專利名稱：線性運動驅(qū)動器及線性運動驅(qū)動器單元的制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及線性運動驅(qū)動器及線性運動驅(qū)動器單元的制造方法。
背景技術(shù)：
以往，使可動件相對于定子往復動作的線性運動驅(qū)動器應用于壓縮機等各種用途。而且，現(xiàn)今鑒于環(huán)境問題，在汽車行業(yè)中，燃燒消耗率改良正在發(fā)展。作為燃燒消耗率改良對策，從車輛的輕量化、怠速運轉(zhuǎn)的低旋轉(zhuǎn)化、鎖止(lock up)區(qū)域的擴大、可變排量發(fā)動機(Variable Displacement Engine)、清潔柴油發(fā)動機(Clean Diesel engine)、稀薄燃燒等各個方面進行了開發(fā)。而且，這些對策均會使車體振動增大也是眾所周知的，為了避免該振動增大，研究了一種利用線性運動驅(qū)動器驅(qū)動重錘，利用其反作用力相對于車體的振動付與反相位的振動來抑制車體振動的主動質(zhì)量阻尼器(active mass damper)、即減振裝置(例如參照專利文獻1)。由于主動質(zhì)量阻尼器用驅(qū)動器大多主要配置在發(fā)動機室內(nèi)，因此，被要求在嚴苛的溫度條件等惡劣環(huán)境下可靠性極高，并且需要小型輕量的驅(qū)動
另一方面，在該線性運動驅(qū)動器中，為了在長時間運轉(zhuǎn)過程中也能夠以較高的精度保持定子和可動件的相對位置，也公開了借助板簧支承的技術(shù)等、用于提高性能的各種技術(shù)(例如參照專利文獻2)。專利文獻1 日本特開2006-162024號公報專利文獻2 日本特開2004-343964號公報

發(fā)明內(nèi)容
發(fā)明要解決的問題但是，在上述專利文獻1所述的、在殼體內(nèi)收容有線性運動驅(qū)動器的減振裝置的情況下，由線圈產(chǎn)生的熱量被汲出的情況下的放出路徑的大部分采取自線圈經(jīng)由繞線管、 定子芯傳導到軸、然后經(jīng)由固定有軸的殼體的規(guī)定部位向車體側(cè)傳導這樣的放出路徑。艮口， 由線圈產(chǎn)生的熱量基本上僅是在線性運動驅(qū)動器自身中傳導的路徑中導熱，易于蓄熱。結(jié)果，該減振裝置所采用的線性運動驅(qū)動器自然相對于殼體的熱阻升高，由于這樣的不良，實際上總是在線圈的溫度上升的狀態(tài)下使用，因此，相對于電動機規(guī)格，能力、即額定推力較低。換言之，為了得到所需的推力，必須采用具有更大的額定推力的部件，無法避免裝置的大型化。另外，像上述專利文獻2那樣，這種減振裝置為了較佳地維持可動件相對于定子的支承精度來提高可靠性，一般考慮設(shè)置通過彈性變形而使定子以可動件能夠往復動作的方式支承可動件的板簧，但在這種情況下，需要用于長時間地確保穩(wěn)定的性能和長壽命化的微振磨損對策。在此，微振磨損是指在某一表面壓力下接觸的物體之間產(chǎn)生伴隨著摩擦力的微小的反復相對滑動的現(xiàn)象，伴隨著微振磨損的部位、詳細地講是板簧的安裝部位及其附近的材料的疲勞現(xiàn)象被稱作微振磨損疲勞。為了擴大運動行程范圍和確保徑向剛性， 有時重疊多枚薄板狀的板簧來使用，一直以來在該板簧的重疊部分夾入比板簧柔軟的例如銅板的隔離件或者涂敷微振磨損防止用潤滑脂來進行上述微振磨損對策，但存在潤滑脂蒸發(fā)的不良、因夾入銅板的隔離件而使構(gòu)造復雜化的難點，不能說是很好的對策。此外，如上所述，減振裝置也必須考慮到由于主要放置在發(fā)動機室內(nèi)而溫度條件嚴苛的狀況，特別要求應對上述不良的對策。本發(fā)明是著眼于上述不良而完成的，其目的在于新提供也能夠應用于減振裝置、 勵振裝置等的、通過改良散熱特性能夠有效地實現(xiàn)小型輕量化等的線性運動驅(qū)動器以及將其單元化的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法。用于解決問題的方案本發(fā)明為了達到該目的，采取如下的手段。即，本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器的特征在于，包括線性運動驅(qū)動器主體，其具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件；殼體，其在固定了上述線性運動驅(qū)動器主體的一部分的狀態(tài)下大致包圍該線性運動驅(qū)動器主體的周圍；液狀體，其以浸漬上述線性運動驅(qū)動器主體所具有的線圈的狀態(tài)填充到上述殼體的內(nèi)部空間中，該液狀體具有絕緣性和潤滑性。采用該裝置，由線圈產(chǎn)生的熱量被迅速地放出到液狀體中，直接傳導到殼體。具體地講，由于液狀體不言而喻也能到達線圈的間隙中，因此，能夠非常高效地排出熱量，從而能夠使驅(qū)動器主體和殼體之間的熱阻相比于以往大幅度降低。而且，同時通過可動件運動而不斷地攪拌液狀體，因此，能夠得到良好的導熱，并且，傳導到液狀體的熱量不僅能夠從殼體和車體的接觸部位放出到殼體外，也能夠從其他的外表面放出到殼體外。這樣，由于能夠有效地抑制由線圈發(fā)熱引起的溫度上升，因此熱時間常數(shù)也變長，大幅度地改善了由線圈發(fā)熱引起的線性運動驅(qū)動器自身的額定推力、瞬間最大推力的降低。結(jié)果，即使將線性運動驅(qū)動器主體小型化，也能夠得到所需的額定推力、瞬間最大推力，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)作為應用對象的減振裝置、勵振裝置等裝置其自身的小型輕量化。不言而喻，該線性運動驅(qū)動器的用途并不限定于減振裝置、勵振裝置。而且，作為使用該線性運動驅(qū)動器有效地抑制減振對象物的振動的具體形態(tài)，能夠列舉出將上述定子的一部分固定在上述殼體上，將該殼體的一部分固定在減振對象物上，將上述可動件動作時的反作用力通過上述定子和上述殼體傳遞到上述減振對象物。另外，為了簡單且適當?shù)鼐S持可動件相對于定子的支承精度來提高可靠性，優(yōu)選的是，上述定子還具有通過彈性變形以使上述可動件能夠往復動作的方式支承該可動件的板簧、滑動軸承等可動支承部，上述液狀體以浸漬上述可動支承部的狀態(tài)填充到上述內(nèi)部空間中。即，該構(gòu)造自然而然能夠?qū)崿F(xiàn)作為以車載為目的的減振裝置采用可動支承部的情況下的上述微振磨損對策。即，由于可動支承部的安裝部位及其附近如上所述地由液狀體填滿，因此，既能夠避免潤滑脂蒸發(fā)這樣的不良，也能夠避免夾入銅板的隔離件這樣的構(gòu)造復雜化，有效地避免上述摩擦、即微振磨損。此外，在本申請中，能夠通過向空間中加入粘性比空氣大的液狀體來對可動支承部付與減震，由于可動支承部的變動穩(wěn)定，因此能夠非常順暢地運轉(zhuǎn)，也能夠有助于降低噪音。而且，為了實現(xiàn)殼體的薄壁化并進一步提高上述散熱特性，優(yōu)選的是上述液狀體填充到上述內(nèi)部空間的80% 95%。即，通過用液狀體填滿形成在殼體和線性運動驅(qū)動器主體之間的內(nèi)部空間的80% 95%的容積，以往全部是空氣的殼體內(nèi)部空間中的空氣容積大幅度地變小，因此，隨著溫度上升而產(chǎn)生的空氣的膨脹量、收縮量大幅度變少。結(jié)果，即使不將殼體做成完全密閉型的容器，空氣所含有的水分也會變少，隨之油等液狀體由于氧化引起的老化變少，液狀體的壽命變長?；蛘撸ㄟ^將殼體做成能夠呼吸的容器，能夠解決內(nèi)部壓力的問題。結(jié)果，殼體的薄壁化、片材的選擇項變多，能夠謀求成本降低。此外，與利用可動件的動作來攪拌液狀體的情況相結(jié)合，液狀體接觸于殼體的內(nèi)表面的大致全部區(qū)域，因此，能夠自殼體表面的大致全部區(qū)域放出熱量。該線性運動驅(qū)動器將線性運動驅(qū)動器主體以其一部分固定在殼體上且周圍被該殼體包圍的狀態(tài)收容在該殼體內(nèi)，在將線性運動驅(qū)動器主體收容在該殼體內(nèi)之前或者收納在該殼體內(nèi)之后，向該殼體內(nèi)以浸漬該線性運動驅(qū)動器主體的線圈的狀態(tài)填充具有絕緣性和潤滑性的液狀體，在填充結(jié)束之前或者填充結(jié)束之后，對該液狀體實施用于避免在該液狀體與上述線性運動驅(qū)動器主體之間形成氣泡的氣泡除去上述線性運動驅(qū)動器主體具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件，上述做法在得到特別良好的散熱特性的方面非常有效，。另一方面，本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法為了將該線性運動驅(qū)動器單元化而較佳地提供，新提供一種線性運動驅(qū)動器單元，該線性運動驅(qū)動器單元包括線性運動驅(qū)動器主體，其具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件；殼體，其在固定了上述線性運動驅(qū)動器主體的一部分的狀態(tài)下大致包圍該線性運動驅(qū)動器主體的周圍；液狀體，其以浸漬上述線性運動驅(qū)動器主體所具有的線圈的狀態(tài)填充到上述殼體的內(nèi)部空間中，該液狀體具有絕緣性和潤滑性。而且，為了較佳地提供該線性運動驅(qū)動器，本發(fā)明的制造方法的特征在于，包括收容工序，將上述線性運動驅(qū)動器主體收容在上述殼體內(nèi)；填充工序，向收容有上述線性運動驅(qū)動器主體的上述殼體內(nèi)填充上述液狀體；氣泡除去工序，用于避免在上述線性運動驅(qū)動器主體和上述液狀體之間形成氣泡。S卩，在上述線性運動驅(qū)動器所具有的構(gòu)造中，在線性運動驅(qū)動器上附著氣泡時，在氣泡附著的部位，熱量無法放出而導致局部溫度上升，結(jié)果，導致無法改善線性運動驅(qū)動器自身的額定推力、瞬間最大推力降低這樣的不良。相對于此，本發(fā)明的制造方法在制造工序中采用避免在線性運動驅(qū)動器主體和上述液狀體之間形成氣泡的氣泡除去工序，因此，能夠一并解決眼睛無法看到的液狀體的填充不良，真正有效地具有期望的效果。不言而喻， 該線性運動驅(qū)動器單元的制造方法并不限定于減振裝置、勵振裝置所采用的線性運動驅(qū)動器。
特別是，為了簡單且適當?shù)鼐S持可動件相對于定子的支承精度來提高可靠性，線性運動驅(qū)動器單元在上述定子還具有通過彈性變形以使上述可動件能夠往復動作的方式支承該可動件的板簧、滑動軸承等可動支承部的情況下，優(yōu)選的是將上述液狀體以浸漬上述可動支承部的狀態(tài)填充到上述內(nèi)部空間中作為條件。即，在該構(gòu)造的線性運動驅(qū)動器單元中，由于可動支承部的安裝部位及其附近如上所述地被液狀體填滿，因此，既能夠避免潤滑脂蒸發(fā)這樣的不良，也能夠避免夾入銅板的隔離件這樣的構(gòu)造復雜化，能夠有效地避免上述摩擦、即微振磨損。此外，在本申請中，能夠通過向空間中加入粘性比空氣大的液狀體CN 來對可動支承部付與減震，由于可動支承部的變動穩(wěn)定，因此能夠非常順暢地運轉(zhuǎn)，也能夠有助于降低噪音。但是，在線性運動驅(qū)動器單元采用該構(gòu)造的情況下，一旦在可動支承部附著氣泡，則在運轉(zhuǎn)過程中也因表面張力等而繼續(xù)附著，氣泡所附著的部位無法享有上述效果，局部發(fā)生磨損或者摩擦熱集中，仍然無法達到期望的目的。相對于此，本發(fā)明利用氣泡除去工序積極地除去形成在可動支承部和上述液狀體之間的氣泡，由于可動支承部的周圍被液狀體密實地填滿，因此，能夠準確地防止發(fā)生如下液狀體的填充不良氣泡附著在利用運轉(zhuǎn)無法除去的部位。在本發(fā)明的氣泡除去工序中包含能夠在制造線性運動驅(qū)動器單元的階段中除去液狀體中的氣泡的所有工序，但作為其具體的形態(tài)，一般考慮以下內(nèi)容。首先，能夠列舉使氣泡除去工序具有在直到完成上述填充工序為止的階段中除去上述氣泡的填充時脫氣工序的形態(tài)。具體地講，該填充時脫氣工序包含填充前的脫氣工序和填充中的脫氣工序這兩個概念，首先能夠列舉出預先將填充到上述殼體內(nèi)之前的上述液狀體脫氣的移送階段脫氣工序。采用該形態(tài)，通過預先除去溶解在液狀體中的空氣，能夠有效地避免在經(jīng)過之后的填充工序以后的各工序完成線性運動驅(qū)動器單元的過程中或者完成之后由后續(xù)地溶解的空氣重新產(chǎn)生氣泡。在該移送階段脫氣工序中包含這樣的形態(tài)等， 即，預先使在填充工序中噴出液狀體的噴出口接觸于殼體的內(nèi)壁，沿著內(nèi)壁注入液狀體地填充，從而預先除去產(chǎn)生氣泡的機會。另一方面，作為事后除去已經(jīng)附著在線性運動驅(qū)動器主體上的氣泡的形態(tài)，優(yōu)選的是，氣泡除去工序具有填充后脫氣工序，在該填充后脫氣工序中，使形成在經(jīng)過上述填充工序填充的上述液狀體和上述線性運動驅(qū)動器主體之間的上述氣泡自上述線性運動驅(qū)動器主體脫離。具體地講，在填充工序使上述殼體的內(nèi)部空間成為由上述液狀體大致填滿的液密狀態(tài)的情況下，首先能夠列舉出填充后脫氣工序是在上述殼體內(nèi)將液密狀態(tài)的上述液狀體脫氣的殼體內(nèi)脫氣工序的形態(tài)。采用該形態(tài)，不僅能除去附著在線性運動驅(qū)動器主體上的氣泡，也能除去溶解在液狀體中的空氣，因此，也能夠有效地避免在本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器單元完成之后殘留氣泡、重新產(chǎn)生氣泡。另外，作為在填充工序之后除去氣泡的形態(tài)，能夠列舉出通過使線性運動驅(qū)動器主體的可動件動作而使在填充工序時形成的氣泡自線性運動驅(qū)動器主體脫離的動作工序、通過使殼體一起搖動而使氣泡自線性運動驅(qū)動器主體脫離的搖動工序。這種情況下的“搖動”并不限定于通過僅使殼體搖動或者傾斜等來搖動的方式，是也包含例如利用振動源等積極地使殼體運動的方式的概念。這種情況下的振動源也可以是收容在殼體內(nèi)的線性運動驅(qū)動器主體。而且，本發(fā)明的氣泡除去工序并未否定選擇上述各工序中的任一個來進行，但通過包含這些工序中的多個或者全部工序，能夠利用協(xié)作的效果以較高的精度可靠地除去氣泡和防止重新產(chǎn)生氣泡于未然。發(fā)明的效果采用本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器，由線圈產(chǎn)生的熱量被迅速地放出到液狀體中，被可動件攪拌而高效地傳導到殼體，因此，能夠使驅(qū)動器主體和殼體之間的熱阻相比于以往大幅度降低。另外，傳導到液狀體的熱量不僅能夠從殼體和車體的接觸部位放出到殼體外， 也能夠從其他的外表面放出到殼體外。通過這樣設(shè)置，能夠有效地抑制由線圈發(fā)熱引起的溫度上升，有效地避免線性運動驅(qū)動器自身的額定推力、瞬間最大推力的降低這樣的不良。結(jié)果，即使將線性運動驅(qū)動器主體小型化，也能夠提供具有所需的額定推力、瞬間最大推力的線性運動驅(qū)動器。而且，本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法能夠利用氣泡除去工序有效地避免在線性運動驅(qū)動器主體上附著氣泡，因此，有效地消除了在氣泡附著的部位熱量無法放出而導致局部溫度上升、結(jié)果導致無法改善線性運動驅(qū)動器自身的額定推力、瞬間最大推力降低這樣的不良，能夠有效地制造小型輕量且散熱特性也很優(yōu)良的高性能的線性運動驅(qū)動器單元。


圖1是表示本發(fā)明的一個實施方式的線性運動驅(qū)動器單元的立體圖。圖2是表示該線性運動驅(qū)動器單元的分解立體圖。圖3是表示該線性運動驅(qū)動器單元的示意性的中央主剖視圖。圖4是將該線性運動驅(qū)動器單元的線性運動驅(qū)動器主體和殼體分離后表示的剖視圖。圖5是表示該線性運動驅(qū)動器單元的動作說明圖。圖6是表示該線性運動驅(qū)動器單元的制造工序的說明圖。圖7是表示該線性運動驅(qū)動器單元的制造工序的說明圖。圖8是表示本發(fā)明的另一個實施方式的線性運動驅(qū)動器單元的主要部分的說明圖。圖9是表示本發(fā)明的第2實施方式的線性運動驅(qū)動器單元的主要部分的說明圖。圖10是與圖9相對應的制造方法的說明圖。圖11是表示應用本發(fā)明的滑動軸承的第3實施方式的線性運動驅(qū)動器單元的主要部分的說明圖。圖12是該實施方式的分解立體圖。圖13是用于說明圖11及圖12的變形例的圖。圖14是用于說明圖11及圖12的變形例的圖。圖15是用于說明圖11及圖12的另一變形例的圖。圖16是表示本發(fā)明的第4實施方式的說明圖。
具體實施例方式下面，參照

本發(fā)明的實施方式。第1實施方式本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix安裝在例如作為減振對象物的汽車車體的發(fā)動機室內(nèi)來用作減振裝置1，該線性運動驅(qū)動器Ix為了付與同發(fā)動機等使車體產(chǎn)生的振動相反相位的振動而利用交流電流來驅(qū)動，從而抵消車體的振動來抑制振動。如圖1 圖3所示，該線性運動驅(qū)動器Ix將線性運動驅(qū)動器主體2和油L 一同以液密的狀態(tài)收納在殼體3 內(nèi)。在此，本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix通過在殼體3的內(nèi)部空間S中以大致浸漬線性運動驅(qū)動器主體2的方式填充具有絕緣性和潤滑性的液狀體的油L，來實現(xiàn)至少線圈44整體浸入到油L中的狀態(tài)。另外，在圖2中省略圖示油L，在圖3及圖4中以虛線表示填充的油L的上表面位置。下面，具體說明該線性運動驅(qū)動器Ix的結(jié)構(gòu)。如圖2、圖3及圖4所示，線性運動驅(qū)動器Ix具有線性運動驅(qū)動器主體2、用于收納線性運動驅(qū)動器主體2的殼體3及填充在殼體3內(nèi)的具有電絕緣性的油L。如圖2、圖3及圖4所示，線性運動驅(qū)動器主體2作為將位于圖示中央的后述的軸 41固定在殼體3側(cè)的定子4的一個構(gòu)成要件，采用使位于外側(cè)的可動件5動作的所謂的外部型構(gòu)造。而且，將作為定子4的一部分的軸41固定在殼體3上，將該殼體3的一部分固定在作為減振對象物的車體發(fā)動機室等的適當部位ER，將可動件5動作時的反作用力通過定子4和殼體3傳遞到發(fā)動機室側(cè)。定子4主要具有上述軸41 ；固定在軸41上的定子芯42 ；安裝在定子芯42上的繞線管43 ；卷繞在繞線管43上的線圈44 ；自繞線管43向上方突出地設(shè)置、成為向線圈44 通電時的電極的連接器45 ；使S極、N極的朝向內(nèi)外互不相同地安裝在繞線管43的側(cè)端部的一對永久磁鐵47a、47b ；固定在軸41的上下端附近、作為用于使可動件5能夠動作地支承可動件5的可動支承部的一對板簧46。線圈44的卷繞朝向是使定子芯42的內(nèi)部產(chǎn)生在與軸41的軸心正交的方向上正反交變的磁通的朝向，從外部通過連接器45供給交流電流。而且，軸41通過在其下端進行絲錐加工來貫穿后述的殼體主體6的軸安裝孔62， 之后通過從外側(cè)旋裝螺母N而將軸41固定在殼體主體6上。在此，通過在軸41的下端附近和殼體主體6之間夾設(shè)0型密封圈41r，來有效地防止油L從軸41和軸安裝孔62之間漏出ο板簧46在本實施方式中是形成與根據(jù)圖2之后說明的端板52俯視下大致相等的 8字形的薄板狀的構(gòu)件，其形成將中央部46a固定在軸41上、并借助可動件主體51和端板 52從上下夾入端部46b的夾層構(gòu)造。這里所說的端部46b既可以是板簧46的四角，也可以是兩端兩處。可動件5是沿著殼體3的內(nèi)表面形成俯視下矩形的筒狀的構(gòu)件，其主要具有形成可動件5的主體的可動件主體51及分別利用4組防脫工具P從上下固定該可動件主體51 的四角的端板52。在此，端板52在本實施方式中形成如圖2所示那樣的俯視下8字形，在其中央為了供軸41貫穿而設(shè)有軸通孔52b，并且，為了在四角以從上下夾入可動件主體51 的夾層狀態(tài)進行螺紋固定，通過利用上述防脫工具P進行固定來支承，該防脫工具P例如以貫穿上下的端板52的較長螺栓Vl和螺紋接合于自端板52突出的較長螺栓Vl的另一端的螺母nl為主體。可動件主體51的一部分(外壁部)形成能夠?qū)寤?6夾在中間的隔離件構(gòu)造。另外，將可動件5固定于定子4的構(gòu)造并不限定于上述構(gòu)造，也可以應用現(xiàn)有的其他構(gòu)造。端板52利用以8字形形成的兩個開口部5 來有效地避免可動件5上下移動時與定子4干涉。圖5中以附圖標記50表示的部分是用于將可動件5相對于定子4以同軸同心度固定的圓筒形狀的銷的截面。如圖2及圖3所示，殼體3是能夠?qū)⒕€性運動驅(qū)動器主體2的一部分、即定子4以固定的狀態(tài)收容的、例如將鋁壓鑄件作為主體構(gòu)成的構(gòu)件，殼體3具有用于收容線性運動驅(qū)動器主體2的殼體主體6、能夠從上方液密地密封殼體主體6的蓋體7及安裝在蓋體7CN 102422511 A
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上、能夠連接于外部布線的、具有防水功能的上部連接器8。殼體主體6形成有被固定部61 和用于固定軸41的軸安裝孔62，該被固定部61位于殼體主體6的下端部的外側(cè)的兩處，用于將殼體主體6安裝在作為減振對象物的車體的適當部位ER。而且，殼體主體6通過在其上端部以夾設(shè)0型密封圈7r的狀態(tài)將四角螺紋固定，來有效地防止油L從殼體主體6和蓋體7之間漏出。蓋體7如上所述地隔著0型密封圈7r螺紋固定在殼體主體6上，并且隔著另一個0型密封圈8r安裝上部連接器8，從而有效地防止油L從蓋體7和上部連接器8之間漏出。上部連接器8通過在其下端部連接于定子4的連接器45，將外部電流引導到連接器45。而且，在本實施方式中，通過在殼體3的各部件的安裝部位分別夾設(shè)0型密封圈 41r、7r、8r，至少使內(nèi)部空間S為液密，從而防止油L漏出。于是，本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix通過向例如具有200cc的容積的殼體3和線性運動驅(qū)動器主體2的內(nèi)部空間S中填充例如約ISOcc 190cc的具有絕緣性的油L直到圖3中虛線所示的位置，將線性運動驅(qū)動器主體2的大致整個區(qū)域浸入在油L中，由此用油L填滿形成在內(nèi)部空間S中的、殼體3和線性運動驅(qū)動器主體2之間的內(nèi)部空間S的約90% 95%。通過這樣做，油L成為將線圈44完全浸漬的狀態(tài)。并且，油L以將可動件 5動作時的、因板簧46彈性變形而引起的動作范圍全部覆蓋浸漬的狀態(tài)填充到內(nèi)部空間S 中。而且，在通過上部連接器8向線性運動驅(qū)動器Ix供給交流電流時，通過連接器45 向線圈44供給電流，可動件5相對于定子4在軸41的軸心方向上上下運動。例如，如圖5 的(a)所示，在定子芯42中朝向圖中右側(cè)產(chǎn)生磁通時，由此產(chǎn)生的磁力與配置在端部而起到定子4側(cè)的磁極部的功能的一對永久磁鐵47a、47b中的一個永久磁鐵47b的磁力相增， 與另一個永久磁鐵47a的磁力相減，因此，為了在通過了相增的永久磁鐵47b后的磁通與處于相對位置而起到可動件5側(cè)的磁極部的功能的可動件主體51的突起部51a之間形成最短的磁路，可動件主體51得到圖中朝下的箭頭所示的方向的推力而移動。此時，將中央部 46a支承在軸41上、用端部46b支承可動件5的板簧46如圖中假想線所示地向下方撓曲而以使可動件5能夠移動的方式支承可動件5。另外，如圖5的(b)所示地在定子芯42中朝向圖中左側(cè)產(chǎn)生磁通時，由此產(chǎn)生的磁力與配置在端部的一對永久磁鐵47a、47b中的一個永久磁鐵47a的磁力相增，與另一個永久磁鐵47b的磁力相減，因此，為了在通過了相減的永久磁鐵47a后的磁通與處于相對位置的可動件主體51的突起部51a之間形成最短的磁路，可動件主體51得到圖中朝上的箭頭所示的方向的推力而移動。此時，將中央部46a支承在軸41上、用端部46b支承可動件5的板簧46如圖中假想線所示地向上方撓曲而以使可動件5能夠移動的方式支承可動件5。由于磁通在與交流電流的相位和頻率相應的時機切換方向，因此，可動件5會相應地上下進行往復動作。而且，通過供給該交流電流，減振裝置1通過進行與減振對象物的振動反相位的振動來抑制作為減振對象物的車體的振動。上述可動件主體51的外壁部、端板52等成為在結(jié)合上述磁路時供磁通通過的部位。在沒有供電的非通電時，利用板簧46使可動件主體51偏置，以使得該可動件主體51的突起部51a 的中心位于與一對永久磁鐵47a、47b的交界對齊的動作中心。該可動件5往復動作時，由于如圖3所示那樣可動件5和下側(cè)的端板52的動作下端與殼體主體6的內(nèi)表面預先設(shè)置為相接近，因此，在可動件5向下方移動的情況下，下方的油L自下側(cè)的端板52被從與殼體主體6的內(nèi)表面之間的空間擠出，從而沿著殼體主體6 的內(nèi)表面朝向上側(cè)的板簧46流動。在該途中，上升的油L將從線圈44傳導到油L的熱量迅速地傳導到殼體主體6，該熱量從該殼體主體6被放出到外部。另一方面，可動件5的端板52的動作上端被設(shè)定在填滿內(nèi)部空間的90% 95%的油L的液面附近且蓋體7的下側(cè)面附近。因此，在可動件5向上方移動時，這次處于上側(cè)的板簧46的上方的油L被從板簧 46與蓋體7之間的空間中擠出，然后沿著殼體主體6的內(nèi)表面向下方流動，與上述同樣，油 L的熱量被迅速地放出到殼體主體6的外側(cè)。并且，由于上述那樣的油L的運動特別是在上下的板簧46的端部46b附近特別顯著，因此，尤其是板簧46和可動件主體51的、產(chǎn)生伴隨著摩擦力的微小的反復相對滑動的連接部位，油L總是頻繁地進行潤滑，能夠有效地避免由板簧46的往復動作引起的微振磨損。不言而喻，雖然相對的滑動量較小，但油L也會進入到板簧46和軸41的固定部位中， 能夠防止微振磨損。特別是，在本實施方式中，通過在殼體3的各部件的安裝部位分別夾設(shè)0型密封圈 41r、7r、8r，來可靠地使內(nèi)部空間S為液密，可靠地防止如上所述地在內(nèi)部空間S內(nèi)流動的油L漏出到外部。此外，在本實施方式中，由于線性運動驅(qū)動器主體2完全被殼體3所包圍，因此，即使發(fā)動機室放置在水、泥等嚴酷的環(huán)境中，也能夠有效地維持作為線性運動驅(qū)動器的可靠性和耐久性。在此，列舉將本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix作為單元IU來組裝時的較佳的一種制造方法，在經(jīng)過將線性運動驅(qū)動器主體2收容在殼體3內(nèi)的收容工序Sl之后，經(jīng)過向內(nèi)部空間S中填充油L的填充工序S2及利用蓋體7封閉殼體3的封閉工序S3，與這些收容工序Si、填充工序S2和上述封閉工序S3相關(guān)地，實施用于避免在線性運動驅(qū)動器主體2 和油L之間形成氣泡F的氣泡除去工序X。在此，主要參照圖6 圖7詳細說明氣泡除去工序X。氣泡除去工序X包括圖6中的填充時脫氣工序Xl和圖7中的填充后脫氣工序X2， 填充時脫氣工序Xl是在直到完成填充工序S2為止的階段中除去上述氣泡；填充后脫氣工序X2是使形成在經(jīng)過上述填充工序填充的作為液狀體的油L和上述線性運動驅(qū)動器主體 2之間的上述氣泡自上述線性運動驅(qū)動器主體2脫離。如圖6所示，填充時脫氣工序Xl包括使用脫氣過濾器EF預先將溶解在油L中的空氣等氣體脫氣的移送階段脫氣工序XII、及在上述填充工序S2中預先使噴出油L的噴出口 Z與上述殼體3的內(nèi)壁3a相接觸來填充油L的內(nèi)壁噴出工序X12。脫氣過濾器EF能夠利用這樣地構(gòu)成的設(shè)備等，即，通過使油L流入到例如由設(shè)置在內(nèi)部的分隔壁劃分出的室中的一個中而將另一個減壓，從而使油L中的氣泡從一個室分離到另一個室中。分隔壁能夠使用后述的具有防水透濕性的片材等。在內(nèi)壁噴出工序X12中，斜著切割噴出口 Z的前端而做成油L易于沿著內(nèi)壁3a的狀態(tài)，根據(jù)需要使殼體3自身傾斜而做成油L易于沿著內(nèi)壁3a的狀態(tài)，以避免外圍空氣卷入。如圖7所示，填充后脫氣工序X2包括在填充工序S2之后使可動件5動作的動作工序X21、通過將殼體3設(shè)定在振動裝置Y中并使其以適當?shù)念l率振動而使線性運動驅(qū)動器單元IU自身搖動的搖動工序X22等。
接著，說明收容工序Si、填充工序S2和上述封閉工序S3。首先，如圖6所示，進行收容工序Sl，S卩，做成將0型密封圈41r載置在殼體主體6 側(cè)的狀態(tài)，使線性運動驅(qū)動器主體2的軸41的下端貫穿于軸安裝孔62中，然后將螺母N螺紋接合于軸41，從而將軸41固定在殼體主體6上。在本實施方式中，然后，如圖6所示，進行使噴出口 Z與殼體3的內(nèi)壁、即殼體主體6的側(cè)壁6a相接觸的內(nèi)壁噴出工序X12。然后，在自與側(cè)壁6a相接觸的噴出口 Z噴出油L時，填充經(jīng)過了該圖所示的移送階段脫氣工序Xll后的油L。移送階段脫氣工序Xll的結(jié)構(gòu)如上所述，利用該移送階段脫氣工序Xll在油L到達噴出口 Z之前的階段中將油L脫氣。具體地講，如該圖所示，在利用泵 Wl將積存在罐Tl中的油L填充到殼體3的路徑中，通過在泵Wl和噴出口 Z之間插入上述脫氣過濾器EF，做成大致除去了溶解在油L中的空氣的狀態(tài)。在填充到殼體3中時，不會通過上述內(nèi)壁噴出工序X12卷入外圍空氣地填充油L。然后，在向殼體3內(nèi)充滿油L規(guī)定量之后，完成填充工序S2，執(zhí)行安裝蓋體7而做成將殼體3暫時封閉的狀態(tài)的封閉工序S3。S卩，至此的階段是用于事先預防氣泡F附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的填充時脫氣工序XI。接著，如圖7所示，為了除去附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的氣泡F，實施由動作工序X21、搖動工序X22等構(gòu)成的填充后脫氣工序X2。在動作工序X21中，通過連接器45向線圈44供給適當?shù)恼駝宇l率的電流，從而使可動件5沿著圖示上下方向的箭頭上下運動。 在搖動工序X22中，將殼體3設(shè)定在采用偏心砝碼、超聲波振子等的振動裝置Y上，通過振動裝置Y使殼體3振動，從而使殼體內(nèi)的油L2沿著圖示左右方向的箭頭搖動、攪拌。鑒于除去在驅(qū)動可動件5時的頻率下無法除去的氣泡等的主旨，優(yōu)選的是這些振動頻率設(shè)定在比驅(qū)動可動件5時的頻率高的振動頻率區(qū)域中。通過實施這些動作工序X21、搖動工序X22，附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的氣泡F脫離，氣泡匯集在內(nèi)部空間S的上方，與存在于內(nèi)部空間S的上方的滯留空氣渾然一體化。至此的階段是用于使附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的氣泡與溶解的空氣一同脫離的填充后脫氣工序X2。經(jīng)過以上工序，本實施方式的制造方法結(jié)束。另外，根據(jù)需要，也可以再次拆下蓋體7，向內(nèi)部空間的上部補給油L，再次重復將蓋體7安裝在殼體主體6上的填充工序S2和封閉工序S3。優(yōu)選的是，油L以設(shè)有在使用的溫度范圍內(nèi)至少能夠吸收體積膨脹量的空氣積存的狀態(tài)填充。另外，油L既可以以滿滿的狀態(tài)填充在殼體3中，相反，只要能夠得到良好的散熱特性，就也可以以線圈44的至少一部分浸入的狀態(tài)填充。在滿滿地填充油L的情況下，例如可以使用體積膨脹極少的油，也可以將殼體3的一部分做成彈性膜而能夠吸收油L 的體積膨脹。通過做成以上的構(gòu)造，在本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix中，由于作為液狀體的油L浸漬線圈44的整個區(qū)域，因此，由線圈44產(chǎn)生的熱量迅速地放出到油L中，進而從油 L傳導到殼體3。不言而喻，由于油L也會到達線圈44的間隙中，因此，能夠非常高效地排出熱量，線性運動驅(qū)動器主體2和殼體3之間的熱阻相比于以往大幅度降低。而且，由于定子芯42、軸41等也進入到油L中，因此，能夠防止產(chǎn)生銹等，而且，不使用高價的不銹鋼材料就能夠有效地避免對鐵材料進行表面處理的必要性。另外，由于也提高了線性運動驅(qū)動器主體2的絕緣性能，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)提高可靠性。而且，由于通過可動件5的運動而不斷地攪拌油L，因此，能夠得到良好的導熱，并且，傳導到油L的熱量不僅能夠從殼體3和車體的適當部位ER的接觸部位放出到殼體3外，也能夠從殼體3的其他表面放出到殼體3外。這樣，在本實施方式中，能夠有效地抑制由線圈44發(fā)熱引起的溫度上升，并且，熱時間常數(shù)也變長，大幅度地改善了由線圈44發(fā)熱引起的線性運動驅(qū)動器Ix自身的額定推力、瞬間最大推力的降低。結(jié)果，由于能夠?qū)⒕€性運動驅(qū)動器主體2小型化，因此，能夠有效地實現(xiàn)線性運動驅(qū)動器Ix以及減振裝置1自身的小型輕量化。特別是，在本實施方式中，將作為定子4的一部分的軸41固定在殼體3側(cè)的軸安裝孔62中，利用被安裝部61將該殼體3的一部分固定在減振對象物上，能夠通過定子4和殼體3正確地傳遞可動件5動作時的反作用力，因此，能夠如上所述地將所需的額定推力、 瞬間最大推力保持原樣地高效地傳遞反映到車體。另外，為了較佳地維持可動件5相對于定子4的支承精度來提高可靠性，在本實施方式中，上述定子4設(shè)置通過彈性變形以使上述可動件5能夠往復動作的方式支承上述可動件5的板簧46，上述油L以完全浸漬上述板簧46的動作范圍的狀態(tài)填充到上述內(nèi)部空間 S中。因此，即使不像以往那樣采用在板簧46的重疊部分夾入銅板的隔離件或者注入潤滑脂這樣的微振磨損對策，也能夠長期有效地避免上述摩擦、即微振磨損。另一方面，在以往采用板簧46的情況下，與滾動軸承、滑動軸承等不同，不存在由摩擦引起的機械損失，因此，板簧46自身的固有振動頻率等下的共振頻率(日文共振倍率)極高，在固有振動頻率附近的運轉(zhuǎn)過程中，動作有時會不穩(wěn)定，必須避開該區(qū)域地控制線性運動驅(qū)動器lx。另外，由于板簧46的二維、三維變形模式下的共振為比較高的頻率、在板簧46形成層疊構(gòu)造的情況下發(fā)生由層疊的部分稍稍接觸分離而產(chǎn)生的晃動等，因此，板簧46自身成為噪音產(chǎn)生源，成為問題。相對于此，在本實施方式中，通過向內(nèi)部空間S中加入粘性比空氣大的油L，能夠?qū)Π寤?6付與減震，由于板簧46的變動穩(wěn)定，因此能夠非常順暢地運轉(zhuǎn)，當然也包含板簧46為層疊構(gòu)造的情況，也能夠有助于降低噪音。特別是，在本實施方式中，能夠利用油L的減震效果大幅度地抑制線性運動驅(qū)動器主體2因殼體3、軸41 的固有振動頻率而產(chǎn)生的共振，從而能夠提高驅(qū)動器的抗振動、抗沖擊特性。也就是說，鑒于這些原因，作為線性運動驅(qū)動器Ix的車載用減振裝置1的適應性相比之前明顯地上升。而且，為了實現(xiàn)殼體3的薄壁化并進一步提高上述散熱特性，在本實施方式中，作為一例子，油L填充上述內(nèi)部空間S的90% 95%。即，通過填滿內(nèi)部空間S的90% 95%的容積，以往全部由空氣填滿、容積例如為200cc的殼體3的內(nèi)部空間S中的空氣容積在本實施方式中即使簡單地計算，也大幅度地變小到20cc以下，因此，隨著溫度上升而產(chǎn)生的空氣的膨脹量、收縮量大幅度變少。結(jié)果，即使不將殼體3做成完全密閉型的容器，空氣所含有的水分也會變少，隨之油L由于氧化引起的老化變少，液狀體的壽命變長。另外， 通過將殼體3做成能夠呼吸的容器，能夠解決內(nèi)部壓力的問題。結(jié)果，殼體3的薄壁化、片材的選擇項變多，能夠謀求成本降低。此外，與利用可動件5的動作來攪拌油L的情況相結(jié)合，油L接觸于殼體3的內(nèi)表面的大致全部區(qū)域，因此，能夠自殼體3表面的大致全部區(qū)域放出熱量。其意思是指，在實際的車輛行駛時，與行駛風對殼體3的冷卻效果相結(jié)合，能夠?qū)崿F(xiàn)更加迅速地散熱。這種情況下的作為液狀體的油L的填充不僅不是例如像流體軸承那樣向密封空間中送入油來密實地填充這樣的嚴格的操作，而且殼體3內(nèi)也并不一定限定為密封狀態(tài)， 因此，通常認為僅通過自油槽利用泵供給到殼體3內(nèi)就足夠，但若在初始填充時微小的氣泡進入到油L中或者空氣溶解在油L中，則通過利用之后的可動件5動作來攪拌油L，氣泡也難以從油L中除去，該氣泡附著在線圈44的間隙、殼體3的內(nèi)壁上，油L和線圈44、油L 和殼體內(nèi)壁的接觸面積減小，從而導致從線圈44通過油L向殼體3的導熱效率降低，通過使殼體3內(nèi)的線圈44浸漬到油L中而產(chǎn)生的效果實質(zhì)上有可能減半。因此，重新著眼于氣泡除去工序X。在填充油L之后使線性運動驅(qū)動器Ix動作時， 可動件5攪拌油L，有可能卷入上層部的空氣層的空氣，因此，咋一看好像在初始填充時除去氣泡是沒有意義的，但若在初始填充時實施氣泡除去工序，則能夠使沒有氣泡的狀態(tài)的油L緊密地進入到線圈44的間隙、殼體3的內(nèi)壁，另一方面，一旦使線性運動驅(qū)動器Ix動作，則由于動作時卷入的氣泡粒徑較大，因此難以進入到線圈44等的微小部分中，也難以附著在殼體3的內(nèi)壁上，即使附著也能立即除去，因此，一般認為處于難以引起導熱性降低的狀態(tài)。于是，這樣地采用本實施方式的線性運動驅(qū)動器單元IU的制造方法，利用氣泡除去工序X，在有效地除去附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的氣泡F、溶解在油L中的空氣的同時完成線性運動驅(qū)動器單元1U，因此，能夠有效地避免附著氣泡F而成為散熱效果局部降低的狀態(tài)或者附著有氣泡F的部位與周圍相比產(chǎn)生磨損等這樣的不良，有效地改善由氣泡F附著引起的線性運動驅(qū)動器單元IU自身的額定推力、瞬間最大推力的降低，有效地提供散熱特性良好且小型輕量的線性運動驅(qū)動器單元IU及減振裝置1。特別是，通過實施氣泡除去工序X，作為易于顯著地發(fā)生微振磨損的可動支承部的板簧46的周圍被油L密實地填滿，因此，能夠有效地避免在板簧46的附著有氣泡F的部位局部發(fā)生磨損或者摩擦熱集中這樣的不良。另外，鑒于板簧46的二維、三維變形模式下的共振為比較高的頻率、在板簧46形成層疊構(gòu)造的情況下發(fā)生由層疊的部分稍稍接觸分離而產(chǎn)生的晃動等，板簧46自身容易成為噪音產(chǎn)生源，但在本實施方式中，通過向內(nèi)部空間S 中加入粘性比空氣大的油L，能夠?qū)Π寤?6付與減震，由于板簧46的變動穩(wěn)定，因此能夠非常順暢地運轉(zhuǎn)。在這種情況下，板簧46形成層疊構(gòu)造時，特別是在該層疊部分易于附著氣泡F，但在本實施方式中，利用氣泡除去工序X中的填充時脫氣工序XI，在層疊部分也難以附著氣泡F，而且即使在上述層疊部分附著氣泡，也能夠利用填充后脫氣工序X2可靠地使氣泡自板簧46脫離，因此，層疊部分能夠可靠地享有通過填充油L而產(chǎn)生的上述效果，能夠更加有效地降低微振磨損及噪音產(chǎn)生。更具體地講，作為本實施方式的氣泡除去工序X之一，在直到填充工序S2之前的階段中實施利用脫氣過濾器EF將油L脫氣的填充時脫氣工序XI，因此，能夠防止溶解在填充的油L中的空氣因完成后的可動件5的動作等而形成氣泡F于未然。另外，通過實施沿著內(nèi)壁3a注入油L地填充的內(nèi)壁噴出工序X12，也能夠預先排除在噴出口 Z的出口處重新卷入空氣而產(chǎn)生氣泡F的可能性。另一方面，通過在填充工序S2之后經(jīng)過填充后脫氣工序X2、即使線性運動驅(qū)動器主體2自身動作的動作工序X21、使殼體3自身振動的搖動工序X22，能夠更有效地除去利用填充工序S2未除去或者附著在線性運動驅(qū)動器主體2的各部的氣泡F、溶解在油L中的空氣。不言而喻，填充時脫氣工序Xl和填充后脫氣工序X2并不是必須始終同時采用，通過僅實施其中任一個，也能夠得到本發(fā)明的作用效果。移送階段脫氣工序Xll和內(nèi)壁噴出工序X12的關(guān)系、動作工序X21和搖動工序X22的關(guān)系也并不是必須始終同時采用，通過僅實施其中任一個，也能夠得到本發(fā)明的作用效果。以下也同樣。另外，油L既可以以滿滿的狀態(tài)填充在殼體3中，相反，只要能夠得到良好的散熱特性，就也可以以線圈44的至少一部分浸入的狀態(tài)填充。這樣，本實施方式的線性運動驅(qū)動器Ix將線性運動驅(qū)動器主體2以其一部分固定在殼體3上且其周圍被該殼體3包圍的狀態(tài)收容在該殼體3內(nèi)，在將線性運動驅(qū)動器主體 2收容到該殼體3中之前或者之后向該殼體3中以浸漬該線性運動驅(qū)動器主體2的線圈44 的狀態(tài)填充具有絕緣性和潤滑性的作為液狀體的油L，在填充結(jié)束之前或者填充結(jié)束之后， 對該油L實施用于避免在該油L與上述線性運動驅(qū)動器主體2之間形成氣泡的氣泡除去， 因此，呈現(xiàn)特別良好的散熱特性，上述線性運動驅(qū)動器主體2具有定子4和能夠相對于該定子4在規(guī)定方向上往復動作的可動件5。以上，說明了本發(fā)明的實施方式，但各部的具體構(gòu)造并不僅限定于上述實施方式， 能夠在不脫離本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)進行各種變形。例如，在上述實施方式中公開了在殼體內(nèi)收納線性運動驅(qū)動器主體的形態(tài)，但不言而喻，也可以在一個殼體內(nèi)收納多個線性運動驅(qū)動器主體。而且，殼體的形狀、線性運動驅(qū)動器的具體形態(tài)并不限定于上述實施方式，包含現(xiàn)有的裝置在內(nèi)，能夠應用各種形態(tài)的
直ο下面，分別表示本發(fā)明的其他實施方式。在這些實施方式中，對于相當于上述實施方式的各構(gòu)成要件的構(gòu)件，標注與上述實施方式相同的附圖標記，并省略詳細地說明。S卩，在上述實施方式中，殼體3為液密，但如在圖8及圖9中分別表示的各實施方式所示，基本不需要為液密。另外，為了方便起見，該圖省略表示了線性運動驅(qū)動器主體2 的圖示。例如，圖8所示的上部連接器9做成自殼體3的一部分不使用防水功能的連接器、 而通過現(xiàn)有的電纜夾91直接拉出電纜K的構(gòu)造。通過采用該構(gòu)造，雖然在電纜K和引出口 9a之間存在微小的間隙9s，但在這種情況下，即使傾斜，油由于表面張力而不會漏出。第2實施方式另一方面，圖9所示的構(gòu)造是在殼體3的一部分埋入被稱作戈爾特斯(Gore-Tex) (注冊商標)的商品所代表的具有防水透濕性的片材ST的例子。具體地講，該圖表示在殼體3的蓋體7上形成通氣孔71、并在該通氣孔71中安裝具有片材ST的片狀蓋72的構(gòu)造。利用該構(gòu)造，特別是如A部放大圖示意性地表示，上述片材ST使如用直線狀的箭頭示意性地表示那樣的水滴狀的作為液體的油Ll不通過，而僅使如用波浪線狀的箭頭示意性地表示那樣的空氣、成為氣體的油L2通過，因此，在這種情況下殼體3內(nèi)的內(nèi)壓也不會上升。圖10表示利用上述通氣性而在氣泡除去工序X中的填充后脫氣工序X2中利用真空泵W2將油L中的空氣脫氣的殼體內(nèi)脫氣工序X23。即，該圖的殼體內(nèi)脫氣工序X23如該圖所示，通過做成使油L與該片材ST的單側(cè)表面相鄰的狀態(tài)，利用真空泵W2將該片材ST的相反側(cè)減壓，從而不僅促進存在于油L中的氣泡F自油L脫離，也促進溶解在油L中的空氣脫氣。利用該形態(tài)，也能夠不僅除去附著在線性運動驅(qū)動器主體2上的氣泡F，還能夠除去溶解在油L中的空氣，因此，在有效地降低線性運動驅(qū)動器單元IU完成之后的氣泡F的殘留率、新的產(chǎn)生率的方面非常有效。另外，一般認為即使替代該圖所示的防水透濕性的片材ST，而使用陶瓷所代表的多孔質(zhì)材料，也能得到同樣的效果。在極端的情況下，一般認為只要在殼體3的至少一部分開設(shè)較小的孔，僅利用油L的表面張力就能夠不使油泄漏，而僅使氣體往來，也能夠通過該多孔質(zhì)材料、孔進行抽吸脫氣。只要與第1實施方式的振動脫氣同時進行該抽吸脫氣，就還能夠進一步期待協(xié)同的脫氣效果。第3實施方式并且，在上述實施方式中，可動支承部使用了板簧46，但也可以替代該板簧46而采用圖11及圖12所示那樣的滑動軸承48作為可動支承部，構(gòu)成為利用彈簧SP朝向動作中心地偏置。具體地講，也可以在軸41的上下端附近分別安裝滑動軸承48，并借助該滑動軸承48以使端板52能夠上下運動的方式支承該端板52。而且，該圖表示通過在殼體3內(nèi)部和可動件5的上下端之間夾設(shè)多個彈簧sp而將可動件5朝向動作中心偏置的構(gòu)造。即使是該構(gòu)造，由于滑動軸承48放置在油L內(nèi)，因此成為油膜潤滑，也能夠大幅度降低摩擦阻力，并且，通過形成油膜不會發(fā)生油耗盡，因此，能夠?qū)崿F(xiàn)長壽命且大幅度的機械損失降低化，從而能夠做成非常穩(wěn)定的低磨損軸承。另外，本實施方式并不否定同時使用該圖所示的滑動軸承48和上述實施方式所示的板簧46的構(gòu)造。或者，采用本實施方式的線性運動驅(qū)動器，即使在非通電時，也能夠利用永久磁鐵 47a、47b的磁通將可動件5保持在動作中心，因此，也能夠相反地利用沒有彈簧sp的構(gòu)造來實施。在可動件5沿鉛垂方向動作的情況下，也可以使流到線圈44中的電流具有偏置作用來抵消由重力引起的可動件5的位移。但是，在如上所述地將可動支承部做成滑動軸承48的情況下，油會進入到滑動軸承48和軸41之間(在軸環(huán)嵌合于軸41的外周的情況下是滑動軸承48和軸環(huán)等之間)的軸承部間隙中來作為油膜軸承進行動作，但例如在軸41和滑動軸承48的內(nèi)周的軸承部間隙局部縮窄而成為狹窄部的狀態(tài)下，可動件5與滑動軸承48 —同沿著軸41的外周以相同的軌跡往復運動時，不可否認，根據(jù)可動量、速度，上述狹窄部的油有可能被擠出，在軸承部的一部分發(fā)生油膜耗盡。因此，為了提高對滑動軸承48的潤滑性能，謀求可靠性提升和長壽命化，也可以構(gòu)成利用可動件5的往復運動向滑動軸承48的軸承部間隙中自動地供給作為液狀體的油 L的、作為液狀體供給機構(gòu)的油供給機構(gòu)。例如，通過將圖13所示的作為定子側(cè)磁極部的定子芯42的永久磁鐵47a、47b或者作為可動件側(cè)磁極部的可動件主體51的突起部51a中的至少任一個像圖14所示的油供給機構(gòu)那樣地相對于往復運動方向的軸ms傾斜地配置來分別構(gòu)成油供給機構(gòu)101、102、 103、104、105，可動件5能夠在往復運動的同時相對于定子4與往復運動方向的位置相應地發(fā)生扭轉(zhuǎn)運動。具體而言，該圖14的(a)所示的油供給機構(gòu)101將作為定子側(cè)磁極的永久磁鐵 47a、47b相對于往復運動方向的軸ms以適當?shù)耐崤そ莾A斜地配置。利用該構(gòu)造對線性運動驅(qū)動器Ix通電而使可動件5往復運動時，永久磁鐵47a、 47b相對于軸ms傾斜地配置，因此，作為可動件側(cè)磁極的突起部51a隨著往復運動在旋轉(zhuǎn)方向上位移至正對永久磁鐵47a、47b的位置。如圖11所示，可動件5借助滑動軸承48能夠滑動地支承在軸41的外周，因此，可動件5在往復動作的同時發(fā)生旋轉(zhuǎn)動作時，在滑動軸承 48進入到軸承部間隙中的油利用楔效果被強制地送入到狹窄部中，在該狹窄部確保適當?shù)挠湍?，因此，能夠有效地提高潤滑性能。利用同樣的原理，該圖14的(b)所示的油供給機構(gòu)102是將作為可動件側(cè)磁極的突起部51a相對于往復運動方向的軸ms傾斜地配置的例子，該圖14的(c)所示的油供給機構(gòu)103是將作為定子側(cè)磁極的永久磁鐵47a、47b與作為可動件側(cè)磁極的突起部51a —同相對于往復運動方向的軸ms傾斜地配置的例子。并且，該圖14的(d)所示的油供給機構(gòu) 104是將作為定子側(cè)磁極的永久磁鐵47a、47b沿著圓周方向以臺階狀配置的例子，該圖14 的(e)所示的油供給機構(gòu)105是將作為可動件側(cè)磁極的突起部51a沿著圓周方向以臺階狀配置的例子。另一方面，像圖15所示的油供給機構(gòu)106那樣，也可以在與圖11所示的滑動軸承 48的軸承面相對的定子4側(cè)的軸41的表面(存在軸環(huán)等時是軸環(huán)的外周)形成螺旋狀的槽 41x。S卩，如圖11所示，可動件5借助滑動軸承48能夠滑動地支承在軸41的外周，即使可動件5未扭轉(zhuǎn)運動而與滑動軸承48 —同僅進行往復運動，通過利用可動件5的往復運動將進入到槽41x中的油以螺旋狀供給到包含狹窄部在內(nèi)的滑動軸承48和軸41之間的軸承部間隙中，也能夠有效地提高整個滑動軸承48的潤滑性能。該螺旋槽也能夠設(shè)置在滑動軸承48側(cè)。不言而喻，該作為液供給機構(gòu)的油供給機構(gòu)也可以利用除上述之外的構(gòu)造。而且，在這樣地成為制造對象的線性運動驅(qū)動器Ix采用滑動軸承作為可動支承部的情況下，通過應用本發(fā)明的制造方法，也能夠起到與上述各實施方式同樣的作用效果。另外，在上述實施方式中，采用使位于定子外側(cè)的可動件動作的所謂的外部型構(gòu)造，但也可以采用將可動件定位在定子內(nèi)側(cè)而使其動作的內(nèi)部型構(gòu)造。第1實施方式也同樣。另外，在上述各實施方式中，通過在殼體表面上追加散熱片，能夠進一步提高冷卻效率。第4實施方式在上述第1實施方式中公開的氣泡除去工序X中，作為自殼體3的上方向殼體主體6的側(cè)壁6a傳遞油L的填充時脫氣工序Xl公開了內(nèi)壁噴出工序XII，但在本實施方式中，對用于在填充工序S2中進一步避免油L卷入空氣地填充油L的形態(tài)進行說明。在此，作為填充時脫氣工序Xl之一，如圖16所示，對從殼體3的底側(cè)填充油的底壁填充工序X13進行說明。具體地說明，在殼體主體6的底壁6b上設(shè)有油注入口 6c，在該油注入口 6c上連接噴出口 Zl。而且，本實施方式的底壁填充工序X13是指，通過例如利用泵W3的動力自罐T2的底T21將積存在罐T2中的油L從殼體3的底壁6b噴出到殼體3內(nèi)， 在殼體3內(nèi)不會使油L落下而使油面L3逐漸上升地填充油L。另外，不言而喻，也可以在從罐T2到殼體3的路徑上通過與上述實施方式同樣的未圖示的脫氣過濾器EF同時進行上述移送階段脫氣工序XII。通過應用該工序，油L在殼體3內(nèi)不會落下而平穩(wěn)的移動地被填充，因此，能夠更加難以引起因外圍空氣卷入而產(chǎn)生氣泡F。不言而喻，在這種情況下，在填充之后同時采用振動脫氣、抽吸脫氣是非常有效的。而且，在上述實施方式中，作為搖動工序公開了通過振動使線性運動驅(qū)動器單元 IU搖動的形態(tài)，但不言而喻，也可以是使殼體上下左右搖動的形態(tài)、使其翻轉(zhuǎn)或者旋轉(zhuǎn)的形態(tài)。而且，不言而喻，各部的具體構(gòu)造、氣泡除去工序的具體方法等也并不限定于上述實施方式，能夠在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進行各種變形。作為除上述之外的氣泡除去工序，能夠列舉出將填充前的油加熱的工序、在將殼體加熱的同時填充油的工序、將填充后的殼體加熱的工序等。由此，由于油所含有的氣泡膨脹，因此，能夠做成更加易于脫氣的狀態(tài)。此外，在填充油時，也可以作為氣泡除去工序?qū)嵤⒂驼婵彰摎獾墓ば颍蚁驓んw中填充該油。另外，液狀體使用除油之外的液體或流動體等、各部的具體構(gòu)造也并不限定于上述實施方式，能夠在不脫離本發(fā)明主旨的范圍內(nèi)進行各種變形。而且，本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器雖然能夠較佳地應用于減振裝置，但其用途并不僅限定于此，也能夠廣泛地應用于勵振裝置等的裝置。另外，本發(fā)明的線性運動驅(qū)動器的制造方法雖然也能夠較佳地應用于減振裝置所采用的線性運動驅(qū)動器的單元，但其應用對象并不僅限定于此，也能夠廣泛地應用于勵振裝置以外的其他裝置所采用的線性運動驅(qū)動器的單元。產(chǎn)業(yè)上的可利用性采用以上詳細說明的本發(fā)明，通過改良散熱特性，能夠有效地避免線性運動驅(qū)動器自身的額定推力、瞬間最大推力降低這樣的不良，因此，能夠提供一種即使將線性運動驅(qū)動器主體小型化也具有所需的額定推力、瞬間最大推力的線性運動驅(qū)動器。
權(quán)利要求
1.一種線性運動驅(qū)動器，其特征在于，該線性運動驅(qū)動器包括線性運動驅(qū)動器主體，其具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件；殼體，其在固定了上述線性運動驅(qū)動器主體的一部分的狀態(tài)下大致包圍該線性運動驅(qū)動器主體的周圍；液狀體，其以浸漬上述線性運動驅(qū)動器主體所具有的線圈的狀態(tài)填充到上述殼體的內(nèi)部空間中，該液狀體具有絕緣性和潤滑性。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的線性運動驅(qū)動器，其特征在于，將上述定子的一部分固定在上述殼體上，將該殼體的一部分固定在減振對象物或者勵振對象物上，將上述可動件動作時的反作用力通過上述定子和上述殼體傳遞到上述減振對象物或者勵振對象物。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的線性運動驅(qū)動器，其特征在于，上述定子還具有以使上述可動件能夠往復動作的方式支承該可動件的可動支承部，上述油以浸漬上述可動支承部的狀態(tài)填充到上述內(nèi)部空間中。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的線性運動驅(qū)動器，其特征在于，上述可動支承部具有板簧或者滑動軸承。
5.一種線性運動驅(qū)動器，其特征在于，將線性運動驅(qū)動器主體以其一部分固定在殼體上且周圍被該殼體包圍的狀態(tài)收容在該殼體內(nèi)，在將線性運動驅(qū)動器主體收容在該殼體內(nèi)之前或者收納在該殼體內(nèi)之后，向該殼體內(nèi)以浸漬該線性運動驅(qū)動器主體的線圈的狀態(tài)填充具有絕緣性和潤滑性的液狀體，在填充結(jié)束之前或者填充結(jié)束之后，對該液狀體實施用于避免在該液狀體與上述線性運動驅(qū)動器主體之間形成氣泡的氣泡除去，上述線性運動驅(qū)動器主體具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件。
6.一種線性運動驅(qū)動器單元的制造方法，該線性運動驅(qū)動器單元包括線性運動驅(qū)動器主體，其具有定子和能夠相對于該定子在規(guī)定方向上往復動作的可動件；殼體，其在固定了上述線性運動驅(qū)動器主體的一部分的狀態(tài)下大致包圍該線性運動驅(qū)動器主體的周圍；液狀體，其以浸漬上述線性運動驅(qū)動器主體所具有的線圈的狀態(tài)填充到上述殼體的內(nèi)部空間中，該液狀體具有絕緣性和潤滑性；其特征在于，該線性運動驅(qū)動器單元的制造方法包括收容工序，將上述線性運動驅(qū)動器主體收容在上述殼體內(nèi)；填充工序，向收容有上述線性運動驅(qū)動器主體的上述殼體內(nèi)填充上述液狀體；氣泡除去工序，用于避免在上述線性運動驅(qū)動器主體和上述液狀體之間形成氣泡。
7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法，其特征在于，上述定子還具有以使上述可動件能夠往復動作的方式支承該可動件的可動支承部，上述液狀體以浸漬上述可動支承部的狀態(tài)填充到上述內(nèi)部空間中，上述氣泡除去工序避免在上述可動支承部和上述液狀體之間形成氣泡。
8.根據(jù)權(quán)利要求6或7所述的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法，其特征在于，氣泡除去工序具有在直到完成上述填充工序為止的階段中除去上述氣泡的填充時脫氣工序。
9.根據(jù)權(quán)利要求6至8中任一項所述的線性運動驅(qū)動器單元的制造方法，其特征在于， 氣泡除去工序具有填充后脫氣工序，在該填充后脫氣工序中，使形成在經(jīng)過上述填充工序填充的上述液狀體和上述線性運動驅(qū)動器主體之間的上述氣泡自上述線性運動驅(qū)動器主體脫離。
全文摘要
本發(fā)明提供線性運動驅(qū)動器及線性運動驅(qū)動器單元的制造方法。該線性運動驅(qū)動器包括線性運動驅(qū)動器主體(2)、用于收納線性運動驅(qū)動器主體(2)的殼體(3)及以浸漬線性運動驅(qū)動器主體(2)的線圈(44)的狀態(tài)填充到殼體(3)內(nèi)的、具有絕緣性的油(L)。采用該構(gòu)造，由線圈(44)產(chǎn)生的熱量被迅速地放出到油(L)中，直接傳導到殼體(3)。由于油(L)不言而喻也能到達線圈(44)的間隙中，因此，能夠非常高效地排出熱量。這樣，通過改良散熱特性，能夠提供一種能夠?qū)崿F(xiàn)小型輕量化的線性運動驅(qū)動器。
文檔編號H02K15/02GK102422511SQ20098015930
公開日2012年4月18日 申請日期2009年12月8日 優(yōu)先權(quán)日2009年5月14日
發(fā)明者中川洋, 尾上孝志, 福永崇, 藤井隆良 申請人:昕芙旎雅有限公司