陶瓷毛細(xì)管放電裝置的制造方法
【專(zhuān)利摘要】陶瓷毛細(xì)管放電裝置，涉及陶瓷毛細(xì)管放電技術(shù)，為了解決陶瓷毛細(xì)管與管座不能緊密配合造成工作失常的問(wèn)題。該裝置包括陶瓷毛細(xì)管和兩個(gè)管座，兩個(gè)管座的結(jié)構(gòu)相同，管座為圓筒，圓筒的一端同時(shí)設(shè)有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細(xì)管的兩端均通過(guò)圓板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛細(xì)管與小孔之間的空隙充滿702膠。本實(shí)用新型的管座與陶瓷毛細(xì)管固化成一體，不會(huì)出現(xiàn)打穿現(xiàn)象，本實(shí)用新型適用于在大電流快脈沖時(shí)放電。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
陶瓷毛細(xì)管放電裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本實(shí)用新型涉及陶瓷毛細(xì)管放電技術(shù)。
【背景技術(shù)】
[0002]毛細(xì)管放電Z箍縮極紫外光技術(shù)(DPP技術(shù))基本工作原理就是在直徑為的陶瓷毛細(xì)管兩端加上大電流(>10KA)快脈沖(<120ns)放電，在工作氣體氙(Xe)上產(chǎn)生強(qiáng)電磁場(chǎng)，使工作介質(zhì)電離，在管壁附近首先形成等離子體，在勞倫茲力作用下等離子體向軸心運(yùn)動(dòng)，稱(chēng)為Z箍縮。在箍縮同時(shí)產(chǎn)生歐姆加熱，產(chǎn)生高溫，從而使工作介質(zhì)氣體產(chǎn)生高價(jià)電離。離子復(fù)合過(guò)程產(chǎn)生極紫外光輻射，對(duì)Xe介質(zhì)，Xe十價(jià)離子可以產(chǎn)生13.5nm極紫外光，所以技術(shù)的核心是毛細(xì)管在大電流快脈沖時(shí)放電。
[0003]在結(jié)構(gòu)上，加工出的陶瓷毛細(xì)管需放置在一個(gè)座上，放置在放電室中，并在毛細(xì)管兩端加裝電極。陶瓷毛細(xì)管放置在管座上的安置技術(shù)有很大的意義，如何做到緊密配合是研究的重點(diǎn)，通過(guò)大量實(shí)驗(yàn)發(fā)現(xiàn)，經(jīng)常在工作中有打穿現(xiàn)象，即在毛細(xì)管管壁與管座間某一極小區(qū)域內(nèi)產(chǎn)生打火，而在毛細(xì)管管壁上燒出一微小的孔，孔內(nèi)有碳化現(xiàn)象，存在這一小損傷的情況下在大電流快脈沖放電時(shí)，便形成了一個(gè)旁路通道，使毛細(xì)管內(nèi)放電電流大大衰減，造成工作失常。為此陶瓷毛細(xì)管與管座之間耦合，便是正常工作的一個(gè)極大的瓶頸。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型是為了解決陶瓷毛細(xì)管與管座不能緊密配合造成工作失常的問(wèn)題，從而提供陶瓷毛細(xì)管放電裝置。
[0005]本實(shí)用新型所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置，包括陶瓷毛細(xì)管和兩個(gè)管座，兩個(gè)管座的結(jié)構(gòu)相同，管座為圓筒，圓筒的一端同時(shí)設(shè)有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細(xì)管的兩端均通過(guò)圓板中心的小孔固定在管座上，陶瓷毛細(xì)管與小孔之間的空隙充滿702膠。
[0006]陶瓷毛細(xì)管與管座接觸表面加工上要求表面粗糙度要低，但是陶瓷毛細(xì)管是一次成型的，不能再機(jī)械加工，也就是表面粗糙度無(wú)法通過(guò)再機(jī)械加工降低粗糙度。管座的材料通常較軟，也不可能降低加工的粗糙度。但是兩者表面粗糙度要求做到盡量好。
[0007]在這樣條件下，無(wú)論兩者如何緊密配合，兩者接觸表面總會(huì)留有細(xì)微的縫隙，在真空中，抽真空難以將殘存的空氣排除凈，也就是在兩者接觸面處，真空度難以做到很高。只要有一點(diǎn)小的縫隙，就會(huì)殘留稀薄的空氣，這就是造成做為絕緣介質(zhì)的管座與毛細(xì)管管壁間中間有斷層，由高絕緣介質(zhì)管座，經(jīng)過(guò)空氣層的低絕緣介質(zhì)再到毛細(xì)管陶瓷管壁的高絕緣介質(zhì)，電磁場(chǎng)在接觸面處有突變，因而會(huì)造成場(chǎng)強(qiáng)有突變，這一突變便成為導(dǎo)致打穿的主要原因。
[0008]基于以上分析，就要求陶瓷毛細(xì)管安裝到管座上時(shí)兩接觸面間不允許有空氣層，為此本實(shí)用新型提出，在安裝配合時(shí)，用填充物填充在兩接觸面間，使管座與陶瓷毛細(xì)管固化成一體，用填充物排除接觸面夾層中的殘余空氣，本實(shí)用新型采用702膠填充，毛細(xì)管在長(zhǎng)期工作中，陶瓷毛細(xì)管和管座接觸面處都沒(méi)再出現(xiàn)打穿的現(xiàn)象，工作實(shí)現(xiàn)了穩(wěn)定。
[0009]本實(shí)用新型適用于在大電流(>10KA)快脈沖(<120ns)時(shí)放電。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1是【具體實(shí)施方式】一所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011 ]【具體實(shí)施方式】一:參照?qǐng)D1具體說(shuō)明本實(shí)施方式，本實(shí)施方式所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置，包括陶瓷毛細(xì)管I和兩個(gè)管座2，兩個(gè)管座2的結(jié)構(gòu)相同，管座2為圓筒，圓筒的一端同時(shí)設(shè)有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細(xì)管I的兩端均通過(guò)圓板中心的小孔固定在管座2上，陶瓷毛細(xì)管I與小孔之間的空隙充滿702膠。
[0012]【具體實(shí)施方式】二:本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置作進(jìn)一步說(shuō)明，本實(shí)施方式中，管座2為聚四氟乙稀座。
[0013]聚四氟乙稀座耐高溫、耐腐蝕、電絕緣性好。
[0014]【具體實(shí)施方式】三:本實(shí)施方式是對(duì)【具體實(shí)施方式】一或二所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置作進(jìn)一步說(shuō)明，本實(shí)施方式中，小孔的外圍設(shè)有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
[0015]由凹槽處滴落702膠，不僅方便滴膠，同時(shí)可保證陶瓷毛細(xì)管I與小孔無(wú)空隙粘接。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.陶瓷毛細(xì)管放電裝置，其特征在于，包括陶瓷毛細(xì)管(I)和兩個(gè)管座(2)，兩個(gè)管座(2)的結(jié)構(gòu)相同，管座(2)為圓筒，圓筒的一端同時(shí)設(shè)有邊沿和嵌固在圓筒內(nèi)的圓板，陶瓷毛細(xì)管(I)的兩端均通過(guò)圓板中心的小孔固定在管座(2)上，陶瓷毛細(xì)管(I)與小孔之間的空隙充滿702膠。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置，其特征在于，管座(2)為聚四氟乙稀座。3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的陶瓷毛細(xì)管放電裝置，其特征在于，小孔的外圍設(shè)有一圈凹槽，凹槽的一端延伸至小孔。
【文檔編號(hào)】H01J17/18GK205645745SQ201620519252
【公開(kāi)日】2016年10月12日
【申請(qǐng)日】2016年5月31日
【發(fā)明人】趙永蓬, 徐強(qiáng), 王騏
【申請(qǐng)人】哈爾濱工業(yè)大學(xué)