專利名稱：一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及電機(jī)線圈電流環(huán)整定裝置，特別涉及硅片臺(tái)單臺(tái)或多臺(tái)交換系統(tǒng)中控制系統(tǒng)的平面電機(jī)線圈電流環(huán)的輔助整定裝置，屬于平面電機(jī)線圈電流環(huán)整定技術(shù)。
背景技術(shù)：
現(xiàn)階段，在實(shí)際控制工程領(lǐng)域中，驅(qū)動(dòng)裝置是必不可少的部分，各類驅(qū)動(dòng)器的使用也較為廣泛。在驅(qū)動(dòng)器的使用過(guò)程，電流環(huán)的整定是關(guān)鍵一步，直接影響控制系統(tǒng)最終的性倉(cāng)泛。 在結(jié)構(gòu)較為復(fù)雜的控制系統(tǒng)中，電流環(huán)整定的簡(jiǎn)便性是需要考慮的問(wèn)題。如磁懸浮平面電機(jī)系統(tǒng)，由于系統(tǒng)動(dòng)子是自由懸浮的狀態(tài)，在整定過(guò)程中需要在原有系統(tǒng)中人為加上如導(dǎo)軌之類能夠約束動(dòng)子運(yùn)動(dòng)的裝置，完成電流環(huán)整定后，需要將導(dǎo)軌等約束動(dòng)子的裝置拆除，這樣對(duì)整個(gè)系統(tǒng)在結(jié)構(gòu)和控制上造成不必要的麻煩，而且浪費(fèi)資源。因此，對(duì)于上述提到的系統(tǒng)，需要尋找一種更為方便直接的電流環(huán)整定的方式。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的提供一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置，以克服單臺(tái)或多臺(tái)系統(tǒng)在電流環(huán)整定過(guò)程中在結(jié)構(gòu)上或控制上增添附加設(shè)備造成的問(wèn)題。在不改變?cè)邢到y(tǒng)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，本發(fā)明提供了一種為電機(jī)電流環(huán)整定、實(shí)用且簡(jiǎn)便的輔助裝置。為達(dá)到上述發(fā)明目的，本發(fā)明采取的技術(shù)方案如下一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置，所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)包括基臺(tái)、兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的硅片臺(tái)和平面電機(jī)，平面電機(jī)定子采用平面永磁陣列，固定安裝在基臺(tái)上；平面電機(jī)動(dòng)子采用氣浮支承，底部為線圈陣列，兩個(gè)硅片臺(tái)與所述平面電機(jī)動(dòng)子固定連接，其特征在于，所述電流環(huán)輔助整定裝置包括整定基座、整定磁鋼陣列、移動(dòng)部件和驅(qū)動(dòng)器組件；所述整定磁鋼陣列排布方式與所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)的平面永磁陣列的排布方式一致，所述整定磁鋼陣列固定安裝在整定基座上；所述移動(dòng)部件包括導(dǎo)軌基座、第一導(dǎo)軌、第二導(dǎo)軌、第三導(dǎo)軌、第一滑塊、第二滑塊、第三滑塊、第四滑塊、第一橫梁和第二橫梁；其中導(dǎo)軌基座固定安裝在整定基座上，第一導(dǎo)軌沿X方向固定在導(dǎo)軌基座上；第一滑塊、第二滑塊、第三滑塊和第四滑塊均與第一橫梁固定連接，且第一滑塊和第二滑塊在第一導(dǎo)軌上沿導(dǎo)軌方向運(yùn)動(dòng)；第二導(dǎo)軌與第三滑塊相配合，第三導(dǎo)軌與第四滑塊相配合，且第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌均沿Y方向；第二導(dǎo)軌和第三導(dǎo)軌通過(guò)第二橫梁相連接；驅(qū)動(dòng)器組件包括與平面電機(jī)線圈個(gè)數(shù)相同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，每組線圈對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，分別對(duì)線圈進(jìn)行電流環(huán)整定。輔助整定裝置磁鋼陣列的尺寸大小為平面電機(jī)動(dòng)子尺寸的I. 2 2倍。由于采用了以上的技術(shù)方案，本發(fā)明具有以下優(yōu)點(diǎn)及突出效果實(shí)現(xiàn)了雙臺(tái)交換系統(tǒng)電機(jī)線圈的電流環(huán)整定，在不改變?cè)邢到y(tǒng)結(jié)構(gòu)的基礎(chǔ)上，提供了一種為電機(jī)電流環(huán)整定、實(shí)用且簡(jiǎn)便的輔助裝置。本發(fā)明的技術(shù)效果對(duì)電機(jī)電流環(huán)整定方面研究和發(fā)展具有重要的實(shí)際意義。


圖I是本發(fā)明電流環(huán)輔助整定裝置示意圖。圖2是本發(fā)明雙臺(tái)交換系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖。圖3是本發(fā)明平面電機(jī)動(dòng)子仰視圖。圖4是本發(fā)明電流環(huán)輔助整定裝置仰視圖。圖5是本發(fā)明移動(dòng)部件軸測(cè)圖。圖6是本發(fā)明移動(dòng)部件主視圖。 其中100-雙臺(tái)交換系統(tǒng)；101-基臺(tái)；102-硅片臺(tái)；103-驅(qū)動(dòng)器裝置；104-線纜；201-平面電機(jī)定子；202-平面電機(jī)動(dòng)子；202a-線圈陣列；300-電流環(huán)輔助整定裝置；301-整定磁鋼陣列；302_移動(dòng)部件；303_整定基座； 3020-導(dǎo)軌基座；3021_第一導(dǎo)軌；3022_第一滑塊；3023_第二滑塊；3024_第一橫梁；3025_第三滑塊；3026_第四滑塊；3027_第二導(dǎo)軌；3028_第三導(dǎo)軌；3029_第二橫梁。
具體實(shí)施例方式下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明實(shí)施方式作進(jìn)一步地詳細(xì)描述。圖I為本發(fā)明電流環(huán)輔助整定裝置示意圖，圖2為本發(fā)明雙臺(tái)交換系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，雙臺(tái)交換系統(tǒng)100包括基臺(tái)101、兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的硅片臺(tái)102和平面電機(jī)，平面電機(jī)定子201采用平面永磁陣列，固定安裝在基臺(tái)上,平面電機(jī)動(dòng)子202采用氣浮支承，底部為線圈陣列202a，兩個(gè)硅片臺(tái)102與所述平面電機(jī)動(dòng)子202固定連接，其特征在于，電流環(huán)輔助整定裝置300包括整定基座303、整定磁鋼陣列301、移動(dòng)部件302和驅(qū)動(dòng)器組件103。所述整定磁鋼陣列301固定安裝在整定基座303上，整定磁鋼陣列301排布方式與所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)100的平面永磁陣列的排布方式一致，考慮磁鋼陣列的邊界效應(yīng)，整定磁鋼陣列301尺寸大小為平面電機(jī)動(dòng)子202尺寸的I. 2 2倍。圖5為本發(fā)明移動(dòng)部件軸測(cè)圖，圖6為本發(fā)明移動(dòng)部件主視圖，移動(dòng)部件302包括導(dǎo)軌基座3020、第一導(dǎo)軌3021、第二導(dǎo)軌3027、第三導(dǎo)軌3028、第一滑塊3022、第二滑塊3023、第三滑塊3025、第四滑塊3026、第一橫梁3024和第二橫梁3029。其中導(dǎo)軌基座3020固定安裝在整定基座303上，第一導(dǎo)軌3021沿X方向固定在導(dǎo)軌基座3020上；第一滑塊3022、第二滑塊3023、第三滑塊3025和第四滑塊3026均與第一橫梁3024固定連接，且第一滑塊3022和第二滑塊3023在第一導(dǎo)軌3021上沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；第二導(dǎo)軌3027與第三滑塊3025相配合，第三導(dǎo)軌3028與第四滑塊3026相配合，且第二導(dǎo)軌3027和第三導(dǎo)軌3028均沿Y方向；第二導(dǎo)軌3027和第三導(dǎo)軌3028通過(guò)第二橫梁相連接。驅(qū)動(dòng)器組件103包括與平面電機(jī)線圈個(gè)數(shù)相同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器。平面電機(jī)電流環(huán)輔助整定過(guò)程如下，平面電機(jī)動(dòng)子202安裝在電流環(huán)輔助整定裝置300的移動(dòng)部件302上，采用與線圈相對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器分別對(duì)平面電機(jī)動(dòng)子202所有線圈進(jìn)行電流環(huán)整定，所有線圈均整定完成后，將平面電機(jī)動(dòng)子202和對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器，安裝到雙臺(tái)交換系統(tǒng)100上。圖3為本發(fā)明平面電機(jī)動(dòng)子仰視圖，其特征在于平面電機(jī)動(dòng)子202下表面固定安裝結(jié)構(gòu)相同的四組三相線圈陣列202a，其中兩組線圈沿X方向，其余兩組線圈沿Y方向，每組三相線圈均采用星型連接方法。 圖4為本發(fā)明電流環(huán)輔助整定裝置仰視圖，一組線圈僅對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，在電流環(huán)整定過(guò)程中線圈與驅(qū)動(dòng)器的對(duì)應(yīng)關(guān)系應(yīng)與雙臺(tái)交換系統(tǒng)相同，需保證兩者的對(duì)應(yīng)關(guān)系。
權(quán)利要求
1.一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置，所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)(100)包括基臺(tái)(101 )、兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的硅片臺(tái)(102)和平面電機(jī)，平面電機(jī)定子(201)采用平面永磁陣列，固定安裝在基臺(tái)上；平面電機(jī)動(dòng)子(202)采用氣浮支承，底部為線圈陣列(202a)，兩個(gè)硅片臺(tái)(102)與所述平面電機(jī)動(dòng)子(202)固定連接，其特征在于所述電流環(huán)輔助整定裝置(300)包括整定基座(303)、整定磁鋼陣列(301)、移動(dòng)部件(302)和驅(qū)動(dòng)器組件(103); 所述整定磁鋼陣列(301)固定安裝在整定基座(303)上，整定磁鋼陣列(301)的排布方式與所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)(100)的平面永磁陣列的排布方式一致； 所述移動(dòng)部件(302)包括導(dǎo)軌基座(3020)、第一導(dǎo)軌(3021)、第二導(dǎo)軌(3027)、第三導(dǎo)軌(3028)、第一滑塊(3022)、第二滑塊(3023)、第三滑塊(3025)、第四滑塊(3026)、第一橫梁(3024)和第二橫梁(3029)； 其中導(dǎo)軌基座(3020)固定安裝在整定基座(303)上，第一導(dǎo)軌(3021)沿X方向固定在導(dǎo)軌基座(3020)上；第一滑塊(3022)、第二滑塊(3023)、第三滑塊(3025)和第四滑塊(3026)均與第一橫梁(3024)固定連接，且第一滑塊(3022)和第二滑塊(3023)在第一導(dǎo)軌(3021)上沿導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)；第二導(dǎo)軌(3027)在第三滑塊(3025)上沿Y方向運(yùn)動(dòng)，第三導(dǎo)軌(3028 )在第四滑塊(3026 )上沿Y方向運(yùn)動(dòng)；第二導(dǎo)軌(3027 )和第三導(dǎo)軌(3028 )通過(guò)第二橫梁相連接； 所述驅(qū)動(dòng)器組件(103)包括與平面電機(jī)線圈個(gè)數(shù)相同的多個(gè)驅(qū)動(dòng)器，每組線圈對(duì)應(yīng)一個(gè)驅(qū)動(dòng)器，分別對(duì)線圈進(jìn)行電流環(huán)整定。
2.根據(jù)權(quán)利要求I所述的一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置，其特征在于所述的整定磁鋼陣列(301)的尺寸大小為平面電機(jī)動(dòng)子(202)尺寸的I. 2 2倍。
全文摘要
一種基于雙臺(tái)交換系統(tǒng)的電流環(huán)輔助整定裝置，所述雙臺(tái)交換系統(tǒng)包括基臺(tái)、兩個(gè)結(jié)構(gòu)相同的硅片臺(tái)和平面電機(jī)，平面電機(jī)定子采用平面永磁陣列，動(dòng)子采用線圈陣列，平面電機(jī)動(dòng)子采用氣浮支承，所述電流環(huán)輔助整定裝置包括磁鋼陣列、移動(dòng)部件和驅(qū)動(dòng)器組件，將平面電機(jī)動(dòng)子安裝于電流環(huán)輔助整定裝置的移動(dòng)部件上，采用驅(qū)動(dòng)器依次對(duì)動(dòng)子每組線圈進(jìn)行電流環(huán)整定，整定完成后，將平面電機(jī)動(dòng)子和線圈對(duì)應(yīng)的驅(qū)動(dòng)器移至雙臺(tái)交換系統(tǒng)。本發(fā)明為帶有復(fù)雜動(dòng)子線圈結(jié)構(gòu)的單臺(tái)或多臺(tái)系統(tǒng)提供一種簡(jiǎn)單、快捷的電流環(huán)整定方式，避免單臺(tái)或多臺(tái)系統(tǒng)在電流環(huán)整定過(guò)程中在結(jié)構(gòu)上或控制上增添附加設(shè)備造成的麻煩。
文檔編號(hào)H02N15/00GK102801369SQ20121024176
公開(kāi)日2012年11月28日 申請(qǐng)日期2012年7月12日 優(yōu)先權(quán)日2012年7月12日
發(fā)明者張鳴, 朱煜, 蔣毅, 成榮, 楊開(kāi)明, 李鑫, 穆海華, 尹文生, 余東東, 胡金春 申請(qǐng)人:清華大學(xué), 北京華卓精科科技有限公司