伸縮桿驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、基板位置校正裝置及陣列基板測(cè)試設(shè)備的制造方法
【專(zhuān)利摘要】本實(shí)用新型提供一種伸縮桿驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、基板位置校正裝置及陣列基板測(cè)試設(shè)備，上述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括：伸縮桿；磁體，所述磁體具有兩個(gè)磁極，所述磁體的一個(gè)磁極與所述伸縮桿連接；電磁感應(yīng)線圈，電磁感應(yīng)線圈具有兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極，電磁感應(yīng)線圈的一個(gè)電磁感應(yīng)磁極與所述磁體的另一個(gè)磁極相對(duì)設(shè)置；用于控制所述電磁感應(yīng)線圈內(nèi)的電流方向，以控制電磁感應(yīng)線圈的兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極極性調(diào)換，而與磁體吸引或排斥，以驅(qū)動(dòng)所述磁體帶動(dòng)所述伸縮桿移動(dòng)的電流控制單元，所述電流控制單元與所述電磁感應(yīng)線圈電連接。上述方案，通過(guò)電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿的伸縮驅(qū)動(dòng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮因時(shí)間問(wèn)題伸縮裝置出現(xiàn)裂紋等技術(shù)問(wèn)題。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
伸縮桿驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、基板位置校正裝置及陣列基板測(cè)試設(shè)備
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本實(shí)用新型涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、基板位置校正裝置及陣列基板測(cè)試設(shè)備。
【背景技術(shù)】
[0002]在TFT_LCD(ThinFilm Transistor-Liquid Crystal Display，薄膜晶體管液晶顯示器)制造工藝中，Array Test(陣列基板測(cè)試)是Array(陣列基板)端最重要的檢測(cè)環(huán)節(jié)，對(duì)TFT(薄膜晶體管)中的電學(xué)特性進(jìn)行檢測(cè)，在工藝完成后進(jìn)行的檢測(cè)對(duì)產(chǎn)品的電學(xué)特性監(jiān)控起到重要的作用。
[0003]由于陣列基板測(cè)試設(shè)備是真空設(shè)備，需要預(yù)真空腔室(Loadlock)在大氣環(huán)境和真空環(huán)境之間的轉(zhuǎn)換。預(yù)真空腔室的四角安裝有基板位置校正裝置，對(duì)基板進(jìn)行卡位校準(zhǔn)，該基板位置校正裝置包括基板夾持部件(Clamp)和驅(qū)動(dòng)基板夾持部件的伸縮驅(qū)動(dòng)裝置。如圖1所示，該基板位置校正裝置處于復(fù)位狀態(tài)，如圖2所示，該基板位置校正裝置處于卡位狀態(tài)，圖3所示為該基板位置校正裝置處于卡位狀態(tài)時(shí)，校正基板4的結(jié)構(gòu)示意圖，其中，基板夾持部件I通過(guò)伸縮驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)在卡位狀態(tài)和復(fù)位狀態(tài)之間切換。現(xiàn)有的伸縮驅(qū)動(dòng)裝置采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置2，并通過(guò)伸縮部件(Bellow)3連接預(yù)真空腔室，由于在氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置2伸縮完成基板卡位和復(fù)位動(dòng)作，其中伸縮部件3也進(jìn)行伸縮，長(zhǎng)時(shí)間執(zhí)行此動(dòng)作，Bellow易發(fā)生裂紋，損壞，從而導(dǎo)致漏氣現(xiàn)象，使預(yù)真空腔作業(yè)時(shí)間(Tact Time)延長(zhǎng)，影響產(chǎn)量，更換Bellow過(guò)程比較繁雜、耗時(shí)，更換完成需進(jìn)行校正，有基板損傷(Broken)的風(fēng)險(xiǎn)，且購(gòu)買(mǎi)單一備件周期相對(duì)較長(zhǎng)。
【實(shí)用新型內(nèi)容】
[0004]本實(shí)用新型的目的在于提供一種伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)、基板位置校正裝置及陣列基板測(cè)試設(shè)備，通過(guò)電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿的伸縮驅(qū)動(dòng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮因時(shí)間問(wèn)題伸縮裝置出現(xiàn)裂紋等技術(shù)問(wèn)題。
[0005]本實(shí)用新型所提供的技術(shù)方案如下:
[000?] —種伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，包括:
[0007]伸縮桿；
[0008]磁體，所述磁體具有兩個(gè)磁極，所述磁體的一個(gè)磁極與所述伸縮桿連接；
[0009]電磁感應(yīng)線圈，所述電磁感應(yīng)線圈具有兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極，所述電磁感應(yīng)線圈的一個(gè)電磁感應(yīng)磁極與所述磁體的另一個(gè)磁極相對(duì)設(shè)置；
[0010]用于控制所述電磁感應(yīng)線圈內(nèi)的電流方向，以控制所述電磁感應(yīng)線圈的兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極極性調(diào)換，而與所述磁體吸引或排斥，以驅(qū)動(dòng)所述磁體帶動(dòng)所述伸縮桿移動(dòng)的電流控制單元，所述電流控制單元與所述電磁感應(yīng)線圈電連接。
[0011]進(jìn)一步的，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括:一用于限定所述磁體的移動(dòng)行程的磁體行程限定框，所述磁體行程限定框包括分別設(shè)置在所述磁體的兩端的第一框體和第二框體，其中所述伸縮桿穿過(guò)所述第一框體，而與所述磁體連接。
[0012]進(jìn)一步的，所述第一框體和所述第二框體與所述磁體之間設(shè)置有緩沖部件。
[0013]進(jìn)一步的，所述緩沖部件包括設(shè)置在所述第一框體和所述第二框體上的緩沖墊。
[0014]進(jìn)一步的，所述電磁感應(yīng)線圈包括:軸體；以及，螺旋環(huán)繞于所述軸體上的導(dǎo)線；
[0015]其中所述電流控制單元與所述導(dǎo)線的兩端電連接。
[0016]一種基板位置校正裝置，用于夾住基板，以校正基板的位置;所述基板位置校正裝置包括:如上所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)；
[0017]以及，用于夾持住基板的基板夾持部件，所述基板夾持部件包括一夾持爪部、一推動(dòng)桿部和一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述夾持爪部連接在所述推動(dòng)桿部的第一端，所述推動(dòng)桿部的第二端與所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的伸縮桿的遠(yuǎn)離所述磁體的一端連接，所述推動(dòng)桿部的中部連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸，當(dāng)所述伸縮桿移動(dòng)時(shí)，能夠推動(dòng)所述推動(dòng)桿部繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，而改變所述夾持爪部的位置，以校正基板的位置。
[0018]進(jìn)一步的，所述推動(dòng)桿部的第二端具有一條形孔；
[0019]所述伸縮桿的遠(yuǎn)離所述磁體的一端設(shè)有一用于容置在所述條形孔內(nèi)，能夠在所述伸縮桿移動(dòng)時(shí)，在所述條形孔內(nèi)滑動(dòng)的滑塊。
[0020]進(jìn)一步的，所述夾持爪部包括用于分別夾持在基板的一個(gè)角的兩個(gè)側(cè)邊的第一夾臂和第二夾臂。
[0021]—種陣列基板測(cè)試設(shè)備，包括如上所述的基板位置校正裝置。
[0022]進(jìn)一步的，包括一預(yù)真空腔室，其中所述基板位置校正裝置的基板夾持部件設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的磁體設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述電磁感應(yīng)線圈設(shè)置在所述預(yù)真空腔室之外。
[0023]本實(shí)用新型的有益效果是:
[0024]上述方案，通過(guò)電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿的伸縮驅(qū)動(dòng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮因時(shí)間問(wèn)題伸縮裝置出現(xiàn)裂紋等技術(shù)問(wèn)題。應(yīng)用于陣列基板測(cè)試設(shè)備中，該伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可以用于驅(qū)動(dòng)基板夾持部件伸縮，改變了現(xiàn)有技術(shù)中基板夾持部件與預(yù)真空腔的連接方式，使基板夾持部件與外界無(wú)縫連接，即可達(dá)到校正基板的目的，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮，因時(shí)間問(wèn)題伸縮裝置出現(xiàn)裂紋導(dǎo)致漏氣的技術(shù)問(wèn)題。
【附圖說(shuō)明】
[0025]圖1表示現(xiàn)有技術(shù)中基板位置校正裝置中基板夾持部件處于復(fù)位狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0026]圖2表示現(xiàn)有技術(shù)中基板位置校正裝置中基板夾持部件處于卡位狀態(tài)時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0027]圖3表示現(xiàn)有技術(shù)中基板位置校正裝置中基板夾持部件處于卡位狀態(tài)進(jìn)行基板位置校正時(shí)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0028]圖4表示本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0029]圖5表示本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的基板位置校正裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0030]為使本實(shí)用新型實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本實(shí)用新型實(shí)施例的附圖，對(duì)本實(shí)用新型實(shí)施例的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述。顯然，所描述的實(shí)施例是本實(shí)用新型的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；谒枋龅谋緦?shí)用新型的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本實(shí)用新型保護(hù)的范圍。
[0031]針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)中陣列基板測(cè)試設(shè)備中用于驅(qū)動(dòng)基板夾持部件的驅(qū)動(dòng)裝置為氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置，因時(shí)間問(wèn)題伸縮部件會(huì)出現(xiàn)裂紋而導(dǎo)致預(yù)真空腔漏氣的技術(shù)問(wèn)題，本實(shí)用新型提供了一種伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其是利用電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿的伸縮驅(qū)動(dòng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿伸縮，因時(shí)間問(wèn)題伸縮部件出現(xiàn)裂紋等技術(shù)問(wèn)題。
[0032]如圖4所示，本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括:
[0033]伸縮桿101;
[0034]磁體102，所述磁體102具有兩個(gè)磁極，所述磁體102的一個(gè)磁極與所述伸縮桿101
連接；
[0035]電磁感應(yīng)線圈103，所述電磁感應(yīng)線圈103具有兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極，所述電磁感應(yīng)線圈103的一個(gè)電磁感應(yīng)磁極與所述磁體102的另一個(gè)磁極相對(duì)設(shè)置；
[0036]用于控制所述電磁感應(yīng)線圈103內(nèi)的電流方向，以控制所述電磁感應(yīng)線圈103的兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極極性調(diào)換，而與所述磁體102吸引或排斥，以驅(qū)動(dòng)所述磁體102帶動(dòng)所述伸縮桿1I移動(dòng)的電流控制單元104，所述電流控制單元104與所述電磁感應(yīng)線圈103電連接。
[0037]根據(jù)安培定則可知:用右手握住通電感應(yīng)線圈，使四指彎曲與電流方向一致，那么大拇指所指的那一端是通電感應(yīng)線圈的N極。
[0038]在上述方案中，在電磁感應(yīng)線圈103中加入電流控制單元104，在伸縮桿101的一端增加一磁體102，再通過(guò)改變電流方向來(lái)改變電磁感應(yīng)線圈103的磁極的方向，這樣磁體1 2就會(huì)被吸引或排斥，從而磁體102會(huì)帶動(dòng)伸縮桿101移動(dòng)，而實(shí)現(xiàn)伸縮桿101的伸縮。
[0039]由此可見(jiàn)，本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，通過(guò)電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿101的伸縮驅(qū)動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用壽命長(zhǎng)，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)伸縮桿101伸縮，因時(shí)間問(wèn)題伸縮部件出現(xiàn)裂紋等技術(shù)問(wèn)題。
[0040]將本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)應(yīng)用于陣列基板測(cè)試設(shè)備中時(shí)，該伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)可以用于驅(qū)動(dòng)基板夾持部件伸縮，結(jié)合陣列基板測(cè)試設(shè)備預(yù)真空腔室的結(jié)構(gòu)，可以利用電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)為基板位置校正裝置提供驅(qū)動(dòng)力，且驅(qū)動(dòng)元件(包括電磁感應(yīng)線圈103和電流控制單元104)與基板夾持部件可以實(shí)現(xiàn)非接觸，改變了現(xiàn)有技術(shù)中基板夾持部件與預(yù)真空腔的連接方式，使基板夾持部件與外界無(wú)縫連接，即可達(dá)到校正基板的目的，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿101伸縮，因時(shí)間問(wèn)題伸縮裝置出現(xiàn)裂紋導(dǎo)致漏氣的技術(shù)問(wèn)題。
[0041]在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的，如圖4所示，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括:一用于限定所述磁體102的移動(dòng)行程的磁體102行程限定框，所述磁體102行程限定框包括分別設(shè)置在所述磁體102的兩端的第一框體201和第二框體202，其中所述伸縮桿101穿過(guò)所述第一框體201，而與所述磁體102連接。
[0042]采用上述方案，可以通過(guò)設(shè)置所述磁體102行程限定框來(lái)對(duì)磁體102的移動(dòng)行程進(jìn)行限定，進(jìn)而來(lái)限定伸縮桿101的伸縮行程。應(yīng)當(dāng)理解的是，所述磁體102行程限定框的具體結(jié)構(gòu)在此并不作局限。
[0043]此外，如圖4所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，如圖所示，所述第一框體201和所述第二框體202與所述磁體102之間設(shè)置有緩沖部件。通過(guò)設(shè)置所述緩沖部件來(lái)避免所述磁體102與所述第一框體201和所述第二框體202之間撞擊，保證整個(gè)結(jié)構(gòu)的安全可靠性。
[0044]優(yōu)選的，所述緩沖部件包括設(shè)置在所述第一框體201和所述第二框體202上的緩沖墊203。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述緩沖部件還可以采用其他部件來(lái)實(shí)現(xiàn)，對(duì)此不再
列舉。
[0045]此外，如圖4所示，在本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，所述電磁感應(yīng)線圈103包括:軸體1031;以及，螺旋環(huán)繞于所述軸體1031上的導(dǎo)線1032;其中所述電流控制單元104與所述導(dǎo)線1032的兩端電連接。
[0046]上述方案提供了一種電磁感應(yīng)線圈103的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)于所述電磁感應(yīng)線圈103的可實(shí)現(xiàn)方式并不進(jìn)行限定。
[0047]此外，在本實(shí)用新型的實(shí)施例中還提供了一種基板位置校正裝置，用于夾住基板，以校正基板的位置;如圖5所示，所述基板位置校正裝置包括:
[0048]伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)包括:伸縮桿101;磁體102，所述磁體102具有兩個(gè)磁極，所述磁體1 2的一個(gè)磁極與所述伸縮桿1I連接；電磁感應(yīng)線圈1 3，所述電磁感應(yīng)線圈103具有兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極，所述電磁感應(yīng)線圈103的一個(gè)電磁感應(yīng)磁極與所述磁體102的另一個(gè)磁極相對(duì)設(shè)置；以及，用于控制所述電磁感應(yīng)線圈103內(nèi)的電流方向，以控制所述電磁感應(yīng)線圈103的兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極極性調(diào)換，而與所述磁體102吸引或排斥，以驅(qū)動(dòng)所述磁體102帶動(dòng)所述伸縮桿101移動(dòng)的電流控制單元104，所述電流控制單元104與所述電磁感應(yīng)線圈103電連接；
[0049]以及，用于夾持住基板10的基板夾持部件400，所述基板夾持部件400包括一夾持爪部401、一推動(dòng)桿部402和一轉(zhuǎn)動(dòng)軸403，所述夾持爪部401連接在所述推動(dòng)桿部402的第一端，所述推動(dòng)桿部402的第二端與所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的伸縮桿101的遠(yuǎn)離所述磁體102的一端連接，所述推動(dòng)桿部402的中部連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸403，當(dāng)所述伸縮桿101移動(dòng)時(shí)，能夠推動(dòng)所述推動(dòng)桿部402繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸403轉(zhuǎn)動(dòng)，而改變所述夾持爪部401的位置，以校正基板10的位置。
[0050]上述方案中，如圖所示，根據(jù)安培定則可知:用右手握住通電感應(yīng)線圈，使四指彎曲與電流方向一致，那么大拇指所指的那一端是通電感應(yīng)線圈的N極。
[0051 ] 在上述方案中，在電磁感應(yīng)線圈103中加入電流控制單元104，在伸縮桿101的一端增加一磁體102，再通過(guò)改變電流方向來(lái)改變電磁感應(yīng)線圈103的磁極的方向，這樣磁體1 2就會(huì)被吸引或排斥，從而磁體102會(huì)帶動(dòng)伸縮桿101移動(dòng)，而實(shí)現(xiàn)伸縮桿101的伸縮;伸縮桿101在伸縮過(guò)程中，與之連接的推動(dòng)桿部402則會(huì)繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸403轉(zhuǎn)動(dòng)，而使得所述推動(dòng)桿部402另一端的夾持爪部401的位置發(fā)生改變，從而對(duì)夾持爪部401所夾持的基板10位置進(jìn)行校正。
[0052]由此可見(jiàn)，本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，通過(guò)電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)實(shí)現(xiàn)伸縮桿101的伸縮驅(qū)動(dòng)，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用壽命長(zhǎng)，結(jié)合陣列基板10測(cè)試設(shè)備預(yù)真空腔室的結(jié)構(gòu)，可以利用電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)為基板位置校正裝置提供驅(qū)動(dòng)力，且驅(qū)動(dòng)元件(包括電磁感應(yīng)線圈103和電流控制單元104)與基板夾持部件400可以實(shí)現(xiàn)非接觸，改變了現(xiàn)有技術(shù)中基板夾持部件400與預(yù)真空腔的連接方式，使基板夾持部件400與外界無(wú)縫連接，即可達(dá)到校正基板10的目的，解決現(xiàn)有技術(shù)中采用氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)方式驅(qū)動(dòng)伸縮桿101伸縮，因時(shí)間問(wèn)題伸縮部件出現(xiàn)裂紋導(dǎo)致漏氣的技術(shù)問(wèn)題。
[0053]在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，優(yōu)選的，如圖5所示，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括:一用于限定所述磁體102的移動(dòng)行程的磁體102行程限定框，所述磁體102行程限定框包括分別設(shè)置在所述磁體102的兩端的第一框體201和第二框體202，其中所述伸縮桿101穿過(guò)所述第一框體201，而與所述磁體102連接。
[0054]采用上述方案，可以通過(guò)設(shè)置所述磁體102行程限定框來(lái)對(duì)磁體102的移動(dòng)行程進(jìn)行限定，進(jìn)而來(lái)限定伸縮桿101的伸縮行程。應(yīng)當(dāng)理解的是，所述磁體102行程限定框的具體結(jié)構(gòu)在此并不作局限。
[0055]此外，如圖5所示，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，如圖所示，所述第一框體201和所述第二框體202與所述磁體102之間設(shè)置有緩沖部件。通過(guò)設(shè)置所述緩沖部件來(lái)避免所述磁體102與所述第一框體201和所述第二框體202之間撞擊，保證整個(gè)結(jié)構(gòu)的安全可靠性。
[0056]優(yōu)選的，所述緩沖部件包括設(shè)置在所述第一框體201和所述第二框體202上的緩沖墊203。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述緩沖部件還可以采用其他部件來(lái)實(shí)現(xiàn)，對(duì)此不再
列舉。
[0057]此外，如圖5所示，在本實(shí)用新型所提供的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)中，所述電磁感應(yīng)線圈103包括:軸體1031;以及，螺旋環(huán)繞于所述軸體1031上的導(dǎo)線1032;其中所述電流控制單元104與所述導(dǎo)線1032的兩端電連接。上述方案提供了一種電磁感應(yīng)線圈103的優(yōu)選結(jié)構(gòu)，其結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本較低。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，對(duì)于所述電磁感應(yīng)線圈103的可實(shí)現(xiàn)方式并不進(jìn)行限定。
[0058]此外，在本實(shí)用新型實(shí)施例所提供的基板位置校正裝置中，如圖5所示，所述推動(dòng)桿部402的第二端具有一條形孔4020;所述伸縮桿101的遠(yuǎn)離所述磁體102的一端設(shè)有一用于容置在所述條形孔4020內(nèi)，能夠在所述伸縮桿101移動(dòng)時(shí)，在所述條形孔4020內(nèi)滑動(dòng)的滑塊 1lOo
[0059]采用上述方案，伸縮桿101伸縮移動(dòng)時(shí)，與之連接的滑塊1010可在推動(dòng)桿部402的條形孔4020內(nèi)移動(dòng)，進(jìn)而帶動(dòng)推動(dòng)桿部402轉(zhuǎn)動(dòng)，從而使得夾持爪部401校正基板10的位置。應(yīng)當(dāng)理解的是，在實(shí)際應(yīng)用中，所述推動(dòng)桿部402與所述伸縮桿101連接方式不僅局限于此，例如:所述伸縮桿101的遠(yuǎn)離所述磁體102的一端可以設(shè)置條形孔4020，而所述推動(dòng)桿部402的第二端設(shè)置一可在所述條形孔4020內(nèi)滑動(dòng)的滑塊1010。
[0060]此外，在本實(shí)用新型所提供的基板位置校正裝置中，如圖5所示，所述夾持爪部401包括用于分別夾持在基板10的一個(gè)角的兩個(gè)側(cè)邊的第一夾臂4011和第二夾臂4012。當(dāng)然可以理解的是，在此對(duì)于所述夾持爪部401的具體結(jié)構(gòu)并不做限定。
[0061]此外，如圖5所示，本實(shí)用新型實(shí)施例中還提供了一種陣列基板10測(cè)試設(shè)備，包括本實(shí)用新型實(shí)施例中所提供的基板位置校正裝置。其中，所述基板10測(cè)試設(shè)備包括一預(yù)真空腔室，其中所述基板位置校正裝置的基板夾持部件400設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的磁體102設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述電磁感應(yīng)線圈103設(shè)置在所述預(yù)真空腔室之外。
[0062]采用上述方案，結(jié)合陣列基板10測(cè)試設(shè)備預(yù)真空腔室的結(jié)構(gòu)，可以利用電磁感應(yīng)技術(shù)來(lái)為基板位置校正裝置提供驅(qū)動(dòng)力，且驅(qū)動(dòng)元件(包括電磁感應(yīng)線圈103和電流控制單元104)與基板夾持部件400可以實(shí)現(xiàn)非接觸。
[0063]以上所述僅是本實(shí)用新型的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出，對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來(lái)說(shuō)，在不脫離本實(shí)用新型技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和替換，這些改進(jìn)和替換也應(yīng)視為本實(shí)用新型的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括: 伸縮桿； 磁體，所述磁體具有兩個(gè)磁極，所述磁體的一個(gè)磁極與所述伸縮桿連接； 電磁感應(yīng)線圈，所述電磁感應(yīng)線圈具有兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極，所述電磁感應(yīng)線圈的一個(gè)電磁感應(yīng)磁極與所述磁體的另一個(gè)磁極相對(duì)設(shè)置； 用于控制所述電磁感應(yīng)線圈內(nèi)的電流方向，以控制所述電磁感應(yīng)線圈的兩個(gè)電磁感應(yīng)磁極極性調(diào)換，而與所述磁體吸引或排斥，以驅(qū)動(dòng)所述磁體帶動(dòng)所述伸縮桿移動(dòng)的電流控制單元，所述電流控制單元與所述電磁感應(yīng)線圈電連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)還包括:一用于限定所述磁體的移動(dòng)行程的磁體行程限定框，所述磁體行程限定框包括分別設(shè)置在所述磁體的兩端的第一框體和第二框體，其中所述伸縮桿穿過(guò)所述第一框體，而與所述磁體連接。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述第一框體和所述第二框體與所述磁體之間設(shè)置有緩沖部件。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述緩沖部件包括設(shè)置在所述第一框體和所述第二框體上的緩沖墊。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，其特征在于， 所述電磁感應(yīng)線圈包括:軸體；以及，螺旋環(huán)繞于所述軸體上的導(dǎo)線； 其中所述電流控制單元與所述導(dǎo)線的兩端電連接。6.一種基板位置校正裝置，用于夾住基板，以校正基板的位置;其特征在于，所述基板位置校正裝置包括: 如權(quán)利要求1至5任一項(xiàng)所述的伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)； 以及，用于夾持住基板的基板夾持部件，所述基板夾持部件包括一夾持爪部、一推動(dòng)桿部和一轉(zhuǎn)動(dòng)軸，所述夾持爪部連接在所述推動(dòng)桿部的第一端，所述推動(dòng)桿部的第二端與所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的伸縮桿的遠(yuǎn)離所述磁體的一端連接，所述推動(dòng)桿部的中部連接所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸，當(dāng)所述伸縮桿移動(dòng)時(shí)，能夠推動(dòng)所述推動(dòng)桿部繞所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸轉(zhuǎn)動(dòng)，而改變所述夾持爪部的位置，以校正基板的位置。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板位置校正裝置，其特征在于， 所述推動(dòng)桿部的第二端具有一條形孔； 所述伸縮桿的遠(yuǎn)離所述磁體的一端設(shè)有一用于容置在所述條形孔內(nèi)，能夠在所述伸縮桿移動(dòng)時(shí)，在所述條形孔內(nèi)滑動(dòng)的滑塊。8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的基板位置校正裝置，其特征在于， 所述夾持爪部包括用于分別夾持在基板的一個(gè)角的兩個(gè)側(cè)邊的第一夾臂和第二夾臂。9.一種陣列基板測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括如權(quán)利要求6所述的基板位置校正裝置。10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的陣列基板測(cè)試設(shè)備，其特征在于，包括一預(yù)真空腔室，其中所述基板位置校正裝置的基板夾持部件設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述伸縮驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)的磁體設(shè)置在所述預(yù)真空腔室內(nèi)，所述電磁感應(yīng)線圈設(shè)置在所述預(yù)真空腔室之外。
【文檔編號(hào)】G02F1/13GK205657573SQ201620554599
【公開(kāi)日】2016年10月19日
【申請(qǐng)日】2016年6月2日 公開(kāi)號(hào)201620554599.8, CN 201620554599, CN 205657573 U, CN 205657573U, CN-U-205657573, CN201620554599, CN201620554599.8, CN205657573 U, CN205657573U
【發(fā)明人】李風(fēng), 陳慶友, 李繼, 付修行, 趙瓊, 李國(guó)棟, 郭世波
【申請(qǐng)人】合肥京東方光電科技有限公司, 京東方科技集團(tuán)股份有限公司