多輸出的dc-rf切換選擇裝置制造方法
【專利摘要】本實用新型涉及一種多輸出的DC-RF切換選擇裝置，用以提供DC電源或RF電波源予特定裝置，其中包含一個DC-RF切換電路，該DC-RF切換電路包含由一個電容及一個電感所構(gòu)成的電路。本實用新型是在DC輸入端加上電容電感電路，而使得在DC端其如同于低通濾波器，可令低頻電流通過。而在RF端其作用如同于高通濾波器，可令高頻電流通過，所以大部分的RF電波均會直接流入該DC-RF選擇器，不會溢流到該電感上，而干擾到其余的電路。本實用新型的電路相當(dāng)簡單，僅需以簡單的電容電感電路即可達(dá)到所需要的目的，所以整體的成本也相當(dāng)?shù)牡土?br> 【專利說明】多輸出的DC-RF切換選擇裝置
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本實用新型是有關(guān)于降低RF電波對于DC端電路影響的結(jié)構(gòu)，尤其是一種多輸出的DC-RF切換選擇裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體的制程中，濺鍍?yōu)橐环N常用的制程，濺鍍時是將靶材應(yīng)用極高電壓加熱，以使該祀材射向革巴體。
[0003]加壓靶材的來源可為DC電流或RF電波。一般在一種作業(yè)的機(jī)構(gòu)中僅會準(zhǔn)備單一套的DC電流源及RF電波源，主要是產(chǎn)生這兩種來源的價格相當(dāng)昂貴。
[0004]唯在實際的應(yīng)用中，一種濺鍍機(jī)構(gòu)有可能包含眾多個靶材，可是因為只有一套的DC電流源及RF電波源，所以操作時必須以人工作業(yè)的方式換接不同的接線以適應(yīng)所施用的靶材，此作業(yè)相當(dāng)不便，如果可以使用一個切換裝置，令射出端可依據(jù)靶材的不同選擇DC電流源或RF電波源，則可大大的簡化作業(yè)。
[0005]唯在同一個切換裝置中，要進(jìn)行RF或DC的作業(yè)中，因為RF電波會溢流到DC端，而影響整個作業(yè)，所以有必要對RF及DC兩者做有效的阻絕動作，才可以使切換裝置在安全及高效率的環(huán)境下作業(yè)。
[0006]因此，本實用新型的發(fā)明人亟需構(gòu)思一種新技術(shù)以改善其問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]所以本實用新型的目的是為解決上述現(xiàn)有技術(shù)上的問題，本實用新型中提出一種多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其能夠避免RF電波溢流到DC端而產(chǎn)生干擾。且其電路簡單,整體的成本低廉。
[0008]為達(dá)到上述的目的，本實用新型提出一種多輸出的DC-RF切換選擇裝置，包含:一個DC電源(直流電電源)，用于提供DC電流；該DC電源連接至少一個DC切換開關(guān)；一個RF電波源(射頻電波源)，用于提供RF電波；該RF電波源連接至少一個RF切換開關(guān)；在每一個DC切換開關(guān)與RF切換開關(guān)間架構(gòu)有一個DC-RF切換電路，其中該DC-RF切換電路包含:一個電感、一個電容以及一個DC-RF選擇器；該電感的輸入端連接該DC切換開關(guān)的輸出端；該電容的一端連接該電感的輸出端，另一端接地；該DC-RF選擇器，具有兩個輸入端A、B及一個輸出端C,輸入端A與該電感的輸出端連接,輸入端B與該RF切換開關(guān)的輸出端連接；該DC-RF選擇器包含一個選擇開關(guān)，其一個固定端固定并與該輸出端C電性連接，另一個選擇端選擇性的與輸入端A或輸入端B電性連接；其中，通過控制該DC切換開關(guān)、RF切換開關(guān)以及選擇開關(guān)的狀態(tài)，該輸出端C輸出DC電流或RF電波。
[0009]本實用新型的有益效果是:本實用新型的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其通過在DC輸入端加上電容電感電路，而使得在DC端其如同于低通濾波器，可令低頻電流通過。而對于RF端，其作用如同于高通濾波器，可令高頻電流通過，所以大部分的RF電波均會直接流入該DC-RF選擇器，不會溢流到該電感上，而干擾到其余的電路。本實用新型的電路相當(dāng)簡單，僅需以簡單的電容電感電路即可達(dá)到所需要的目的，所以整體的成本也相當(dāng)?shù)牡土１緦嵱眯滦椭粦?yīng)用單一的DC電源及RF電波源即可供應(yīng)多個濺鍍靶，而RF電波并不會干擾到DC端的電路，也不會溢流到濺鍍靶的相關(guān)電路，而達(dá)到防電波干擾的目的。
[0010]由下文的說明可更進(jìn)一步了解本實用新型的特征及其優(yōu)點，閱讀時并請參考附圖。
【專利附圖】

【附圖說明】
[0011]圖1為本實用新型的電路示意圖。
[0012]圖2為本實用新型以RF電波為輸出時的電路示意圖。
[0013]圖3為本實用新型以DC電流為輸出時的電路示意圖。
[0014]圖4為本實用新型的DC-RF選擇器與控制單元的連接示意圖。
[0015]圖5為本實用新型的實際應(yīng)用電路圖。
[0016]圖6為本實用新型的實際硬體架構(gòu)圖。
[0017]【主要元件符號說明】
[0018]10DC 電源 [0019]110, 120, 130DC 切換開關(guān)
[0020]111輸入端
[0021]112輸出端
[0022]30，30’，30”DC-RF 切換電路
[0023]32電感
[0024]321輸入端
[0025]322輸出端
[0026]34電容
[0027]36，36’，36”DC-RF 選擇器
[0028]37，37’，37”濺鍍源
[0029]38選擇開關(guān)
[0030]50RF 電波源
[0031]510, 520, 530RF 切換開關(guān)
[0032]511輸入端
[0033]512輸出端
[0034]60控制單元。
【具體實施方式】
[0035]茲謹(jǐn)就本實用新型的結(jié)構(gòu)組成，及所能產(chǎn)生的功效與優(yōu)點，配合附圖，舉本實用新型的一種較佳實施例詳細(xì)說明如下。
[0036]本例是有關(guān)于多輸出的DC-RF切換選擇裝置的結(jié)構(gòu)，本實用新型中圖1、圖2、圖3、圖5為電路元件之示意連接圖，圖6為各元件的實體配置圖。
[0037]在本實用新型中所提的DC為Direct Current,意指直流電；RF為Radiofrequency,意指射頻。[0038]請參考圖1至圖3，本實用新型的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，包含:
[0039]一個DC電源10 (直流電電源)，用于提供DC電流。
[0040]至少一個DC切換開關(guān)110的輸入端111連接該DC電源10，用以借助DC切換開關(guān)110的輸出端112傳送DC電源10所提供的DC電流予下級元件。
[0041 ] 一個RF電波源50 (射頻電波源)，用于提供RF電波。
[0042]至少一個RF切換開關(guān)510的輸入端511連接該RF電波源50，可經(jīng)由該RF切換開關(guān)510的輸出端512將該RF電波傳送予下一級的兀件。
[0043]其中該DC切換開關(guān)110的數(shù)目同于該RF切換開關(guān)510數(shù)目。
[0044]在每一個DC切換開關(guān)110與RF切換開關(guān)510間架構(gòu)一個DC-RF切換電路30，其中該DC-RF切換電路30包含:
[0045]一個電感32，該電感32的輸入端321連接該DC切換開關(guān)110的輸出端112。
[0046]一個電容34的一端連接該電感32的輸出端322，該電容的另一端接地。
[0047]一個DC-RF選擇器36,具有兩個輸入端A、B及一個輸出端C,輸入端A與該電感32的輸出端322連接，輸入端B與該RF切換開關(guān)510的輸出端512連接。其中該DC-RF選擇器36的輸出端C連接到一個濺鍍源37。
[0048]該DC-RF選擇器36尚包含一個選擇開關(guān)38，其一個固定端固定與該DC-RF選擇器的輸出端C電性連接，另一個選擇端可經(jīng)需求選擇與該DC-RF選擇器36的輸入端A或輸入端B電性連接。
[0049]所以經(jīng)由控制該選擇開關(guān)38的選擇端選擇與輸入端A或輸入端B電性連接，即可決定該DC-RF選擇器的輸出端C的輸出為DC電流或RF電波。
[0050]請參考圖4，其中尚包含一個控制單元60，該控制單元60與該DC-RF選擇器36電性連接，用以控制該選擇開關(guān)38的該選擇端與該DC-RF選擇器36的輸入端A或輸入端B電性連接。
[0051]其中該DC-RF切換電路30均搭配一個DC切換開關(guān)110及一個RF切換開關(guān)510為一組，所以該DC-RF切換電路30的數(shù)量對應(yīng)該DC切換開關(guān)數(shù)或RF切換開關(guān)數(shù)的最少數(shù)量。
[0052]請參考圖5及圖6,顯示為本實用新型實際電路配置及實體硬體配置。圖5顯示以一個DC電源10及一個RF電波源50的供應(yīng)條件下，搭配三組DC-RF切換電路30，30’，30”(關(guān)于DC-RF切換電路內(nèi)容的電子元件請參閱圖1)，各DC-RF切換電路30，30，，30”皆搭配一個DC切換開關(guān)110，120，130及一個RF切換開關(guān)510，520，530，因此在本實施例具有三個濺鍍源37，37’，37” ；
[0053]其中各DC-RF切換電路30，30，，30”中的各DC-RF選擇器36，36，，36”皆分別連接該控制單元60，因此各濺鍍源37，37’，37”在同時可分別供應(yīng)DC電流或RF電波；
[0054]而在本實施例中以三個DC切換開關(guān)110，120, 130及三個RF切換開關(guān)510，520，530并搭配三組DC-RF切換電路30，30’，30”為例；唯實際應(yīng)用中，該DC切換開關(guān)、RF切換開關(guān)及該DC-RF切換電路數(shù)目并不限于三個(組)，可為大于等于I的任意整數(shù)個，唯僅遵守一個DC切換開關(guān)、一個RF切換開關(guān)搭配一組DC-RF切換電路的規(guī)則。
[0055]其中該DC切換開關(guān)及該RF切換開關(guān)在實際使用中，其為高度真空的陶瓷開關(guān)。
[0056]本機(jī)構(gòu)的作用在于經(jīng)由該DC-RF選擇器36及選擇開關(guān)38即可選擇輸出為DC電流或RF電波，而在整個電路中可配置眾多組DC-RF切換電路30，唯只需要一組DC電源10及一組RF電波源50即可供應(yīng)多組DC-RF切換電路30。也就是在一套設(shè)備中，只需要購置一組DC電源10及一組RF電波源50而達(dá)到節(jié)省成本的目的。
[0057]其中在本實用新型中于DC切換開關(guān)110及DC-RF選擇器36之間架構(gòu)電感32、電容34其作用說明如下:
[0058]對于DC電流而言，該電感32的感抗幾近為零，而該電容34的容抗則為無限大。所以大部分的DC電流均會直接流入該DC-RF選擇器36。不會溢流到該電容34上，而損耗能量。所以其作用如同于低通濾波器，可令低頻電流通過。
[0059]而對RF電波(其為AC電波)，其作用則相反，即該電感32的感抗幾近為無限大，而該電容34的容抗則接近零。所以大部分的RF電波均會直接流入該DC-RF選擇器36，溢流的電波會借助該電容34導(dǎo)至其他電路，不會溢流到該電感上32，而干擾到其余的電路。所以其作用如同于高通濾波器，可令高頻電流通過。
[0060]主要是當(dāng)使用在DC電流模式時，該RF電波仍會溢流到DC端，而干擾整個DC端的運作。本實用新型的設(shè)計則可阻絕該RF電波流向該DC端。
[0061]所以本實用新型的優(yōu)點為在DC輸入端加上電容電感電路，而使得在DC端其如同于低通濾波器，可令低頻電流通過。其作用如同于高通濾波器，可令高頻電流通過，所以大部分的RF電波均會直接流入該DC-RF選擇器，不會溢流到該電感上，而干擾到其余的電路。本實用新型的電路相當(dāng)簡單，僅需以簡單的電容電感電路即可達(dá)到所需要的目的，所以整體的成本也相當(dāng)?shù)牡土?br> [0062]綜上所述，本實用新型人性化的體貼設(shè)計，相當(dāng)符合實際需求。其具體改進(jìn)現(xiàn)有缺失，相較于現(xiàn)有技術(shù)明顯具有突破性的進(jìn)步優(yōu)點，確實具有功效的增進(jìn)，且非易于達(dá)成。本實用新型未曾公開或揭露于國內(nèi)與國外的文獻(xiàn)與市場上，已符合專利法規(guī)定。
[0063]上列詳細(xì)說明是針對本實用新型的一種可行實施例的具體說明，惟該實施例并非用以限制本實用新型的專利范圍，凡未脫離本實用新型技藝精神所作的等效實施或變更，均應(yīng)包含于本實用新型的專利范圍中。
【權(quán)利要求】
1.一種多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于，包含: 一個用于提供DC電流的DC電源，該DC電源連接至少一個DC切換開關(guān)； 一個用于提供RF電波的RF電波源，該RF電波源連接至少一個RF切換開關(guān)； 在每一個DC切換開關(guān)與RF切換開關(guān)間架構(gòu)有一個DC-RF切換電路，其中該DC-RF切換電路包含:一個電感、一個電容以及一個DC-RF選擇器； 該電感的輸入端連接該DC切換開關(guān)的輸出端； 該電容的一端連接該電感的輸出端，另一端接地； 該DC-RF選擇器,具有兩個輸入端A、B及一個輸出端C,輸入端A與該電感的輸出端連接，輸入端B與該RF切換開關(guān)的輸出端連接； 該DC-RF選擇器包含一個選擇開關(guān),其一個固定端固定并與該輸出端C電性連接,另一個選擇端選擇性的與輸入端A或輸入端B電性連接； 其中，通過控制該DC切換開關(guān)、RF切換開關(guān)以及選擇開關(guān)的狀態(tài)，該輸出端C輸出DC電流或RF電波。
2.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該輸出端C連接到一個濺鍍源。
3.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該選擇開關(guān)的選擇端借助控制信號或手動操作控制。
4.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該DC切換開關(guān)的數(shù)目同于該RF切換開關(guān)數(shù)目。
5.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:尚包含一個控制單元，該控制單元與各DC-RF選擇器電性連接，并控制各DC-RF選擇器的選擇開關(guān)的選擇端與該DC-RF選擇器的輸入端A或輸入端B電性連接。
6.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該DC-RF切換電路均搭配一個DC切換開關(guān)及一個RF切換開關(guān)為一組，該DC-RF切換電路的數(shù)量對應(yīng)該DC切換開關(guān)數(shù)或RF切換開關(guān)數(shù)的最少數(shù)量。
7.如權(quán)利要求5所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該DC-RF切換電路為數(shù)個時，各DC-RF切換電路的DC-RF選擇器皆分別連接該控制單元，并且各DC-RF選擇器的輸出端C在同時可分別供應(yīng)DC電流或RF電波。
8.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該DC切換開關(guān)為高度真空的陶瓷開關(guān)。
9.如權(quán)利要求1所述的多輸出的DC-RF切換選擇裝置，其特征在于:該RF切換開關(guān)為高度真空的陶瓷開關(guān)。
【文檔編號】H02J9/04GK203674781SQ201320696155
【公開日】2014年6月25日 申請日期:2013年11月6日 優(yōu)先權(quán)日:2013年11月6日
【發(fā)明者】徐永桓 申請人:亮杰科技有限公司