專利名稱：壓電諧振部件的制作方法
技術(shù)領域：
本發(fā)明涉及能阱(energy trap)型壓電諧振部件，具體地說，涉及一種可抑制起雜波作用之厚度縱向振動基波的能阱型壓電諧振部件。
背景技術(shù)：
能阱型壓電諧振器廣泛用作振蕩器。根據(jù)目標頻率選擇使用多種振動模式。
日本未審專利申請公開No.8-148967披露了一種使用厚度縱向振動基波的能阱型壓電諧振器101。如圖9中的透視圖所示，公知的能阱型壓電諧振器101包括具有矩形平面形狀的壓電基板102。壓電基板102由在厚度方向極化的壓電陶瓷制成。圓形平面形狀的振動電極103設在壓電基板102的頂面上，從振動電極103延伸出的引出電極104設在壓電基板102的頂面上。在壓電基板102的底面上也設有振動電極，以致該振動電極與振動電極103相對。引出電極從該振動電極延伸。
在能阱型壓電諧振器101中，在振動基板102頂面上的振動電極103與底面上的振動電極之間加給交流電場，激發(fā)厚度縱向振動。厚度縱向陣列的諧振頻率與反諧振頻率之間的寄生振蕩引起大量雜波振動。為了控制這種雜波振動，在能阱型壓電諧振器101的至少一個主表面上設置由含陶瓷粉末之有機聚合物制成的涂敷膜105和106。使用涂敷膜105和106增大能阱型壓電諧振器101的重量，從而控制寄生振蕩和雜波振動。
涂敷膜105和106對厚度縱向振動基波的寄生振蕩產(chǎn)生抑制作用。不過，在這種技術(shù)中，必須涂覆涂敷膜105和106，從而增加了制造步驟，導致成本增加。當在壓電諧振器101的頂部和底部設置外殼基板時，在壓電基板涂覆含有陶瓷粉末之涂敷膜105和106的區(qū)域中密封性能下降。涂敷膜105和106因其厚度而導致在壓電諧振部件中難以實現(xiàn)小外形(low-profile)設計。因為涂敷膜105和106中含有陶瓷粉末，涂敷膜105和106不能均勻涂覆，從而涂敷膜105和106不能以穩(wěn)定的方式控制雜波。
日本未審專利申請公開No.2003-87077披露一種使用厚度縱向振動三次諧波的能阱型壓電諧振器。將圓形振動電極設在具有矩形平面形狀的壓電基板的兩個主表面上，使振動電極通過其間所設置的壓電基板彼此相對。在壓電基板的振動電極相對區(qū)域的外部設置阻尼(damping)材料。在壓電基板方面，將壓電基板的厚度“t”設置為大于振動電極外邊緣與阻尼材料之間的距離“L”。由于阻尼材料的衰減作用，使壓電基板激發(fā)出厚度縱向振動的三次諧波，同時控制作為雜波的基波。
在按厚度縱向振動三次諧波工作的壓電諧振部件中，阻尼材料用于抑制厚度縱向振動的基波。這種公知技術(shù)同樣利用了阻尼材料的衰減作用，增加制造步驟，導致成本增加。
根據(jù)阻尼材料位置的不同，衰減效果也隨之改變，難以穩(wěn)定控制雜波。

發(fā)明內(nèi)容
為了克服上述問題，本發(fā)明的優(yōu)選實施例提供一種壓電諧振部件，它無需提供附加元件，如涂敷膜和阻尼元件，從而簡化制造步驟，降低制造成本，并具有在使用厚度縱向振動的三次諧波時，能有效并可靠地控制厚度縱向振動基波影響的結(jié)構(gòu)。
本發(fā)明優(yōu)選實施例的壓電諧振部件包括能阱型壓電諧振器，該能阱型壓電諧振器利用厚度縱向振動的三次諧波，并包括壓電基板，該壓電基板具有第一和第二主表面且在第一與第二主表面之間在厚度方向被極化，第一和第二振動電極關于設于其間的壓電基板彼此相對，第一和第二外殼基板分別層疊在壓電諧振器的第一和第二主表面上，從而形成空腔，不會干擾第一和第二振動電極通過壓電基板彼此相對位置處振動部分的振動，其中第一和第二振動電極設置成，使厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。
按照本發(fā)明這種優(yōu)選實施例的壓電諧振部件，包括分別層疊在壓電諧振器第一和第二主表面上的第一和第二外殼基板，從而形成空腔，以致不會干擾第一和第二振動電極通過壓電基板彼此相對位置處振動部分的振動。所述壓電基板為利用厚度縱向振動三次諧波的能阱型。因為第一和第二振動電極的尺寸被設計成，使得厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)，所以抑制厚度縱向振動的基波?？梢圆挥弥T如阻尼元件或涂敷膜等附加元件而抑制厚度縱向振動的基波，并且不會影響厚度縱向振動的三次諧波。由于不使用阻尼元件和涂敷膜，可實現(xiàn)小型化和薄型化設計。還可降低壓電諧振部件的成本。
在本發(fā)明的優(yōu)選實施例中，第一和第二振動電極中的每一個，優(yōu)選具有實質(zhì)上為圓形平面的形狀，所述空腔優(yōu)選具有實質(zhì)上為正方形平面的形狀，并且優(yōu)選保持關系R/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95，其中R(mm)代表實質(zhì)上為圓形平面形狀的第一和第二振動電極的直徑，A(mm)代表實質(zhì)上為正方形平面形狀之空腔的邊長，t(mm)代表壓電基板的厚度。
如果第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為圓形平面的形狀，則空腔具有實質(zhì)上為正方形平面的形狀，而且，最好保持關系R/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95，厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。使厚度縱向振動的基波得到有效的抑制。
在本發(fā)明另一優(yōu)選實施例中，第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為橢圓形平面的形狀，空腔具有實質(zhì)上為正方形平面的形狀，并且優(yōu)選保持關系Ra/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95，和Ra＝2(S/π)1/2，其中Ra代表第一和第二電極的尺寸，S(mm2)代表第一和第二振動電極每一個的面積，A(mm)代表實質(zhì)上為正方形平面形狀空腔的邊長，t(mm)代表壓電基板的厚度。
如果第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為橢圓形平面的形狀，并且空腔具有實質(zhì)上為正方形平面的形狀，而且還保持關系Ra/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95和Ra＝2(S/π)1/2，則厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。使厚度縱向振動的基波得到有效的抑制。
在又一優(yōu)選實施例中，第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為圓形和實質(zhì)上為橢圓平面形狀中的一種，空腔具有實質(zhì)上為矩形平面形狀，并且優(yōu)選保持關系Ra/t＝0.40Aa/t+1.40到0.33Aa/t+1.95，Ra＝2S1/2和Aa＝Sr1/2，其中Ra代表第一和第二電極的尺寸，S(mm2)代表第一和第二振動電極中每一個的面積，Aa代表空腔的尺寸，Sr(mm2)代表實質(zhì)上為矩形平面形狀空腔的面積，t(mm)代表壓電基板的厚度。
如果第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為圓形和實質(zhì)上為橢圓形平面形狀中的一種，則空腔具有實質(zhì)上為矩形平面的形狀，且優(yōu)選保持關系Ra/t＝0.40Aa/t+1.40到0.33Aa/t+1.95，Ra＝2S1/2和Aa＝Sr1/2，使厚度縱向振動的基波得到有效的抑制。
在本發(fā)明再一優(yōu)選實施例中，第一和第二外殼基板在它們被粘接到能阱型壓電諧振器的相應表面上分別具有凹槽，并且所述凹槽形成空腔。
在本發(fā)明另一優(yōu)選實施例中，第一和第二外殼基板為平面元件，第一和第二外殼基板借助粘接劑被粘接到壓電諧振器上，從而在第一和第二外殼基板中的每一個與壓電諧振器之間形成空腔。
如果第一和第二外殼基板在它們被粘接至能阱型壓電諧振器的各表面上具有凹槽，并且凹槽形成相應空腔，則通過控制凹槽的尺寸可有效抑制厚度縱向振動的基波。如果第一和第二外殼基板由平面元件制成，則第一和第二外殼基板優(yōu)選使用粘接劑粘接到壓電基板，從而在第一和第二外殼基板中的每一個與壓電基板之間形成空腔。在此情形中，如前面所述的那樣設計空腔的尺寸。
從下面參照附圖對優(yōu)選實施例的詳細說明，將使本發(fā)明的其他特征、要素、性質(zhì)、步驟和優(yōu)點變得愈為清楚。


圖1A和1B分別為本發(fā)明第一優(yōu)選實施例壓電諧振部件的縱向剖面圖和透視圖；圖2描繪出本發(fā)明第一優(yōu)選實施例壓電諧振部件之能阱型壓電諧振器的厚度縱向振動S0和S1模的相位峰值與諧振器電極的尺寸之間的關系；圖3描繪出具有S0模的相位峰值大于S1模的相位峰值的典型壓電諧振器的相位-頻率特性曲線；圖4描繪出具有S0模的相位峰值小于S1模的相位峰值的典型壓電諧振器的相位-頻率特性曲線；
圖5表示壓電諧振部件空腔的尺寸A，并且所繪制區(qū)域為，隨著振動電極直徑R的改變，S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)；圖6為本發(fā)明第二優(yōu)選實施例壓電諧振器的正向剖面圖；圖7為本發(fā)明第二優(yōu)選實施例壓電諧振部件主要部分的透視圖；圖8描繪本發(fā)明第二優(yōu)選實施例壓電諧振部件的壓電諧振器厚度縱向振動的S0和S1模的相位峰值與諧振器電極的尺寸之間的關系；以及圖9為說明公知能阱型壓電諧振器的透視圖。
具體實施例方式
以下將參照附圖描述本發(fā)明的優(yōu)選實施例。
圖1A為本發(fā)明第一優(yōu)選實施例壓電諧振部件1的縱向剖面圖，圖1B為該壓電諧振部件主要部分的透視圖。
壓電諧振部件1包括能阱型壓電諧振器2。所述壓電諧振器2包括具有實質(zhì)上為矩形平面形狀的壓電基板3。由壓電陶瓷如鋯鈦酸鉛陶瓷或鈦酸鉛陶瓷制成的壓電基板3在其厚度方向被極化。
具有實質(zhì)上為圓形平面形狀的第一振動電極4設在壓電基板3頂面大致為中心的位置處。第二振動電極5以這樣的方式被設置在壓電基板3的底面上，即使得第二振動電極5與第一振動電極4關于夾在它們之間的壓電基板3相對。
在壓電諧振器2中，第一引出電極6從第一振動電極4引出。而且，第二引出電極7從壓電基板3底面上的第二振動電極5引出。第一和第二引出電極6和7分別延伸到壓電基板3相對的端面3a和3b。
通過在壓電諧振器2中第一與第二振動電極4和5之間加給交流電場，激發(fā)出厚度縱向振動模。本發(fā)明的第一優(yōu)選實施例利用厚度縱向振動的三次諧波。
參照圖1A，使用粘接層9將第一外殼基板8粘接到平面壓電諧振器2的頂面。優(yōu)選由絕緣陶瓷如氧化鋁制成第一外殼基板8，并且在其底面上具有凹槽8a。凹槽8a形成空腔H，從而第一外殼基板8不會干擾第一振動電極4與第二振動電極5彼此相對位置處振動部分的振動。
使用粘接層11將第二外殼基板10粘接到壓電諧振器2的底面。在第二外殼基板10的頂面中形成凹槽10a。凹槽10a用于在振動部分下面形成空腔H，從而第二外殼基板10不會干擾振動部分的振動。
由與第一外殼基板8相同的材料制成第二外殼基板10。
圖1B表示壓電諧振部件1的透視圖，其中去除了第一和第二外殼基板8和10以及下部粘接層11。
本發(fā)明第一優(yōu)選實施例壓電諧振部件1的特征在于，將第一和第二振動電極4和5的尺寸設計成，使厚度縱向振動基波的S0模與S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。正如將要參照試驗結(jié)果所描述的那樣，這有效抑制了厚度縱向振動的基波，而不致影響厚度縱向振動的三次諧波。下面詳細描述實驗結(jié)果。
厚度縱向振動的基波具有兩種模式，即S0模和S1模。S0和S1模的相位峰值由第一和第二振動電極4和5的尺寸決定，空腔H的尺寸由凹槽8a和10a決定。
圖2表示S0模的相位峰值和S1模的相位峰值如何隨第一和第二振動電極4和5的尺寸而變。將壓電諧振器2設計成具有大約20MHz的諧振頻率。壓電基板3的尺寸比如約為3.7mm長乘大約3.1mm寬乘大約0.38mm厚。改變第一和第二振動電極4和5中每一個的直徑R(mm)。如圖所示，分別用虛線、點劃線和實線表示具有邊長為大約4.2t、大約4.47t以及大約4.7t的空腔H的三種壓電諧振器2的試驗結(jié)果，其中“t”表示壓電基板3的厚度，以mm為單位。如該圖所示，從左到右向下傾斜的直線代表S0模的結(jié)果；從左到右向上傾斜的直線代表S1模的結(jié)果。
如圖2中所示，隨著第一和第二振動電極4和5直徑R(mm)的增大，S0模的相位峰值線性減小，而S1模的相位峰值線性增大。隨著空腔H的改變，S0和S1模的相位峰值也呈現(xiàn)出相同趨勢。當S0模的相位峰值等于S1模的相位峰值時，厚度縱向振動基波的響應最小。
圖3表示壓電諧振器2典型的頻率-相位關系，其中S0模的相位峰值大于S1模的相位峰值。圖4表示壓電諧振器2典型的頻率-相位關系，其中S0模的相位峰值小于S1模的相位峰值。參照圖2，當S0模的相位峰值等于S1模的相位峰值時，厚度縱向振動基波的響應最小。不過，S0模相位峰值和S1模相位峰值均有大約±5度的誤差范圍。根據(jù)本發(fā)明優(yōu)選實施例，如果使S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)，則可有效抑制厚度縱向振動的基波。
S0模相位峰值與S1模相位峰值隨振動電極直徑沿相反方向變化的原因，可歸于S0模的相位振動區(qū)域與S1模的相位振動區(qū)域之間的差異。就從振動峰值位置的位移而言，S1模導致比S0模更寬的振動區(qū)域。這意味著由于封裝結(jié)構(gòu)導致S1模更易于減小。
在壓電諧振器2的制造階段，最好使S0模小于S1模。然后通過封裝結(jié)構(gòu)使S1模減小，使S0模的相位峰值等于S1模的相位峰值。從而有效抑制厚度縱向振動的基波。
確定封裝結(jié)構(gòu)中第一和第二振動電極4和5的尺寸R以及空腔H的尺寸，使壓電諧振器2制造階段S0模的相位峰值較小，然后通過改變封裝結(jié)構(gòu)而減小S1模，使S0模的相位峰值近似等于S1模的相位峰值。
通過改變第一和第二振動電極4和5的直徑R(mm)以及實質(zhì)上為正方形空腔H每一邊的尺寸A(mm)，制造出具有多種諧振頻率的壓電諧振部件。壓電諧振部件的諧振頻率為16、18、20和24MHz。確定每個壓電諧振部件的尺寸范圍，使S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差保持在大約±5度范圍內(nèi)。圖5表示試驗結(jié)果。如圖所示，從左到右繪出的四條曲線分別表示具有大約16、18、20和24MHz諧振頻率的壓電諧振部件的試驗結(jié)果。曲線上的數(shù)字表示厚度縱向振動基波的S0模和S1模的相位峰值，括號內(nèi)的數(shù)字代表三次諧波的相位峰值。
圖5表示本發(fā)明第一優(yōu)選實施例中壓電諧振部件1的空腔H和第一與第二振動電極4和5的直徑R的尺寸范圍，其中有效抑制了厚度縱向振動的基波，并充分激發(fā)出三次諧波。厚度縱向振動基波受到充分抑制的范圍，是S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差保持在大約±5度范圍內(nèi)的一個范圍。
參照圖5，用y＝0.33x+1.95t表示實直線A1，用y＝0.40x+1.40t表示實線A2，其中“x”代表實質(zhì)上為正方形空腔H每邊“A”的長度(mm)，“y”代表第一和第二振動電極4和5的直徑“R”(mm)，“t”代表壓電基板3的厚度。在直線A1和A2圍成的區(qū)域中，S0模的相位峰值與S1的相位峰值之差保持在大約±5度范圍內(nèi)，有效抑制厚度縱向振動的基波，同時有效激發(fā)出厚度縱向振動基波的三次諧波。在直線A1上面的區(qū)域中，三次諧波受到衰減，因為三次諧波的相位峰值為大約83度或更小。在直線A2下面的區(qū)域中，S0模和S1模的相位峰值為52度或更大，對厚度縱向振動基波的抑制不充分。
如果保持關系R/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95，其中R(mm)代表實質(zhì)上為圓形平面形狀的第一和第二振動電極的直徑，A(mm)代表實質(zhì)上為正方形平面形狀空腔每一邊的長度，t(mm)代表壓電基板的厚度，則極好地激發(fā)出厚度縱向振動的三次諧波，同時充分抑制厚度縱向振動的基波。
在利用厚度縱向振動三次諧波的本發(fā)明第一優(yōu)選實施例壓電諧振部件1的壓電諧振器2中，優(yōu)選使厚度縱向振動基波S0模的相位峰值小于S1模的相位峰值。最好通過改變封裝結(jié)構(gòu)中空腔“H”每一邊的長度，S1模的相位峰值更小。在壓電諧振部件1中，優(yōu)選使S0模的相位峰值與S1模的振動部分之間的差保持在大約±5度范圍內(nèi)。這有效地抑制了厚度縱向振動的基波，同時有效利用了厚度縱向振動的三次諧波。
圖6為本發(fā)明第二優(yōu)選實施例壓電諧振部件21的縱向剖面圖，圖7為該壓電諧振部件21的透視圖。除了第一和第二振動電極24和25具有實質(zhì)上為橢圓平面的形狀，并且空腔H具有實質(zhì)上為矩形平面形狀以外，第二優(yōu)選實施例的壓電諧振部件21與第一優(yōu)選實施例的壓電諧振部件1相同。相同元件用相同附圖標記表示，并省略其說明。
如圖6和7中所示本發(fā)明優(yōu)選實施例的壓電諧振部件可以包括實質(zhì)上為橢圓形的第一和第二振動電極24和25，以及實質(zhì)上為矩形空腔H。在此情形中，對于第一和第二振動電極24和25的尺寸Ra(mm)而言，使用2(S/π)1/2。此處，S(mm2)為第一和第二振動電極24和25每一個的面積。由于空腔H具有實質(zhì)上為矩形平面的形狀，則對于空腔H的尺寸Aa(mm)而言，使用Aa＝Sr1/2。此處，Sr(mm2)代表平面形空腔H的面積。
圖8表示在壓電諧振部件21的能阱型壓電諧振器中，第一和第二振動電極24和25的尺寸Ra與S0模和S1模相位峰值之間的關系。有如從圖8可以看到的那樣，對于具有實質(zhì)上為橢圓平面形狀的第一和第二振動電極24和25以及具有實質(zhì)上為矩形平面形狀的空腔H2，S0模和S1模的相位峰值沿關于尺寸Ra按相反的方向變化。比較圖8與圖2，使用實質(zhì)上為橢圓形的第一和第二振動電極24和25，以及實質(zhì)上為矩形的空腔H2，導致在代表S0模相位峰值變化的直線與代表S1模相位峰值變化的直線的交點處的相位小于圖2中的相應相位。具體而言，使用實質(zhì)上為橢圓形的第一和第二振動電極24和25以及實質(zhì)上為矩形的空腔H2，能更有效地抑制厚度縱向振動的基波。
按照本發(fā)明的第二優(yōu)選實施例，S0模和S1模的相位峰值相對于振動電極的尺寸按相反的方向改變。正如本發(fā)明第一優(yōu)選實施例中那樣，在壓電諧振器22的制造階段，優(yōu)選使S0模較小，并在封裝結(jié)構(gòu)中減小S1模。優(yōu)選使S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差處在大約±5度范圍內(nèi)。正如第一優(yōu)選實施例那樣，有效地抑制了厚度縱向振動的基波，同時不致顯著地影響厚度縱向振動的三次諧波。
如果在本發(fā)明第二優(yōu)選實施例中的空腔H2具有實質(zhì)上為正方形平面形狀，則可將空腔的尺寸A設定為實質(zhì)上為正方形形狀的每邊長。如果在本發(fā)明第二優(yōu)選實施例中的第一和第二振動電極24和25具有實質(zhì)上為圓形平面形狀，則其尺寸Ra可以為其直徑R。
由于本發(fā)明第二優(yōu)選實施例中保持關系Ra/t＝0.40Aa/t+1.40到0.33Aa/t+1.95，所以，優(yōu)選使S0模的相位峰值與S1模的相位峰值之差處在大約±5度范圍內(nèi)。
在本發(fā)明第一和第二優(yōu)選實施例中，由處于外殼基板中的凹槽限定空腔。作為選擇，可以增大粘接層9和11的厚度，由形成在每一粘接層9和11中的凹槽限定空腔。在這種情形下，可以使用平面基板作為外殼基板。
雖然參照各優(yōu)選實施例描述了本發(fā)明，不過本領域技術(shù)人員顯然能夠理解，可以通過多種方法對所披露的發(fā)明進行變型，而且可以具有除上面具體描述之外的多種實施方式。相應地，所附各權(quán)利要求意在覆蓋處于本發(fā)明真實精神和范圍內(nèi)的所有變型。
權(quán)利要求
1.一種壓電諧振部件，包括能阱型壓電諧振器，它利用厚度縱向振動的三次諧波，并且包括具有第一和第二主表面的壓電基板，而且在第一與第二主表面之間在厚度方向被極化，所述第一和第二振動電極關于設在其間的壓電基板彼此相對；和第一和第二外殼基板，分別層疊在壓電諧振器第一和第二主表面上，從而形成空腔，并且設置成使第一和第二外殼基板不干擾第一和第二振動電極通過壓電基板彼此相對位置處振動部分的振動；其中第一和第二振動電極的尺寸設計成，使厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為圓形平面的形狀；每一個空腔具有實質(zhì)上為正方形平面形狀；并且保持關系R/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95，其中R(mm)代表實質(zhì)上為圓形平面形狀的第一和第二振動電極的直徑，A(mm)代表實質(zhì)上為正方形平面形狀空腔的邊長，t(mm)代表壓電基板的厚度。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為橢圓形平面的形狀；每個空腔具有實質(zhì)上為正方形平面形狀；并且保持關系Ra/t＝0.40A/t+1.40到0.33A/t+1.95和Ra＝2(S/π)1/2，其中Ra代表第一和第二電極的尺寸，S(mm2)代表第一和第二振動電極中每一個的面積，A(mm)代表實質(zhì)上為正方形平面形狀空腔的邊長，t(mm)代表壓電基板的厚度。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中第一和第二振動電極中的每一個具有實質(zhì)上為圓形形狀和實質(zhì)上為橢圓形平面形狀其中之一；每一個空腔具有實質(zhì)上為矩形平面的形狀；并且保持關系Ra/t＝0.40Aa/t+1.40到0.33Aa/t+1.95，Ra＝2S1/2以及Aa＝Sr1/2，其中Ra代表第一和第二電極的尺寸，S(mm2)代表第一和第二振動電極中每一個的面積，Aa代表空腔的尺寸，Sr(mm2)代表實質(zhì)上為矩形平面形狀空腔的面積，t(mm)代表壓電基板的厚度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中，第一和第二外殼基板在其粘接至能阱型壓電諧振器的相應表面上分別設置有凹槽，并且凹槽限定空腔。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中，第一和第二外殼基板為平面元件，借助粘接劑將第一和第二外殼基板粘接到壓電諧振器上，從而在第一和第二外殼基板中的每一個與壓電諧振器之間形成空腔。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中，壓電基板實質(zhì)上為矩形形狀。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中，第一和第二振動電極實質(zhì)上為圓形平面的形狀。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中第一和第二振動電極為實質(zhì)上為橢圓形平面的形狀。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電諧振部件，其中?？涨痪哂袑嵸|(zhì)上為矩形平面的形狀。
全文摘要
一種壓電諧振部件包括能阱型壓電諧振器，該壓電諧振器利用厚度縱向振動的三次諧波，并包括壓電基板，該壓電基板具有第一和第二主表面并在第一與第二主表面之間在厚度方向被極化，第一和第二振動電極關于夾在之間的壓電基板彼此相對，第一和第二外殼基板分別層疊在壓電諧振器的第一和第二主表面上，從而使空腔被布置成不干擾第一和第二振動電極通過壓電基板彼此相對位置處振動部分的振動。第一和第二振動電極的尺寸被設定為，使厚度縱向振動基波的S0和S1模的相位峰值之差處于大約±5度范圍內(nèi)。
文檔編號H03H3/02GK1574622SQ20041004330
公開日2005年2月2日 申請日期2004年5月12日 優(yōu)先權(quán)日2003年5月30日
發(fā)明者吉尾雅一, 小谷謙一, 山田光洋 申請人:株式會社村田制作所