專利名稱：非接觸供電系統(tǒng)及使用了該系統(tǒng)的行走車系統(tǒng)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及降低來自非接觸供電系統(tǒng)的磁場泄漏，本發(fā)明的非接 觸供電系統(tǒng)作為例如橋式行走車系統(tǒng)或有軌臺車系統(tǒng)等的一部分使 用。
背景技術(shù)：
橋式行走車系統(tǒng)等行走車系統(tǒng)中使用非接觸供電。該系統(tǒng)在橋式 行走車的行走軌道上敷設(shè)供電線，橋式行走車用設(shè)置在磁性鐵心上的 拾波線圈非接觸受電進(jìn)行行走。在行走軌道的下方設(shè)置有裝載口，與 橋式行走車之間進(jìn)行半導(dǎo)體盒等的交接，裝載口附設(shè)在處理裝置上， 搬運(yùn)的半導(dǎo)體晶片等在處理裝置內(nèi)接受檢査或暴光、注入不純物、刻 蝕等處理。發(fā)明者發(fā)現(xiàn)，隨著半導(dǎo)體加工的精細(xì)化，來自非接觸供電線的磁場對半導(dǎo)體處理裝置產(chǎn)生影響。例如，在用激光檢査線間距為45nm 的半導(dǎo)體晶片時(shí)，來自供電線的磁場影響檢査裝置的定位從而影響檢 查。如果精細(xì)化更進(jìn)步，則磁場的影響更加顯著。磁場不僅影響激光 和半導(dǎo)體的檢查，而且影響處理裝置內(nèi)的電子設(shè)備。因此，有必要降 低非接觸供電系統(tǒng)的磁場泄漏。[專利文獻(xiàn)l]日本特開2002-238102發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明的課題就是要降低來自非接觸供電系統(tǒng)的磁場泄漏。技術(shù) 方案2發(fā)明的追加課題是要簡單地構(gòu)成用于抵消泄漏磁場的補(bǔ)償電源。技術(shù)方案3發(fā)明的追加課題是在寬廣的范圍內(nèi)有效地抵消泄漏磁 場。本發(fā)明的課題還有要防止外圍設(shè)備受來自行走車系統(tǒng)的供電線的 泄漏磁場的影響。本發(fā)明為具備交流電源、與該交流電源相連的供電線、以及非接 觸地從該供電線受電并且設(shè)置在移動(dòng)體一側(cè)的拾波線圈的非接觸供 電系統(tǒng)，其特征在于設(shè)置有補(bǔ)償電源和補(bǔ)償用電線，所述補(bǔ)償電源產(chǎn) 生相位與上述供電線中流著的電流的相位相同或相反的補(bǔ)償電流；所 述補(bǔ)償用電線配置在上述供電線附近，并且用于由來自該補(bǔ)償電源的 補(bǔ)償電流減弱來自上述供電線的磁場。并且，本發(fā)明將非接觸供電系統(tǒng)用于行走車系統(tǒng)的供電，所述非 接觸供電系統(tǒng)具備交流電源、與該交流電源相連的供電線、非接觸地 從該供電線受電并且設(shè)置在移動(dòng)體一側(cè)的拾波線圈、產(chǎn)生相位與上述 供電線中流著的電流的相位相同或相反的補(bǔ)償電流的補(bǔ)償電源，以及 配置在上述供電線附近、并且用于由來自該補(bǔ)償電源的補(bǔ)償電流減弱 來自上述供電線的磁場的補(bǔ)償用電線。并且設(shè)置有用于從上述供電線 給行走車供電的供電軌，在該供電軌上設(shè)置有補(bǔ)償用電線。優(yōu)選上述補(bǔ)償電源為與設(shè)置在上述移動(dòng)體一側(cè)的拾波線圈不同 的、從上述供電線受電的第2拾波線圈。尤其優(yōu)選上述補(bǔ)償用電線為 長尺寸方向與供電線平行、并且多圈的長尺寸環(huán)狀線圈形天線。發(fā)明的效果-本發(fā)明通過在補(bǔ)償用電線中流著相位與供電線中流著的電流的 相位相同或相反的補(bǔ)償電流，產(chǎn)生方向?yàn)榈窒麃碜怨╇娋€的磁場的磁 場。因此能夠減弱來自非接觸供電系統(tǒng)的泄漏磁場。并且，本發(fā)明在 行走車系統(tǒng)的供電軌上設(shè)置補(bǔ)償用電線，減弱泄漏磁場對行走車系統(tǒng) 周圍裝置等的影響。如果使補(bǔ)償電源為從上述供電線受電的第2拾波線圈的話，則能 夠簡單地構(gòu)成補(bǔ)償電源。如果使補(bǔ)償用電線為多圈長尺寸形狀、長尺寸方向與供電線平行的環(huán)狀線圈形天線的話，則由于圈數(shù)多，因此能 夠以很小的補(bǔ)償電流減弱泄漏磁場，通過使線圈形天線的長尺寸方向 與供電線平行，能夠在沿供電線的很寬的范圍內(nèi)減弱泄漏磁場。


圖1是示意地表示實(shí)施例的橋式行走車系統(tǒng)的圖。圖2是表示實(shí)施例的橋式行走車系統(tǒng)的布置的主要部分俯視圖。 圖3是示意地表示實(shí)施例的橋式行走車系統(tǒng)的外部天線的圖。 圖4是示意地表示實(shí)施例中的電流的圖。 圖5是實(shí)施例的等價(jià)電路圖。
具體實(shí)施方式
下面說明實(shí)施本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施例。 [實(shí)施例]圖1 圖5表示實(shí)施例。各圖中，2為行走軌道，在其下部設(shè)置 有左右一對供電軌4、 4'，供電軌4上設(shè)置有例如一對供電線5、 5。 另外，供電軌4'也可以使用拐彎區(qū)間等，或者物理上將供電軌4、 4' 作為行走軌道2的一部分。從圖中沒有表示的交流電源使例如10KHz 左右的交流流過供電線5，用圖中沒有表示的橋式行走車的受電線圈 受電由此產(chǎn)生的磁場，進(jìn)行非接觸供電。受電磁鐵心為例如將線圈纏 繞到磁性體鐵心上的部件。6為支柱，行走軌道2和供電軌4、 4'設(shè)置在潔凈室內(nèi)，橋式行 走車搬送例如半導(dǎo)體盒或分劃板等，或者在醫(yī)院、圖書館及其他地方 搬運(yùn)適當(dāng)?shù)奈锲贰ｋm然實(shí)施例以橋式行走車系統(tǒng)為例，但地上行走的 有軌臺車系統(tǒng)或自動(dòng)倉庫的堆裝起重機(jī)的行走系統(tǒng)也同樣可以使用。8為外部天線，安裝在供電軌4或行走軌道2上，形狀為長尺寸 形，其長尺寸方向與行走軌道2的長度方向平行，線圈的中心軸的朝向?yàn)榕c鉛垂方向成e角傾斜，e為例如0° 180° ，優(yōu)選0° 60 ° 。外部天線8的線圈中流著相位與供電線5中流著的電流的相位相 反的補(bǔ)償電流，由線圈8產(chǎn)生的磁場減弱由一對供電線5、 5的磁場。10為半導(dǎo)體等處理裝置，這里，處理裝置包括檢査裝置。12為 處理裝置10的裝載口，圖中沒有表示的橋式行走車與裝載口 12之間 進(jìn)行半導(dǎo)體盒等的交接，在裝載口 12卸貨的盒搬入處理裝置10內(nèi)， 取出晶片。對取出的晶片實(shí)施由激光進(jìn)行的檢査或暴光、刻蝕、注入 不純物、銑削等處理。于是，對這些半導(dǎo)體的處理有可能受供電線5 產(chǎn)生的電磁場的影響，尤其是使用了檢查用激光檢査線間狀態(tài)的檢査 裝置的定位有可能受磁場的影響而出問題。因此有必要降低供電線5 產(chǎn)生的泄漏磁場。實(shí)施例中，由于在行走軌道2的左右一方設(shè)置處理 裝置10，因此外部天線8也設(shè)置在行走軌道2的左右一方。當(dāng)要減 弱泄漏磁場對行走軌道2左右雙方的影響時(shí)，外部天線8也設(shè)置在行 走軌道2的左右雙方。圖2中俯視表示外部天線8，其長度為例如與處理裝置10的長度 相等的程度，與行走軌道2的長度方向平行配置。由此降低供電軌對 處理裝置10的泄漏磁場的影響，為了降低處理裝置10內(nèi)特定位置的 泄漏磁場，也可以使外部天線8為棒狀，向處理裝置10突出于供電 軌等?；蛘咭部梢匝毓╇娷壍膸缀跽麄€(gè)長度設(shè)置外部天線8。圖2的 10'為受泄漏磁場的影響不嚴(yán)重的處理裝置，沒有對處理裝置10' 設(shè)置外部天線8。圖3表示外部天線8在供電軌4上的安裝。14為磁性鐵心，16 為拾波線圈，給電容器18和外部天線8的線圈20組成的共振電路供 電。另外，如果供電線5有離開供電軌的位置，也可以將拾波線圈 16設(shè)置在供電軌的外部、供電線5附近。線圈20為多圈線圈，其開 口方向即線圈20的中心軸的方向?yàn)閺你U垂下方向上0角的方向，沿 圖l、圖3所示的雙點(diǎn)劃線方向產(chǎn)生磁場。與之相對應(yīng)，流過供電線5的交流在其周圍產(chǎn)生單點(diǎn)劃線方向的磁場，在處理裝置10附近來 自線圈20的磁場與來自供電線5、 5的磁場的方向彼此相反地確定角 度0,減弱外部磁場。另外，由于來自線圈20的磁場與來自供電線5的磁場不是在所 有的位置上都互相抵消，因此在成為對象的處理裝置IO的內(nèi)部磁場 互相抵消地選定外部天線8的位置和角度0等。并且，使外部磁場在 成為對象的處理裝置10的內(nèi)部最小地決定電容器18的容量和線圈 20的圈數(shù)等。雖然這里用拾波線圈16從供電線5自身受電，但也可以另外準(zhǔn) 備好相位與給供電線5供電的電源相同或相反、頻率相等的電源給線 圈20供電。圖3的22為橋式行走車的磁性鐵心，設(shè)置有圖中沒有表 示的線圈，通過來自供電線5的磁場受電。圖4表示流過供電線5的電流i與流過線圈20的補(bǔ)償電流ic之 間的關(guān)系。由于頻率為lOKHz左右的交流波長為30km左右，因此 當(dāng)從拾波線圈16受電時(shí)，補(bǔ)償電流ic的相位與流過供電線5的電流 i的相位相同或相反。因此，通過向右旋螺紋方向或左旋螺紋方向纏 繞線圈20，確定來自外部天線8的磁場相對于來自供電線5的磁場 的方向。接著，認(rèn)為流過隔開一定的間隔配置的供電線5、 5的電流 i產(chǎn)生相當(dāng)于1匝線圈的磁場。并且使該磁場被長尺寸形線圈20產(chǎn)生 的磁場減弱。例如如果使長尺寸形線圈20為20匝的線圈的話，則流 過供電線5的電流的1/20左右的補(bǔ)償電流ic能夠充分減弱外部磁場。圖5表示線圈20的等價(jià)電路。電源24給供電線5供電，用通過 磁性鐵心14磁性耦合的拾波線圈16受電，給電容器18和線圈20組 成的共振電路供電。實(shí)施例能夠獲得以下效果。(1) 能夠減弱供電線5產(chǎn)生的泄漏磁場。(2) 由于將供電線5自身作為電源流出補(bǔ)償電流，因此設(shè)置簡單。(3) 能夠減弱成為對象的處理裝置10附近的泄漏磁場。(4) 流過線圈20的電流可以小于流過供電線5的電流，功耗很小。(5) 能夠通過電容器18或線圈20的匝數(shù)調(diào)整泄漏磁場的減弱 程度。并且能夠用外部天線8的垂直下方的方向或沿行走軌道2的長 度等調(diào)整減弱泄漏磁場的位置。雖然實(shí)施例說明的是在橋式行走車系統(tǒng)中的應(yīng)用，但其他的行走 車系統(tǒng)中也同樣可以應(yīng)用。外部天線8既可以設(shè)置在供電軌4、 4' 和/或行走軌道2附近，也可以設(shè)置在比處理裝置10等靠近供電線權(quán)利要求
1.一種非接觸供電系統(tǒng)，具備交流電源、與該交流電源相連的供電線、以及非接觸地從該供電線受電并且設(shè)置在移動(dòng)體一側(cè)的拾波線圈，其特征在于，設(shè)置有補(bǔ)償電源和補(bǔ)償用電線，所述補(bǔ)償電源產(chǎn)生相位與上述供電線中流著的電流的相位相同或相反的補(bǔ)償電流；所述補(bǔ)償用電線配置在上述供電線附近，并且用于由來自該補(bǔ)償電源的補(bǔ)償電流減弱來自上述供電線的磁場。
2. 如權(quán)利要求1所述的非接觸供電系統(tǒng)，其特征在于，上述補(bǔ) 償電源為與設(shè)置在上述移動(dòng)體一側(cè)的拾波線圈不同的、從上述供電線 受電的第2拾波線圈。
3. 如權(quán)利要求2所述的非接觸供電系統(tǒng)，其特征在于，上述補(bǔ) 償用電線為長尺寸方向與供電線平行、且多圈的長尺寸環(huán)狀線圈形天 線。
4. 一種具備權(quán)利要求1所述的非接觸供電系統(tǒng)的行走車系統(tǒng)， 其特征在于，該行走車系統(tǒng)具備用于從上述供電線給行走車供電的供 電軌，在該供電軌上設(shè)置有上述補(bǔ)償用電線。
全文摘要
本發(fā)明提供非接觸供電系統(tǒng)及使用了該系統(tǒng)的行走車系統(tǒng)。用拾波線圈受電非接觸供電用的供電線(5)的磁場，在外部天線(8)中流著相位與供電線(5)中的電流相同或相反的補(bǔ)償電流。利用補(bǔ)償電流產(chǎn)生的磁場抵消來自供電線(5)的磁場，減弱對處理裝置(10)內(nèi)的影響。減弱來自非接觸供電系統(tǒng)的泄漏磁場，防止對周圍處理裝置等的影響。
文檔編號H02J17/00GK101222152SQ20071019953
公開日2008年7月16日 申請日期2007年12月13日 優(yōu)先權(quán)日2007年1月12日
發(fā)明者幸本譽(yù) 申請人:村田機(jī)械株式會(huì)社