專利名稱：靜電微激勵(lì)器，激活這種激勵(lì)器的方法，及相機(jī)模塊的制作方法
相關(guān)申請的交叉對比本申請基于先有的日本專利申請，申請?zhí)柺荖o.2001-283533，申請日為2001年9月18日并要求其權(quán)益；其整個(gè)內(nèi)容在此結(jié)合以資參考。
圖27的示意圖示出該現(xiàn)有技術(shù)靜電激勵(lì)器的結(jié)構(gòu)。
如圖27所示，靜電激勵(lì)器101由可移動(dòng)件102及覆蓋在可移動(dòng)件相對側(cè)的一對靜止部件103a和103b組成。靜止部件103a和103b有它們各自的連接到電極的兩組分支焊片，并有四組連接到電極A到D的分支焊片用于上和下靜止部件對。
靜止部件103a和103b中連接到電極A到D對應(yīng)的焊片的分支焊片按可移動(dòng)件102的分支焊片104相同的間距排布，且靜止和可移動(dòng)件中所有分支焊片寬度都相同。然而在靜止件103a和103b中，分別與兩個(gè)電極相關(guān)(即電極A和C)的分支焊片交替地按交錯(cuò)布局放置。此外，上和下靜止件103a和103b的分支焊片彼此以1/2相移模式相關(guān)，其中上分支墊片對于它們的對應(yīng)物或下分支焊片偏離它們各自寬度的一半。
向電極A施加高壓，在電極A與同電極E相關(guān)的分支焊片104之間形成的靜電力(庫侖力)引起可移動(dòng)件被上靜止部件103a吸引(趨向于與電極A和E相關(guān)的分支焊片在相位上對準(zhǔn)的位置)。然后，把供以高壓的電極切換到電極B，則可移動(dòng)件102由下靜止部件103b吸引(趨向于與電極B和E相關(guān)的分支焊片在相位上對準(zhǔn)的位置)。這樣，按A到B，B到C，C到D等這樣的方式電極相繼的切換使得可移動(dòng)件102精微地垂直振動(dòng)并精微地橫向運(yùn)動(dòng)(即在圖27中向右以一個(gè)自由度運(yùn)動(dòng))。
按相反順序A到D，D到C，C到B等向電極供高壓使得可移動(dòng)件在圖27中向左移動(dòng)。
為了實(shí)現(xiàn)這種運(yùn)動(dòng)方式，并列的垂直靜止部件103a和103b必須處于相位或分支的電極模式的精確控制之下，而可移動(dòng)件102必須還在相對兩側(cè)有精確制造的電極模式。這要求費(fèi)時(shí)且復(fù)雜的組裝任務(wù)，因而導(dǎo)致成本增加，對于這種高精度激勵(lì)器的批量生產(chǎn)這是某些必須克服的問題。
而且，由于這種靜電激勵(lì)器中的可移動(dòng)件以相對于逐間距橫向運(yùn)動(dòng)為大的振幅，在并列的靜止部件103a和103b之間振動(dòng)，故其精微運(yùn)動(dòng)不是令人滿意的平滑，因而希望對激勵(lì)器物理和操作機(jī)構(gòu)都加以改進(jìn)。
根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，提供了一種靜電激勵(lì)器，包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，提供了一種靜電激勵(lì)器，包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極，及在第一方向延伸并幾乎平行于第二電極的第三電極；第一可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，第二可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第一可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)，且該切換電路施加第一電壓以引起激活電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第三電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第二可移動(dòng)件在第二方向前進(jìn)。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，提供了激活靜電激勵(lì)器的一種方法，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；及一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，該方法包括施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，施加第二電壓以引起第二電極與可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，提供了一種相機(jī)模塊，包括一個(gè)成象裝置；一個(gè)靜電激勵(lì)器，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極和可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)；以及一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息。
根據(jù)本發(fā)明另一實(shí)施例，提供了一種相機(jī)模塊，包括一個(gè)成象裝置；一個(gè)靜電激勵(lì)器，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一個(gè)組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極，及在第一方向延伸并幾乎平行于第二電極的第三電極；第一可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，第二可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第一可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)，以及該切換電路施加第一電壓以引起激活電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第三電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第二可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)；以及一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的第一可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息；以及一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的第二可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息。
根據(jù)本發(fā)明適當(dāng)?shù)卦O(shè)置，一種可移動(dòng)件，在附加在并幾乎適配到具有與第一電極連接的分支焊片的表面的同時(shí)，被允許移動(dòng)，從而抑制了在強(qiáng)烈吸引力下的垂直振動(dòng)，以至實(shí)現(xiàn)了所需的穩(wěn)定，平滑及可靠的操作。
在附圖中圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的靜電激勵(lì)器一個(gè)實(shí)施例的示意圖；圖2是一平面圖，表示連接到第一靜止部件中的電極A到D的分支焊片的布局；圖3是一時(shí)序圖，表示由本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器中的切換電路施加到電極的電壓波形；圖4描繪了一變化的時(shí)序圖，表示由本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器中的切換電路施加到電極的電壓波形；圖5是表示按圖3所示的定時(shí)被激活的靜電激勵(lì)器的運(yùn)動(dòng)所得結(jié)果的測量；圖6是一剖視圖，表示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例靜電激勵(lì)器的機(jī)械結(jié)構(gòu)；圖7是表示一示例性靜電激勵(lì)器的示意圖，其中垂直并列的靜止部件和有止動(dòng)器，且可移動(dòng)件形成相對于止動(dòng)器的摩擦運(yùn)動(dòng)；圖8是表示一示例性靜電激勵(lì)器的示意圖，其中止動(dòng)器分別置于可運(yùn)動(dòng)件中，阻擋接觸；圖9是表示作用在可移動(dòng)件的吸引力與施加150V電壓的電極的距離之間的關(guān)系的曲線圖；圖10是表示施加的電壓與吸引力的關(guān)系的曲線圖，吸引力是在分支焊片與可移動(dòng)件之間，以及下電極與帶有止動(dòng)器高度S為3.5微米的可移動(dòng)件之間形成的；圖11是表示施加的電壓與吸引力的關(guān)系的曲線圖，吸引力是在分支焊片電極與可移動(dòng)件之間，以及下電極與帶有止動(dòng)器高度S為4微米的可移動(dòng)件之間形成的；圖12是表示施加的電壓與吸引力的關(guān)系的曲線圖，吸引力是在分支焊片與可移動(dòng)件之間，以及下電極與可移動(dòng)件之間形成的；圖13是表示下電極E的平面模式的圖示；圖14A和14B是表示本發(fā)明實(shí)施例的第四示例性靜電激勵(lì)器的操作原理的圖示；圖15是表示激活激勵(lì)器的電壓信號的時(shí)序圖；圖16是表示電壓施加的模式的時(shí)序圖，其中分支焊片與可移動(dòng)件之間的電壓被反向，以便從防護(hù)膜驅(qū)散殘余的極化；圖17是表示電壓施加的模式的時(shí)序圖，其中分支焊片與可移動(dòng)件之間的電壓根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的方式被反向，以便從防護(hù)膜驅(qū)散殘余的極化；圖18是表示用于相機(jī)模塊中透鏡機(jī)構(gòu)的本發(fā)明第五示例性靜電激勵(lì)器應(yīng)用的圖示；圖19A到19C是表示用于相機(jī)模塊中透鏡機(jī)構(gòu)的本發(fā)明第五示例性靜電激勵(lì)器應(yīng)用的圖示，其中圖19A是沿縱軸所取的激勵(lì)器的剖視圖，圖19B是其X-X剖視圖，而圖19C是其Y-Y剖視圖；圖20是表示裝有本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器的小型相機(jī)模塊部分的圖示；
圖21到23是表示可用于本發(fā)明實(shí)施例的定時(shí)的其它例子的時(shí)序圖；圖24是表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器基本結(jié)構(gòu)的示意圖；圖25是表示由切換電路施加到電極的電壓波形的時(shí)序圖；圖26是表示從監(jiān)視圖24所示靜電激勵(lì)器中可移動(dòng)件運(yùn)動(dòng)所得的測量的曲線圖；及圖27是表示現(xiàn)有技術(shù)靜電激勵(lì)器結(jié)構(gòu)的圖示。
圖24是一示意圖，表示用于理解本發(fā)明的基本靜電激勵(lì)器結(jié)構(gòu)。
該靜電激勵(lì)器由彼此相對的第一和第二靜止部件2a和2b，及位于它們之間并可沿箭頭SL標(biāo)記的方向滑動(dòng)的可移動(dòng)件組成。
第一靜止部件2a有四組分支焊片分別連接到電極A到D，而第二靜止部件2b有在其表面均勻分布的電極E。從圖中描繪可見，與電極A到D相關(guān)的四組分支焊片按條形布局排布，其中來自每一組的分支焊片一個(gè)接一個(gè)按A到D固定的順序，例如沿可移動(dòng)件3前進(jìn)的方向，依次就位。預(yù)定的電壓電平從電源142通過切換電路140同時(shí)施加到每一組的所有分支焊片。
圖25是一時(shí)序圖，表示通過切換電路140向與每一電極相關(guān)的分支焊片施加的電壓波形。
起初，如圖25(f)所示，連接到可移動(dòng)件3的電極F保持其電位在一低電平L，同時(shí)對電極A和B提供如圖25(a)和25(b)所示的電壓。電極A和B與可移動(dòng)件3之間的靜電力引起可移動(dòng)件3被吸引向分別連接到那些電極并幾乎適配在第一靜止部件2a上的分支焊片A和B。然后如圖25(e)所示，切換電路140將其連接從電極A和B切換到電極E，使得向電極E施加電壓，而可移動(dòng)件3離開分支焊片A和B，或它被第二靜止部件2b吸引并趨向該部件。
此后，切換電路140切換其連接從電極E向電極B和C，使得如圖25(b)和25(c)所示，向連接到這些電極的分支焊片B和C施加電壓，且分支焊片B和C與可移動(dòng)件3之間的靜電力引起可移動(dòng)件3被第一靜止部件2a吸引。然后切換電路140將其連接從分支焊片B和C切換到電極E，使得如圖25(c)所示向電極E施加電壓，而結(jié)果是可移動(dòng)件3離開分支焊片B和C，或它被吸引向第二靜止部件2b。
然后，切換電路140將其連接從電極E切換到電極C和D，使得如圖25(c)和25(d)所示向電極C和D施加電壓，且電極C和D與可移動(dòng)件3之間的靜電力使得可移動(dòng)件3被第一靜止部件2a吸引。接下來，切換電路140將其連接從分支焊片C和D切換到電極E，使得如圖25(e)所示向電極E施加電壓，可移動(dòng)件3離開電極E，或它被吸引向第二靜止部件2b。
此外，切換電路140將其連接從電極E切換到電極D和A，使得如圖25(d)和25(a)所示向電極D和A施加電壓，電極D和A與可移動(dòng)件3之間合成的靜電力引起可移動(dòng)件3被第一靜止部件2a吸引。接下來，切換電路140將其連接從分支焊片D和A切換到電極E，以便如圖25(e)所示向電極E施加電壓，且可移動(dòng)件3離開分支焊片D和A，或它被吸引向第二靜止部件2b。
重復(fù)上述操作順序能夠使可移動(dòng)件3在第一靜止部件2a中精微地垂直振動(dòng)并精微地沿分支焊片延伸橫向移動(dòng)。
在圖24中的靜電激勵(lì)器中，如所述靜止部件2b簡單地裝有允許線性運(yùn)動(dòng)的均勻分布的電極E。這樣，無需對分支-電極模式的精確相位控制，這與現(xiàn)有技術(shù)的靜電激勵(lì)器不同，該激勵(lì)器如圖27中所示具有在垂直并列靜止部件103a和103b中按條形布局的電極。不需要如現(xiàn)有技術(shù)實(shí)施例中那樣對靜止部件2a與2b對之間的位置關(guān)系進(jìn)行調(diào)節(jié)，且這導(dǎo)致了組裝的時(shí)間和勞務(wù)的節(jié)省，并因而造成成本下降，從而大大提高批量生產(chǎn)率。
此外，在圖24的靜電激勵(lì)器中，由于電壓交替施加到第一和第二靜止部件2a和2b，可移動(dòng)件3在垂直振動(dòng)的同時(shí)橫向運(yùn)動(dòng)。
圖26是表示從監(jiān)視圖24所示靜電激勵(lì)器中可移動(dòng)件運(yùn)動(dòng)所得的測量的曲線圖。水平軸線表示時(shí)間的經(jīng)過，左側(cè)的垂直軸線表示施加到電極的電壓，而右側(cè)垂直軸線表示可移動(dòng)件3的位移。在曲線圖的下半部分繪制的矩形示出施加到電極的電壓的波形，而在曲線圖上半部分中的矩形示出可移動(dòng)件3的垂直位移，曲線圖中從左下到右上延伸的線還表示出可移動(dòng)件3在其前進(jìn)方向(橫向)的位移。
圖26中，橫向位移是按對垂直位移1/10的縮小比例尺繪制的。換言之，橫向位移實(shí)際上十倍于沿垂直軸線相同刻度線標(biāo)志的垂直位移。
在圖26中可見，每當(dāng)被施加電壓的目標(biāo)從一個(gè)電極或電極對切換到另一電極，可移動(dòng)件3就上下運(yùn)動(dòng)，同時(shí)前進(jìn)(在橫向)少量。這種垂直移動(dòng)的幅度取決于可移動(dòng)件3與并列靜止部件2a和2b之間的距離，并比等于可移動(dòng)件的單間距的橫向位移大得多?？梢苿?dòng)件3，雖然有相當(dāng)大幅度的振動(dòng)，但橫向移動(dòng)是一點(diǎn)一點(diǎn)的。此外，垂直振動(dòng)的幅度，雖然定義為可移動(dòng)件3與兩個(gè)靜止部件2a和2b之間的距離，但可能因制造誤差而有變化。
由于在可移動(dòng)件3與靜止部件2a和2b之間形成的庫侖力反比于這些部件之間的距離的平方，這些組件之間的距離的連續(xù)改變總可以影響它們之間的吸引力，且吸引移動(dòng)力和可移動(dòng)件的位移變得不穩(wěn)定。
本發(fā)明人曾試圖改進(jìn)現(xiàn)有技術(shù)中的這些缺陷，且它們已經(jīng)成功地提高了操作的平滑性和穩(wěn)定性，實(shí)現(xiàn)了技術(shù)上精細(xì)的靜電激勵(lì)器。
現(xiàn)將更為詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施例。
(第一實(shí)施例)圖1是表示根據(jù)本發(fā)明的靜電激勵(lì)器一個(gè)示例性實(shí)施例結(jié)構(gòu)的示意圖。如圖24和25中所使用的相同的標(biāo)號在圖1中標(biāo)記對應(yīng)的組件。
該示例性靜電激勵(lì)器由彼此相對的第一和第二靜止部件2a和2b，及位于它們之間并可在箭頭24指示的方向移動(dòng)的可移動(dòng)件3組成。
第一和第二靜止部件2a和2b形狀可以是板狀，或另外可以是半圓柱形。當(dāng)?shù)谝缓偷诙o止部件2a和2b具有板狀形狀時(shí)，可移動(dòng)部件3因而可成形為實(shí)體的或中空的塊狀，具有相對的幾乎平坦的面向靜止部件的表面，或當(dāng)?shù)谝缓偷诙o止部件2a和2b具有半圓柱形時(shí)，可移動(dòng)部件3可對應(yīng)地成形為實(shí)體或中空的圓柱形。
圖2是一平面圖，表示分別連接到電極A到D的第一靜止部件2a中分支焊片組的布局。
在圖2中可見，第一靜止部件2a有四組與由對應(yīng)的字母符號指示的電極相關(guān)的分支焊片A到D，同時(shí)第二靜止部件2b具有在一表面均勻分布的電極E。分支焊片A到D的四組按圖2中描繪的排布，作為條形布局的“激活電極”，其中來自每一組的一個(gè)分支焊片依次一個(gè)接一個(gè)按固定順序沿可移動(dòng)件3的前進(jìn)方向就位。預(yù)定的電壓電平從電源42通過切換電路40同時(shí)施加到每一組的所有分支焊片。
如同2中所示，供電電壓向分支焊片的施加按固定順序從一個(gè)切換到另一個(gè)，并由于分支焊片用來在規(guī)定的方向推進(jìn)可移動(dòng)件，那些分支焊片A到D以下將稱為“激活電極”。裝設(shè)在第二靜止部件2b中的均勻分布的電極E以下也將稱為“下電極”。如果離散的電極元件均勻分布且為相同類型，則下電極可以是離散的。
圖2中的標(biāo)號10標(biāo)記規(guī)定可移動(dòng)件3與激活電極之間固定間隙的一止動(dòng)器。這將在以下詳述。
圖3是一時(shí)序圖，表示根據(jù)本發(fā)明的靜電激勵(lì)器中通過切換電路40施加到電極的電壓波形。
定時(shí)可被分析并簡單地表述為“在電壓施加到下電極時(shí)，同時(shí)向激活電極通過電壓”。按時(shí)序圖所示的定時(shí)施加電壓允許可移動(dòng)件3橫向推進(jìn)，同時(shí)被吸引并幾乎適配到第一靜止部件2a。
關(guān)于圖3中示例表示的定時(shí)，起初連接到可移動(dòng)件3的電極F保持其電位在如圖3(f)所示的低電平，同時(shí)對激活電極A和B提供如圖3(a)和3(b)所示的電壓。這樣，激活電極A和B與可移動(dòng)件3之間的靜電力引起可移動(dòng)件3被激活電極A和B吸引，并幾乎適配到第一靜止部件2a上。
然后，與激活電極A轉(zhuǎn)換為低電平的定時(shí)的同時(shí)，下電極E將其電位轉(zhuǎn)換為高電平。在這階段，施加到激活電極B的電壓保持在高電平。這樣，繼續(xù)被吸引并幾乎適配到其“激活電極”已被激活的第一靜止部件2a的可移動(dòng)件3，還被下電極E吸引并被迫使不充分地脫離第一靜止部件2a。可移動(dòng)件3蠕動(dòng)地橫向懸浮趨向激活電極B。這階段的激活電極B是作為“輔助電極”，干擾下電極E以其吸引力俘獲可移動(dòng)件3。
此后，在激活電極B保持其電壓為高電平的同時(shí)，對激活電極C提供高電平電壓，且下電極E其電位已經(jīng)轉(zhuǎn)換為低電平。結(jié)果是，可移動(dòng)件由靜止部件2a吸引同時(shí)橫向蠕動(dòng)趨向激活電極C。
接下來，在激活電極C保持其電位為高電平的同時(shí)，激活電極B已轉(zhuǎn)換其電位為低電平，且對下電極E提供高電平電壓。結(jié)果是，可移動(dòng)件3，在繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極的同時(shí)，還被下電極E吸引并迫使其不充分地脫離第一靜止部件2a，以至它蠕動(dòng)地懸浮而趨向激活電極C。這樣，激活電極C類似地用作為“輔助電極”。
在按類似的過程對激活電極C，D和A順序地施加電壓之后，就完成了一個(gè)循環(huán)。對于后繼的激活電極A到D序列重復(fù)類似的循環(huán)，因而可移動(dòng)件3在由吸引力繼續(xù)保持幾乎適配到第一靜止部件2a的同時(shí)，能夠橫向移動(dòng)。
這樣，與電壓施加到下電極E同時(shí)，對任何激活電極A到D提供電壓以便作為“輔助電極”，且這有效地抑制了可移動(dòng)件3的垂直振動(dòng)，并允許幾乎適配到激活電極的可移動(dòng)件平滑地前進(jìn)。
圖4是根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器的時(shí)序圖，示出施加到電極的電壓波形。在這一改進(jìn)中，對相鄰的電極，諸如電極A和B，提供在圖形初始段所描繪的ON/OFF模式的電壓，其中一個(gè)電極導(dǎo)通然后立即關(guān)斷，且這一相繼的過程重復(fù)四次。電極E的電壓電平根據(jù)相繼的ON/OFF被切換。這一ON/OFF模式之后是下一組相鄰電極，諸如B和C，并在相繼的過程重復(fù)四次之后，該相同的ON/OFF模式之后是另外的下一組相鄰的電極，諸如電極C和D。這另外的一組由相繼的電極對D和A跟隨等等。
以上述方式重復(fù)導(dǎo)通和關(guān)斷相鄰電極能夠保證可移動(dòng)件前進(jìn)。在單一的ON/OFF模式中，一個(gè)電極被導(dǎo)通并立即被關(guān)斷四次，但是相繼的過程次數(shù)不應(yīng)當(dāng)有限制；就是說，導(dǎo)通和關(guān)斷的頻率能夠按每一應(yīng)用中所需而決定，且模式重復(fù)頻度可以多于或少于四次。
圖5是一曲線圖，表示當(dāng)電極激勵(lì)器按圖4所描繪的定時(shí)被激活時(shí)，從監(jiān)視可移動(dòng)件所得測量結(jié)果。水平軸線表示時(shí)間，左側(cè)的垂直軸線表示施加到電極的電壓，而右側(cè)垂直軸線表示可移動(dòng)件3的位移。曲線圖下半部中繪制的矩形表示施加到電極的電壓波形P，而曲線圖上半部表示可移動(dòng)件3的垂直位移V，圖中從左下到右上延伸的線還表示可移動(dòng)件3在其前進(jìn)方向的橫向位移H。
圖5中，橫向位移按對垂直位移1/10的縮小比例繪制。換言之，橫向位移實(shí)際上十倍于沿垂直軸線相同刻度線標(biāo)記的垂直位移。
在圖5中可看出，可移動(dòng)件3在最初定時(shí)被吸引向激活電極之后，橫向移動(dòng)，同時(shí)繼續(xù)被保持在幾乎適配到激活電極。交替地向激活電極與下電極施加電壓，可移動(dòng)件3橫向移動(dòng)同時(shí)垂直振動(dòng)。
反之，在本發(fā)明的實(shí)施例中，電壓同時(shí)施加到下電極和激活電極。這樣，如圖5所示，可移動(dòng)件3被允許在橫向平滑地移動(dòng)同時(shí)繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極。結(jié)果是，能夠抑制不希望有的垂直振動(dòng)，并能夠獲得類似于在降低可移動(dòng)件3與靜止部件2a之間的間隙的狀態(tài)下所獲得的附加效果；就是說，用于可移動(dòng)件的吸引和位移的運(yùn)動(dòng)力被有利地加強(qiáng)。這樣，由于激活電極A到D和可移動(dòng)件3之間的間隙能夠保持為最小，足夠的和穩(wěn)定的吸引力或庫侖力作用到可移動(dòng)件3。
在圖5中所示的實(shí)施例中，相鄰的電極之一相繼地并充分地導(dǎo)通并然后關(guān)斷四次。應(yīng)當(dāng)注意，第一次導(dǎo)通和關(guān)斷引起可移動(dòng)件3橫向移動(dòng)，且被重復(fù)三次的其余的ON/OFF動(dòng)作幾乎不引起可移動(dòng)件3的橫向位移。這是由于最初的導(dǎo)通和關(guān)斷相鄰的電極(例如電極A和B)迫使可移動(dòng)件落入被激活的電極的平衡區(qū)。反之，即使在最初導(dǎo)通和關(guān)斷之后，當(dāng)某些擾動(dòng)諸如可移動(dòng)件3上的摩擦力作用而保持可移動(dòng)件3離開平衡區(qū)時(shí)，第二或甚至后繼的導(dǎo)通和關(guān)斷能夠引起可移動(dòng)件到達(dá)平衡區(qū)。
(第二實(shí)施例)現(xiàn)在將在改進(jìn)了調(diào)節(jié)施加到激活電極和下電極電壓的平衡特特性場合下，說明靜電激勵(lì)器的第二實(shí)施例。
本發(fā)明人查看了靜電激勵(lì)器的第一實(shí)施例并獲得了關(guān)于靜止部件2a和可移動(dòng)件3之間的間隙及施加到電極的電壓的某些定量觀察。
為了充分理解本實(shí)施例將對機(jī)械結(jié)構(gòu)的概貌進(jìn)行說明。
圖6是一剖視圖，表示本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器的機(jī)械結(jié)構(gòu)。激活電極A到D和下電極E將它們的各自的工作表面分別以防護(hù)膜4覆蓋。防護(hù)膜4是諸如包括氧化硅和氮化硅等無機(jī)合成物，及包括聚酰亞胺的有機(jī)合成物的絕緣材料。
裝設(shè)止動(dòng)器10以避免防護(hù)膜4與可移動(dòng)件3直接接觸。例如，如圖7A和7B所示，上件和下件2a和2b在它們的表面分別有止動(dòng)器10允許可移動(dòng)件3在止動(dòng)器10上摩擦行動(dòng)，并這樣可移動(dòng)件3能夠保持離開防護(hù)膜4。另外，如圖8A和8B所示，諸如止動(dòng)器10這種接觸解除元件可以放置在可移動(dòng)件3上。
再轉(zhuǎn)向圖6進(jìn)行討論，其中給出止動(dòng)器的高度和間隙的寬度。止動(dòng)器的高度S可接近4.5微米?？梢苿?dòng)件3能夠穿過的幅度值V可以是4.0微米。
而且，圖6描繪了可移動(dòng)件3被吸引并幾乎適配到激活電極A到D，而這種情形把電極之間距離，即可移動(dòng)件3與激活電極A到D之間的距最小化。電極間距離(最小)G1可以接近4.0微米。激活電極A到D的高度可接近0.5微米。在這種環(huán)境下，另一電極間距離，即可移動(dòng)件3與下電極E之間的距離被最大化。這種電極間距離(最大)G2可以是8.0微米。
考慮縱向尺寸，當(dāng)作為一種基準(zhǔn)，可移動(dòng)件3的凸起3a被配備為使它們各自的中心位于激活電極A中時(shí)，能夠通過固定每一凸起3a與激活電極B之間的重疊量大約為6.0微米，確定凸起3a的長度和激活電極A到D序列的間距。
圖9是曲線圖，表示對可移動(dòng)件3的吸引力與電極間距離之間的關(guān)系。在這一圖中，水平軸線表示可移動(dòng)件3與激活電極A到D之間的電極間的距離，而垂直軸線表示對可移動(dòng)件3的吸引力。而且在圖9中，電極間的距離(最大)G2固定在8微米，而止動(dòng)器的高度S是變化的，且吸引力在與變化的可移動(dòng)件3與激活電極A到D之間的距離關(guān)系中被監(jiān)視。
這種情形下，如圖6中所描繪，假設(shè)可移動(dòng)件3保持被吸引并幾乎適配到激活電極A到D。這樣，在水平軸線上表示出的可移動(dòng)件3與激活電極A到D之間的距離被視為電極間的距離(最小)G1。該值等于止動(dòng)器的高度S減去電極A到D的每個(gè)的厚度。
可移動(dòng)件3和激活電極A到D之間，及可移動(dòng)件3與下電極E之間產(chǎn)生的力能夠按以下公式表示F=ϵSV22d2]]>其中ε是介電常數(shù)(8.85×10-12F/m在真空條件下)，S是每一激活電極的面積，V是施加的電壓，d是電極間的距離(間隙)。
當(dāng)可移動(dòng)件3與電極A到E之間的距離在操作過程中變化時(shí)，引起跨各電極輸出中的波動(dòng)。電極間距離的值(最大)G2影響輸出波動(dòng)的最小值，并如果G2上升，則輸出波動(dòng)(最小)降低。這樣，假設(shè)電極間距離(最大)G2被固定，而止動(dòng)器的高度S變化的情形下，圖9描繪了可移動(dòng)件3與吸引力的關(guān)系。
圖9中，當(dāng)電極間距離(最小)G1小于3.5微米時(shí)，從激活電極A到D對可移動(dòng)件3的吸引力高于從下電極E到可移動(dòng)件3的吸引力，并如果電極間距離G1上升到3.5微米以上，則上述關(guān)系相反，即來自下電極E的吸引力較大。
當(dāng)可移動(dòng)件3被激活，同時(shí)繼續(xù)保持被激活電極A到D吸引時(shí)，電極間距離(最小)G1必須低于3.4微米。這意味著止動(dòng)器高度S的上限大約為4.0微米。
考慮到吸引力作用到可移動(dòng)件3，希望止動(dòng)器的高度S降低。然而實(shí)際上，當(dāng)止動(dòng)器的高度S降低時(shí)，應(yīng)當(dāng)有可能發(fā)生可移動(dòng)件3與防護(hù)膜4的接觸引起畸變和故障。電極間距離(最小)G1的降低引起電場強(qiáng)度的增加，因而，防護(hù)膜的放電擊穿更可能引起畸變和故障。當(dāng)防護(hù)膜4被損壞時(shí)，很可能受到放電擊穿，因而損壞和放電擊穿，當(dāng)它們彼此互為原因時(shí)，加劇了畸變和故障的潛在危險(xiǎn)。就在各種應(yīng)用中任何實(shí)際使用的可靠性而言，這是很重要的事情。
因而，關(guān)鍵是要按對于靜電激勵(lì)器的任何使用和應(yīng)用規(guī)范中所需，適當(dāng)確定結(jié)構(gòu)參數(shù)和激活條件，使得靜電激勵(lì)器能夠盡可能達(dá)到最大的吸引力同時(shí)保證其工作的可靠性。
參見圖10到12，以下將解釋該過程的例子。
圖10是一曲線圖，表示在止動(dòng)器S的高度為3.5微米的條件下，施加的電壓對作用在激活電極和可移動(dòng)件之間，以及下電極與可移動(dòng)件之間的吸引力的關(guān)系。在圖10中，使用如圖6中示例的尺寸參數(shù)，且止動(dòng)器的高度S為3.5微米。這樣，電極間距離(最小)G1為3.0微米。
使用止動(dòng)器的這一高度并使用從100V到200V的范圍內(nèi)施加的電壓，從激活電極A至D到可移動(dòng)件3的吸引力總是高于從下電極E到可移動(dòng)件3的吸引力。當(dāng)然，可移動(dòng)件3在繼續(xù)被吸引向激活電極A到D的同時(shí)被激活。當(dāng)激勵(lì)器的可靠性及加工組件的精密度允許止動(dòng)器的這一高度S時(shí)，不會引起因高度所發(fā)生的問題。例如，一旦確定，在基于加工止動(dòng)器10的精密度而假設(shè)的變化的高度范圍內(nèi)，可移動(dòng)件不會與防護(hù)膜4接觸，就能夠使用該范圍內(nèi)的高度。
圖11是一曲線圖，表示施加的電壓對作用在激活電極和可移動(dòng)件之間，以及下電極與可移動(dòng)件之間的吸引力的關(guān)系。在圖示的情形下，使用4.0微米的止動(dòng)器高度S，吸引力匹配在激活電極和可移動(dòng)件，及下電極與可移動(dòng)件之間，而這使得可移動(dòng)件不穩(wěn)定。
特別是在這些條件下，可移動(dòng)件3不總是被吸引向激活電極A到D，有時(shí)它可能被吸引并幾乎適配到下電極E，而表現(xiàn)出垂直振動(dòng)。
圖12是一曲線圖，表示在4.5微米振動(dòng)器的高度S的條件下，施加的電壓對作用在激活電極和可移動(dòng)件之間，以及下電極與可移動(dòng)件之間的吸引力的關(guān)系。在圖中，使用4.5微米振動(dòng)器的高度S，顯然激活電極與可移動(dòng)件之間及下電極與可移動(dòng)件之間的關(guān)系被切換并反向。
如果給出有定時(shí)協(xié)助的工作波形，似乎根據(jù)給出的定時(shí)可移動(dòng)件3依賴于被指令的電壓電平垂直振動(dòng)。但這并不能提高穩(wěn)定和充分的激活性能。
另一方面，就組件加工的精密度和裝置的可靠性來看，有時(shí)希望預(yù)定振動(dòng)器的高度S高于圖11和12中通常的情形。因而，在本發(fā)明的實(shí)施例中，施加到下電極E的電壓被調(diào)節(jié)以便有穩(wěn)定的操作。
這種穩(wěn)定化的方式將在以下參照圖12討論。
現(xiàn)在假設(shè)施加到激活電極A到D的電壓事先確定為150V。在該條件下，下電極E可被調(diào)節(jié)，以保持來自下電極E的吸引力小于來自激活電極A到D的吸引力。
具體來說，首先要作的是獲得在施加150V時(shí)激活電極與可移動(dòng)件之間的吸引力的值。在圖12中它大約為12.5mN。然后，必須知道用于在下電極形成與吸引力相同水平的力所需的電壓電平。在圖12中，看到這大約為130V。如果該已知的電壓或較小的電壓被施加到下電極E，則來自激活電極A到D的吸引力總是較高，而可移動(dòng)件3能夠被激活，同時(shí)繼續(xù)保持被吸引并幾乎適配到激活電極A到D。
在本實(shí)施例中，調(diào)節(jié)施加到激活電極A到D的電壓與施加到下電極E的電壓之間的關(guān)系，以保持來自激活電極的吸引力總是較高這種所需的狀態(tài)，使得穩(wěn)定的吸引力作用到可移動(dòng)件而沒有該部件的垂直振動(dòng)。
(第三實(shí)施例)以下將說明本發(fā)明的第三實(shí)施例，這是一個(gè)靜電激勵(lì)器，具有激勵(lì)電極相對于下電極良好平衡的電極面積。
本實(shí)施例中，不是象對于第二實(shí)施例所述那樣調(diào)節(jié)施加到每一電極的電壓，而是調(diào)節(jié)上和下電極彼此相對的面積，以保持那些電極之間的吸引力的良好平衡狀態(tài)。
例如，激活電極A到D如圖2所述那樣按重復(fù)的條帶配置，而電壓施加到一(多)組特定的電極。對此的響應(yīng)是，下電極E形成吸引力。
至于圖3所示的操作順序，相同的分支電極A，B，C或D只有一組與向下電極E施加電壓的同時(shí)被施加電壓。這樣，在同一組中所有激活電極對于可移動(dòng)件3的面對面的面積將被調(diào)節(jié)，使得與下電極E對可移動(dòng)件3的面對面的面積具有所需的平衡。
在可替代的一種簡化方式中，同組的激活電極對于可移動(dòng)件3的面對面的面積可能大于下電極E對可移動(dòng)件3面對面的面積。一個(gè)面對面的面積對另一面對面的面積的比率，取決于施加的電壓和止動(dòng)器高度S，按需要可被確定。
要點(diǎn)在于，可移動(dòng)件3應(yīng)當(dāng)被激活同時(shí)保持繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極A到D。
圖13是一示意圖，表示下電極E的平面模式。下電極E成形為三個(gè)平行的條帶，分別在可移動(dòng)件3的前進(jìn)方向延伸。每一條帶的寬度W可變化以便調(diào)節(jié)下電極E的總面積。
這樣，除了止動(dòng)器的高度S和施加到電極A到E的電壓這些參數(shù)之外，下電極E條帶的寬度W應(yīng)當(dāng)有變化，使得激活電極總是施加較大的吸引力。因而，穩(wěn)定的吸引力作用到可移動(dòng)件3上使其移動(dòng)而沒有垂直振動(dòng)。
(第四實(shí)施例)現(xiàn)在將說明第四實(shí)施例，該實(shí)施例是一能夠在某種程度上防止防護(hù)膜4的電介質(zhì)極化的不良作用的靜電激勵(lì)器。
圖14A到14B示出根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的示例性靜電激勵(lì)器的操作原理。
圖15是用來激活激勵(lì)器的電壓信號的時(shí)序圖。
在圖14A到14B中可見，有三組激活電極A到C，而下電極D位于它們對面。然而激活電極組的數(shù)目不限于三個(gè)，而是可以有四組激活電極，或可以有五組或更多的激活電極。
例如，本實(shí)施例中，向激活電極A到C施加反向極性電壓，抑制了在防護(hù)膜4中電介質(zhì)極化的影響。
在圖15的時(shí)序圖中，圖15(a)，15(b)，和15(c)分別表示施加到分支電極A，B和C的電壓信號。圖15(d)表示施加到與靜止部件連接的電極D的電壓信號，而圖15(e)表示施加到與可移動(dòng)件連接的電極E的電壓的變化電平。
圖15(e)中施加到電極E的電壓為接地電位。圖15(d)中施加到電極D的電壓在高H和低L之間切換，且后者是接地電位。圖15(a)中施加到電極A，B，和C的電壓信號也是在高H和低L之間切換，其中前者為正電位而后者為負(fù)電位，它們的平均電平是接地電位。
這樣，當(dāng)施加到電極A，B和C的信號轉(zhuǎn)為高H時(shí)，可移動(dòng)件3被吸引向電極A，B和C在高處，并當(dāng)施加到它們的信號轉(zhuǎn)為低L時(shí)，可移動(dòng)件3被排斥離開這些電極。在中間電平的電位的電極A，B和C不影響可移動(dòng)件3。
例如如圖14A中所示，當(dāng)正電平電壓施加到電極B時(shí)，靜電力(庫侖力)影響可移動(dòng)件3，且它被吸引向靜止部件2a。為了說明的方便，圖14A和14B描繪了只是施加到電極B組的電壓，但如圖15中的時(shí)序圖所示，電壓可同時(shí)施加到其余的電極A或C。
當(dāng)如圖14A所描繪的正電平的電壓施加到電極B時(shí)，激活電極B的表面的防護(hù)膜4引起電介質(zhì)極化5，且宏觀上電極B對可移動(dòng)件3的行為好象它在其表面處于正電位的情形。
甚至在正電壓施加到電極B被中斷之后，在防護(hù)膜4中有時(shí)還存留有電介質(zhì)極化5。這引起可移動(dòng)件3繼續(xù)滯留于被吸引接近電極B。因此，在后繼的定時(shí)，可移動(dòng)件3有時(shí)失去促使其平滑移動(dòng)到相鄰電極C的推進(jìn)力。
這是來自由防護(hù)膜4中電介質(zhì)極化引起的電偏移的結(jié)果。雖然電介質(zhì)極化5使殘余電位減小，但電極之間的庫侖力與距離的平方成反比，因而在一旦可移動(dòng)件3被吸引向電極B，且電極間距離接近其最小值的情形下，防護(hù)膜4中的殘余電位即使很低，但還是對可移動(dòng)件3造成可觀的影響。由于這種不良的影響在本實(shí)施例的改進(jìn)中被降低，操作順序顧及到可移動(dòng)件3所需的運(yùn)動(dòng)。
本實(shí)施例中，在操作順序從可移動(dòng)件3被電極B吸引的狀態(tài)轉(zhuǎn)變?yōu)榭蛇\(yùn)動(dòng)件向電極C運(yùn)動(dòng)的狀態(tài)期間，在電極B和E之間提供一電位差，使得電極B比與可移動(dòng)件3連接的電極E有較低的電位(當(dāng)可運(yùn)動(dòng)件3處于零電位時(shí)，電極B呈現(xiàn)負(fù)電位)。其結(jié)果是可移動(dòng)件3易于離開防護(hù)膜4，而能夠獲得激勵(lì)器平滑的操作。
宏觀上，在與靜止部件2a連接的電極B和與可移動(dòng)件3連接的電極E的情形下，通過以下的說明能夠很好地理解這一點(diǎn)由于電介質(zhì)極化5所至，駐留在防護(hù)膜4中的電荷偏移所引起的電場，及由于電極B與E之間的電位差(B的電位低于E的電位)引起的電場，方向彼此相反并彼此抵消。微觀上，這可以被看作這樣的現(xiàn)象，即由于電介質(zhì)極化5所至，防護(hù)膜4中駐留的電荷的偏移被由添加到電極B的電位(低于電極E的電位)引起的電場減弱到零。
在上述實(shí)施例中，可移動(dòng)件3中的電位可能是沒有被接地而被電浮動(dòng)。另外，虛電極可能位于接近可移動(dòng)件3并被接地，使得靜電力對可移動(dòng)件3有明顯作用。在圖4(a)和4(b)所示的實(shí)施例中，防護(hù)膜4置于靜止部件2a上，且按另一方式，它可以裝設(shè)在可移動(dòng)件3中，或另外防護(hù)膜4可以裝設(shè)在靜止部件2a又裝設(shè)在可移動(dòng)件3中。
使施加到激活電極的電壓極性反向并不是消除防護(hù)膜4中的殘余極化的唯一方式。通過切換激活電極與可移動(dòng)件3之間的電壓相關(guān)狀態(tài)以驅(qū)散殘余極化，能夠獲得使施加到防護(hù)膜4的電場極性反向的類似結(jié)果。
圖16和17是時(shí)序圖，表示通過切換激活電極與可移動(dòng)件之間的電壓相關(guān)狀態(tài)，有效驅(qū)散膜4中殘余極化所施加的電壓模式。圖16表示在示例性實(shí)施例中的定時(shí)，而圖17表示根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的定時(shí)。
參見圖16，在起始時(shí)間t1，電壓首先施加到電極A和B而沒有施加到可移動(dòng)件3。然后在時(shí)間t2，電極A和B被關(guān)斷，而同時(shí)電壓被施加到下電極。然后，在時(shí)間t3，與向電極C和D施加電壓的同時(shí)，還向可移動(dòng)件3施加電壓。由于在時(shí)間t3沒有向電極A和B施加電壓，施加到電極A和B上的防護(hù)膜4的電場與時(shí)間t1當(dāng)電壓施加到電極A和B時(shí)相比被反向。
電極A和B之間的電壓關(guān)系從定時(shí)t1到定時(shí)t3被切換到反向，且施加到防護(hù)膜4的電場因而被反向。這樣，電場的反向能夠使得防護(hù)膜4驅(qū)散其中的殘余極化。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例用來驅(qū)散殘余極性的定時(shí)模式示于圖17的時(shí)序圖中。在圖17中，在任何時(shí)間當(dāng)對下電極提供電壓時(shí)，電壓提供給激活電極A到D的特定的電極，以避免可移動(dòng)件3的垂直振動(dòng)。向可移動(dòng)件3適當(dāng)施加的電壓還切換激活電極A到D與可移動(dòng)件3之間的電壓關(guān)系，且此外，適當(dāng)?shù)胤聪蚴┘拥椒雷o(hù)膜4的電場使其能夠驅(qū)散其中的殘余極化。
在上述圖14A到圖15中的實(shí)施例中，雖然需要三個(gè)電平的電壓，或正，負(fù)，接地電平，但圖16和17所示的實(shí)施例簡單通過兩個(gè)電平的電壓，或正(或負(fù))及接地電平，有利地提供了驅(qū)散防護(hù)膜4中的殘余極性的方式。
(第五實(shí)施例)現(xiàn)在將說明具有多個(gè)可移動(dòng)件的靜電激勵(lì)器的第五實(shí)施例。
圖18到19C是表示示例性靜電激勵(lì)器在相機(jī)模塊的透鏡機(jī)構(gòu)中的應(yīng)用。
透鏡機(jī)構(gòu)包括一個(gè)立方體中空的靜止部件20，與沿靜止部件20的縱軸可往返移動(dòng)的兩個(gè)可移動(dòng)件30和40。此外，包含透鏡機(jī)構(gòu)的相機(jī)模塊裝有CCD裝置50，該裝置位于靜止部件20的一端以檢測圖象。透鏡被描繪為與光軸對準(zhǔn)。
靜止部件20具有框架21，通過半導(dǎo)體工藝技術(shù)在玻璃基片中制模并與靜止部件連接的電極22，在框架21內(nèi)平行于光軸方向C延伸的凸起25，及電極22的電源26。
靜止電極22有幾組激活電極23和幾組下電極24。
激活電極23包括四組激活電極23a到23d，來自每一組的一個(gè)電極交替地在方向C就位成一系列。激活電極23a到23d按垂直于方向C的條帶配置。激活電極組的數(shù)目不限于四個(gè)，而是可以有三組，甚至五組或更多組激活電極。
另一方面，有兩組下電極24a和24b，它們在平行于光軸的方向C配置成條帶。
電源26包括電源電路26a和切換電路26b。電源電路26a有選擇地向下電極24a和24b的兩組24施加電壓，以保持可移動(dòng)件31和32之一作為備用并禁止其在C方向移動(dòng)。
切換電路26b交替地向非備用的激活電極23a到23d及下電極23a和23b施加電壓，并相繼地在激活電極23a到23d之中按順序切換電壓施加目標(biāo)。
按與上述本發(fā)明第一到第四實(shí)施例一致的定時(shí)進(jìn)行向電極施加電壓。與向下電極24a和24b施加電壓的同時(shí)，必須對激活電極23a到23d的特定一些電極提供電壓，且可移動(dòng)件31和32被激活，同時(shí)保持繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極23。
可移動(dòng)件31包括由可移動(dòng)件體支撐的一組透鏡31L，受來自電極22的電壓驅(qū)動(dòng)的激活力影響的被動(dòng)電極31a，及電極31b。
多個(gè)被動(dòng)電極31a配置為垂直于光軸的方向或方向C的條帶。電極31b面向下電極24a并配置為平行于光軸的方向C的條帶。
可移動(dòng)件32包括由可移動(dòng)件體支撐的一組透鏡32L，受來自電極22的電壓驅(qū)動(dòng)的激活力影響的被動(dòng)電極32a，及電極32b。
多個(gè)被動(dòng)電極32a配置為垂直于光軸的或方向C的條帶。電極32b面向下電極24b并配置為平行于光軸的方向C的條帶。
這樣配置的透鏡機(jī)構(gòu)按以下所述的方式工作。這里為了簡練，圖19A中只有可移動(dòng)件31在由箭頭α指定的方向移動(dòng)的情形。圖19A示出可移動(dòng)件31處于其初始位置。激活可移動(dòng)件的順序遵循圖3所示的定時(shí)。
當(dāng)切換電路26b向激活電極23a和23b施加電壓V時(shí)，在激活電極與可移動(dòng)件31的被動(dòng)電極31a之間，以及激活電極與可移動(dòng)件32的被動(dòng)電極32a之間，形成靜電力和吸引力。由來自激活電極23a和23b驅(qū)動(dòng)的吸引力引起第一和第二可移動(dòng)件31和32趨向靜止部件20上的激活電極23。
切換電路26b把激活電極23a處的電壓轉(zhuǎn)為低電平，同時(shí)向下電極24a和24b提供電壓。可移動(dòng)件31和32，在保持繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極的同時(shí)，由于在圖19A到19C的平面中向下的吸引力而稍微趨向橫向運(yùn)動(dòng)。
繼續(xù)對下電極24b通過供電電路26a提供電壓使得可移動(dòng)件32能夠停留在其初始位置。這時(shí)，確定施加到下電極24b的電壓電平為高于用于激活可移動(dòng)件32的電壓電平，這保證了下電極24b能夠可靠地保持住可移動(dòng)件32。
然后通過切換電路26b對激活電極23b和23c提供電壓，激活電極23b被轉(zhuǎn)換為低電平，同時(shí)對下電極24a提供電壓。
遵循圖3中所示的定時(shí)模式的向電極施加電壓允許可移動(dòng)件31在箭頭標(biāo)記的方向α移動(dòng)，同時(shí)保持被吸引并幾乎適配到激活電極23。
由于供電電路26a保持對下電極24b提供電壓，可移動(dòng)件32被可靠地保持在初始位置而不移動(dòng)。
這樣，切換電路26b交替地向電極組23的激活電極23a到23d以及電極組24的下電極24a施加電壓，且電壓施加的順序在電極和電極組之中適當(dāng)?shù)卮_定。這樣，可移動(dòng)件31能夠在方向C前進(jìn)，并由于供電電路26a繼續(xù)對下電極24b提供電壓，可移動(dòng)件32能夠被保持在固定位置。
當(dāng)只有可移動(dòng)件32被移動(dòng)時(shí)，切換電路26b交替地向電極組23的激活電極23a到23d以及下電極24b施加電壓，這樣，能夠達(dá)到組件類似的操作，并由于供電電路26a連續(xù)地對下電極24b提供電壓，可移動(dòng)件31能夠保持在其初始位置。
在任何情形下，當(dāng)可移動(dòng)件需要被固定就位時(shí)，高于移動(dòng)可移動(dòng)件所需的電壓應(yīng)當(dāng)施加到下電極24a和24b。這樣，保證可移動(dòng)件能夠可靠地被固定。
本實(shí)施例中，還為了避免當(dāng)可移動(dòng)件31被激活時(shí)可移動(dòng)件31的無用的垂直振動(dòng)，施加到激活電極23a到23d的電壓以及施加到下電極24a的電壓應(yīng)當(dāng)按上述第二實(shí)施例適當(dāng)?shù)乇徽{(diào)節(jié)。另外，與第三實(shí)施例所述同樣，激活電極23a到23d對下電極24a的面積比率可適當(dāng)?shù)刈兓垣@得所需的平衡狀態(tài)。
靜止部件20設(shè)有凸起25以便在激活可移動(dòng)件31和32期間降低“空轉(zhuǎn)”或“跳動(dòng)”，且這些凸起成一直線與可移動(dòng)件31及32接觸。這樣，凸起25是作為可移動(dòng)件31和32的直線接觸支撐物。
根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，遵循與上述第一到第四實(shí)施例一致的操作順序，可移動(dòng)件31和32能夠在平行于光軸被移動(dòng)，同時(shí)保持繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極23。其結(jié)果是，能夠避免可移動(dòng)件31和32不希望有的垂直振動(dòng)，并能夠顯著降低由可移動(dòng)件31與32與凸起25接觸所引起的摩擦阻力。這樣，能夠提高激活效率。
如上所述，在與根據(jù)本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器結(jié)合的透鏡機(jī)構(gòu)中，容納有一列透鏡組的多個(gè)可移動(dòng)件31和32能夠有選擇地被移動(dòng)，這樣能夠?qū)崿F(xiàn)一種具有透鏡驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的變焦特性的激勵(lì)器設(shè)計(jì)。
靜止部件20和可移動(dòng)件31和32之間引起的摩擦阻力能夠顯著降低，因而工作效率能夠提高。
雖然在上述實(shí)施例中，已經(jīng)說明了包含兩個(gè)可移動(dòng)件的情形，但是本發(fā)明不限于此，而是具有三個(gè)可移動(dòng)件的激勵(lì)器能夠類似地配置并獲得相同的效果。
這樣，提供它們各自可移動(dòng)件專用的下電極，并適當(dāng)?shù)厥┘与妷海梢苿?dòng)件被選擇的一個(gè)能夠被保持在固定位置，同時(shí)只有其余的件能夠平行于光軸移動(dòng)。
本實(shí)施例不僅能夠用于透鏡機(jī)構(gòu)，而且還能夠用于多個(gè)可移動(dòng)件要彼此獨(dú)立被移動(dòng)的各種機(jī)構(gòu)。
(第六實(shí)施例)選擇將說明第六實(shí)施例，這是一個(gè)小型相機(jī)模塊，它可以具有第一到第五實(shí)施例任何內(nèi)置的靜電激勵(lì)器。
根據(jù)本發(fā)明的靜電激勵(lì)器在結(jié)合性質(zhì)上是出色的，因而它適用于小型相機(jī)中的聚焦和/或縮放機(jī)構(gòu)。
圖20是表示小型相機(jī)模塊的一示意圖，具有內(nèi)置的本發(fā)明實(shí)施例的靜電激勵(lì)器。在圖20的小型相機(jī)中，在基片321上有一成象裝置，諸如CMOS，CCD等，且諸如本發(fā)明第一到第五實(shí)施例的任何靜電激勵(lì)器322位于成象裝置的右前部。
如同在結(jié)合第四實(shí)施例所描述的那樣，靜電激勵(lì)器的可移動(dòng)件可以與透鏡集成在一起。DSP(數(shù)字信號處理器)的IC安裝在基片321上以控制靜電激勵(lì)器的操作。
這種相機(jī)模塊用作為與便攜式電話機(jī)，數(shù)字相機(jī)，便攜式PC等兼容的相機(jī)單元。
使用任何內(nèi)置的靜電激勵(lì)器的第一到第五實(shí)施例，小型相機(jī)模塊能夠具有可靠與穩(wěn)定聚焦且變焦的附加特性，且其性能能夠提高。
對于一個(gè)變焦的光學(xué)系統(tǒng)，需要至少兩組可移動(dòng)透鏡。在光軸方向降低了尺寸的小型變焦式光學(xué)系統(tǒng)中，光學(xué)放大率常常是步進(jìn)式變化的，其中在透鏡組彼此分開后，它們在彼此接近的位置移動(dòng)，然后再分開。根據(jù)本發(fā)明，按第五實(shí)施例所述的靜電激勵(lì)器可用來沿光軸獨(dú)立移動(dòng)兩組透鏡。這種光學(xué)系統(tǒng)能夠在非常小型的設(shè)計(jì)中實(shí)現(xiàn)，并且能夠保證可靠且平滑的操作。
雖然已經(jīng)參照


了本發(fā)明的某些實(shí)施例，但并不是說本發(fā)明要限制在這些實(shí)施例的精確形式內(nèi)。
例如，靜電激勵(lì)器中裝入激活電極組的數(shù)目，與以上的說明不同，并不限于如A到D的四個(gè)或A到C的三個(gè)，而是可以有五個(gè)或更多組激活電極。
向電極施加的電壓的極性也不應(yīng)當(dāng)限于各實(shí)施例中所述的情形，但重要的是預(yù)定的電壓電平可以施加在激活電極與可移動(dòng)件之間，及下電極與可移動(dòng)件(多個(gè))之間，以便獲得所需的吸引可移動(dòng)件預(yù)定的靜電力水平。
據(jù)以向電極施加電壓的定時(shí)也不應(yīng)當(dāng)限制為每一實(shí)施例中所述的情形，而是電壓可簡單地施加到激活電極，同時(shí)向下電極施加電壓即可。
圖21到23是時(shí)序圖，表示能夠用于本發(fā)明實(shí)施例的示例定時(shí)。這些都是為裝有四組激活電極A到D及下電極E的應(yīng)用而設(shè)計(jì)的。
圖3和圖15所示的時(shí)序圖基于當(dāng)不向下電極提供電壓時(shí)，對相鄰的激活電極組(例如A和B，或B與C)提供電壓的順序。
本發(fā)明不應(yīng)當(dāng)限于上述那些情形，而是該順序可針對一種操作設(shè)計(jì)，其中當(dāng)不向下電極施加電壓時(shí)只對一組激活電極提供電壓。
至于圖21所示的順序，在對電極A在時(shí)間t1提供電壓之后，在時(shí)間t2電極A被轉(zhuǎn)換為低電壓電平，同時(shí)對電極B和下電極E提供電壓。進(jìn)而，接下來，在時(shí)間t3，在電極維持其電壓電平不變的同時(shí)，下電極E轉(zhuǎn)換為低電壓電平。
此后，相繼向激活電極A到D按順序施加電壓，可移動(dòng)件能夠被激活，同時(shí)保持繼續(xù)被吸引并幾乎適配到激活電極。
而且，這種情形下，如以上結(jié)合第二到第三實(shí)施例所述，向激活電極與下電極(多個(gè))施加的電壓及電極之中面積的比率被適當(dāng)?shù)卣{(diào)節(jié)，以保證抑制可移動(dòng)件的垂直振動(dòng)。
在圖22所示的順序中，在時(shí)間t1對電極B提供電壓之后，電極B維持其電壓電平不變，同時(shí)在時(shí)間t2對下電極E提供電壓。接下來，在時(shí)間t3電極B和下電極E被轉(zhuǎn)換為低電壓電平，同時(shí)向電極C施加電壓。
此后，相繼地向電極按順序施加電壓，可移動(dòng)件能夠被激活，同時(shí)保持連續(xù)地被吸引并幾乎適配到激活電極。
至于圖23所示的順序，在對于激活電極A到D定時(shí)中以及對于下電極E的定時(shí)中，插入了“時(shí)間延遲”。在兩個(gè)相繼的定時(shí)單元按順序分別向激活電極A到D施加電壓，并當(dāng)只在一個(gè)單個(gè)定時(shí)單元向下電極施加電壓時(shí)，根據(jù)每一向其余電極施加電壓的每一上升時(shí)間，插入時(shí)間延遲。這樣，將不會同時(shí)對激活電極和下電極(多個(gè))提供電壓，這些電極也不會同時(shí)轉(zhuǎn)為低電平。
這樣，即使在向下電極E施加的電壓轉(zhuǎn)換期間，對激活電極繼續(xù)保持提供不變的電壓，因而能夠有效地抑制由于同時(shí)向上和下電極或由于中斷電壓的施加可能引起的“跳動(dòng)”或“波動(dòng)”。
如已經(jīng)詳細(xì)說明的那樣，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，對下電極提供電壓的同時(shí)向激活電極施加電壓，可移動(dòng)件能夠橫向前進(jìn)，同時(shí)繼續(xù)保持被吸引并幾乎適配到激活電極。
于是，能夠抑制可移動(dòng)件不希望有的垂直振動(dòng)，并且這在降低可移動(dòng)件與靜止部件之間的間隙上幾乎達(dá)到了相同的效果，因而能夠便于這些組件之間的施加的力形成。由于激活電極和可移動(dòng)件之間的間隙總能夠保持為最小，因而能夠形成強(qiáng)而穩(wěn)定的吸引力或庫侖力。此外，能夠獲得可靠而穩(wěn)定工作的高精度的靜電激勵(lì)器，而這對于工業(yè)是大有裨益的。
雖然本發(fā)明已經(jīng)借助于為了便于對其理解的實(shí)施例而公開，應(yīng)當(dāng)認(rèn)識到，在不背離本發(fā)明的原理之下本發(fā)明能夠以各種方式實(shí)施。因而，本發(fā)明應(yīng)當(dāng)被理解為包含，在不背離如所附權(quán)利要求所述的本發(fā)明的原理之下，可實(shí)施的所有可能的實(shí)施例和對所示實(shí)施例的修改形式。
權(quán)利要求
1.一種靜電激勵(lì)器，包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，通過施加第一電壓在激活電極與可移動(dòng)件之間引起的電位差大于通過施加第二電壓在第二電極與可移動(dòng)件之間引起的電位差。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，當(dāng)?shù)谝浑妷菏┘拥郊せ铍姌O且第二電壓施加到第二電極時(shí)，激活電極與以第一電極供電的可移動(dòng)件的面對面的面積大于第二電極與可移動(dòng)件面對面的面積。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，當(dāng)施加第二電壓時(shí)，切換電路向?qū)]有施加第一電壓的激活電極組施加與第一電壓相反極性的電壓。
5.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，切換電路這樣施加電壓，使得第一狀態(tài)和第二狀態(tài)交替重復(fù)，第一狀態(tài)是激活電極的每一組的電位高于可移動(dòng)件的電位，第二狀態(tài)是激勵(lì)電極的每一組的電位低于可移動(dòng)件的電位。
6.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，施加第一電壓引起激活電極組的相鄰組與可移動(dòng)件之間的電位差。
7.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，切換電路施加第一電壓的脈沖時(shí)寬大于切換電路向第二電極施加第二電壓的脈沖時(shí)寬。
8.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，其特征在于，在施加第二電壓之前切換電路開始施加第一電壓，并且在停止第二電壓施加之后切換電路停止施加第一電壓。
9.根據(jù)權(quán)利要求1的靜電激勵(lì)器，還包括位于第一靜止部件與可移動(dòng)件之間的一止動(dòng)器。
10.一種靜電靜激勵(lì)器，包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極，及在第一方向延伸并幾乎平行于第二電極的第三電極；第一可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，第二可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第一可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)，且該切換電路施加第一電壓以引起激活電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第三電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第二可移動(dòng)件在第二方向前進(jìn)。
11.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，其特征在于，通過施加第一電壓在激活電極與第一可移動(dòng)件之間引起的電位差大于通過施加第二電壓在第二電極與第一可移動(dòng)件之間引起的電位差，且通過施加第一電壓在激活電極與第二可移動(dòng)件之間引起的電位差大于通過施加第二電壓在第三電極與第二可移動(dòng)件之間引起的電位差。
12.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，其特征在于，當(dāng)?shù)谝浑妷菏┘拥郊せ铍姌O且第二電壓施加到第二電極時(shí)，激活電極與以第一電極供電的第一可移動(dòng)件的面對面的面積大于第二電極與第一可移動(dòng)件面對面的面積，以及當(dāng)?shù)谝浑妷菏┘拥郊せ铍姌O且第二電壓施加到第三電極時(shí)，激活電極與以第一電極供電的第二可移動(dòng)件的面對面的面積大于第三電極與第二可移動(dòng)件面對面的面積。
13.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，還包括一供電電路，該供電電路向第二電極施加第三電壓，以引起大于由施加第二電壓引起的第二電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，從而在第一可移動(dòng)件能夠保持在固定位置時(shí)，能夠使第二可移動(dòng)件前進(jìn)。
14.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，其特征在于，施加第一電壓以引起激活電極組的相鄰組與第一及第二可移動(dòng)件之間的電位差。
15.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，其特征在于，切換電路施加第一電壓的脈沖時(shí)寬大于切換電路向第二和第三電極施加第二電壓的脈沖時(shí)寬。
16.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，其特征在于，在施加第二電壓之前切換電路開始施加第一電壓，并且在停止第二電壓施加之后切換電路停止施加第一電壓。
17.根據(jù)權(quán)利要求10的靜電激勵(lì)器，還包括位于第一靜止部件與第一及第二可移動(dòng)件之間的一止動(dòng)器。
18.一種激活靜電激勵(lì)器的方法，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；及一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，該方法包括施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，施加第二電壓以引起第二電極與可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)。
19.一種相機(jī)模塊，包括一個(gè)成象裝置；一個(gè)靜電激勵(lì)器，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極；一個(gè)可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)；以及一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息。
20.一種相機(jī)模塊，包括一個(gè)成象裝置；一個(gè)靜電激勵(lì)器，該靜電激勵(lì)器包括第一靜止部件，具有由至少三組配置在第一方向的激活電極組成的第一電極，來自每一組的一個(gè)激活電極按順序周期地就位；第二靜止部件，面向第一靜止部件并具有在第一方向延伸的第二電極，及在第一方向延伸并幾乎平行于第二電極的第三電極；第一可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，第二可移動(dòng)件，裝設(shè)在第一和第二靜止部件之間，以及一個(gè)切換電路，施加第一電壓以引起激活電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第二電極與第一可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第一可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)，以及該切換電路施加第一電壓以引起激活電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，并還施加第二電壓以引起第三電極與第二可移動(dòng)件之間的電位差，第一電壓被這樣施加，它在第一方向從一組激活電極向另一組順序地切換被施加電壓的目標(biāo)，在第一電壓被施加的同時(shí)第二電壓間歇地被施加，從而使第二可移動(dòng)件在第一方向前進(jìn)；一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的第一可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息；及一個(gè)透鏡，安裝在靜電激勵(lì)器的第二可移動(dòng)件上并向成象裝置輸入光學(xué)信息。
全文摘要
本發(fā)明的目的是要提供一種靜電激勵(lì)器，能夠易于組裝并適合批量生產(chǎn)，且能夠?qū)崿F(xiàn)穩(wěn)固，平滑且穩(wěn)定的操作又提高可靠性這兩者的要求，并提供激活這種激勵(lì)器的方法，以及與其一同使用的相機(jī)模塊。
文檔編號H02N1/00GK1405965SQ02142840
公開日2003年3月26日 申請日期2002年9月18日 優(yōu)先權(quán)日2001年9月18日
發(fā)明者古賀章浩, 秋葉敏克, 吉田充伸, 服部俊介 申請人:株式會社東芝