石英腔體的固定治具及清洗裝置的制造方法
【專利摘要】本實用新型提供了一種石英腔體的固定治具及清洗裝置，所述固定治具用于在對石英腔體進行清洗時固定所述石英腔體，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多個用于固定所述石英腔體的固定導(dǎo)槽，所述固定導(dǎo)槽為與所述石英腔體的開口相互卡合的凹槽結(jié)構(gòu)。本實用新型中，使用一個固定治具實現(xiàn)對多種形狀的石英腔體進行固定，可減小資源的浪費。同時，當采用具有本實用新型提供的固定治具的清洗裝置對不同形狀的石英腔體進行清洗時，可不必繁復(fù)的更換固定治具，從而可減小在更換固定治具時對清洗座的損傷，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的問題。
【專利說明】
石英腔體的固定治具及清洗裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實用新型涉及半導(dǎo)體制造領(lǐng)域，特別涉及一種石英腔體的固定治具及清洗裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]石英腔體由于其含有的金屬雜質(zhì)較少，其主要物質(zhì)是高純度的二氧化硅，并且能承受較高的溫度，最高可達1200度，因此石英腔體被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造技術(shù)中。例如，化學(xué)氣相沉積工藝中，即，將硅片放置于石英腔體內(nèi)，進而在硅片的表面進行薄膜沉積，然而，在此過程中，所述薄膜不僅沉積于硅片表面，同時還會沉積于石英腔體上，而沉積于石英腔體上的薄膜進而可能成為污染的來源，使后續(xù)于硅片上所沉積的薄膜產(chǎn)生缺陷。因此，為確保石英腔體的清潔度，減小其對半導(dǎo)體工藝的穩(wěn)定性的影響，需定期對該石英腔體進行清洗。
[0003]清洗石英腔體所采用的清洗裝置通常包括清洗座以及安裝于該清洗座上的固定治具，該固定治具上具有一用于固定石英腔體的固定導(dǎo)槽，該固定導(dǎo)槽具有一與石英腔體的開口相互卡合的凹槽結(jié)構(gòu)，在對石英腔體進行清洗時，需將石英腔體的開口對準固定導(dǎo)槽并放置于該固定導(dǎo)槽的凹槽中，進而可對該石英腔體進行清洗。
[0004]目前，石英腔體的形狀各式各樣，例如圖1a及圖1b所示的兩種石英腔體，其中，圖1a為具有圓形開口的圓形石英腔體100a，圖1b為具有矩形開口的方形石英腔體100b。相應(yīng)的，針對不同形狀的石英腔體，則需采用不同的固定治具，其中，圖2a所示的固定治具為用于固定圖1a所示的具有圓形開口的圓形石英腔體I OOa，如圖2a所示，用于固定圓形石英腔體的固定治具包括基座11和位于所述基座11上的圓形的固定導(dǎo)槽12。圖2b所示的固定治具為用于固定圖1b所示的具有矩形開口的方形石英腔體100b，如圖2b所示，用于固定方形石英腔體的固定治具包括基座21和位于所述基座21上的圓形的固定導(dǎo)槽22。
[0005]實際上，在半導(dǎo)體制造過程中，除了需運用到以上所述的兩種石英腔體之外，還包括其他形狀及尺寸均不同的石英腔體。不同種類的石英腔體同時需對應(yīng)不同的固定治具，才能夠?qū)⑹⑶惑w穩(wěn)定在清洗座上進行清洗。同時，當對不同的石英腔體進行清洗時，還需更換與之相應(yīng)的固定治具，并將該固定治具安裝于清洗座上，而頻繁的更換動作加快清洗座或固定治具的損壞變形，從而增加維護成本。并且，在對固定治具進行更換時，若固定治具在清洗座上沒有固定完全，那么于后續(xù)的清洗過程中，極易導(dǎo)致石英腔體的傾覆，進而導(dǎo)致石英腔體破裂。
【實用新型內(nèi)容】
[0006]本實用新型的目的在于提供一種石英腔體的固定治具及清洗裝置，所述石英腔體的固定治具可用于固定不同種類的石英腔體，例如，開口具有不同形狀的石英腔體，或者開口的尺寸不同的石英腔體。以解決現(xiàn)有的石英腔體的固定治具僅能實現(xiàn)對一種形狀及一種尺寸的石英腔體進行固定，從而造成資源浪費及成本增加的問題。
[0007]為解決上述技術(shù)問題，本實用新型提供一種石英腔體的固定裝置，所述固定治具用于在對石英腔體進行清洗時固定所述石英腔體，其中，所述固定治具包括基座，于所述基座上具有多個用于固定石英腔體的固定導(dǎo)槽，所述固定導(dǎo)槽為與所述石英腔體的開口相互卡合的凹槽結(jié)構(gòu)。
[0008]可選的，多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均相同，且多個所述固定導(dǎo)槽的尺寸互不相同。
[0009]可選的，多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均為圓形，且多個所述固定導(dǎo)槽以同心圓的形式排列。
[0010]可選的，多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均為矩形，且多個所述固定導(dǎo)槽的中心重合。[0011 ]可選的，多個所述固定導(dǎo)槽中，部分固定導(dǎo)槽的形狀互不相同。
[0012]可選的，所述基座上具有兩個固定導(dǎo)槽，兩個所述固定導(dǎo)槽的形狀分別為圓形和矩形。
[0013]可選的，所述圓形的固定導(dǎo)槽和矩形的固定導(dǎo)槽的中心位置重合。
[0014]可選的，所述凹槽結(jié)構(gòu)的凹槽寬度根據(jù)所述石英腔體的開口的厚度設(shè)置。
[0015]此外，本實用新型還提供一種石英腔體的清洗裝置，包括清洗座及以上所述的石英腔體的固定治具，所述石英腔體的固定治具安裝于所述清洗座上。
[0016]可選的，所述清洗裝置還包括噴淋頭和排液口，所述噴淋頭和排液口均位于所述固定導(dǎo)槽所圍繞的區(qū)域內(nèi)。
[0017]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型提供的石英腔體的固定治具中，設(shè)置有多個用于固定所述石英腔體的固定導(dǎo)槽，從而可實現(xiàn)使用一個固定治具即可對多種形狀的石英腔體進行固定的目的，減小資源的浪費。同時，當采用具有本實用新型提供的固定治具的清洗裝置對不同形狀的石英腔體進行清洗時，可不必繁復(fù)的更換固定治具，從而可減小在更換固定治具時對清洗座的損傷，并且可避免固定治具于清洗座上固定不佳的問題。
【附圖說明】
[0018]圖1a為具有圓形開口的圓形石英腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖1b為具有矩形開口的方形石英腔體的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖2a為用于固定圖1a所示的圓形石英腔體的固定治具的俯視圖；
[0021]圖2b為用于固定圖1b所示的方形石英腔體的固定治具的俯視圖；
[0022]圖3為本實用新型實施例一的石英腔體的固定治具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖4為本實用新型實施例二的石英腔體的固定治具的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0024]圖5為本實用新型實施例一的石英腔體的清洗裝置的俯視圖；
[0025]圖6a為采用本實用新型實施例一中石英腔體的清洗裝置對圓形石英腔體進行清洗的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖6b為采用本實用新型實施例一中石英腔體的清洗裝置對方形石英腔體進行清洗的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0027]如【背景技術(shù)】所述，在半導(dǎo)體制造中，需采用多種不同種類的石英腔體，而在對所述石英腔體進行清洗時，各種形狀及尺寸的石英腔體需要采用各自對應(yīng)的固定治具方可實現(xiàn)對所述石英腔體的固定，以便于后續(xù)的清洗。進而，種類繁多的固定治具不僅造成資源浪費，同時頻繁的更換固定治具，也易導(dǎo)致清洗座的損壞，而且，頻繁的更換固定治具，也增加了所述固定治具于清洗座上固定不完全的風(fēng)險。
[0028]因此，本實用新型提供一種石英腔體的固定治具，所述石英腔體的固定治具包括基座，于所述基座上具有多個用于固定所述石英腔體的固定導(dǎo)槽，所述固定導(dǎo)槽為與所述石英腔體的開口相互卡合的凹槽結(jié)構(gòu)。
[0029]本實用新型提供的石英腔體的固定治具中，具有多個固定導(dǎo)槽，從而一個固定治具即可用于固定多種石英腔體，實現(xiàn)所述石英腔體的固定治具的功能多樣化，最大限度的利用現(xiàn)有資源，避免財物浪費。并且，當需對不同的石英腔體進行清洗時，可不必更換固定治具即可實現(xiàn)對石英腔體的固定，從而可減小更換固定治具時對清洗座以及固定治具的損傷。
[0030]以下結(jié)合附圖和具體實施例對本實用新型提出的一種石英腔體的固定治具及清洗裝置作進一步詳細說明。根據(jù)下面說明和權(quán)利要求書，本實用新型的優(yōu)點和特征將更清楚。需說明的是，附圖均采用非常簡化的形式且均使用非精準的比例，僅用以方便、明晰地輔助說明本實用新型實施例的目的。
[0031 ] 實施例一
[0032]圖3為本實用新型實施例一中的石英腔體的固定治具的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖3所示，所述石英腔體的固定治具200包括基座210，于所述基座210上具有多個用于固定所述石英腔體的固定導(dǎo)槽，所述固定導(dǎo)槽為凹槽結(jié)構(gòu)，所述凹槽結(jié)構(gòu)與石英腔體的開口相互卡合，如此，即可通過所述凹槽結(jié)構(gòu)將相對應(yīng)的石英腔體固定于固定治具上。
[0033]其中，所述固定導(dǎo)槽是根據(jù)石英腔體的開口的形狀及尺寸而設(shè)定的，根據(jù)多種石英腔體，所述固定治具200的基座210上可相應(yīng)的設(shè)置多種固定導(dǎo)槽，例如，可于所述固定治具200上設(shè)置多種不同形狀的固定導(dǎo)槽或者多種不同尺寸的固定導(dǎo)槽等。具體的，所述固定導(dǎo)槽的形狀可以為圓形的圓形固定導(dǎo)槽、形狀為矩形的矩形固定導(dǎo)槽或形狀為橢圓形的橢圓形固定導(dǎo)槽等。本實施例中，所述基座210上具有兩個固定導(dǎo)槽，分別為圓形固定導(dǎo)槽220a和矩形固定導(dǎo)槽220b。進一步的，所述圓形固定導(dǎo)槽10a和矩形固定導(dǎo)槽10b的中心位置重合。相應(yīng)的，開口為圓形且尺寸相同的圓形石英腔體10a即采用所述圓形固定導(dǎo)槽220a進行固定，開口為矩形且尺寸相同的方形石英腔體10b即采用所述矩形固定導(dǎo)槽220b進行固定，進而，采用所述固定治具200即可對以上兩種石英腔體均可實現(xiàn)固定的目的。
[0034]此外，所述固定導(dǎo)槽為一具有特定形狀的凹槽結(jié)構(gòu)，即于本實施例中，所述圓形固定導(dǎo)槽220a為一圓形的凹槽結(jié)構(gòu)，所述矩形固定導(dǎo)槽220b為一矩形的凹槽結(jié)構(gòu)。其中，所述凹槽結(jié)構(gòu)的形狀和尺寸均是根據(jù)石英腔體的開口的形狀和尺寸而設(shè)定的。繼續(xù)參考圖3所示，本實施例中，所述石英腔體的固定治具200中圓形固定導(dǎo)槽220a最外圍的直徑Dl為590mm，即其適用于圓形開口的直徑為590mm的圓形石英腔體100a;所述矩形固定導(dǎo)槽220b的長度LI為490mm，寬度為317mm，相應(yīng)的，其適用于固定矩形開口的長度及寬度分別為490mm和317mm的方形石英腔體100b。以及，所述凹槽結(jié)構(gòu)的凹槽寬度W也可根據(jù)石英腔體的開口的厚度而設(shè)置。
[0035]實施例二
[0036]圖4為本實用新型實施例二的石英腔體的固定治具的結(jié)構(gòu)示意圖，本實施例的石英腔體的固定治具200中，位于所述基座210上的多個固定導(dǎo)槽的形狀均相同，其中每個固定導(dǎo)槽的尺寸互不相同。如實施例一所述，所述固定導(dǎo)槽的形狀和尺寸依據(jù)石英腔體的開口的形狀和尺寸進行設(shè)定，因此，根據(jù)不同石英腔體的開口的不同形狀和尺寸，所述固定導(dǎo)槽也具有多種形狀以及多種尺寸。
[0037]本實施例中，僅示出了具有多個不同尺寸的圓形的固定導(dǎo)槽的固定治具，而實際應(yīng)用中，所述固定導(dǎo)槽的形狀還可以是矩形或橢圓形等。即，于所述基座上可以設(shè)置多個不同尺寸的矩形的固定導(dǎo)槽或者多個不同尺寸的橢圓形的固定導(dǎo)槽等。優(yōu)選的，多個矩形的固定導(dǎo)槽的中心重合，多個橢圓形的固定導(dǎo)槽的中心也重合。
[0038]繼續(xù)參考圖4所示，本實施例中，于所述基座210上具有兩個固定導(dǎo)槽，且兩個固定導(dǎo)槽的形狀均為圓形，分別為固定導(dǎo)槽210c和固定導(dǎo)槽210d，其中，固定導(dǎo)槽210c和固定導(dǎo)槽210d以同心圓的形式排列。
[0039]具體的，當石英腔體的圓形開口的直徑與固定導(dǎo)槽210c的直徑Dl相同時，則該石英腔體即可采用固定導(dǎo)槽210c進行固定；同樣的，石英腔體的圓形開口的直徑與固定導(dǎo)槽210d的直徑D2相同時，則該石英腔體即可采用固定導(dǎo)槽210d進行固定。從而實現(xiàn)，一個固定治具同時可用于固定多個石英腔體以進行清洗，而不需頻繁的更換固定治具。并且，將形狀相同但尺寸不同的固定導(dǎo)槽設(shè)置于同一固定治具的基座上，以便于對固定治具進行分類及管理。
[0040]實施例三
[0041]本實用新型還提供了一種石英腔體的清洗裝置，包括清洗座以及如上所述的石英腔體的固定治具，所述石英腔體的固定治具安裝于清洗座上。采用所述清洗裝置清洗不同形狀的石英腔體時，可不必繁復(fù)更換固定治具，即可對多種石英腔體進行清洗。
[0042]圖5為本實用新型實施例一的石英腔體的清洗裝置的結(jié)構(gòu)示意圖，如圖5所示，所述清洗裝置包括清洗座310，以及石英腔體的固定治具200，所述固定治具200安裝于清洗座310上。進一步的，所述清洗裝置還包括噴淋頭320和排液口 330，所述噴淋頭320用于噴灑清洗石英腔體的清洗液，所述排液口 330用于排出清洗液，并且，所述噴淋頭320和排液口 330均位于所述固定治具200中的固定導(dǎo)槽所圍繞的區(qū)域內(nèi)。
[0043]進一步的，所述噴淋頭320可設(shè)置于所述固定治具200上，并在清洗座310上與所述噴淋頭320相對應(yīng)的位置上開設(shè)一開孔，所述開孔用于接入與所述噴淋頭320連接的供給管道，進而使清洗液可通過供給管道通入噴淋頭320并通過所述噴淋頭320噴出。所述排液口330可通過在所述固定治具200上設(shè)置于一第一排出管道，以及在清洗座上與第一排出管道位置相對應(yīng)的位置設(shè)置一第二排出管道以形成所述排液口 330，進而所述清洗液即可通過所述第一排出管道和第二排出管道排出。
[0044]圖6a為采用本實用新型實施例一中石英腔體的清洗裝置對圓形石英腔體進行清洗的剖面圖。參考圖6a所示，當需對圓形石英腔體10a進行清洗時:
[0045]首先，將所述石英腔體的固定治具200安裝于清洗座310上；
[0046]接著，通過固定治具200中的固定導(dǎo)槽220a將石英腔體10a固定住，其中，由于所述噴淋頭320及排液口330均位于所述固定導(dǎo)槽220a所圍繞的區(qū)域內(nèi)，因此，此時所述噴淋頭320和排液口 330即均位于述圓形石英腔體10a的內(nèi)部；
[0047]然后，打開噴淋頭320的開關(guān)，以及其他輔助清洗的裝置，對所述圓形石英腔體10a進行清洗，其中，所述輔助清洗的方法例如是使所述固定治具200以一定的旋轉(zhuǎn)速度進行旋轉(zhuǎn)，從而帶動圓形石英腔體10a旋轉(zhuǎn)，以使清洗液可均勻的清洗整個石英腔體10a的內(nèi)壁并充分利用清洗液。
[0048]在現(xiàn)有技術(shù)中，當對一種形狀的石英腔體清洗完成后，還需對其他形狀的石英腔體進行清洗時，則需要對清洗座310上的固定治具200進行更換，每種形狀的石英腔體對應(yīng)單獨的固定治具。例如，當對開口為圓形的圓形石英腔體10a清洗完成后，還需對開口為矩形的方形石英腔體10b進行清洗時，則需要將清洗座310上用于固定圓形石英腔體的固定治具更換為用于固定矩形石英腔體的固定治具。
[0049]而在本實施例中，所述清洗裝置中的固定治具200可采用本實用新型實施例一的石英腔體的固定治具，其不但具有圓形固定導(dǎo)槽220a還具有矩形固定導(dǎo)槽220b，因此可同時用于固定開口為矩形的方形石英腔體100b。即，當對開口為圓形的圓形石英腔體10a清洗完畢后，可不必再更換固定治具200即可直接清洗開口為矩形的方形石英腔體100b。圖6b為采用本實用新型實施例一中石英腔體的清洗裝置對方形石英腔體10b進行清洗的剖面圖，如圖6b所示，在將所述方形石英腔體10b固定于固定治具200上后，所述噴淋頭320也同樣位于開口為矩形的方形石英腔體10b的內(nèi)部，進而可達到對所述石英腔體200b的內(nèi)部進行清洗的目的。
[°05°]進一步的，所述固定治具200中的圓形固定導(dǎo)槽220a和矩形固定導(dǎo)槽220b的中心位置均與清洗裝置中的噴淋頭320的位置重合，從而當對石英腔體進行清洗時，所述噴淋頭320即位于石英腔體內(nèi)部的中間位置，從而噴淋頭320可將清洗液更加均勻的噴灑于石英腔體內(nèi)壁上，以提高清洗效果。
[0051]本說明書中各個實施例采用遞進的方式描述，每個實施例重點說明的都是與其他實施例的不同之處，各個實施例之間相同相似部分互相參見即可。
[0052]上述描述僅是對本實用新型較佳實施例的描述，并非對本實用新型范圍的任何限定，本實用新型領(lǐng)域的普通技術(shù)人員根據(jù)上述揭示內(nèi)容做的任何變更、修飾，均屬于權(quán)利要求書的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種石英腔體的固定治具，所述固定治具用于在對石英腔體進行清洗時固定所述石英腔體，其特征在于:所述固定治具包括一基座，于所述基座上具有多個用于固定石英腔體的固定導(dǎo)槽，所述固定導(dǎo)槽為與所述石英腔體的開口相互卡合的凹槽結(jié)構(gòu)。2.如權(quán)利要求1所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均相同，且多個所述固定導(dǎo)槽的尺寸互不相同。3.如權(quán)利要求2所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均為圓形，且多個所述固定導(dǎo)槽以同心圓的形式排列。4.如權(quán)利要求2所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:多個所述固定導(dǎo)槽的形狀均為矩形，且多個所述固定導(dǎo)槽的中心重合。5.如權(quán)利要求1所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:多個所述固定導(dǎo)槽中，部分固定導(dǎo)槽的形狀互不相同。6.如權(quán)利要求5所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:所述基座上具有兩個固定導(dǎo)槽，兩個所述固定導(dǎo)槽的形狀分別為圓形和矩形。7.如權(quán)利要求6所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:所述圓形的固定導(dǎo)槽和矩形的固定導(dǎo)槽的中心位置重合。8.如權(quán)利要求1所述的石英腔體的固定治具，其特征在于:所述凹槽結(jié)構(gòu)的凹槽寬度根據(jù)所述石英腔體的開口的厚度設(shè)置。9.一種石英腔體的清洗裝置，其特征在于:包括清洗座和權(quán)利要求1?8其中之一所述的石英腔體的固定治具，所述石英腔體的固定治具安裝于所述清洗座上。10.如權(quán)利要求9所述的石英腔體的清洗裝置，其特征在于:所述清洗裝置還包括噴淋頭和排液口，所述噴淋頭和排液口均位于所述固定導(dǎo)槽所圍繞的區(qū)域內(nèi)。
【文檔編號】H01L21/687GK205657050SQ201620490839
【公開日】2016年10月19日
【申請日】2016年5月25日 公開號201620490839.2, CN 201620490839, CN 205657050 U, CN 205657050U, CN-U-205657050, CN201620490839, CN201620490839.2, CN205657050 U, CN205657050U
【發(fā)明人】林志鑫, 季文明
【申請人】上海新昇半導(dǎo)體科技有限公司