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      機(jī)電波動(dòng)裝置的制作方法

      文檔序號(hào):7429047閱讀:227來(lái)源:國(guó)知局
      專(zhuān)利名稱(chēng):機(jī)電波動(dòng)裝置的制作方法
      技術(shù)領(lǐng)域
      本發(fā)明涉及通過(guò)摩擦力使機(jī)械部件運(yùn)動(dòng)的機(jī)電波動(dòng)裝置以及設(shè)計(jì)和 制造該機(jī)電波動(dòng)裝置的方法。
      背景技術(shù)
      現(xiàn)有的常規(guī)超聲行波馬達(dá)是針對(duì)高科技的應(yīng)用領(lǐng)域,已經(jīng)優(yōu)先考慮這 些馬達(dá)的很多特殊的特性(如在低速下用高扭矩直接驅(qū)動(dòng)、與尺寸無(wú)關(guān)的 功效、大的功率對(duì)重量比、無(wú)聲驅(qū)動(dòng)等),而將要求生產(chǎn)成本低放在次要 位置。在行波馬達(dá)中定子通常的設(shè)計(jì)包括附連在金屬托板上的單個(gè)壓電陶 瓷元件,其中將陶瓷元件機(jī)加工成與定子相同的形狀,如環(huán)形的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)。 這就導(dǎo)致很高的生產(chǎn)成本和材料成本。

      發(fā)明內(nèi)容
      按照本發(fā)明,提供一種機(jī)電波動(dòng)裝置,它包括
      基體,用于傳播機(jī)械波和用于通過(guò)在該基體上裝設(shè)的導(dǎo)體傳送電信
      號(hào);
      設(shè)置在該基體上用于產(chǎn)生機(jī)械波的若干致動(dòng)器,每個(gè)致動(dòng)器被連接在 基體的各個(gè)導(dǎo)體組上用于接受由該組導(dǎo)體傳送的激勵(lì)信號(hào);其中,所述的 致動(dòng)器響應(yīng)激勵(lì)信號(hào)沿著預(yù)定的傳播路徑產(chǎn)生在基體中傳播的機(jī)械波。
      本發(fā)明的一個(gè)重要優(yōu)點(diǎn)是機(jī)電波動(dòng)裝置具有組合式部件結(jié)構(gòu),其中相 同的部件可以用在幾個(gè)不同的實(shí)施例中。例如,該裝置的致動(dòng)器可以是標(biāo) 準(zhǔn)的和低成本的部件,它的數(shù)量和位置很容易適合各種特殊應(yīng)用的需要。
      本發(fā)明另一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是在制造該裝置時(shí)可以使用常規(guī)的和低成本的生 產(chǎn)方法和部件。例如,可以用裝設(shè)了該裝置的導(dǎo)體和機(jī)械波載體的印刷電 路板(PCB)構(gòu)造成該基體,和將該生產(chǎn)結(jié)合到電子工業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)生產(chǎn)方法 中。
      優(yōu)選地,使該機(jī)電波動(dòng)裝置在超聲波頻率范圍內(nèi)工作,因而達(dá)到該裝 置的無(wú)聲操作。因而,按照實(shí)際的要求和在超聲波頻率范圍內(nèi)操作的要求 選擇基體的外形尺寸和材料?;w的材料可以是常規(guī)的復(fù)合材料,如玻璃 /環(huán)氧樹(shù)脂、或陶瓷,如用于印刷電路板的氧化鋁。先進(jìn)的復(fù)合材料,如碳/環(huán)氧樹(shù)脂、或金屬合金。
      該基體可以構(gòu)成圍繞軸的幾何對(duì)稱(chēng)的閉合回路。例如,在家居設(shè)備和
      類(lèi)似尺寸的工業(yè)設(shè)備中,該基體可以是圓筒或環(huán)狀的圓盤(pán),其外徑尺R的 范圍從約2mm到約100mm,如從4mm到40mm,如約10mm。圓筒的高 度或環(huán)狀圓盤(pán)的寬度其范圍可從約2mm到約50mm,如從約4mm到約 20mm,如約5mm。圓筒的壁厚或環(huán)狀圓盤(pán)的厚度其范圍可>^人約0.2mm到 約10mm,如約0.5mm到約5mm,如約1.5mm。
      在另一個(gè)實(shí)施例中,該基體可以構(gòu)成圍繞軸幾何不對(duì)稱(chēng)的閉合回路。 行波的波長(zhǎng)優(yōu)選小于波傳播路徑的最小曲率半徑,如小于最小曲率半徑的 數(shù)量級(jí)是。例如,在家居設(shè)備和類(lèi)似尺寸的工業(yè)設(shè)備中,基體可以是有橢 圓形橫截面的筒體或橢圓形環(huán)狀的圓盤(pán),其長(zhǎng)軸的長(zhǎng)度范圍從約2mm到 約100mm,如從4mm到40mm,如約10mm。筒體的高度或環(huán)狀圓盤(pán)的厚 度的范圍可從約0.2mm到約10mm,如從約0.5mm到約5mm,如約1.5mm。
      在另一實(shí)施例中,該基體可以是從第一端伸展到第二端的開(kāi)口回路, 例如線性伸展的基體。基體的各端造成行波的反射。為了提供吸收的邊界 條件,通過(guò)適當(dāng)控制定位在各端的致動(dòng)器可以壓制反射。行波的波長(zhǎng)優(yōu)選 小于波傳播路徑的最小曲率半徑,如小于最小曲率半徑的數(shù)量級(jí)是優(yōu)選 的。例如,在家居設(shè)備和類(lèi)似尺寸的工業(yè)設(shè)備中,在第一端和第二端之間 的距離范圍可從約5mm到約500mm,如從約20mm到約250mm,優(yōu)選地 從約40mm到約100mm,如約70mm。
      還可以設(shè)想更大的各種實(shí)施例,如用于大尺寸的各種應(yīng)用中,例如風(fēng) 動(dòng)渦輪機(jī)、起重機(jī)、飛機(jī)、等。
      為了傳送電信號(hào)到若干致動(dòng)器,該基體包括若干導(dǎo)體。每個(gè)導(dǎo)體可以 是嵌入到基體的一個(gè)或多個(gè)表面上和/或與該基體成一整體。該基體可以裝 設(shè)用于將各個(gè)信號(hào)傳導(dǎo)到每個(gè)致動(dòng)器的導(dǎo)體,或者用于傳導(dǎo)各種信號(hào)到不 同組致動(dòng)器的導(dǎo)體。優(yōu)選地,該基體包括第一、第二和第三導(dǎo)體。每個(gè)導(dǎo) 體可以連接到一個(gè)或多個(gè)致動(dòng)器。第一導(dǎo)體可以傳導(dǎo)第一電信號(hào)用于激勵(lì) 至少一個(gè)致動(dòng)器。第二導(dǎo)體可以傳導(dǎo)第二電信號(hào)用于激勵(lì)與第二導(dǎo)體連接 的致動(dòng)器。第三導(dǎo)體可以傳導(dǎo)第三電信號(hào)(例如共同的接地信號(hào)),用于 與第三導(dǎo)體連接的各致動(dòng)器。
      所述若干致動(dòng)器可以是壓電陶瓷致動(dòng)器,或磁約束(magneto-restrictive) 致動(dòng)器。 可以組合不同類(lèi)型的致動(dòng)器??紤]到低成本,該若干致動(dòng)器優(yōu)選地包括若干單層壓電致動(dòng)器,也可以采用多層的壓電致動(dòng)器。 各致動(dòng)器可以有任何合適的形狀和尺寸,如大體是箱形,其有沿著極
      化方向的邊的長(zhǎng)度從約0.2mm到約10mm,如從約0.5mm到約5mm,從 約0.7mm到約2mm,優(yōu)選地約lmm。還有,各致動(dòng)器可以有垂直于才及化 方向的寬度從約0.2mm到約lOmm,如從約0.5mm到約5mm,從約0.7mm 到約2mm,優(yōu)選地約lmm。還有,各致動(dòng)器可以有垂直于極化方向的高 度從約0.1mm到約5mm,如從約0.2mm到約2mm,優(yōu)選地約0.5mm。
      優(yōu)選地,將所述若干致動(dòng)器的每一個(gè)設(shè)置在該基體的第一表面。但是, 也可將所述若干致動(dòng)器的一個(gè)或多個(gè)設(shè)置在該基體的第二表面上,如可將 一半致動(dòng)器設(shè)置在第一表面上和可將另一半致動(dòng)器設(shè)置在該基體的第二
      表面上o
      機(jī)電波動(dòng)裝置可以包括若干致動(dòng)器,例如4、 8、 12、 16、 20、 24、 32、 36、 42、 48、 96、 192或更多的致動(dòng)器。優(yōu)選地,致動(dòng)器的數(shù)目P有下列 公式給定
      P>4n
      式中n是波數(shù)等于沿著傳播路徑行波波長(zhǎng)數(shù)。計(jì)算致動(dòng)器數(shù)目的公式 是從優(yōu)選的設(shè)計(jì)推導(dǎo)出來(lái)的,其中第一組致動(dòng)器有一個(gè)或多個(gè)致動(dòng)器的2n 個(gè)子組,沿著傳播路徑設(shè)置,其相互的距離為行波的一半波長(zhǎng),從而二個(gè) 相鄰的子組將設(shè)置在行波的每個(gè)波長(zhǎng)的兩個(gè)波腹處,是在一個(gè)振動(dòng)周期的 兩個(gè)時(shí)刻。第二組致動(dòng)器有一個(gè)或多個(gè)致動(dòng)器的2n個(gè)子組,沿著傳播路 徑與第一組致動(dòng)器的各個(gè)子組相距1/4波長(zhǎng)設(shè)置。優(yōu)選地,二個(gè)致動(dòng)器或 一對(duì)致動(dòng)器構(gòu)成致動(dòng)器的一個(gè)子組。但是,l個(gè)、3個(gè)、4個(gè)或更多個(gè)致動(dòng) 器可以組成致動(dòng)器的一個(gè)子組。在優(yōu)選的實(shí)施例中,由P-4nk給出致動(dòng)器 的數(shù)目P,式中k> 1是致動(dòng)器子組中致動(dòng)器的數(shù)目,例如〖=2,和n是 波數(shù),如n-3、 6。優(yōu)選地,這樣選擇波數(shù)n,使機(jī)電波動(dòng)裝置在超聲波頻 率范圍內(nèi)工作。優(yōu)選地,波數(shù)n》3,如n-3、 4、 5、 6、 7、 8或更多和可 以按照基體的尺寸和/或所需的操作參數(shù)進(jìn)行選擇。
      沿著行波的傳播路徑在2n個(gè)波腹中的每一個(gè)有一子組致動(dòng)器就確保 了由第一和第二組致動(dòng)器產(chǎn)生僅具有波數(shù)n的波動(dòng)。因此,使激勵(lì)出多重 模式的風(fēng)險(xiǎn)最小。
      在優(yōu)選的實(shí)施例中,將第一組致動(dòng)器連接在傳導(dǎo)有第一振幅、頻率、 相位的第一振動(dòng)電信號(hào)的第一導(dǎo)體,并連接到構(gòu)成公共接地的第三導(dǎo)體上。還有,將第二組致動(dòng)器連接在傳導(dǎo)有第二振幅、頻率、相位的第二振 電動(dòng)信號(hào)的第二導(dǎo)體,并連接到構(gòu)成公共接地的第三導(dǎo)體上。優(yōu)選地,第
      一和第二^展幅和頻率是相同的,而第一和第二相位互相偏移兀/2,對(duì)應(yīng)于 公共的角頻率乘以行波移動(dòng)1/4波長(zhǎng)所需的時(shí)間。
      在另一個(gè)實(shí)施例中,其中第一和第二組致動(dòng)器在基體上相互之間的距 離不等于1/4波長(zhǎng),因而可對(duì)第一和第二導(dǎo)體傳導(dǎo)的第一和第二電信號(hào)之 間的相位差進(jìn)行調(diào)節(jié)。
      優(yōu)選地,給定第一和第二導(dǎo)體上電信號(hào)的頻率接近于所要的基體模式 的固有頻率,從而利用機(jī)械共振的放大作用。
      在優(yōu)選的實(shí)施例中,設(shè)置在基體同 一表面上的第 一和第二組致動(dòng)器的 2n個(gè)子組的極化是這樣設(shè)置,使子組極化,這些子組互相配合產(chǎn)生具有所 需波數(shù)n的行波。在另一個(gè)實(shí)施例中,其中各子組不是設(shè)置在基體的同一 表面上,可以相應(yīng)地改變各致動(dòng)器的極化。
      波動(dòng)裝置可以包括第一組和第二組致動(dòng)器。優(yōu)選地,第一和第二組致 動(dòng)器都設(shè)置在基體的第一表面上。另外,波動(dòng)裝置可以包括第三組和第四 組致動(dòng)器,它們可以設(shè)置在基體的第二表面上。
      在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中,將2nk個(gè)致動(dòng)器(如k=2和n=3或n=6 ) 的第 一和第二組都設(shè)置在基體的第 一表面上。還有,可將2nk個(gè)致動(dòng)器(如 k-2,和n=3或n=6)的第三組和第四組設(shè)置在基體的第二表面上。優(yōu)選地, 將第三組致動(dòng)器設(shè)置在第一組致動(dòng)器的對(duì)面并連接到第二和第三導(dǎo)體。優(yōu) 選地,將第四組致動(dòng)器設(shè)置在第二組致動(dòng)器的對(duì)面并連接到第一和第三導(dǎo) 體。從而可以保證第一和第三組致動(dòng)器在相同的波腹處一起作用,而第二 和第四組致動(dòng)器經(jīng)行波1/4波長(zhǎng)的移相于相同的波腹處起作用。
      每個(gè)壓電致動(dòng)器可以包括第一和第二電極用于在壓電致動(dòng)器上建立 電場(chǎng)。優(yōu)選地,第一電極和第二電極基本垂直于在基體中產(chǎn)生的機(jī)械波的 方向伸展。優(yōu)選地,各個(gè)壓電致動(dòng)器的極化基本上平行于在基體中產(chǎn)生的 機(jī)械振動(dòng)的方向。因而,利用壓電致動(dòng)器(133模式的最大壓電效應(yīng)來(lái)產(chǎn)生 行波。
      在本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例中,將12個(gè)子組致動(dòng)器布置成第一和第二 組,第一組和第二組各有6個(gè)子組分布在環(huán)形基體的圓周方向上,每個(gè)子 組有二個(gè)致動(dòng)器。6個(gè)子組對(duì)應(yīng)于n-3的波數(shù),這樣第一和第二組致動(dòng)器 將產(chǎn)生沿基體的圓周方向的彎曲行波,在基體上有三個(gè)波節(jié)直徑。優(yōu)選地,給定在第一和第二導(dǎo)體上電信號(hào)的頻率接近于有零波節(jié)圓m=0的彎曲模 式,從而使用(0, 3)機(jī)械波。但是,按照本發(fā)明的波動(dòng)裝置可以適合載 承采用任何合適的基體模式的機(jī)械波,例如圓形或環(huán)形基體的(m,n)彎 曲模式,式中n",可以使用如(0,3)、 (0,4)、 (0,5)、 (0,6)、 (1,3)、 (1,4)、 (1,5)或(1,6),取決于如圓周傳播路徑的長(zhǎng)度。
      在馬達(dá)中可以采用機(jī)電波動(dòng)裝置。因此,提供一種馬達(dá),它包括一個(gè) 或多個(gè)按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置和設(shè)置與基體操作接觸的一個(gè)或多個(gè) 機(jī)械部件,因而由于致動(dòng)器產(chǎn)生的機(jī)械波,基體上接觸表面的橢圓形運(yùn)動(dòng) 使機(jī)械部件相對(duì)基體運(yùn)動(dòng)。優(yōu)選地,機(jī)電波動(dòng)裝置是通過(guò)限定出接觸區(qū)的 若千基體上的齒與機(jī)械部件的操作接觸,用于除去摩擦接觸的磨屑,和增 加運(yùn)動(dòng)的機(jī)械部件的速度。優(yōu)選地,機(jī)械部件是沿著基體上機(jī)械波傳播路 徑的至少 一部分進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
      可以由任何合適的材料制造機(jī)械部件,例如金屬,如鋁、塑料、或塑 料和玻璃或碳纖維的復(fù)合材料。
      馬達(dá)可以包括任何合適數(shù)目的機(jī)電波動(dòng)裝置。例如l、 2、 3、 4、 5或 更多個(gè)機(jī)電波動(dòng)裝置。
      在基體材料中可以形成若干齒,如通過(guò)研磨或蝕刻。在本發(fā)明的另一 個(gè)實(shí)施例中,可將若干齒固定在基體上,如通過(guò)模制、低溫焊接、粘接、 高溫焊、絲網(wǎng)印刷、沉積,等。該若干齒可由金屬合金、陶瓷、或聚合物 制成。在本發(fā)明還有一個(gè)實(shí)施例中,許多壓電陶瓷致動(dòng)器也起齒的作用與 機(jī)械部件可l乘作地接觸。
      馬達(dá)可以是轉(zhuǎn)動(dòng)的馬達(dá),包括一個(gè)或多個(gè)環(huán)形基體來(lái)傳播圓周的機(jī)械 波使一個(gè)或多個(gè)機(jī)械部件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。機(jī)電波動(dòng)裝置可作為轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)中 的定子,而機(jī)械部件可作為轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)中的轉(zhuǎn)子。在另一個(gè)實(shí)施例中,機(jī)電 波動(dòng)裝置的作用如轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)中的轉(zhuǎn)子,而機(jī)械部件的作用如轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)中的 定子。
      該馬達(dá)可以是線性馬達(dá),包括一個(gè)和多個(gè)用于傳播基本為線性的機(jī)械 波的基體,用來(lái)使一個(gè)和多個(gè)機(jī)械部件相對(duì)于該才幾體作線性運(yùn)動(dòng)。
      該馬達(dá)可以是曲線馬達(dá),包括一個(gè)或多個(gè)曲線狀基體,用來(lái)沿著預(yù)定 的傳播路徑來(lái)傳播機(jī)械波,使一個(gè)或多個(gè)機(jī)械部件相對(duì)基體沿著至少部分 的預(yù)定傳播路徑進(jìn)行運(yùn)動(dòng)。
      在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中,可以裝設(shè)雙面的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)。該馬達(dá)可以包括按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置,第 一機(jī)械部件設(shè)置成與基體的第 一表面可 操作接觸,如通過(guò)在第一表面上的致動(dòng)器,第二機(jī)械部件設(shè)置成與第二表 面操作接觸,如通過(guò)第二表面上的致動(dòng)器,由于致動(dòng)器產(chǎn)生的機(jī)械波,基 體每個(gè)表面上的接觸表面的運(yùn)動(dòng)使機(jī)械部件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。
      在本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例中,裝設(shè)堆疊的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),包括若干如2、 3、 4、 5、 10或更多個(gè)^L電波動(dòng)裝置,它們與一個(gè)或多個(gè),如2、 3、 4、 5、 6、 11或更多個(gè)機(jī)械部件進(jìn)行才喿作接觸。 一個(gè)或多個(gè)機(jī)械部件可與二個(gè)機(jī)+戒波 動(dòng)裝置操作接觸和/或一個(gè)或多個(gè)機(jī)械波動(dòng)裝置可與二個(gè)機(jī)械部件操作接 觸。各機(jī)械部件由軸機(jī)械地連接??梢允褂脵C(jī)械波動(dòng)裝置的壓電致動(dòng)器作 為在機(jī)電波動(dòng)裝置和機(jī)械部件之間操作接觸的齒。 一個(gè)或多個(gè)盤(pán)形彈簧可 以在這些接觸中提供預(yù)加壓。優(yōu)選地,該馬達(dá)有可轉(zhuǎn)動(dòng)地支承該軸的殼體。
      按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置可以是印刷電路板(PCB)的一部分。因 此,提供一種包括按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置的PCB。該P(yáng)CB可以包括 由PCB中至少一個(gè)開(kāi)口形成的至少一個(gè)橋路,如2、 3、 4、 5或多個(gè)橋路。 該至少一個(gè)橋路可以容納從PCB上不同電路來(lái)的到機(jī)電波動(dòng)裝置的至少 一才艮導(dǎo)體。優(yōu)選地,該至少一個(gè)橋路幫助減少或基本消除在該P(yáng)CB的一部 分才幾械振動(dòng),該P(yáng)CB部分不構(gòu)成機(jī)電波動(dòng)裝置的一部分。
      該P(yáng)CB可以包括驅(qū)動(dòng)電路來(lái)驅(qū)動(dòng)機(jī)電波動(dòng)裝置。優(yōu)選地,該驅(qū)動(dòng)電路 適合驅(qū)動(dòng)單層壓電致動(dòng)器。
      該P(yáng)CB還可包括控制電路來(lái)控制機(jī)電波動(dòng)裝置的特性和/或作用,如 基于從波動(dòng)裝置來(lái)的反饋信號(hào)來(lái)控制驅(qū)動(dòng)電路。
      按照本發(fā)明,提供一種裝設(shè)機(jī)電波動(dòng)裝置的方法,包括如下各步驟 按照預(yù)定的傳播路徑確定傳播機(jī)械波的基體的形狀, 按照產(chǎn)生機(jī)械波的要求確定在基體上若干致動(dòng)器的數(shù)目和位置, 在基體上裝設(shè)導(dǎo)體使各致動(dòng)器與各自的激勵(lì)信號(hào)電氣連接,和 將該若干致動(dòng)器安裝在基體上。
      安裝的步驟可以包括以預(yù)定的圖案用機(jī)械手將該若干致動(dòng)器裝在基 體上。
      安裝的步驟可以包括將該若干致動(dòng)器固定在基體上。可用任何合適的 方式將一組致動(dòng)器固定在基體上,例如通過(guò)低溫焊接、粘接、模制、高溫 焊、或絲網(wǎng)印刷。

      現(xiàn)在將參考附圖進(jìn)一步詳細(xì)描述本發(fā)明,附圖有,
      圖1示意表示按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置一個(gè)實(shí)施例的正視圖,
      圖2表示在圖1中機(jī)電波動(dòng)裝置的后視圖, 圖3表示在圖1中機(jī)電波動(dòng)裝置的透視圖, 圖4說(shuō)明在圖1中波動(dòng)裝置內(nèi)機(jī)械波的傳播, 圖5說(shuō)明在圖1中波動(dòng)裝置內(nèi)機(jī)械波的傳播, 圖6說(shuō)明由機(jī)械波動(dòng)裝置移動(dòng)的機(jī)械部件,
      圖7示出了包括按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置的印刷電路板(PCB),
      圖8示出了按照本發(fā)明的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),
      圖9示出了按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置的另一個(gè)實(shí)施例,
      圖IO示出了按照本發(fā)明的馬達(dá)的一個(gè)實(shí)施例,
      圖11示出了按照本發(fā)明的方法的一個(gè)實(shí)施例,
      圖12示出了包括按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置的印刷電路板(PCB )的 第一表面,
      圖13示出了在圖12中印刷電路板的第二表面, 圖14示出了按照本發(fā)明的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的一個(gè)實(shí)施例,和 圖15示出了按照本發(fā)明的轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)的一個(gè)實(shí)施例。
      具體實(shí)施例方式
      圖1示意地說(shuō)明按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置的一個(gè)示范性實(shí)施例。波 動(dòng)裝置1包括環(huán)形基體2,在圖示實(shí)施例中基體是由如玻璃/環(huán)氧樹(shù)脂復(fù)合 物或氧化鋁制成的印刷電路板,用于傳播機(jī)械波和通過(guò)在基體2的第一表 面12上裝設(shè)的導(dǎo)體4、 6、 8傳送電信號(hào)。第一導(dǎo)體4傳導(dǎo)余弦信號(hào),而 第二導(dǎo)體6傳導(dǎo)正弦信號(hào),第三導(dǎo)體8構(gòu)成公共接地信號(hào)連接到各個(gè)致動(dòng) 器10。
      將壓電致動(dòng)器IO裝設(shè)在基體的第一表面12上使它們的電極垂直于基 體的表面并連接到各自的導(dǎo)體4、 6、 8,如在圖5中更詳細(xì)表示的那樣。
      每個(gè)壓電致動(dòng)器進(jìn)行表面瞬時(shí)的擴(kuò)張和收縮,因而各壓電致動(dòng)器配合 產(chǎn)生橫向彎曲行波,沿著基體2圓周的延伸部傳播。
      致動(dòng)器基本上均勻地圍繞環(huán)形基體2分布。如下面進(jìn)一步解釋那樣, 裝設(shè)24個(gè)壓電致動(dòng)器10并成對(duì)連接在基體2上用于在基體2中產(chǎn)生沿圓 周的機(jī)械波。致動(dòng)器IO基本上是箱形的壓電致動(dòng)器,其長(zhǎng)度lmm、寬度 lmm、和高度0.5mm??梢赃x擇壓電致動(dòng)器的形狀使之單位體積有最大的效率。例如,當(dāng)將電壓致動(dòng)器粘接在基體表面上時(shí),壓電致動(dòng)器僅有鄰近 表面的部分能有效地產(chǎn)生傳送給基體的應(yīng)力,因此高度可以降低。還有, 高度矮導(dǎo)致導(dǎo)致電極電容量小的下部,使驅(qū)動(dòng)需求低。還有,非立方體的 形狀有利于用自動(dòng)設(shè)備進(jìn)行致動(dòng)器的安裝。為了改進(jìn)致動(dòng)器和基體之間的 機(jī)械連接,在另一個(gè)實(shí)施例中(未表示),可將壓電致動(dòng)器埋入到基體中, 如通過(guò)模制、磨削等。
      圖2示意地表示在圖1中表示的機(jī)電波動(dòng)裝置1的與第一表面12相 反的第二表面14。第二導(dǎo)體6傳導(dǎo)正弦信號(hào),從第一表面12通過(guò)穿過(guò)板 的孔19到第二表面14傳送給壓電致動(dòng)器的各個(gè)電極。環(huán)形基體的內(nèi)半徑 r約為5mm,環(huán)形基體的外半徑R約為10mm,其厚度約為1.5mm。
      圖3是在圖1和2中表示的機(jī)電波動(dòng)裝置1的透視圖。將單層壓電致 動(dòng)器10a、 10b、 10c、 10d安裝在基體2的第一表面12上。致動(dòng)器10a、 10b成對(duì)連接組成有6個(gè)致動(dòng)器10a、 10b對(duì)的第一組,和致動(dòng)器10c、 10d 也成對(duì)連4^組成有6個(gè)致動(dòng)器10c、 10d對(duì)的第二組。第一組致動(dòng)器對(duì)中 的致動(dòng)器10a、 10b具有連接在第一導(dǎo)體4的第一電極18和連接在第三導(dǎo) 體8的第二電極16,而第二組致動(dòng)器對(duì)中的致動(dòng)器10c、 10d具有連接在 第二導(dǎo)體6的第一電極16和連接在第三導(dǎo)體8的第二電極18。第一和第 二電極16、 18在致動(dòng)器各自相反的表面上垂直于基體的表面和垂直于行 波傳播的方向。
      圖4表示機(jī)械波沿著在圖1中環(huán)形基體內(nèi)的圓周形傳播路徑移動(dòng)的圓 周形凸出;為了說(shuō)明的目的,波幅是放大的。第一導(dǎo)體4傳導(dǎo)余弦信號(hào) vcos(cot),具有電壓幅值v和角頻率co,第二導(dǎo)體6傳導(dǎo)正弦信號(hào)vsin(co t),具有相同的電壓幅值v和角頻率w ,而第三導(dǎo)體8連接在接地信號(hào)(0 )。 第一組的6個(gè)壓電致動(dòng)器對(duì)10a、 10b是這樣極化,當(dāng)?shù)谝粚?dǎo)體4傳導(dǎo)正 的電信號(hào)到它們與第一導(dǎo)體相連的第一電極時(shí),該6個(gè)壓電致動(dòng)器對(duì)之 間帶+號(hào)的三個(gè)致動(dòng)器對(duì)膨脹,而該6個(gè)壓電致動(dòng)器對(duì)之間帶_號(hào)的其他三 個(gè)致動(dòng)器對(duì)收縮。
      因而第一組致動(dòng)器10a、 10b將激勵(lì)起駐波,它在環(huán)形基體2中有三 個(gè)波節(jié)直徑(『3),等價(jià)于在圖4中圓周形凸出中的三個(gè)波節(jié),優(yōu)選地這 樣選擇角頻率co,使之激勵(lì)出具有零波節(jié)的圓的環(huán)形基體2的(0, 3)余 弦模式,由在環(huán)形基體2'的任何給定點(diǎn)(r,e)處的橫向偏離所定義
      W產(chǎn)a(r,(o,v)cosa)tcos30式中a(r,(o,v)是駐波在半徑r、角頻率co和電壓幅值v的參數(shù)條件下的 振幅。
      第二組的6個(gè)壓電致動(dòng)器對(duì)10c、 10d是這樣極化,當(dāng)?shù)诙?dǎo)體6將 正的電信號(hào)傳導(dǎo)到它們與第二導(dǎo)體連接的第一電極時(shí),在6個(gè)壓電致動(dòng)器 它們之間帶+號(hào)的致動(dòng)器對(duì)膨脹,而在它們之間帶-號(hào)的致動(dòng)器對(duì)收縮。
      同樣,由于在第二導(dǎo)體6上的正弦信號(hào)第二組致動(dòng)器10c、 10d將激 勵(lì)起環(huán)形基體2的(0,3)正弦模式,由環(huán)形基體2的任何給定點(diǎn)(r,e)處的 橫向偏離所定義
      W2= a(r,co,v)sincotsin36 式中a(r, co, v)是駐波在半徑r、角頻率 和電壓幅值v的參數(shù)條件 下的振幅。
      激勵(lì)的余弦和正弦駐波的振幅和相位基本上是相等的,因?yàn)檠b置1的 機(jī)械結(jié)構(gòu)基本上是圍繞垂直于第一表面12伸展的轉(zhuǎn)軸對(duì)稱(chēng)的。2個(gè)駐波通 過(guò)按照下列方程式的疊加生成行波。
      w=w!+W2= a(r,a),v)cos(a>t)cos(39)+ a(r,co,v)sin(cot)sin(39)
      =a(r,co,v)cos(o)t_39) 它表示波是以速度co/3向前行進(jìn)。如果改變由第一導(dǎo)體傳送的余弦信 號(hào)的符號(hào),或者改變由第二導(dǎo)體傳送的正弦信號(hào)的符號(hào),那么該波將沿著 相反的方向移動(dòng)。
      圖5表示圖4的一部分;為了說(shuō)明的目的放大了波的振幅。致動(dòng)器10a、 10b、 10c、 10d、 10c、 10d具有第一電極30、 32、 34、 36、 37、 38和第二 電極40、 42、 44、 46、 47、 48。第一電極和第二電極基本上垂直于基體2 中產(chǎn)生的^L械波的方向伸展。第一組致動(dòng)器對(duì)10a、 10b的第一電極30、 32、 37、 38連接在第一導(dǎo)體4,和第二組致動(dòng)器對(duì)10c、 10d的第一電極 34、 36連接在第二導(dǎo)體6。第二電極40、 42、 44、 46、 47、 48都連接在 第三導(dǎo)體8。箭頭表示各個(gè)壓電致動(dòng)器的極化方向。致動(dòng)器對(duì)的各致動(dòng)器 在相反的方向被極化,相互朝向的是+號(hào),而離開(kāi)的是-號(hào)。
      圖6表示圓周形的凸出,它說(shuō)明圓形或環(huán)形機(jī)械部件50是與機(jī)械波 動(dòng)裝置1的基體2的部分第二表面14以這樣的方式可操作接觸,使得由 于致動(dòng)器IO產(chǎn)生的機(jī)械波接觸表面52的橢圓形的運(yùn)動(dòng)通過(guò)摩擦力使機(jī)械 部件50相對(duì)基體2轉(zhuǎn)動(dòng)。波的振幅出于說(shuō)明目的被夸大了。在行波的波 峰上接觸點(diǎn)的最大圓周速度是vmax=laa>n/ rc
      式中l(wèi)是從環(huán)形基體2的中間彎曲平面到接觸表面52的距離,rc是接 觸點(diǎn)的半徑,在本發(fā)明中波數(shù)11=3,而行波在半徑r。處的振幅a-a(rc,o),v)。 因而部件50的最大轉(zhuǎn)動(dòng)速度是
      Q,= lacon/rc2
      因此通過(guò)調(diào)節(jié)角頻率CC 、電壓幅值V和/或二個(gè)駐波之間的相位可以控
      制部件50的轉(zhuǎn)速。
      圖7說(shuō)明印刷電路板(PCB) 100,它包括按照本發(fā)明機(jī)電波動(dòng)裝置 101。 PCB100包括由PCB中6個(gè)開(kāi)口 112形成的6個(gè)橋路110。 一個(gè)或多 個(gè)橋路110容納一個(gè)或多個(gè)從PCB上不同電路到機(jī)電波動(dòng)裝置101的導(dǎo) 體。橋路110的作用如振動(dòng)隔離體,從而基本上防止才幾械波動(dòng)裝置101中 的機(jī)械振動(dòng)在PCB100的其它部分中傳播,從而使波動(dòng)裝置101中的行波 可以移動(dòng)但對(duì)周?chē)腜CB影響最小。
      PCB包括用于驅(qū)動(dòng)機(jī)電波動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電路114和用于控制機(jī)電波動(dòng) 裝置101的控制電路116,如根據(jù)從波動(dòng)裝置101來(lái)的一個(gè)或多個(gè)反饋信 號(hào)控制驅(qū)動(dòng)電路114。利用機(jī)電波動(dòng)裝置101的特殊應(yīng)用的控制電子器件 118也可以安裝在PCB100上。在另一個(gè)實(shí)施例中,驅(qū)動(dòng)電路114和/或控 制電路116集成在應(yīng)用電子線路中。
      圖8說(shuō)明^姿照本發(fā)明轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)200 —個(gè)實(shí)施例的示意剖面圖。機(jī)電波 動(dòng)裝置201與機(jī)械部件203操作接觸并轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械部件203。上面與圖1-5 相聯(lián)系描述的機(jī)電波動(dòng)裝置201具有基體202,基體有若干致動(dòng)器210用 于在基體202中產(chǎn)生行波。還有,在基體202中形成若干齒211。在機(jī)械 部件203中裝設(shè)粘彈性部件213,如0型圈,以便衰減在機(jī)械部件203中 的振動(dòng)。
      圖9說(shuō)明按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置301的另一個(gè)實(shí)施例,它類(lèi)似于 在圖1-5中表示的實(shí)施例。在圖1-5中表示的環(huán)形基體在這里由圓筒形集 體302所代替。一般來(lái)說(shuō),圓筒形基體302的外直徑在從約10mm到100mm 的范圍內(nèi),壁厚在從約0.5mm到約5mm的范圍內(nèi),圓筒高度約為lmm到 約10mm。 二組6個(gè)致動(dòng)器對(duì)310a、 310b、 310c、 310d對(duì)稱(chēng)設(shè)置在圓筒的 內(nèi)表面312上并與圖1-5中致動(dòng)器對(duì)10a、 10b、 10c、 10d相同地極化。因 為由與圖l-3中第一、第二、第三導(dǎo)體4、 6、 8相似的3個(gè)導(dǎo)體(未表示) 傳送給致動(dòng)器所加的余弦和正弦電信號(hào),二組致動(dòng)器對(duì)產(chǎn)生沿圓周的徑向彎曲行波(類(lèi)似于在圖4中表示的第1實(shí)施例的在基體2中沿圓周的橫向 彎曲行波)。
      圖IO表示圓筒形波動(dòng)裝置301的示意剖面圖,機(jī)械部件350的圓筒 形內(nèi)表面351以這樣的方式與基體302的第二表面314的各部分進(jìn)行操作 接觸,使之由于致動(dòng)器310產(chǎn)生機(jī)械波,接觸表面352的橢圓形運(yùn)動(dòng)通過(guò) 摩擦力使機(jī)械部件350相對(duì)基體302轉(zhuǎn)動(dòng)。
      圖11說(shuō)明按照本發(fā)明方法的一個(gè)實(shí)施例。在表示的實(shí)施例中,步驟A 包括為了按照預(yù)定的傳播路徑傳播機(jī)械波,確定基體的形狀,步驟B包括 按照沿著預(yù)定的傳播路徑產(chǎn)生機(jī)械行波,確定若干致動(dòng)器的數(shù)目和位置, 步驟C包括將電氣連接致動(dòng)器到各個(gè)激勵(lì)信號(hào)的各導(dǎo)體裝設(shè)在基體上,和 步驟D包括將所述若干致動(dòng)器安裝在基體上。步驟D還包括用機(jī)器人以 預(yù)定的方案將該若干致動(dòng)器放置在基體上。還有,步驟D包括通過(guò)如低溫 焊接和/或粘接將該若干致動(dòng)器固定在基體上。在按照本發(fā)明的方法的另一 個(gè)實(shí)施例中,步驟A和步驟B是互相交換的。
      圖12和13分別說(shuō)明印刷電路板(PCB) 400的第一表面和第二表面, 印刷電路板包括按照本發(fā)明的機(jī)電波動(dòng)裝置401,它的二個(gè)表面上都有壓 電致動(dòng)器。PCB400包括由它的四個(gè)開(kāi)口 422構(gòu)成四個(gè)橋路420。 一個(gè)橋路 容納三根導(dǎo)體404、 406、 408從PCB上穿過(guò)板的三個(gè)終端403到機(jī)電波動(dòng) 裝置401。波動(dòng)裝置401包括PCB400的環(huán)形子結(jié)構(gòu)402用于傳播機(jī)械波 和通過(guò)子結(jié)構(gòu)402的第一表面412和第二表面414容納的導(dǎo)體404、 406、 408傳送電信號(hào)。將橋路420的材料厚度通過(guò)如磨削減小至能起到在子結(jié) 構(gòu)402和PCB400其余部分之間隔離振動(dòng)的作用。優(yōu)選的環(huán)形子結(jié)構(gòu)402 的內(nèi)和外半徑可以與圖2中基體2的優(yōu)選尺寸相似。
      在波動(dòng)裝置401中,有96個(gè)壓電致動(dòng)器410粘接在環(huán)形的子結(jié)構(gòu)402, 其中48個(gè)致動(dòng)器(第 一組致動(dòng)器包括24個(gè)致動(dòng)器和第二組致動(dòng)器包括24 個(gè)致動(dòng)器)設(shè)置在第一表面412和另外48個(gè)致動(dòng)器(第三組致動(dòng)器包括 24個(gè)致動(dòng)器和第四組致動(dòng)器包括24個(gè)致動(dòng)器)設(shè)置在第二表面414。各 壓電致動(dòng)器410是成對(duì)工作在一起(即k=2),從而機(jī)械行波的波數(shù)是6(即 n=6)。致動(dòng)器410優(yōu)選的形狀和尺寸可與圖1中致動(dòng)器IO的優(yōu)選形狀和 尺寸相似。
      如在圖1-5中對(duì)致動(dòng)器在單一表面上的機(jī)電波動(dòng)裝置更詳細(xì)地表示那 樣,第一導(dǎo)體404傳導(dǎo)余弦信號(hào)給第一組壓電致動(dòng)器410a、 410b,第二導(dǎo)體406傳導(dǎo)正弦信號(hào)給第二組壓電致動(dòng)器410c、 410d,和第三導(dǎo)體408構(gòu) 成連接到所有壓電致動(dòng)器410的公共接地信號(hào)。在致動(dòng)器410之間端子處 穿過(guò)板的孔405將第一導(dǎo)體404的信號(hào)從第一表面412傳到第二表面,和 將第二導(dǎo)體406的信號(hào)從第二表面414傳到第一表面412。該公共接地信 號(hào)以鋸齒的形式通過(guò)穿過(guò)板的孔405在第一表面412和第二表面414之間 傳送。
      為了保證當(dāng)在第二表面414上相對(duì)的壓電致動(dòng)器膨脹時(shí)在第一表面 412上的致動(dòng)器是收縮的,這些相對(duì)壓電致動(dòng)器有相反的極化。
      圖14說(shuō)明按照本發(fā)明轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)500實(shí)施例的示意剖面圖和頂視圖。 該轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)是雙面的,它包括如圖12中說(shuō)明的印刷電路板(PCB) 400, 板上有機(jī)電波動(dòng)裝置401,機(jī)電波動(dòng)裝置401在第一表面上與第一機(jī)械部 件502操作接觸和在第二表面上與第二機(jī)械部件504操作接觸并轉(zhuǎn)動(dòng)機(jī)械 部件502和504,這兩個(gè)積4成部件是通過(guò)螺栓506或任何其他合適的連接 器或接合部件機(jī)械地連接。利用壓電致動(dòng)器410作為在機(jī)電波動(dòng)裝置410 和機(jī)械部件502和504之間才喿作接觸中的齒。
      圖15說(shuō)明按照本發(fā)明堆疊轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá)600實(shí)施例的示意剖面圖。如在 圖12中說(shuō)明的5個(gè)印刷電路板(PCB) 400包括5個(gè)機(jī)電波動(dòng)裝置401, 在沖幾電波動(dòng)裝置401的每個(gè)面上分別與6個(gè)機(jī)械部件602a-f之一進(jìn)行機(jī)械 接觸并適合使機(jī)械部件602a-f轉(zhuǎn)動(dòng)。機(jī)械部件602a-f由軸604機(jī)械地連接。 每個(gè)機(jī)電波動(dòng)裝置401與二個(gè)機(jī)械部件操作接觸。利用壓電致動(dòng)器410作 為在機(jī)電波動(dòng)裝置401和機(jī)械部件602a-f之間操作接觸的齒,其中盤(pán)彈簧 606提供這些接觸之間的預(yù)壓。如在圖14中說(shuō)明那樣,各機(jī)械部件可以附 加地由螺栓或任何其他合適的連接器或接合部件機(jī)械連接。該軸由堆疊轉(zhuǎn) 動(dòng)馬達(dá)600的殼體608可轉(zhuǎn)動(dòng)地支承。還有,殼體608容納和支承各 PCB400。
      權(quán)利要求
      1.一種機(jī)電波動(dòng)裝置,包括基體,用于傳播機(jī)械波和用于通過(guò)容納在該基體上的導(dǎo)體傳送電氣信號(hào);裝設(shè)在該基體上用于產(chǎn)生機(jī)械波的若干致動(dòng)器,每個(gè)致動(dòng)器與基體的各組導(dǎo)體相連接用于接受由該組導(dǎo)體傳送的激勵(lì)信號(hào);從而各致動(dòng)器響應(yīng)激勵(lì)信號(hào)沿著預(yù)定的傳播路徑在基體中產(chǎn)生機(jī)械波。
      2. 按照前述權(quán)利要求所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,其特征在于,所述致動(dòng) 器是壓電致動(dòng)器。
      3. 按照前述任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,其特征在于,所述 致動(dòng)器是磁約束致動(dòng)器。
      4. 按照權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,其特征在于, 所述基體是環(huán)形的,以在該基體的圓周中傳播機(jī)械波。
      5. 按照權(quán)利要求1至3中任一項(xiàng)所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,其特征在于, 所述基體是圓筒體,以在該基體的圓周中傳播機(jī)械波。
      6. —種轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),包括按照權(quán)利要求4的機(jī)電波動(dòng)裝置,和與所述 基體操作接觸的機(jī)械部件,它們被布置成,由于致動(dòng)器產(chǎn)生機(jī)械波動(dòng),使 得該基體上的接觸表面的運(yùn)動(dòng)使所述機(jī)械部件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。
      7. —種雙面轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),包括按照權(quán)利要求4所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,與 該基體的第 一 表面操作接觸的第 一機(jī)械部件和與該基體的第二表面操作 接觸的第二機(jī)械部件,它們被布置成,由于致動(dòng)器產(chǎn)生機(jī)械波動(dòng),使得基 體每個(gè)表面上的接觸表面的運(yùn)動(dòng)使機(jī)械部件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。
      8. —種堆疊轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),包括二個(gè)或多個(gè)按照權(quán)利要求4所述的機(jī)電波 動(dòng)裝置,和一個(gè)或多個(gè)與基體操作接觸的機(jī)械部件,它們被布置成,由于 致動(dòng)器產(chǎn)生機(jī)械波動(dòng),使得基體上的接觸表面的運(yùn)動(dòng)使一個(gè)或多個(gè)機(jī)械部 件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。
      9. 一種轉(zhuǎn)動(dòng)馬達(dá),包括按照權(quán)利要求5所述的機(jī)電波動(dòng)裝置,和與基 體的內(nèi)或外表面操作接觸的機(jī)械部件,它們被布置成,由于致動(dòng)器產(chǎn)生機(jī) 械波動(dòng),使得基體上的接觸表面的運(yùn)動(dòng)使機(jī)械部件相對(duì)基體轉(zhuǎn)動(dòng)。
      10. —種包括按照權(quán)利要求1至5中任一項(xiàng)所述的機(jī)電波動(dòng)裝置的印刷電路板。
      11. 按照權(quán)利要求IO所述的印刷電路板,其特征在于,還包括用于驅(qū)動(dòng)機(jī)械波動(dòng)裝置的驅(qū)動(dòng)電路。
      12. 按照權(quán)利要求10或11所述的印刷電路板,其特征在于,還包括 用于控制機(jī)電波動(dòng)裝置特性和/或功能的控制電路。
      13. 按照權(quán)利要求10-12中任一項(xiàng)所述的印刷電路板,其特征在于, 還包括應(yīng)用電子線路。
      14. 一種裝備機(jī)電波動(dòng)裝置的方法,它包括如下各步驟 按照預(yù)定的傳播路徑確定用于傳播機(jī)械波的基體的形狀, 按照產(chǎn)生機(jī)械波的要求確定在基體上若干致動(dòng)器的數(shù)目和位置, 在基體上裝設(shè)導(dǎo)體用于將各致動(dòng)器電氣連接到各自的激勵(lì)信號(hào),和 將該若干致動(dòng)器安裝到基體上。
      15. 按照權(quán)利要求14所述的方法,其特征在于,安裝的步驟包括以預(yù) 定的圖案用機(jī)械手將所述若干致動(dòng)器安裝到基體上。
      16. 按照權(quán)利要求14或15項(xiàng)所述的方法,其特征在于,安裝的步驟 包括如通過(guò)低溫焊接或粘接將所述若干致動(dòng)器固定到基體上。
      全文摘要
      本發(fā)明涉及通過(guò)摩擦力使機(jī)械部件運(yùn)動(dòng)的機(jī)電波動(dòng)裝置,還涉及包括一個(gè)或多個(gè)波動(dòng)裝置的馬達(dá)和設(shè)計(jì)及制造該機(jī)電波動(dòng)裝置的方法。按照本發(fā)明,提供一種機(jī)電波動(dòng)裝置(1),它包括基體(2),用于傳播機(jī)械波和通過(guò)該基體容納的導(dǎo)體(4、6、8)傳送電氣信號(hào),設(shè)置在基體上用于產(chǎn)生機(jī)械波的若干致動(dòng)器(10a、10b、10c、10d),每個(gè)致動(dòng)器與基體的各組導(dǎo)體相連用于接受由該組導(dǎo)體傳送的激勵(lì)信號(hào),從而使各致動(dòng)器響應(yīng)激勵(lì)信號(hào)在基體中產(chǎn)生沿著預(yù)定的傳播路徑傳播的機(jī)械波。
      文檔編號(hào)H02N2/16GK101297470SQ200680039882
      公開(kāi)日2008年10月29日 申請(qǐng)日期2006年10月27日 優(yōu)先權(quán)日2005年10月28日
      發(fā)明者E·約翰森, H·埃利斯加德, H·安德森, M·H·漢森, T·奧利森 申請(qǐng)人:Up10公司
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