專利名稱：馬達的制作方法
技術領域：
本發(fā)明涉及一種馬達和一種真空泵，所述真空泵包括具有馬達轉(zhuǎn)子 的馬達，所述馬達轉(zhuǎn)子在泵的使用過程中暴露于低于大氣壓的壓力下。
背景技術：
真空處理加工 一般用在半導體設備和平板顯示器的制造中以在基 板上沉積薄膜，和用在冶金過程中。用來將比較大的處理室中抽空到所 希望的壓力的泵吸系統(tǒng)一般包括與至少 一個初級抽氣泵串聯(lián)連接的至 少一個前置泵。
真空泵典型地具有無油式泵吸機構，因為存在于泵吸機構中的任何 潤滑劑都可能引起在其中執(zhí)行真空處理加工的清潔環(huán)境的污染。這種 "干式，，真空泵一般是單級或多級的正排量泵，所述泵在泵吸機構中采 用內(nèi)嚙合式轉(zhuǎn)子。所述轉(zhuǎn)子可以在每級中具有同樣類型的輪廓或所述輪 廓可以在級與級之間變化。初級抽氣泵可以具有與前置泵相似的泵吸枳j 構，或具有不同的泵吸機構。
典型地，異步交流馬達驅(qū)動前置泵的泵吸機構。這種馬達必須具有 一額定功率，所述額定功率使得所述泵能在泵入口和出口之間提供泵送 的氣體的足夠壓縮，和使得最后得到的泵吸速度足以完成所要求的工作 量。
干式真空泵的早期設計基本上使用標準馬達，所述標準馬達帶有以 油脂潤滑的軸承，并且在馬達和真空泵的抽吸機構之間具有軸密封件。
這些馬達以比較低的速度(小于60Hz)在大氣壓力下工作。已經(jīng)發(fā)現(xiàn)上 油脂潤滑的軸承和軸密封件是真空泵的不可靠性之源，因此泵設計的趨 勢是除去這些零件和以較高速度(大約100Hz)運4亍。這已經(jīng)通過將馬 達集成(或結合)到真空系統(tǒng)中來實現(xiàn)，因而避免了提供軸密封件和使 用來自泵齒輪箱的油潤滑馬達軸承的要求，從而將油脂潤滑的軸承從馬 達上除去。
將馬達集成到真空抽吸系統(tǒng)中的缺點在于，就前置泵而言，現(xiàn)在要 求馬達轉(zhuǎn)子在真空下工作，而以前的馬達轉(zhuǎn)子總是在大氣壓力下工作。這是一個區(qū)別，已經(jīng)發(fā)現(xiàn)鑒于在真空泵使用過程中馬達的過熱，該區(qū)別 嚴重地約束了可實現(xiàn)的馬達額定功率。
電動機典型地具有大約85%的效率，馬達中的15%的損失引起馬
達繞組、馬達定子和馬達轉(zhuǎn)子的發(fā)熱。在馬達繞組和馬達定子中所產(chǎn)生 的熱量容易通過馬達殼體利用傳導來傳送，并且典型地通過水冷從殼體 移除。所述繞組可能,支有利地罐裝或封裝以改善與馬達定子和/或與馬達 殼體的熱傳遞。當在大氣壓力下工作時，在馬達轉(zhuǎn)子中所產(chǎn)生的熱量主
要利用馬達內(nèi)部的空氣作為用于將熱量從馬達轉(zhuǎn)子傳遞到馬達殼體的 介質(zhì)、通過對流而傳送到馬達的殼體。馬達轉(zhuǎn)子可以設有散熱片以使該 效果達到最大化。然而，當在真空下工作時，在馬達殼體內(nèi)部只有^[艮少 的空氣或沒有空氣，因此，用于使熱量從馬達轉(zhuǎn)子散失的主要途徑不再 有效，而這嚴重地限制了馬達轉(zhuǎn)子的有效的冷卻。盡管通過沿著馬達軸 并經(jīng)由軸承的傳導和通過從馬達轉(zhuǎn)子的輻射某些冷卻是有效的，但這些 冷卻機制的組合僅僅產(chǎn)生比較小的冷卻效果。
典型地Fomblm油被用來潤滑真空泵的齒輪和軸承。如果馬達被集 成到泵齒輪箱中，或連接到泵齒輪箱上，并且分享用于潤滑馬達的軸承 的齒輪箱油，則存在有下列可能性這種油可能與馬達轉(zhuǎn)子接觸。如果 Fomblm油被加熱到超過28(TC的溫度，它就分解形成高腐蝕性的氟化 氬，因此，對馬達轉(zhuǎn)子的工作溫度典型地設定250。C的上限。與當在大 氣壓力下工作時的大約7.5kW的額定功率相比，這可能將馬達的額定功 率減小到當在真空條件下工作時的大約2kW。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明優(yōu)選實施例的目的至少是提供當在低于大氣壓的壓力下工 作時對馬達的旋轉(zhuǎn)部件的冷卻的改善。
在第一方面，本發(fā)明提供一種馬達，所述馬達包括靜止部件和可相 對于靜止部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件，所述靜止部件包括殼體和設置在殼體內(nèi) 的馬達定子，而所述旋轉(zhuǎn)部件包括由軸承支撐的軸和位于所述軸上用以 相對于馬達定子旋轉(zhuǎn)的馬達轉(zhuǎn)子；和用于供給潤滑劑用以潤滑軸承的潤 滑劑供給系統(tǒng)；其特征是，其中一個靜止部件與其中一個旋轉(zhuǎn)部件一起 限定環(huán)形槽(或環(huán)形通道)，所述環(huán)形槽用于接納來自潤滑劑供給系統(tǒng) 的潤滑劑，以形成馬達的靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間的導熱路徑(或通
6道)。
通過在環(huán)形槽內(nèi)潤滑劑的存在而這樣形成在馬達的旋轉(zhuǎn)部件和靜 止部件之間的導熱路徑能改善馬達的較熱的旋轉(zhuǎn)部件和較冷的馬達靜 止部件之間的熱傳遞。當馬達轉(zhuǎn)子在低于大氣壓的壓力下工作時(即， 當殼體內(nèi)的環(huán)境處于低于大氣壓的壓力下時)，這個導熱路徑能極大地 降低馬達轉(zhuǎn)子的溫度，并且當馬達在大氣壓力下工作時，還可能有助于
的改善冷卻，可以^吏當在^氐于大氣壓的壓力下工作時的馬達的額定功率 與當在大氣壓力下工作時的馬達的額定功率近似相同。此外，馬達旋轉(zhuǎn) 部件的溫度降低能減小穿過或橫過軸承的溫度梯度，所述軸承用來支撐 相對于馬達的靜止部件旋轉(zhuǎn)的軸。
在第一實施例中，環(huán)形槽由殼體和軸限定，環(huán)形槽圍繞所述軸延伸 并且與所述軸同心?？梢栽O置兩個這種環(huán)形槽，馬達轉(zhuǎn)子位于這兩個槽 之間。這些槽中的每一個都可以位于用來支撐用以相對于殼體旋轉(zhuǎn)的軸 的相應軸承的外面，即，每個軸承都位于馬達轉(zhuǎn)子和相應的環(huán)形槽之間。 作為選擇，每個環(huán)形槽都可以軸向上位于馬達轉(zhuǎn)子和相應的軸承之間。 較靠近馬達轉(zhuǎn)子的槽的位置能提高建立在殼體和軸之間的導熱路徑的 冷卻效果。
潤滑劑供給系統(tǒng)可以構形成將潤滑劑直接供給到所述環(huán)形槽或每 個環(huán)形槽，隨著軸的旋轉(zhuǎn)，潤滑劑被從環(huán)形槽傳送到軸承中。已經(jīng)通過 軸承的潤滑劑可以返回到泵齒輪箱，所述泵齒輪箱可以提供用于潤滑劑 供給系統(tǒng)的潤滑劑源。可以設置用于將潤滑劑從殼體排出的裝置以控制 殼體內(nèi)潤滑劑的量，排出的潤滑劑也返回到齒輪箱。
在第二實施例中，環(huán)形槽由馬達定子和馬達轉(zhuǎn)子限定。潤滑劑供給 系統(tǒng)可以布置成向殼體中供給潤滑劑以部分地浸沒馬達轉(zhuǎn)子，且由此由 馬達轉(zhuǎn)子和馬達定子之間的環(huán)形空氣間隙形成填充潤滑劑的槽。在這個 實施例中，潤滑劑供給系統(tǒng)可以布置成將潤滑劑直接供給到殼體中以填 充環(huán)形槽，因為這可有利于潤滑劑供給系統(tǒng)的構形?？梢栽O置用于控制 容放在殼體內(nèi)的潤滑劑的量的裝置。例如，排出管的入口可以徑向地位 于環(huán)形槽和軸之間以將潤滑劑從殼體排出，排出管入口相對于殼體的位 置決定了馬達轉(zhuǎn)子被潤滑劑浸沒的最大深度。
在該第二實施例中，軸的旋轉(zhuǎn)使得被部分浸沒的馬達轉(zhuǎn)子將潤滑劑的液滴拋向殼體的壁。用于在馬達轉(zhuǎn)子附近支撐軸的軸承的定位能使軸 承被這些潤滑劑的液滴潤滑，由此避免了提供兩個單獨的用于潤滑軸承 的潤滑劑供給系統(tǒng)的需求。因而，在第二方面，本發(fā)明提供了一種馬達， 所述馬達包括殼體、設置在殼體內(nèi)的馬達定子、穿過所述殼體的軸、支 撐相對于殼體旋轉(zhuǎn)的軸的軸承、位于所述軸上用以相對于馬達定子旋轉(zhuǎn) 的馬達轉(zhuǎn)子、和用于將潤滑劑供給到殼體的潤滑劑供給系統(tǒng)，所述軸承 被定位成接納隨著軸的旋轉(zhuǎn)被馬達轉(zhuǎn)子拋出的潤滑劑。
在第 一 實施例的變型中，馬達定子和馬達轉(zhuǎn)子限定有另外的環(huán)形 槽。在這個變型中，第一實施例的排出裝置的入口朝著軸徑向地移動， 且如此所述入口可以位于與第二實施例的排出管的入口相似的位置，即 徑向上位于另外的環(huán)形槽和軸之間。結果，能允許一定量的潤滑劑形成 在殼體內(nèi)以便部分地浸沒所述馬達轉(zhuǎn)子，并由此由馬達轉(zhuǎn)子和馬達定子 之間的環(huán)形空氣間隙形成充填潤滑劑的槽。所述入口相對于殼體的位置 決定了馬達轉(zhuǎn)子被潤滑劑浸沒的最大深度。這能進一 步提高馬達轉(zhuǎn)子的 冷卻。
在第三方面，本發(fā)明提供一種真空泵，所述真空泵包括如前所述的
在第四方面，本發(fā)明提供一種在馬達的使用過程中從位于低于大氣 壓的壓力環(huán)境內(nèi)的馬達轉(zhuǎn)子移除熱量的方法，所述馬達包括靜止部件和 可相對于靜止部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件，所述靜止部件包括殼體和設置在殼 體內(nèi)的馬達定子，而所述旋轉(zhuǎn)部件包括由軸承支撐的軸和位于軸上用以 相對于馬達定子旋轉(zhuǎn)的馬達轉(zhuǎn)子，所述方法包括向殼體供給潤滑劑，用 于潤滑軸承和用以充填被限定在其中 一個靜止部件和其中 一個旋轉(zhuǎn)部
件之間的環(huán)形槽，以在馬達的靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間形成導熱路徑； 和冷卻其中 一 個靜止部件以將已經(jīng)經(jīng)過所述路徑傳導的熱量從馬達移除。
與本發(fā)明第一方面有關的上述的特征可同等地應用于本發(fā)明的第 四方面，反之亦然。


現(xiàn)在將參考附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選特征，其中 圖1是馬達的第一實施例的示意性橫截面圖；和例的示意性橫截面圖。
具體實施例方式
首先參考圖1,用于真空泵的馬達10包括靜止部件和可相對于靜止 部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件。所述靜止部件包括殼體12和位于殼體12內(nèi)的馬 達定子14,馬達定子14具有被封裝在樹脂18中的端部繞組16。用于 圍繞馬達定子14傳送冷卻液流例如水的管20設置成與殼體12熱接觸。 如圖1中所示，管20可以穿過殼體12,或作為選擇可以環(huán)繞殼體12的 外側延伸。殼體12優(yōu)選地由具有較高熱導率的材料制成，優(yōu)選地由金 屬材^H列如鋁制成。
所述旋轉(zhuǎn)部件包括被馬達定子14沿圓周或周向上包圍的馬達轉(zhuǎn)子 22和軸24，馬達轉(zhuǎn)子22安裝在所述軸24上。軸24由軸承26、 28支 撐用以相對于殼體12旋轉(zhuǎn)，從而驅(qū)動真空泵的葉輪。馬達轉(zhuǎn)子22可以 包括多個徑向翼片29用于隨著軸24的旋轉(zhuǎn)在殼體12內(nèi)產(chǎn)生氣流，以 使得在空氣存在于殼體12內(nèi)的情況下，通過對流將熱量從徑向翼片29 抽出或引出，所述對流是由于在殼體12內(nèi)循環(huán)的空氣的強制流動所引 起的。
潤滑劑供給系統(tǒng)30設置成用于供給潤滑劑，例如烴油或Fomblin 油，以潤滑軸承26、 28。在這個實施例中，潤滑劑供給系統(tǒng)30包括在 馬達10的殼體12中加工出的潤滑劑供給管(或管道)或?qū)Ч?2、 34， 每個潤滑劑供給管或?qū)Ч芏加糜趯櫥瑒恼婵毡玫凝X輪箱或從專用 的潤滑劑容器傳送到相應的軸承26、 28。
潤滑劑通過每個供給管32、 34供給到由殼體12和軸24確定的相 應的環(huán)形槽或環(huán)形通道36、 38中。每個槽36、 38都繞著軸24同心;也 延伸，并且在這個實施例中軸向地位于馬達轉(zhuǎn)子22和相應的軸承26、 28之間。潤滑劑充填環(huán)形槽36、 38并隨著軸24的旋轉(zhuǎn)沿著軸24通過， 進入到軸承26、 28中。參考圖1，已經(jīng)穿過軸承26的潤滑劑可以進入 由殼體12和軸24確定的并位于軸承26外面的另外的環(huán)形槽40，即軸 承26位于馬達轉(zhuǎn)子22和另外的環(huán)形槽40之間。如所圖示的，環(huán)形槽 36、 38、 40可以由軸24和殼體12的支承凸緣方^(更地確定出。
潤滑劑返回管或?qū)Ч?2、 44也在殼體12中加工出，用于使?jié)櫥瑒?返回到齒輪箱。返回管42布置成(或配置成)使?jié)櫥瑒难b放馬達定
9子14的室46返回，且返回管44布置成(或配置成)使?jié)櫥瑒v環(huán)形 槽38返回。在這個實施例中，返回管42的入口位于馬達定子14和馬 達轉(zhuǎn)子22之間的空氣間隙之下，以使得在泵的使用過程中，室46基本 上沒有潤滑劑。
優(yōu)選地將馬達10集成到真空抽吸系統(tǒng)中，且如此，在泵的使用過 程中，殼體12的室46暴露于低于大氣壓的壓力下。因此，通過在泵的 使用過程中在殼體12內(nèi)的空氣量的減少使因?qū)α鲝膹较蛞砥?9移除的 熱量可能一皮極大地削減。然而，位于軸24和殼體12之間的充填有潤滑 劑的環(huán)形槽36、 38、 40提供了導熱路徑，用于在殼體12內(nèi)的大氣壓力 和低于大氣壓的壓力下，通過傳導將熱量從馬達的旋轉(zhuǎn)部件傳遞到馬達 10的殼體12中。如圖1中的空心(或遮蔽)箭頭48所示，在馬達10 的使用過程中在馬達轉(zhuǎn)子22中產(chǎn)生的熱量通過傳導被傳遞到馬達10的 軸24上。熱量通過傳導沿著軸24通過，然后同樣通過傳導，經(jīng)過填充 有潤滑劑的環(huán)形槽36、 38、 40被傳遞到馬達10的殼體12上。接著所 述熱量通過傳導經(jīng)由殼體12的壁被傳遞給在管20內(nèi)流動的水。
當馬達10的殼體12暴露于低于大氣壓的壓力時，熱量從軸24到 馬達10的殼體12的傳導能使馬達轉(zhuǎn)子22的溫度被降低到從50至100 。C范圍內(nèi)的溫度，同時實現(xiàn)比較高的馬達額定功率，例如大于5kW,優(yōu) 選地大約7.5kW。此外，在泵的使用過程中，能將經(jīng)過軸承26、 28的 溫度梯度維持在可接受的程度，例如大約5(TC。
在圖2中圖示出用于真空泵的馬達60的笫二實施例。如第一實施 例中那樣，馬達60包括靜止部件和可相對于靜止部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件。 所述靜止部件包括殼體62和位于殼體62內(nèi)的馬達定子64，所述馬達定 子64具有被封裝在樹脂68中的端部繞組66。用于圍繞馬達定子64傳 送冷卻液流例如水的管70設置成與殼體62熱接觸。如圖2中所圖示的， 管70可以穿過殼體62,或管70可以環(huán)繞殼體62的外側延伸。殼體62 優(yōu)選地由具有比較高熱導率的材料制成，優(yōu)選地由金屬材料例如鋁制 成。
旋轉(zhuǎn)部件包括被馬達定子64沿圓周或周向上圍繞的馬達轉(zhuǎn)子72和 軸74,馬達轉(zhuǎn)子72安裝在所述軸74上。軸24由開式軸承76、 78支撐 用以相對于殼體62旋轉(zhuǎn)，從而驅(qū)動真空泵的葉輪。如圖2中所圖示的， 在這個實施例中，每個軸承76、 78的位置均與殼體62的相應內(nèi)壁80、
1082相鄰，優(yōu)選地與殼體62的相應內(nèi)壁80、 82齊平。馬達轉(zhuǎn)子72可以 包括多個徑向翼片84用于隨著軸74的旋轉(zhuǎn)在殼體62內(nèi)產(chǎn)生氣流，以 使得在空氣存在于殼體62內(nèi)的情況下，通過對流將熱量從徑向翼片84 抽出或引出，所述對流是由于在殼體62內(nèi)循環(huán)的空氣的強制流動所引 起的。
潤滑劑供給系統(tǒng)90設置成用于供給潤滑劑，例如Fomblin油，用以 潤滑軸承76、 78。在這個實施例中，潤滑劑供給系統(tǒng)90包括潤滑劑供 給管(或管道)或?qū)Ч?2,所述管或?qū)Ч苎由斓綒んw62中用于將潤滑 劑從真空泵的齒輪箱或從專用潤滑劑容器直接傳送到殼體62的室94 中。潤滑劑返回管或排出管96從殼體62的室94延伸出以使?jié)櫥瑒┓?回到齒輪箱。在這個實施例中，所述排出管96的入口 98徑向地位于軸 74和環(huán)形空氣間隙100之間，所述環(huán)形空氣間隙IOO被限定在馬達定子 64和馬達轉(zhuǎn)子72之間，以使得在泵的使用過程中，馬達轉(zhuǎn)子72部分地 浸沒在位于室94內(nèi)的潤滑劑的池(或坑)102中，并使得空氣間隙100 填充有潤滑劑。
優(yōu)選地將馬達60集成到真空抽吸系統(tǒng)中，且如此，在泵的使用過 程中，殼體62的室94暴露于低于大氣壓的壓力下。因此，通過在泵的 使用過程中在殼體62內(nèi)的空氣量的減少因?qū)α鲝膹较蛞砥?4移除的熱 量可能被極大地削減。然而，位于馬達定子64和馬達轉(zhuǎn)子72之間的充 填有潤滑劑的環(huán)形空氣間隙IOO提供了導熱路徑，用于在殼體62內(nèi)的 大氣壓力和低于大氣壓的壓力下，通過傳導將熱量從馬達的旋轉(zhuǎn)部件傳 遞到馬達60的殼體62上。如圖2中的空心(或遮蔽)箭頭110所示， 在馬達60的使用過程中在馬達轉(zhuǎn)子72中產(chǎn)生的熱量通過傳導經(jīng)過充填 有潤滑劑的空氣間隙100被傳遞到馬達定子64,然后同樣通過傳導，被 傳遞到馬達60的殼體62上。然后所述熱量通過傳導經(jīng)由殼體62的壁 #皮傳遞給在管70內(nèi)流動的水。
如第一實施例中那樣，當馬達60的殼體62暴露于低于大氣壓的壓 力時，熱量從馬達轉(zhuǎn)子72到馬達定子64的傳導能使馬達轉(zhuǎn)子72的溫 度降低到從50至IO(TC范圍內(nèi)的溫度，同時實現(xiàn)比較高的馬達額定功 率，例如大于5kW,優(yōu)選地大約7.5kW。此外，在泵的使用過程中，能 將經(jīng)過軸承76、 78的溫度梯度維持在可接受的程度，例如大約50。C。
另外，隨著馬達轉(zhuǎn)子72在殼體62內(nèi)的旋轉(zhuǎn)，存在于殼體62內(nèi)的潤滑劑被從馬達轉(zhuǎn)子72向外拋。軸承76、 78定位成接納隨著軸74的 旋轉(zhuǎn)被馬達轉(zhuǎn)子72拋出的潤滑劑，從而使軸承76、 78能被從馬達轉(zhuǎn)子 72拋出的潤滑劑潤滑。與第一實施例的潤滑劑供給系統(tǒng)30相比，這個 方案能使?jié)櫥瑒┕┙o系統(tǒng)90得到簡化；與第一實施例中需要兩個潤滑 劑供給管32、 34將潤滑劑供給到每個軸承26、 28相反，需要單個潤滑 劑供給管92將潤滑劑直接供給到殼體62中。另外，用第二實施例的簡 化的返回管96代替第一實施例的潤滑劑返回管44和42,對于潤滑劑供 給管92的機械加工可以比對于兩個潤滑劑供給管32、 34的機械加工要 簡單得多。此外，由于在殼體62中所含的潤滑劑的量由排出管96的入 口98的位置決定，所以可以不用調(diào)節(jié)潤滑劑向殼體62的供給。比較起 來，在第一實施例中可能需要對潤滑劑向環(huán)形槽36、 38的供給速度進 行某些控制。
在第一實施例的變型中，潤滑劑返回管42的入口可以定位于與第 二實施例的排出管96的入口 98相似的位置，即徑向上位于軸24和環(huán) 形空氣間隙之間，所述環(huán)形空氣間隙-波限定在馬達定子14和馬達轉(zhuǎn)子 22之間。結果，在泵的使用過程中，馬達轉(zhuǎn)子22部分地浸沒在位于室 46內(nèi)的潤滑劑的池(或坑)中，且使得空氣間隙充填有潤滑劑。在殼體 內(nèi)的大氣壓力和低于大氣壓的壓力下，位于馬達定子14和馬達轉(zhuǎn)子22 之間的充填有潤滑劑的環(huán)形空氣間隙提供了額外的導熱路徑，用以通過 傳導將熱量從馬達的旋轉(zhuǎn)部件傳遞到馬達的殼體上。
權利要求
1. 一種馬達，所述馬達包括靜止部件和可相對于所述靜止部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件，所述靜止部件包括殼體和設置在所述殼體內(nèi)的馬達定子，而所述旋轉(zhuǎn)部件包括由軸承支撐的軸和位于所述軸上用以相對于所述馬達定子旋轉(zhuǎn)的馬達轉(zhuǎn)子；和用于供給潤滑劑用以潤滑所述軸承的潤滑劑供給系統(tǒng)；其特征在于，其中一個所述靜止部件與其中一個所述旋轉(zhuǎn)部件一起確定環(huán)形槽，所述環(huán)形槽用于接納來自所述潤滑劑供給系統(tǒng)的潤滑劑以形成所述馬達的所述靜止部件和所述旋轉(zhuǎn)部件之間的導熱路徑。
2. 如權利要求l所述的馬達，其特征在于，所述環(huán)形槽由所述馬達 定子和所述馬達轉(zhuǎn)子限定。
3. 如權利要求2所述的馬達，其特征在于，所述潤滑劑供給系統(tǒng)布 置成將潤滑劑供給到所述殼體中以部分地浸沒所述馬達轉(zhuǎn)子。
4. 如權利要求2或3所述的馬達，其特征在于，所述潤滑劑供給系 統(tǒng)布置成將潤滑劑直接供給到所述殼體中。
5. 如權利要求3或4所述的馬達，其特征在于，其包括用于控制容 放在所述殼體內(nèi)的潤滑劑的量的裝置。
6. 如權利要求5所述的馬達，其特征在于，用于控制容放在所述殼 體內(nèi)的潤滑劑的量的所述裝置包括排出管，所述排出管的入口徑向地位 于所述環(huán)形槽和所述軸之間以將潤滑劑從所述殼體排出。
7. 如權利要求3至6中任一項所述的馬達，其特征在于，所述軸承 定位成接納隨著所述軸的旋轉(zhuǎn)被所述馬達轉(zhuǎn)子拋出的潤滑劑。
8. 如權利要求1所述的馬達，其特征在于，所述環(huán)形槽由所述殼體 和所述軸限定。
9. 如權利要求8所述的馬達，其特征在于，所述馬達轉(zhuǎn)子位于兩個 所述環(huán)形槽之間。
10. 如權利要求8所述的馬達，其特征在于，每個環(huán)形槽都軸向地 位于所述馬達轉(zhuǎn)子和相應的軸承之間。
11. 如權利要求8至10中任一項所述的馬達，其特征在于，所述潤 滑劑供給系統(tǒng)構形成將潤滑劑直接供給到所述環(huán)形槽或每個環(huán)形槽。
12. 如權利要求8至11中任一項所述的馬達，其特征在于，所述馬 達轉(zhuǎn)子和所述馬達定子限定有另外的環(huán)形槽。
13. 如權利要求12所述的馬達，其特征在于，所述另外的環(huán)形槽布 置成接納由所述潤滑劑供給系統(tǒng)供給的潤滑劑。
14. 如權利要求8至13中任一項所述的馬達，其特征在于，其包括 用于從所述殼體排出潤滑劑的裝置。
15. 當從屬于權利要求12時如權利要求14所述的馬達，其特征在 于，用于從所述殼體排出潤滑劑的所述裝置的入口徑向地位于所述另外 的環(huán)形槽和所述軸之間。
16. 如前述權利要求中任一項所述的馬達，其特征在于，其包括用 于冷卻所述殼體的裝置。
17. 如權利要求16所述的馬達，其特征在于，所述冷卻裝置包括用 于圍繞所述馬達定子傳送冷卻劑的裝置。
18. —種真空泵，所述真空泵包括如前述權利要求中任一項所述的 馬達。
19. 如權利要求18所述的真空泵，其特征在于，在所述泵的使用過 程中在所述殼體內(nèi)產(chǎn)生低于大氣壓的壓力。
20. 如權利要求18或19所述的真空泵，其特征在于，其包括齒輪 箱，且其中所述潤滑劑供給系統(tǒng)構形成從所述齒輪箱向所述馬達供給潤 滑劑。
21. —種在馬達的使用過程中從位于低于大氣壓的壓力環(huán)境內(nèi)的馬 達轉(zhuǎn)子移除熱量的方法，所述馬達包括靜止部件和可相對于所述靜止部 件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件，所述靜止部件包括殼體和設置在所述殼體內(nèi)的馬達 定子，而所述旋轉(zhuǎn)部件包括由軸承支撐的軸和位于所述軸上以相對于所 述馬達定子旋轉(zhuǎn)的馬達轉(zhuǎn)子，所述方法包括向所述殼體供給潤滑劑，用 于潤滑所述軸承和用于填充被限定在其中一個所述靜止部件和其中一 個所述旋轉(zhuǎn)部件之間的環(huán)形槽，以形成所述馬達的所述靜止部件和所述 旋轉(zhuǎn)部件之間的導熱路徑；并冷卻其中一個所述靜止部件以將經(jīng)過所述 路徑已經(jīng)傳導的熱量從所述馬達移除。
22. 如權利要求21所述的方法，其特征在于，將所述潤滑劑供給到 所述殼體以填充由所述馬達定子和所述馬達轉(zhuǎn)子限定的環(huán)形槽。
23. 如權利要求22所述的方法，其特征在于，將所述潤滑劑供給到 所述殼體中以部分地浸沒所述馬達轉(zhuǎn)子。
24. 如權利要求22或23所述的方法，其特征在于，將所述潤滑劑直接供給到所述殼體中。
25. 如權利要求23或24所述的方法，其特征在于，控制容放在所述殼體內(nèi)的潤滑劑的量。
26. 如權利要求25所述的方法，其特征在于，通過排出管將潤滑劑 從所述殼體排出，所述排出管的入口徑向地位于所述環(huán)形槽和所述軸之間。
27. 如權利要求23至26中任一項所述的方法，其特征在于，將所 述軸承定位成接納隨著所述軸的旋轉(zhuǎn)被所述馬達轉(zhuǎn)子拋出的潤滑劑。
28. 如權利要求21所述的方法，其特征在于，將所述潤滑劑供給到 所述殼體中以充填由所述殼體和所述軸限定的環(huán)形槽。
29. 如權利要求28所述的方法，其特征在于，將所述潤滑劑供給到 所述殼體中以充填兩個所述環(huán)形槽，所述馬達轉(zhuǎn)子位于所述環(huán)形槽之 間。
30. 如權利要求29所述的方法，其特征在于，使每個環(huán)形槽都軸向 地位于所述馬達轉(zhuǎn)子和相應的軸承之間。
31. 如權利要求28至30中任一項所述的方法，其特征在于，將所 述潤滑劑直接供給到所述環(huán)形槽中。
32. 如權利要求28至31中任一項所述的方法，其特征在于，將所 述潤滑劑供給到所述殼體以充填由所述馬達定子和所述馬達轉(zhuǎn)子限定 的另外的環(huán)形槽。
33. 如權利要求32所述的方法，其特征在于，通過排出管將潤滑劑 從所述殼體排出，所述排出管的入口徑向地位于所述另外的環(huán)形槽和所 述軸之間。
34. 如權利要求21至33中任一項所述的方法，其特征在于，冷卻 所述殼體。
35. 如權利要求34所述的方法，其特征在于，通過圍繞所述馬達定 子傳送的冷卻劑冷卻所述殼體。
全文摘要
本發(fā)明提出一種馬達，它包括靜止部件和可相對于靜止部件旋轉(zhuǎn)的旋轉(zhuǎn)部件，靜止部件包括殼體和設置在殼體內(nèi)的馬達定子，而旋轉(zhuǎn)部件包括由軸承支撐的軸和位于軸上以相對于馬達定子旋轉(zhuǎn)的馬達轉(zhuǎn)子。潤滑劑供給系統(tǒng)供給潤滑劑以潤滑軸承。其中一個靜止部件與其中一個旋轉(zhuǎn)部件一起限定環(huán)形槽，環(huán)形槽用于接納來自潤滑劑供給系統(tǒng)的潤滑劑以形成馬達的靜止部件和旋轉(zhuǎn)部件之間的導熱路徑。在一個實施例中，環(huán)形槽由軸和殼體限定。在另一個實施例中，環(huán)形槽由馬達定子和馬達轉(zhuǎn)子限定。
文檔編號H02K9/19GK101490932SQ200780026487
公開日2009年7月22日 申請日期2007年7月3日 優(yōu)先權日2006年7月10日
發(fā)明者A·J·維爾德, L·M·菲利普 申請人:愛德華茲有限公司