受矚目。在太陽能電池生產(chǎn)工藝中包括擴(kuò)散工序，需將硅片置于擴(kuò)散爐中完成，而石英管是硅片擴(kuò)散爐膛中的重要部件。使用時(shí)，把硅片裝載在石英舟托盤上，石英舟托盤設(shè)于石英管內(nèi)，石英管放置于擴(kuò)散爐內(nèi)。
[0003]現(xiàn)有的石英舟托盤下部采用與石英管壁配合的環(huán)形結(jié)構(gòu)，安裝時(shí)石英舟托盤與石英管內(nèi)管壁摩擦力大，安裝不便，且環(huán)形結(jié)構(gòu)與石英舟托盤主體為一體，環(huán)形結(jié)構(gòu)的底部弧度需與石英管內(nèi)管壁相適應(yīng)，精度要求較高，加工復(fù)雜。所以急需一種安裝方便、加工簡(jiǎn)單的石英舟托盤結(jié)構(gòu)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]為了克服上述現(xiàn)有技術(shù)的不足，本實(shí)用新型提供了一種石英舟托盤，其特征在于，包括:托盤主體，所述托盤主體底面向下延伸至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的凸耳，所述凸耳上設(shè)有通孔;滾輪組件，所述滾輪組件包含套設(shè)于滾軸上并與之形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接的滾輪，所述滾軸穿過所述通孔架設(shè)于所述凸耳上。
[0005]在一較佳實(shí)施例中，所述托盤主體為長方形，其上表面形成有凹槽。
[0006]在一較佳實(shí)施例中，所述托盤主體四角均導(dǎo)圓角，所述凹槽為兩個(gè)圓形凹槽。
[0007]在一較佳實(shí)施例中，所述凸耳為兩對(duì)，且設(shè)置于所述托盤主體底面兩端。
[0008]在一較佳實(shí)施例中，所述托盤主體的表面為拋光面。
[0009]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實(shí)用新型的有益效果是:采用滾輪結(jié)構(gòu)后，石英舟底部與石英管內(nèi)管壁之間由滑動(dòng)摩擦變?yōu)闈L動(dòng)摩擦，摩擦力小，使得安裝方便、省力;且滾輪結(jié)構(gòu)與石英舟托盤主體可分開加工，降低加工難度。
【附圖說明】
[0010]圖1為現(xiàn)有技術(shù)中石英舟托盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0011]圖2為本實(shí)用新型中石英舟托盤的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0012]圖3為本實(shí)用新型中石英舟托盤另一角度的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0013]其中:I’托盤主體;2’環(huán)形結(jié)構(gòu)；I托盤主體；11凹槽；12凸耳；13通孔；21滾軸;22滾輪。
【具體實(shí)施方式】
[0014]在下文的細(xì)節(jié)描述中，組件符號(hào)會(huì)標(biāo)示在隨附的圖示中成為其中的一部份，并且以可實(shí)行該實(shí)施例之特定范例描述方式來表示。這類實(shí)施例會(huì)說明足夠的細(xì)節(jié)俾使該領(lǐng)域的一般技藝人士得以具以實(shí)施。閱者須了解到本實(shí)用新型中亦可利用其他的實(shí)施例或是在不悖離所述實(shí)施例的前提下作出結(jié)構(gòu)性、邏輯性、及電性上的改變。因此，下文之細(xì)節(jié)描述將不欲被視為是一種限定，反之，其中所包含的實(shí)施例將由權(quán)利要求范圍來加以界定。
[0015]圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中的石英舟托盤，包括石英舟托盤主體I’和環(huán)形結(jié)構(gòu)2’，石英舟托盤主體I’與環(huán)形結(jié)構(gòu)2’一體成型。環(huán)形結(jié)構(gòu)2’的底面弧度與石英管內(nèi)管壁相配合。
[0016]如圖2和圖3所示，本實(shí)用新型中的石英舟托盤，包括石英舟托盤主體I和滾輪組件。石英舟托盤主體I上表面形成有凹槽11，用以裝載硅片。石英舟托盤主體I的底面向下延伸形成凸耳12，在本實(shí)施例中，兩對(duì)相對(duì)設(shè)置的凸耳12分別位于長方形石英舟托盤主體I的兩端，每個(gè)凸耳12上設(shè)有通孔13。每根滾軸21上套設(shè)有兩個(gè)滾輪22，滾軸21與滾輪22之間轉(zhuǎn)動(dòng)連接，滾軸21通過通孔13架設(shè)在一對(duì)相對(duì)設(shè)置的凸耳12之間。
[0017]使用時(shí)，將待加工的硅片放置于凹槽11之內(nèi)，石英舟托盤置入石英管內(nèi)部。由于本實(shí)用新型中的石英舟托盤設(shè)置了滾輪結(jié)構(gòu)，可輕松地將石英舟托盤推入石英管內(nèi)部。
[0018]以上所述僅為本實(shí)用新型的實(shí)施例，其并非用以限定本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍。任何熟習(xí)相像技藝者，在不脫離本實(shí)用新型的精神與范圍內(nèi)，所作的更動(dòng)及潤飾的等效替換，仍為本實(shí)用新型的專利保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種石英舟托盤，其特征在于，包括:托盤主體，所述托盤主體底面向下延伸至少一對(duì)相對(duì)設(shè)置的凸耳，所述凸耳上設(shè)有通 孔；滾輪組件，所述滾輪組件包含套設(shè)于滾軸上并與之形成轉(zhuǎn)動(dòng)連接的滾輪，所述滾軸穿 過所述通孔架設(shè)于所述凸耳上。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟托盤，其特征在于:所述托盤主體為長方形，其上表面 形成有凹槽。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英舟托盤，其特征在于:所述托盤主體四角均導(dǎo)圓角，所述 凹槽為兩個(gè)圓形凹槽。4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的石英舟托盤，其特征在于:所述凸耳為兩對(duì)，且設(shè)置于所述托 盤主體底面兩端。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英舟托盤，其特征在于:所述托盤主體的表面為拋光面。
【文檔編號(hào)】H01L21/673GK205609487SQ201620220064
【公開日】2016年9月28日
【申請(qǐng)日】2016年3月22日
【發(fā)明人】沈根法, 宋偉宏
【申請(qǐng)人】湖州奧博石英科技有限公司