本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備,特別涉及晶圓檢測(cè)裝置和晶圓檢測(cè)方法。、在晶圓的制作過程中,量檢測(cè)機(jī)臺(tái)和一些制程機(jī)臺(tái)在生產(chǎn)開始前,都需要通過預(yù)對(duì)準(zhǔn)器(pre-aligner)尋找晶圓邊緣的切口(notch)來對(duì)晶圓進(jìn)行預(yù)對(duì)準(zhǔn),以確保在檢測(cè)時(shí)能精準(zhǔn)找到檢測(cè)的區(qū)域,以及確保在生產(chǎn)時(shí),制程機(jī)臺(tái)可借助確定切口...