一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜的制作方法
【專利摘要】本實(shí)用新型提出一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其包括上蓋板，其內(nèi)設(shè)有第一水平隔板，電路控制板固定在第一水平隔板上；第一水平隔板與底板之間設(shè)有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應(yīng)氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應(yīng)氣體分析儀設(shè)置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設(shè)置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設(shè)有多個(gè)散熱孔以及多個(gè)通氣孔，所述多個(gè)通氣孔用于連接臭氧、空氣、壓縮空氣等氣體管道；右側(cè)板上設(shè)有控制面板、開關(guān)按鈕以及多個(gè)散熱孔。所述主控制柜結(jié)構(gòu)緊湊，可將主控制柜直接固定安裝在硅片處理產(chǎn)線支架上，主控制柜和氣體噴淋組件之間僅需要較短的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
【專利說明】
一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光伏太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光伏電池硅片氣體鈍化裝置主控制柜。
【背景技術(shù)】
[0002]為了應(yīng)對(duì)傳統(tǒng)的石化燃料的大規(guī)模使用造成的日益嚴(yán)峻的環(huán)境問題，大力發(fā)展清潔能源如太陽能光伏發(fā)電越來越受到重視，而不斷降低光伏發(fā)電的成本，提高發(fā)電效率是其能夠得以不斷推廣的重要的因素。
[0003]目前在光伏領(lǐng)域使用最多的是硅基板太陽電池，為了提高其發(fā)電效率，需要對(duì)硅基板表面進(jìn)行制絨處理再進(jìn)行表面鈍化，目前采用比較多的工藝是采用臭氧氣體進(jìn)行硅片表面鈍化，這種鈍化設(shè)備一般都包括氣體噴淋組件20以及與之相連的主控制柜10(如圖1所示)，氣體噴淋組件20—般與硅片處理產(chǎn)線結(jié)合設(shè)置，而主控制柜10落地?cái)[放，通過線路和氣體管道與氣體噴淋組件相連，主控制柜里面一般都包括電路控制板、氣體發(fā)生器、分析儀、監(jiān)控儀表、控制面板等。這種設(shè)計(jì)方式中，主控制柜落地?cái)[放，占用了產(chǎn)線布局空間且在維修或產(chǎn)線改造時(shí)不易移動(dòng)；另外，為了便于人工操作，主控制柜的高度一般也比較高，造成其空間結(jié)構(gòu)不夠緊湊，浪費(fèi)了材料成本。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中的問題，本實(shí)用新型的目的是提供一種機(jī)構(gòu)緊湊且可以置放于產(chǎn)線支架上的硅片氣體鈍化裝置主控制置，合理利用產(chǎn)線空間，也方便操作。
[0005]為達(dá)到本實(shí)用新型的目的，本實(shí)用新型的硅片氣體鈍化裝置主控制柜大致呈長方體型構(gòu)造，其包括上蓋板，其內(nèi)設(shè)有第一水平隔板，上蓋板與第一水平隔板之間容置電路控制板，所述電路控制板固定在所述第一水平隔板上;第一水平隔板與底板之間設(shè)有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應(yīng)氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應(yīng)氣體分析儀設(shè)置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設(shè)置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設(shè)有多個(gè)散熱孔以及多個(gè)通氣孔，頂部設(shè)有多個(gè)管線接入口；右側(cè)板上設(shè)有控制面板、開關(guān)按鈕以及多個(gè)散熱孔。
[0006]優(yōu)選的，所述上蓋板為可開合式構(gòu)造。
[0007]再優(yōu)選的，所述多個(gè)通氣孔分別連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風(fēng)壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測氣體管道。
[0008]再優(yōu)選的，頂部所述多個(gè)管線接入口包括空氣、氧氣以及電力接入口。
[0009]再優(yōu)選的，所述左側(cè)板上還設(shè)有出氣口，將主控制柜中泄露的氣體排至廢氣處理
目.ο
[0010]再優(yōu)選的，所述主控制柜的底板上還設(shè)有多個(gè)螺絲固定孔。
[0011]本實(shí)用新型的有益效果是，所述氣體鈍化裝置主控制柜結(jié)構(gòu)緊湊，可將主控制柜直接固定安裝在硅片處理產(chǎn)線支架上，主控制柜和氣體噴淋組件之間僅需要較短的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
【附圖說明】
[0012]通過下面結(jié)合附圖的詳細(xì)描述，本實(shí)用新型前述的和其他的目的、特征和優(yōu)點(diǎn)將變得顯而易見。其中:
[0013]圖1示出了現(xiàn)有的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0014]圖2所示為本實(shí)用新型的一實(shí)施例的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0015]結(jié)合附圖本實(shí)用新型的結(jié)構(gòu)及特點(diǎn)詳述如下。
[0016]參照?qǐng)D2所示的本實(shí)用新型的一實(shí)施例的硅片氣體鈍化裝置主控制柜的結(jié)構(gòu)示意圖，所述的主控制柜為長方體型構(gòu)造，其包括上蓋板10，其內(nèi)設(shè)有第一水平隔板12，其上固定安裝電路控制板(未圖示)；第一水平隔板12與底板40之間設(shè)有第二水平隔板14以及與第二水平隔板14垂直的第三隔板24，反應(yīng)氣體發(fā)生器(未圖示)固定在第二水平隔板上，反應(yīng)氣體分析儀(未圖示)設(shè)置于第二水平隔板14與底板40之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設(shè)置于第三隔板與右側(cè)板30之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板20上設(shè)有多個(gè)散熱孔22以及多個(gè)通氣孔28，多個(gè)通氣孔28用于連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風(fēng)壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測等氣體管道;頂部設(shè)有多個(gè)管線接入口 16，包括空氣、氧氣以及電力接入口等，右側(cè)板30上設(shè)有控制面板32、開關(guān)按鈕36以及多個(gè)散熱孔34。
[0017]上述的實(shí)施例中，可以較優(yōu)地將上蓋板10設(shè)為可開合式，如此，當(dāng)需要對(duì)設(shè)備進(jìn)行調(diào)試或維修時(shí)，可以方便操作；另外，為了避免主機(jī)柜中有氣體泄露污染環(huán)境，所述主控制柜的左側(cè)板20上還設(shè)有出氣口 26，將主控制柜中泄露的氣體通過管道排至廢氣處理裝置；再有，所述實(shí)施例中的隔板可以是整塊的板材制成的隔板，也可以是多個(gè)板條構(gòu)成的隔層。
[0018]在具體應(yīng)用時(shí)，所述的主控制柜可直接置放在硅片處理產(chǎn)線氣體噴淋組件上方的固定支架上，在一優(yōu)選的實(shí)施方式中，所述主控制柜的底板40上還設(shè)有多個(gè)螺絲固定孔42，可將主控制柜與固定支架固定時(shí)操作更穩(wěn)定。如此，在主控制柜和氣體噴淋組件之間就不需要太長的管道和電源線連接，既節(jié)省了材料的使用也使產(chǎn)線空間得到合理的利用。
[0019]本實(shí)用新型并不局限于所述的實(shí)施例，本領(lǐng)域的技術(shù)人員在不脫離本實(shí)用新型的精神即公開范圍內(nèi)，仍可作一些修正或改變，故本實(shí)用新型的權(quán)利保護(hù)范圍以權(quán)利要求書限定的范圍為準(zhǔn)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，所述主控制柜大致呈長方體型構(gòu)造，其特征在于，其包括上蓋板，其內(nèi)設(shè)有第一水平隔板，上蓋板與第一水平隔板之間容置電路控制板，所述電路控制板固定在所述第一水平隔板上;第一水平隔板與底板之間設(shè)有第二水平隔板以及與第二水平隔板垂直的第三隔板，反應(yīng)氣體發(fā)生器固定在第二水平隔板上，反應(yīng)氣體分析儀設(shè)置于第二水平隔板與底板之間的容置空間內(nèi)，氣體流量儀表設(shè)置于第三隔板與右側(cè)板之間的容置空間內(nèi)；左側(cè)板上設(shè)有多個(gè)散熱孔以及多個(gè)通氣孔;頂部設(shè)有多個(gè)管線接入口，右側(cè)板上設(shè)有控制面板、開關(guān)按鈕以及多個(gè)散熱孔。2.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述上蓋板為可開合式構(gòu)造。3.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述多個(gè)通氣孔分別連接臭氧、環(huán)境濃度監(jiān)測、排風(fēng)壓力監(jiān)測、尾氣濃度監(jiān)測氣體管道。4.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，頂部所述多個(gè)管線接入口包括空氣、氧氣以及電力接入口。5.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述左側(cè)板上還設(shè)有出氣口，將主控制柜中泄露的氣體排至廢氣處理裝置。6.如權(quán)利要求1所述的一種新型硅片氣體鈍化裝置主控制柜，其特征在于，所述主控制柜的底板上還設(shè)有多個(gè)螺絲固定孔。
【文檔編號(hào)】H01L31/18GK205621757SQ201620467494
【公開日】2016年10月5日
【申請(qǐng)日】2016年5月20日
【發(fā)明人】王振交, 艾凡凡, 韓培育
【申請(qǐng)人】蘇州中世太新能源科技有限公司