專利名稱：彈性表面波器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及便攜式電話等所用的縱模耦合型的彈性表面波器件。
背景技術(shù)：
近年來，為使便攜式電話等小型化、高性能化，而追求便攜式電話所用的電子零部件的小型、薄型且高性能化。在多種電子零部件中，半導(dǎo)體集成電路元件和彈性表面波器件(下稱SAW器件)都有比較大的形狀，所以，對于它們的小型化的要求就特別強(qiáng)烈。
為滿足這種要求，在SAW器件中，現(xiàn)有是通過探討電極圖形方案的最佳設(shè)計(jì)來實(shí)現(xiàn)小型化。但是，按照這種設(shè)計(jì)方法的小型化，有一定的限度。
圖14是現(xiàn)有的SAW器件200的電極圖形的示意圖。該SAW器件200在由壓電體構(gòu)成的壓電基板201上具有梳狀轉(zhuǎn)換器電極(下稱IDT電極)202A、202B、202C、設(shè)置在該IDT電極202A、202B、202C各自兩側(cè)的反射器電極203、連接在接地端子上的接地焊盤204、輸入焊盤205以及輸出焊盤206。IDT電極202A、202B、202C由具有分別相互對插的多條電極指的一對梳狀電極構(gòu)成。構(gòu)成兩側(cè)IDT電極202A、202C的一對梳狀電極中的一個(gè)連接在接地焊盤204上，另一個(gè)分別共同連接在輸出焊盤206上。構(gòu)成中央IDT電極202B的一對梳狀電極中的一個(gè)連接在輸入焊盤205上，另一個(gè)連接在接地焊盤204上。
另外，例如用引線把接地焊盤204與形成在芯柱(未圖示)上的接地電極端子10連接。
由圖14可知，在該SAW器件中，有三個(gè)接地焊盤204、一個(gè)輸入焊盤205和一個(gè)輸出焊盤206。因此，整體上必須要有五個(gè)焊盤的面積。與IDT電極202A、202B、202C或反射器電極203相比，由于焊盤所必要的面積大，所以，因必須要確保五個(gè)焊盤面積而難以小型化。由于從各個(gè)接地焊盤204連接到GND(接地電極)，所以得不到充分低的GND電平，而且不均勻，結(jié)果，使濾波特性變壞。
隨著電極圖形設(shè)計(jì)技術(shù)的進(jìn)步，通過對IDT電極進(jìn)行電極圖形本身或最佳布局的設(shè)計(jì)，就能夠?qū)崿F(xiàn)SAW器件的小型化。對此，為確保與引線的連接強(qiáng)度或確保電氣連接的可靠性，必須使連接到外部端子的接地焊盤、輸入焊盤或輸出焊盤超過某一定的面積。因此，很難進(jìn)一步減小各個(gè)焊盤面積，不削減焊盤的個(gè)數(shù)就會(huì)對SAW器件的小型化有較大的影響。
另一個(gè)面，作為實(shí)現(xiàn)小型化的其他手段，現(xiàn)有還采用去掉為改善通帶的截止特性并增大衰減量而附加的級(jí)間耦合電容或電感使其小型化的方法。例如，日本公開專利特開平10-224179號(hào)公報(bào)中展示，在壓電基板上縱向多級(jí)連接由三個(gè)IDT電極及其兩側(cè)配置的兩個(gè)反射器構(gòu)成的1次-3次縱耦合型二重模彈性表面波濾波器中，按照下述的結(jié)構(gòu)就不要級(jí)間電感。也就是說，使上述三個(gè)IDT電極中的兩側(cè)IDT電極的組數(shù)互不相同，從而使級(jí)間阻抗的容量換算值大約為零，同時(shí)把位于中央的IDT電極端部和兩側(cè)的IDT電極的各端部的間隔中的一個(gè)設(shè)定為約5λ/4，而另一個(gè)設(shè)定為與其不同的值。
但是，按照該例，即使省略級(jí)間的耦合電容或電感，其小型化也有限。而且，在該例中，因?yàn)閺倪B接到各個(gè)接地端子的焊盤分別連接到GND，所以，也得不到充分低的GND電平，且不均勻，與第一例一樣，濾波特性變壞。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于減少焊盤的個(gè)數(shù)實(shí)現(xiàn)SAW器件的小型化。
本發(fā)明的SAW器件構(gòu)成如下并聯(lián)連接有至少兩個(gè)以上縱模耦合型的彈性表面波元件，其具有形成在壓電性基板上的至少三個(gè)以上梳狀轉(zhuǎn)換器電極和沿從所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極產(chǎn)生的彈性表面波傳輸方向配置在所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極兩側(cè)的反射器電極；構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的各個(gè)梳狀電極中的一個(gè)在同一側(cè)共同連接且連接到接地焊盤上；所述梳狀電極的另一個(gè)連接到在所述接地焊盤的形成區(qū)域?qū)?cè)所形成的輸入焊盤或輸出焊盤上。
按照這樣的構(gòu)成，因?yàn)槟軌蛳鳒p必要的焊盤的個(gè)數(shù)，所以能減小SAW器件中的焊盤所必要的面積。結(jié)果，能夠?qū)崿F(xiàn)比現(xiàn)有更小型的SAW器件。而且，由于能把接地焊盤連接在共同的GND上，所以能夠穩(wěn)定地降低GND電平，從而能夠?qū)崿F(xiàn)濾波特性優(yōu)良的SAW器件。


圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖2是實(shí)施例1的變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖3是本發(fā)明的實(shí)施例2的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖4是實(shí)施例2的變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖5是本發(fā)明的實(shí)施例3的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖6是實(shí)施例3的變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖7是本發(fā)明的實(shí)施例4的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖8是實(shí)施例4的變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖9是實(shí)施例4的另一變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖10是本發(fā)明的實(shí)施例5的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖11是實(shí)施例5的變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖12是實(shí)施例5的另一變形例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖13是本發(fā)明的實(shí)施例6的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖；圖14是現(xiàn)有的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖。
具體實(shí)施例方式
以下用附圖來說明本發(fā)明的實(shí)施例。對于同樣的構(gòu)成要素標(biāo)注相同的符號(hào)。本實(shí)施例中所示的圖都是示意性地表示電極構(gòu)成的圖，例如，構(gòu)成IDT電極的一對梳狀電極的電極指分別為兩條，但是實(shí)際的SAW器件由更多條電極指構(gòu)成。一般這些電極指及其間隔大體相同，但是為易于理解而把電極指表示得很細(xì)。另外，共同連接多條電極指的一端的匯流條電極和從該匯流條電極引到焊盤的連接電極等也示意性地表示得很細(xì)。設(shè)計(jì)上可以將電極指或連接電極等設(shè)定為最佳寬度。
實(shí)施例1圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的SAW器件9的電極構(gòu)成的示意平面圖。本實(shí)施例的SAW器件9由在壓電基板6上的兩個(gè)彈性表面波元件(下稱SAW元件)25、26、連接它們的連接電極和各種焊盤構(gòu)成。左側(cè)的SAW元件25由三個(gè)IDT電極21A、21B、21C和沿從這些IDT電極21A、21B、21C產(chǎn)生的彈性表面波(下稱SAW)的傳輸方向配置在兩側(cè)的反射器電極22A、22B構(gòu)成；同樣，右側(cè)的SAW元件26由三個(gè)IDT電極23A、23B、23C和沿從這些IDT電極23A、23B、23C產(chǎn)生的SAW的傳輸方向配置在兩側(cè)的反射器電極24A、24B構(gòu)成。由圖1可知，左側(cè)的SAW元件25和右側(cè)的SAW元件26被并聯(lián)連接。
分別構(gòu)成左側(cè)的SAW元件25的IDT電極21A、21B、21C和右側(cè)的SAW元件26的IDT電極23A、23B、23C的一對梳狀電極中的一個(gè)由接地側(cè)連接電極27共同連接，再連接到接地焊盤3上。該接地焊盤3連接在用來與外部電路(未圖示)連接的接地電極端子10上。該接地電極端子10形成在支持壓電基板6的芯柱(未圖示)或安裝用基板(未圖示)上，接地焊盤3和接地電極端子10例如用引線連接。
分別構(gòu)成左側(cè)的SAW元件25的兩側(cè)IDT電極21A、21C的一對梳狀電極的另一個(gè)共同連接在輸出側(cè)連接電極8A上，再連接到輸出焊盤5A上。另外，構(gòu)成中央IDT電極21B的梳狀電極的另一個(gè)連接到輸入焊盤4A上。
同樣，分別構(gòu)成右側(cè)的SAW元件26的兩側(cè)IDT電極23A、23C的一對梳狀電極的另一個(gè)共同連接在輸出側(cè)連接電極8B上，再連接到輸出焊盤5B上。另外，構(gòu)成中央IDT電極23B的梳狀電極的另一個(gè)連接到輸入焊盤4B上。
梳狀電極這樣交叉構(gòu)成IDT電極的情況與現(xiàn)有的構(gòu)成是一樣的。
這樣，按照本實(shí)施例的SAW器件9就在壓電基板6上具有一個(gè)接地焊盤3、兩個(gè)輸入焊盤4A、4B和兩個(gè)輸出焊盤5A、5B共計(jì)五個(gè)焊盤，并作成為輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B平衡動(dòng)作的電極結(jié)構(gòu)。為使之平衡動(dòng)作，所以必須調(diào)整IDT電極21A、21B、21C、23A、23B、23C的形狀來進(jìn)行電極設(shè)計(jì)以使靜電容量等相等，由于這都是一般公知的方法，所以省略說明。通過使之平衡動(dòng)作容易實(shí)現(xiàn)與半導(dǎo)體集成電路元件(IC)等的阻抗匹配，所以能夠降低SAW器件9的損耗。
在本實(shí)施例的SAW器件9中，左側(cè)SAW元件25和右側(cè)SAW元件26將電極構(gòu)成設(shè)計(jì)為阻抗分別是100Ω。因此，從輸入焊盤4A、4B或輸出焊盤5A、5B看的阻抗就是并聯(lián)配置兩個(gè)分別為100Ω的左側(cè)SAW元件25和右側(cè)SAW元件26而成為50Ω。
即，在并聯(lián)連接n(大于2的整數(shù))個(gè)SAW元件的情況下，如果設(shè)計(jì)電極構(gòu)成使各個(gè)SAW元件的阻抗為(50×n)Ω，那么把這n個(gè)SAW元件并聯(lián)連接，就能使整體SAW器件的阻抗為50Ω。這樣，因?yàn)閺妮斎牒副P4A、4B或輸出焊盤5A、5B看的阻抗是50Ω，所以能夠整合性好地連接例如安裝IC等或SAW器件9的電路。
只要把例如構(gòu)成IDT電極的梳狀電極的各個(gè)電極指的交叉寬度設(shè)定為最佳值，就能使這樣并聯(lián)連接的各個(gè)SAW元件的阻抗為(50×n)Ω。如果使交叉寬度變窄，就能夠減小IDT電極的靜電容量而增大阻抗。例如，如果使梳狀電極的電極指的交叉寬度縮到1/n，SAW元件的阻抗就能夠增大n倍?？s窄梳狀電極的各個(gè)電極指的交叉寬度還能夠減小IDT電極的電阻，降低損耗，從而能夠增大衰減量。
對于這種通過改變梳狀電極的各個(gè)電極指的交叉寬度來使靜電容量變化以控制SAW元件的阻抗的方法，不僅在本實(shí)施例中，即使在后述的全部實(shí)施例中同樣也可以采用。
下面說明本實(shí)施例的SAW器件9的制造方法。
最初，在鉭酸鋰(LiTaO3)等具有壓電性的壓電基板6上用濺射法等形成鋁(Al)等金屬薄膜。然后在金屬薄膜上涂敷光刻膠；用曝光裝置使所希望的電極結(jié)構(gòu)的圖形曝光；經(jīng)顯影處理之后，再將不要部分的金屬薄膜蝕刻掉；然后除去光刻膠。在接地焊盤3、輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B上形成容易引線結(jié)合的加強(qiáng)電極，或者形成用于倒裝片結(jié)合的補(bǔ)片，對此，只要按照組裝方法進(jìn)行適當(dāng)選擇就可以。在IDT電極的表面上也可以形成絕緣性的保護(hù)膜，在這樣進(jìn)行過規(guī)定的加工工序之后，只要把形成在晶片狀的基板上的多個(gè)SAW器件9分割切斷成單片就完成整個(gè)制作過程。
雖然SAW器件9也可以按圖1所示的芯片狀在電路基板上安裝使用，但是，一般也可以與IC一樣，在封裝過的狀態(tài)下使用。即，例如使用有芯柱和蓋的封裝件，把切斷成為單片的壓電基板連接固定在芯柱上，再經(jīng)例如引線或補(bǔ)片將包含形成在芯柱上的接地電極端子的各種電極端子和接地焊盤、輸入焊盤和輸出焊盤連接，再把蓋與芯柱密封連接。
本實(shí)施例的SAW器件9由于可以減少必要的焊盤的個(gè)數(shù)，所以能夠小型化。因?yàn)橐踩菀讓?shí)現(xiàn)阻抗匹配，所以還能夠以好的整合性連接IC等。另外，由于構(gòu)成IDT電極21A、21B、21C、23A、23B、23C的一對梳狀電極中的一個(gè)全部由接地側(cè)連接電極27共同連接，再連接到接地焊盤3上，所以能夠得到使GND共同且充分低的均勻的GND電平，并強(qiáng)化GND。結(jié)果，能夠改善SAW器件9的濾波特性，例如增大衰減量或改善頻帶內(nèi)濾波特性。
在本實(shí)施例的SAW器件9中，即使輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B相反地配置，也能得到同樣的效果。
另外，本實(shí)施例的SAW器件9中，對平衡動(dòng)作的平衡型方式作了說明，但是輸入焊盤和輸出焊盤的至少一方也可以是非平衡型的。
本實(shí)施例的SAW器件9中，如圖1所示，說明了把分別并聯(lián)三個(gè)IDT電極的SAW元件25、26并聯(lián)兩個(gè)連接的情況，但是本發(fā)明并不限定于此。只要是構(gòu)成SAW元件的IDT電極為三個(gè)以上，幾個(gè)都可以。而并聯(lián)連接的SAW元件的個(gè)數(shù)只要是兩個(gè)以上，幾個(gè)都行。
圖2是本實(shí)施例的變形例的SAW器件33的電極構(gòu)成的示意平面圖。本實(shí)施例的SAW器件33中的構(gòu)成左側(cè)SAW元件25的IDT電極21A、21C和右側(cè)SAW元件26的IDT電極23A、23C的各梳狀電極中的另一個(gè)全部由輸出側(cè)連接電極31共同連接，再連接到一個(gè)輸出焊盤32上。這一點(diǎn)與SAW器件9不同。
按照這樣的構(gòu)成，因?yàn)槟軌蚴购副P個(gè)數(shù)作成四個(gè)，所以可以使SAW器件33進(jìn)一步小型化。
在本實(shí)施例中，說明了圖1和圖2所示的構(gòu)成的SAW器件9、33，但是本發(fā)明并不限定于這些構(gòu)成。例如，本實(shí)施例中焊盤為正方形，也可以是長方形。在圖2中，輸出焊盤32以輸出側(cè)連接電極31為基準(zhǔn)，配置在輸入焊盤4A、4B相對側(cè)，但也可以配置在同一側(cè)。另外，對于IDT電極，也可以不像本實(shí)施例那樣使用一對梳狀電極，而是在梳狀電極的電極指之間設(shè)置懸浮狀態(tài)的條電極，或者也可以是加重的梳狀電極結(jié)構(gòu)。
實(shí)施例2用圖3說明本發(fā)明的實(shí)施例2的SAW器件40。圖3是本實(shí)施例的SAW器件40的電極構(gòu)成的示意平面圖。本實(shí)施例的SAW器件40與實(shí)施例1的SAW器件9不同之處在于局部改變構(gòu)成左側(cè)SAW元件45的反射器電極41A、41B和構(gòu)成右側(cè)SAW元件46的反射器電極42A、42B的各自的條電極540的電極間隔。
即，在實(shí)施例1的SAW器件9中，反射器電極22A、22B、24A、24B的條電極的電極間隔是一定的，與此相對，本實(shí)施例的SAW器件40中，反射器電極41A、41B、42A、42B的條電極540的電極間隔在各自的端部側(cè)的區(qū)域變窄。
具體地說，在反射器電極41A中，在區(qū)域412形成的條電極540的電極間隔比在區(qū)域411形成的條電極540的電極間隔窄。在反射器電極41B中，在區(qū)域414形成的條電極540的電極間隔比在區(qū)域413形成的條電極540的電極間隔窄。同樣，在反射器電極42A、42B中也一樣，在區(qū)域422形成的條電極540的電極間隔比形成在區(qū)域421的條電極540的電極間隔窄，在區(qū)域424形成的條電極540的電極間隔比形成在區(qū)域423的條電極540的電極間隔窄。
這樣，使反射器電極41A、41B、42A、42B的條電極540的電極間隔局部不同，就能使反射特性變化而改變發(fā)生雜散信號(hào)的位置。因此，如果使相互的雜散信號(hào)抵消，最終就能夠得到非常小的雜散信號(hào)，而使衰減量增大。
在本實(shí)施例中，即使交換輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B的位置關(guān)系，也能夠得到同樣的效果。也可以把輸出側(cè)連接電極8A、8B共同連接再連接到一個(gè)輸出焊盤上形成與圖2所示SAW器件33一樣的構(gòu)成。
在本實(shí)施例的SAW器件40中，說明反射器電極41A、41B、42A、42B的條電極540的電極間隔在部分區(qū)域不同的情況，但是，既可以作成整體連續(xù)地不同，也可以作成多個(gè)階梯狀不同。這樣能夠減小雜散信號(hào)，且使衰減量增大。
也可以使左側(cè)SAW元件45的反射器電極41B與右側(cè)SAW元件46的反射器電極42A的間隔不同于各自的反射器電極41B、42A的條電極540的電極間隔。這樣的設(shè)定能改變反射特性，將相互的雜散信號(hào)抵消掉，最終能夠?qū)崿F(xiàn)小的雜散信號(hào)。結(jié)果，能夠增大衰減量。
上述的構(gòu)成不僅適用于本實(shí)施例，同樣也可以適用于包含實(shí)施例1在內(nèi)的其他實(shí)施例。
圖4是用來說明本實(shí)施例的變形例的SAW器件50的電極構(gòu)成的示意平面圖。本變形例的SAW器件50中，構(gòu)成各SAW元件55、56的反射器電極51A、51B、52A、52B的條電極540的電極間隔是一定的。但是，通過改變反射器電極51A、51B、52A、52B的匯流條電極530的形狀也可以實(shí)現(xiàn)與改變各自的條電極540的長度而使外觀上加重的情況一樣的效果。與使反射器電極51A、51B、52A、52B的條電極540的電極間隔變化的情況一樣，這種方法也能夠抑制雜散信號(hào)的發(fā)生，從而使衰減量增大。
在本實(shí)施例中，分別說明在SAW器件40中并聯(lián)連接兩個(gè)SAW元件45、46和在變形例的SAW器件50中并聯(lián)連接兩個(gè)SAW元件55、56的構(gòu)成，但是本實(shí)施例并不限定于此。例如，因?yàn)橥ㄟ^增大并聯(lián)連接的SAW元件的個(gè)數(shù)就能夠降低損耗，所以，只要并聯(lián)連接的SAW元件的個(gè)數(shù)大于兩個(gè)，幾個(gè)都可以。
即，本實(shí)施例SAW器件40或變形例的SAW器件50中，形成使反射器電極的條電極540的電極間隔部分不同的構(gòu)成，或者隨場所而改變匯流條電極53的寬度，形成形成使條電極540的電極長度不同的構(gòu)成。按照這樣的構(gòu)成，由于能夠抑制SAW的雜散信號(hào)的發(fā)生，所以能夠增大衰減量。而且，在本實(shí)施例中，分別在各自的SAW器件中，構(gòu)成使電極間隔不同或電極長度不同，也可以在SAW器件構(gòu)成將它們組合的結(jié)構(gòu)。
實(shí)施例3用圖5說明本發(fā)明的實(shí)施例3的SAW器件。圖5是本實(shí)施例的SAW器件的電極構(gòu)成的示意平面圖。與實(shí)施例1不同之處在于，本實(shí)施例的SAW器件60并聯(lián)連接左側(cè)SAW元件65和右側(cè)SAW元件66，并共用構(gòu)成這些SAW元件65、66的反射器電極62、63、64中的中央部的反射器電極63。
即，在實(shí)施例1的SAW器件9中，在左側(cè)SAW元件25和右側(cè)SAW元件26的兩側(cè)分別設(shè)置反射器電極22A、22B和24A、24B。與此相對，本實(shí)施例的SAW器件60中，左側(cè)SAW元件65和右側(cè)SAW元件66共用中央部的反射器電極63。除此之外，其他構(gòu)成與實(shí)施例1的SAW器件9一樣。
如圖5所示，由于共用SAW器件65、66中央部的反射器電極63，所以與實(shí)施例1的SAW器件9相比能夠減少一個(gè)反射器電極。因此，本實(shí)施例的SAW器件60能夠更小型化。而且，還容易實(shí)現(xiàn)使輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B平衡動(dòng)作。構(gòu)成IDT電極21A、21B、21C、24A、24B、24C的梳狀電極中的一個(gè)用接地側(cè)連接電極27全部共同連接再連接到接地焊盤3上。因此，能夠?qū)崿F(xiàn)GND共同，且能夠穩(wěn)定地得到充分低的GND電平，所以可以改善濾波特性，例如能夠增大衰減量。
在本實(shí)施例中，即使交換輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B的位置關(guān)系來使用，也能得到同樣的效果。
在本實(shí)施例的SAW器件60中，說明了平衡型，但是也可以將輸入焊盤4A、4B和輸出焊盤5A、5B中至少一個(gè)作成非平衡型。
本實(shí)施例的SAW器件60中，說明了把2個(gè)SAW元件65、66并聯(lián)連接的構(gòu)成，但是本發(fā)明并不限定于此。例如，只要是并聯(lián)連接的SAW元件的個(gè)數(shù)超過兩個(gè)，幾個(gè)都行；并聯(lián)連接的SAW元件的個(gè)數(shù)越多，損耗就越低。
另外，本實(shí)施例的SAW器件60中，左側(cè)SAW元件65和右側(cè)SAW元件66的阻抗分別被設(shè)計(jì)為100Ω，這樣，因?yàn)椴⒙?lián)連接兩個(gè)100Ω的SAW元件65、66，所以從輸入焊盤4A、4B或輸出焊盤5A、5B看的阻抗就為50Ω。
即，在并聯(lián)連接n(大于2的整數(shù))個(gè)SAW元件的情況下，如果設(shè)計(jì)電極構(gòu)成使各個(gè)SAW元件的阻抗為(50×n)Ω，那么把這n個(gè)SAW元件并聯(lián)，就能使整體SAW器件的阻抗為50Ω。這樣，因?yàn)閺妮斎牒副P4A、4B或輸出焊盤5A、5B看的阻抗是50Ω，所以能夠整合性好地連接例如安裝IC等或SAW器件9的電路。
本實(shí)施例的SAW器件60中，反射器電極62、63、64的條電極540的電極間隔全都是一定的，但是本發(fā)明并不限定于此。例如，與實(shí)施例2一樣，也可以使電極間隔整體連續(xù)變化，也可以僅使一定的區(qū)域不同。另外，也可以與實(shí)施例2的變形例一樣，按照匯流條電極的形狀使反射器電極62、63、64的條電極的長度不同。
圖6是本實(shí)施例的變形例的SAW器件70的電極構(gòu)成的示意平面圖。如圖6所示，本變形例的SAW器件70中，構(gòu)成SAW元件65、66的IDT電極21A、21C、24A、24C的梳狀電極的另一個(gè)全部連接在輸出側(cè)連接電極72上，該輸出側(cè)連接電極72連接輸出焊盤74。按照這種構(gòu)成，因?yàn)檩敵鰝?cè)同電位，且穩(wěn)定，所以能夠改善SAW器件70的濾波特性，特別是能夠增大衰減量。
與實(shí)施例1的SAW器件9相比較，因?yàn)楦鱾€(gè)SAW元件65、66共用中央部的反射器電極63，所以能夠減少一個(gè)反射器電極。結(jié)果，能夠進(jìn)一步使SAW器件小型化。
實(shí)施例4用圖7說明本發(fā)明的實(shí)施例4的SAW器件。圖7是本實(shí)施例的SAW器件80的電極構(gòu)成的示意平面圖。
本實(shí)施例的SAW器件80是沿垂直于SAW的傳輸方向配置縱模耦合型的SAW元件81、82，即，由兩級(jí)縱向連接的結(jié)構(gòu)構(gòu)成。以下，為易于理解說明，根據(jù)需要把SAW元件81稱做第一級(jí)，把SAW元件82稱做第二級(jí)。
第一級(jí)SAW元件81由IDT電極83A、83B、83C及在其兩側(cè)設(shè)置的反射器電極84A、84B構(gòu)成；第二級(jí)SAW元件82由IDT電極85A、85B、85C及在其兩側(cè)設(shè)置的反射器電極86A、86B構(gòu)成。
以下，對于構(gòu)成SAW元件81、82的IDT電極83A、83B、83C、85A、85B、85C的梳狀電極而言，將配置在接地焊盤側(cè)的梳狀電極叫做第一個(gè)，將與其相面對的梳狀電極叫做另一個(gè)，以示區(qū)別。
構(gòu)成第一級(jí)SAW元件81的IDT電極83A、83B、83C的一對梳狀電極中的第一個(gè)用接地側(cè)連接電極87A共同連接再連接到接地焊盤88A上。構(gòu)成該SAW元件81兩側(cè)的IDT電極83A、83C的梳狀電極的另一個(gè)經(jīng)元件間連接電極92、93連接到構(gòu)成第二級(jí)SAW元件82兩側(cè)的IDT電極85A、85C的梳狀電極的另一個(gè)。另外，構(gòu)成第一級(jí)SAW元件81中央的IDT電極83B的梳狀電極的另一個(gè)與輸入焊盤90連接。
構(gòu)成第二級(jí)SAW元件82的IDT電極85A、85B、85C的一對梳狀電極中的第一個(gè)用接地側(cè)連接電極87B共同連接再連接到接地焊盤88B上。構(gòu)成該SAW元件82兩側(cè)的IDT電極85A、85C的梳狀電極的另一個(gè)經(jīng)如上所述的元件間連接電極92、93連接到構(gòu)成第一級(jí)SAW元件81兩側(cè)的IDT電極83A、83C的梳狀電極的另一個(gè)。另外，構(gòu)成第二級(jí)SAW元件82中央的IDT電極85B的梳狀電極的另一個(gè)與輸出焊盤91連接。
這樣，本實(shí)施例的SAW器件80就在相互對稱的位置上配置兩個(gè)接地焊盤88A、88B，在SAW元件81、82相面對的區(qū)域間設(shè)置輸入焊盤90和輸出焊盤91。另外，接地焊盤88A、88B與各自的接地電極端子10分別用例如鋁(Al)等的三條引線89A、89B、89C和89D、89E、89F連接。接地電極端子10形成在支持壓電基板6的芯柱(未圖示)上。
除上述構(gòu)成之外，采用與實(shí)施例1的SAW器件9相同的結(jié)構(gòu)和相同的制造方法。
在本實(shí)施例的SAW器件80中，因?yàn)榘芽v模耦合型SAW元件81、82兩級(jí)縱向連接，因此，能夠改善濾波特性，特別是能夠增大衰減量。而且僅僅形成由兩個(gè)接地焊盤88A、88B、一個(gè)輸入焊盤90和一個(gè)輸出焊盤91共計(jì)四個(gè)焊盤，所以能夠得到小型而且濾波特性優(yōu)良的SAW器件80。
如果使連接構(gòu)成SAW元件81、82的各自的兩外側(cè)IDT電極83A、83C、85A、85C的梳狀電極間的元件間連接電極92、93相位相反，就能夠降低IDT電極83A、83C、85A、85C與元件間連接電極92、93之間的串?dāng)_。這樣，就有可能進(jìn)一步增大衰減量。
按照把輸入焊盤90、輸出焊盤91和接地焊盤88A、88B配置在相互對稱的位置等的電極構(gòu)成的設(shè)計(jì)，就能夠容易地實(shí)現(xiàn)平衡動(dòng)作。另外，按照這樣的構(gòu)成，由于從輸入焊盤90或輸出焊盤91看的阻抗為50Ω，所以容易實(shí)現(xiàn)與安裝IC等的器件或SAW器件的電路的阻抗匹配，這就能夠?qū)崿F(xiàn)改善連接互換性或降低損耗。
因?yàn)橹灰枚鄺l引線或補(bǔ)片把接地焊盤88A、88B與接地電極端子10連接就能夠減小連接阻抗，所以，既能夠更加降低GND電平，又能夠更加穩(wěn)定。因此，可在增大衰減量的同時(shí)使特性穩(wěn)定化。
在本實(shí)施例中，如圖7所示，用三條引線89A、89B、89C把接地焊盤88A與接地電極端子10連接，同樣用三條引線89D、89E、89F把接地焊盤88B與接地電極端子10連接，但是本發(fā)明并不限定于三條。例如，用三條引線把接地焊盤88A與接地電極端子10連接，而用一條引線把接地焊盤88B與接地電極端子10連接等，可以選擇各種各樣的構(gòu)成。另外，也可以不用引線而經(jīng)補(bǔ)片按倒裝片方式進(jìn)行連接。
圖8是本實(shí)施例的變形例的SAW器件100的電極構(gòu)成的示意平面圖。在該變形例的SAW器件100中，第一級(jí)SAW元件81與圖7所示的構(gòu)成相同，但是第二級(jí)SAW元件82的構(gòu)成有所變化。即，構(gòu)成第二級(jí)SAW元件82的中央IDT電極85B的梳狀電極的另一個(gè)是共同的，而其第一個(gè)被分割為兩個(gè)梳狀電極。因此，該IDT電極85B由兩個(gè)IDT電極851B、852B構(gòu)成。以下為容易理解其說明，把它們叫做分IDT電極851B、852B。構(gòu)成IDT電極85B的梳狀電極的另一個(gè)連接在接地焊盤102C上。分IDT電極851B、852B的各自的梳狀電極的第一個(gè)連接在輸出焊盤104、106上。
另外，如果通過將分IDT電極851B、852B分別相互改變相位，就能夠?qū)崿F(xiàn)平衡動(dòng)作。這樣，由于能夠增大阻抗，所以能夠改善與安裝例如IC等或SAW器件100的電路的匹配，還能減小SAW器件100的損耗。構(gòu)成IDT電極85A、85C的一對梳狀電極中的第一個(gè)分別連接在接地焊盤102A、102B上。
也可以不把這些接地焊盤102A、102B分離設(shè)置，而是共同連接作成一個(gè)接地焊盤。
也可以不把構(gòu)成IDT電極85B梳狀電極中的第一個(gè)一側(cè)連接到輸入焊盤102C上，而是作成懸浮狀態(tài)，假想接地。這樣能夠進(jìn)一步提高平衡度。
圖9是本實(shí)施例的另一變形例的SAW器件110的電極構(gòu)成的示意平面圖。該變形例的SAW器件110的特征在于進(jìn)一步圖7所示的SAW器件80中用連接電極112把元件間連接電極92、93之間連接，流過元件間連接電極92、93的信號(hào)的相位為同相位。在本變形例的SAW器件110中，用一條引線89B、89E實(shí)現(xiàn)接地焊盤88A、88B與接地電極端子10之間的連接，但是也可以如圖7所示采用三條引線。
按照這樣的構(gòu)成，因?yàn)椴淮嬖谠g連接電極92、93的相位差，使相位旋轉(zhuǎn)的實(shí)數(shù)部分能夠復(fù)數(shù)共軛，所以能夠降低損耗。
在本實(shí)施例中，將SAW元件兩級(jí)縱向連接，能夠得到損耗小衰減量大的SAW器件。因?yàn)檫B接用的焊盤個(gè)數(shù)最小可達(dá)四個(gè)，所以能夠?qū)崿F(xiàn)小型化。
實(shí)施例5圖10是本發(fā)明實(shí)施例5的SAW器件120的電極構(gòu)成的示意平面圖。本實(shí)施例的SAW器件120并聯(lián)連接兩個(gè)SAW元件121、122，再將另外兩個(gè)SAW元件123、124也并聯(lián)連接，然后將它們兩級(jí)縱向連接。具體地說，第一級(jí)的左側(cè)SAW元件121在三個(gè)IDT電極125A、125B、125C的兩側(cè)設(shè)置反射器電極126A、126B。第一級(jí)的右側(cè)SAW元件122同樣在三個(gè)IDT電極127A、127B、127C的兩側(cè)設(shè)置反射器電極128A、128B。這些都是縱模耦合型，沿SAW的傳輸方向配置，且并聯(lián)連接。
第二級(jí)的左側(cè)SAW元件123也在三個(gè)IDT電極131A、131B、131C的兩側(cè)設(shè)置反射器電極132A、132B；右側(cè)SAW元件124同樣在三個(gè)IDT電極133A、133B、133C的兩側(cè)設(shè)置反射器電極134A、134B。這些也都是縱模耦合型，沿SAW的傳輸方向配置，且并聯(lián)連接。
構(gòu)成SAW元件121、122的一對梳狀電極中的一個(gè)全部共同連接在接地側(cè)連接電極130上，該接地側(cè)連接電極130與接地焊盤129連接。接地焊盤129與接地電極端子10例如用引線連接。
構(gòu)成SAW元件123、124的一對梳狀電極中的一個(gè)也全部共同連接在接地側(cè)連接電極136上，該接地側(cè)連接電極136與接地焊盤135連接。接地焊盤135與接地電極端子10例如也用引線連接。
另外，構(gòu)成第一級(jí)的左側(cè)SAW元件121的IDT電極125A、125C的梳狀電極的另一個(gè)和構(gòu)成第二級(jí)的左側(cè)SAW元件123的IDT電極131A、131C的梳狀電極的另一個(gè)分別用元件間連接電極137、138連接。
同樣，構(gòu)成第一級(jí)的右側(cè)SAW元件122的IDT電極127A、127C的梳狀電極的另一個(gè)和構(gòu)成第二級(jí)的右側(cè)SAW元件124的IDT電極133A、133C的梳狀電極的另一個(gè)分別用元件間連接電極139、140連接。
構(gòu)成第一級(jí)的左側(cè)SAW元件121的中央IDT電極125B的梳狀電極的另一個(gè)連接在輸入焊盤141上。同樣構(gòu)成第一級(jí)的右側(cè)SAW元件122的中央IDT電極127B的梳狀電極的另一個(gè)連接在輸入焊盤143上。
另外，構(gòu)成第二級(jí)的左側(cè)SAW元件123的中央IDT電極131B的梳狀電極的另一個(gè)被連接在輸出焊盤142上。同樣構(gòu)成第二級(jí)的右側(cè)SAW元件124的中央IDT電極133B的梳狀電極的另一個(gè)連接在輸出焊盤144上。
這樣，在與接地焊盤129、135相反方向配置輸入焊盤141、143和輸出焊盤142、144，而且把接地焊盤129、135配置在對稱的位置上，同時(shí)將輸入焊盤141、143和輸出焊盤142、144相面對地配置，從而形成平衡動(dòng)作的結(jié)構(gòu)。
除此之外，按照與實(shí)施例1至實(shí)施例4說明過的方法相同的方法來制作SAW器件120。
本實(shí)施例的SAW器件120并聯(lián)連接縱模耦合型的兩個(gè)SAW元件121、122，再將另外兩個(gè)SAW元件123、124也同樣并聯(lián)連接，然后將它們縱向連接。因此，能夠增大衰減量。通過進(jìn)行平衡動(dòng)作容易實(shí)現(xiàn)與安裝IC等器件或SAW器件120的電路阻抗匹配，所以能夠降低損耗。
在本實(shí)施例的SAW器件120中，即使將輸入焊盤141、143與輸出焊盤142、144的位置關(guān)系進(jìn)行交換，也能得到同樣的效果。
把構(gòu)成IDT電極125A、125B、125C、127A、127B、127C的各自的梳狀電極中的一個(gè)連接到接地側(cè)連接電極130上，再將該接地側(cè)連接電極130與接地焊盤129連接。另外，把構(gòu)成IDT電極131A、131B、131C、133A、133B、133C的各自的梳狀電極中的一個(gè)連接到接地側(cè)連接電極136上，再將該接地側(cè)連接電極136與接地焊盤135連接。因此，用接地焊盤129、135共同連接，能夠降低GND電平，而且能得到相同的值，所以能夠強(qiáng)化GND，從而可以改善濾波特性，例如能夠增大衰減量。
在本實(shí)施例中，說明了平衡型結(jié)構(gòu)，但是輸入焊盤和輸出焊盤的至少一個(gè)也可以是非平衡型的。
如果通過將輸入焊盤141、143、輸出焊盤142、144以及接地焊盤129、135設(shè)置在相互對稱的位置上而使其進(jìn)行平衡動(dòng)作，就容易實(shí)現(xiàn)與安裝IC等器件或SAW器件120的電路阻抗匹配，所以能夠降低損耗。
如果用多條引線或補(bǔ)片將接地焊盤129、135與接地端子10連接，由于能夠使GND電平更低且更穩(wěn)定，所以能夠增大衰減量。
如果用SAW元件121、122、123、124的阻抗分別為100Ω來設(shè)計(jì)電極構(gòu)成，因?yàn)镾AW元件121、122之間和SAW元件123、124之間分別并聯(lián)連接，所以，能夠使SAW器件120的阻抗作成50Ω。
即，在并聯(lián)連接n(大于2的整數(shù))個(gè)的SAW元件的情況下，從各個(gè)SAW元件的輸入焊盤或輸出焊盤看的阻抗是(50×n)Ω，把它們并聯(lián)就能使作為SAW器件的阻抗為50Ω。這樣，就能夠提高與外部連接零部件或外部設(shè)備的連接互換性。
在圖10中，例如為使元件間連接電極137、138的相位為正，而使另一個(gè)元件間連接電極139、140的相位為負(fù)，使相鄰接的元件間連接電極的相位相互不同，這樣就能夠抑制串?dāng)_，并增大衰減量。
圖11是本實(shí)施例的變形例的SAW器件150的電極構(gòu)成的示意平面圖。本變形例的SAW器件150用連接電極152將元件間連接電極137、138、139、140之間共同連接，把流經(jīng)這些元件間連接電極137、138、139、140的信號(hào)的相位作成同相位，這一點(diǎn)不同于圖10所示的SAW器件120。
按照這樣的構(gòu)成，由于不存在元件間連接電極137、138、139、140之間的相位差，能夠提高對稱性，所以，能夠降低損耗，同時(shí)能夠進(jìn)一步增大衰減量。
在本實(shí)施例中，說明了并聯(lián)連接兩個(gè)SAW元件的情況，但是只要并聯(lián)連接的SAW元件個(gè)數(shù)超過兩個(gè)，幾個(gè)都行。并聯(lián)連接的個(gè)數(shù)越多，就越能夠降低損耗。兩級(jí)縱向連接能夠增大衰減量。
在該構(gòu)成中，連接用的焊盤為六個(gè)，與圖2、圖6、圖7或圖9所示的構(gòu)成相比，僅僅增加兩個(gè)，但是能夠得到衰減量優(yōu)越的SAW器件。
圖12是本實(shí)施例的另一變形例的SAW器件160的電極構(gòu)成的示意平面圖。本變形例的SAW器件160使元件間連接電極137、139之間同相位，并使直接相面對的元件間連接電極138、140之間也同相位。但是，元件間連接電極137、139與元件間連接電極138、140相位相反。因此，用寬度大的連接電極162將直接相面對的元件間連接電極138、140之間連接。
因?yàn)橛脤挾却蟮倪B接電極162將直接相面對的元件間連接電極138、140之間連接，所以能夠分別降低第一級(jí)左側(cè)SAW元件121的IDT電極125C與第二級(jí)左側(cè)SAW元件123的IDT電極131C之間以及第一級(jí)右側(cè)SAW元件122的IDT電極127A與第二級(jí)右側(cè)SAW元件124的IDT電極133A之間的阻抗，結(jié)果，能夠進(jìn)一步降低損耗。
在本實(shí)施例中，由于將SAW元件兩個(gè)并聯(lián)連接的元件兩級(jí)縱向連接，所以能夠抑制連接用的焊盤的增加，同時(shí)能夠得到小型且損耗小而衰減量大的SAW器件。
實(shí)施例6圖13是本發(fā)明的實(shí)施例6的SAW器件170的電極構(gòu)成的示意平面圖。本實(shí)施例的SAW器件170是實(shí)施例5的SAW器件120的變形例。
本實(shí)施例的SAW器件170的特征在于SAW元件176、177、186、187的構(gòu)成與SAW器件120略有不同。即，第一級(jí)左側(cè)SAW元件176由三個(gè)IDT電極171A、171B、171C和配置在它們兩側(cè)的反射器電極172、173構(gòu)成；第一級(jí)右側(cè)SAW元件177由三個(gè)IDT電極174A、174B、174C和配置在它們兩側(cè)的反射器電極173、175構(gòu)成。另外，第二級(jí)左側(cè)SAW元件186由三個(gè)IDT電極181A、181B、181C和配置在它們兩側(cè)的反射器電極182、183構(gòu)成；第二級(jí)右側(cè)SAW元件187由三個(gè)IDT電極184A、184B、184C和配置在它們兩側(cè)的反射器電極183、185構(gòu)成。
如上所述，配置在第一級(jí)左側(cè)SAW元件176的右側(cè)的反射器電極和配置在第一級(jí)右側(cè)SAW元件177的左側(cè)的反射器電極共用同一個(gè)反射器電極173；配置在第二級(jí)左側(cè)SAW元件186的右側(cè)的反射器電極和配置在第二級(jí)右側(cè)SAW元件187的左側(cè)的反射器電極共用同一個(gè)反射器電極183，這是本實(shí)施例的SAW器件170的特征。
由于采用這樣的構(gòu)成能夠使并聯(lián)連接的第一級(jí)SAW元件176、177和第二級(jí)SAW元件186、187的反射器電極分別減少一個(gè)，所以，能夠使SAW器件170小型化。
該構(gòu)成并聯(lián)連接SAW元件越多，減少反射器電極個(gè)數(shù)的效果就越顯著，就能使其更小型化。
在本實(shí)施例中，分別并聯(lián)連接兩個(gè)縱模耦合型的SAW元件176、177和186、187，而且將它們兩級(jí)縱向連接，所以，能夠降低損耗，并能夠?qū)崿F(xiàn)濾波特性優(yōu)越的SAW器件170。
進(jìn)行平衡動(dòng)作就容易實(shí)現(xiàn)與安裝IC等器件或SAW器件170的電路阻抗匹配，也能夠降低損耗。
在本實(shí)施例中，即使交換輸入焊盤與輸出焊盤的位置關(guān)系，也能得到同樣的效果。
由于用接地側(cè)連接電極130把構(gòu)成IDT電極171A、171B、171C、174A、174B、174C共同連接再連接到接地焊盤129上，另外還用接地側(cè)連接電極136把構(gòu)成IDT電極181A、181B、181C、184A、184B、184C連接再連接到接地焊盤135上，因此，GND就成為共同的，能夠降低GND電平，而且能強(qiáng)化GND，能夠增大衰減量。
通過把接地焊盤129、135設(shè)置在對稱的位置上等，就能夠?qū)崿F(xiàn)平衡動(dòng)作，所以容易實(shí)現(xiàn)與安裝IC等器件或SAW器件170的電路阻抗匹配，能夠降低損耗。
在本實(shí)施例中，說明了平衡型結(jié)構(gòu)，但是輸入焊盤和輸出焊盤的至少一方也可以是非平衡型的。
在本實(shí)施例中，說明了并聯(lián)連接兩個(gè)SAW元件并且將它們進(jìn)行兩級(jí)縱向連接的情況，但是本發(fā)明并不局限于此。例如只要并聯(lián)連接的SAW元件個(gè)數(shù)超過兩個(gè)，幾個(gè)都行。并聯(lián)連接的SAW元件個(gè)數(shù)越多，就越能夠降低損耗。
將輸入焊盤141、143、輸出焊盤142、144以及接地焊盤129、135配置在相互對稱的位置上，就能夠提高與外部連接零件或設(shè)備的連接互換性。
通過用多條引線或補(bǔ)片將接地焊盤129、135與接地端子10連接，可以把GND電平降得更低，而且穩(wěn)定，所以能夠降低損耗。
設(shè)計(jì)電極構(gòu)成使SAW元件176、177、186、187各自的阻抗為100Ω，從輸入焊盤141、143或輸出焊盤142、144看的阻抗就能為50Ω。
即，在并聯(lián)連接n(大于2的整數(shù))個(gè)的SAW元件的情況下，如果設(shè)計(jì)電極構(gòu)成使從這些SAW元件的輸入焊盤或輸出焊盤看的阻抗為(50×n)Ω，就能容易地使SAW器件的阻抗為50Ω。這樣，就能夠提高與外部連接零件或設(shè)備的連接互換性。
作為本實(shí)施例的變形例，也可以把元件間連接電極137、138、139、140用連接電極共同連接，并使流過它們的信號(hào)的相位成為同相位。也可以使元件間連接電極137、140之間同相位，使元件間連接電極138、139之間也同相位，而且使之與元件間連接電極137、140相位相反，使相鄰接的元件間連接電極相位相反。這樣就能夠降低串?dāng)_，從而可以增大衰減量。
也可以分別使元件間連接電極137、139與元件間連接電極138、140之間同相位，且使元件間連接電極137、139與元件間連接電極138、140之間相位相反。
如果使元件間連接電極138與元件間連接電極140之間用寬度大的連接電極來連接，由于能夠降低IDT電極171C、181C之間和IDT電極174A、184A之間的阻抗，所以能夠降低損耗。
權(quán)利要求
1.一種彈性表面波器件，其構(gòu)成如下并聯(lián)連接至少兩個(gè)以上縱模耦合型的彈性表面波元件；所述縱模耦合型的彈性表面波元件具有形成在壓電性的基板上的至少三個(gè)以上梳狀轉(zhuǎn)換器電極和沿從所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極產(chǎn)生的彈性表面波傳輸方向配置在所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極兩側(cè)的反射器電極；構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的各個(gè)梳狀電極中的一個(gè)在同一側(cè)全部共同連接且連接到接地焊盤上；所述梳狀電極的另一個(gè)連接到在所述接地焊盤的形成區(qū)域?qū)?cè)形成的輸入焊盤或輸出焊盤上。
2.一種彈性表面波器件，其構(gòu)成如下具有至少兩個(gè)縱模耦合型的彈性表面波元件；所述縱模耦合型的彈性表面波元件具有形成在壓電性的基板上的至少三個(gè)以上梳狀轉(zhuǎn)換器電極和沿從所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極產(chǎn)生的彈性表面波傳輸方向配置在所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極兩側(cè)的反射器電極；多個(gè)所述彈性表面波元件中的至少一個(gè)，構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的梳狀電極中的一個(gè)全部共同連接且連接到接地焊盤上；在多個(gè)所述彈性表面波元件，分別相對的所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極中，預(yù)先設(shè)定的構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的梳狀電極的另一個(gè)分別用元件間連接電極連接，多個(gè)所述彈性表面波元件兩級(jí)縱向連接。
3.如權(quán)利要求2所述的彈性表面波器件，其特征在于，沿彈性表面波的傳輸方向配置兩個(gè)以上的所述彈性表面波元件，同時(shí)并聯(lián)連接；被并聯(lián)連接的多個(gè)所述彈性表面波元件，構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的梳狀電極中的一個(gè)全部共同連接且連接到接地焊盤上；在多個(gè)所述彈性表面波元件，分別相對的所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極中，預(yù)先設(shè)定的構(gòu)成所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的梳狀電極的另一個(gè)分別用元件間連接電極連接，并聯(lián)連接的多個(gè)所述彈性表面波元件再兩級(jí)縱向連接。
4.如權(quán)利要求1或3所述的彈性表面波器件，其特征在于，并聯(lián)連接的所述彈性表面波元件相互共用構(gòu)成所述彈性表面波元件的所述反射器電極之中的一個(gè)。
5.如權(quán)利要求1至3所述的彈性表面波器件，其特征在于，所述反射器電極由條電極和匯流條電極構(gòu)成，所述條電極的電極間隔不同。
6.如權(quán)利要求5所述的彈性表面波器件，其特征在于，具有所述條電極的電極間隔至少部分不同的區(qū)域。
7.如權(quán)利要求5所述的彈性表面波器件，其特征在于，所述條電極的電極間隔全部不相同。
8.如權(quán)利要求1至3所述的彈性表面波器件，其特征在于，所述反射器電極由條電極和匯流條電極構(gòu)成，所述條電極的電極間隔為等間隔，且設(shè)置其電極長度有部分不同的區(qū)域。
9.如權(quán)利要求1至3所述的彈性表面波器件，其特征在于，所述輸入焊盤和所述輸出焊盤的至少一方進(jìn)行平衡動(dòng)作構(gòu)成電極。
10.如權(quán)利要求1或3所述的彈性表面波器件，其特征在于，在配置n(大于2的整數(shù))個(gè)以上所述彈性表面波元件時(shí)，構(gòu)成電極使各個(gè)所述彈性表面波元件的阻抗是(50×n)Ω。
11.如權(quán)利要求1至3所述的彈性表面波器件，其特征在于，構(gòu)成所述輸入焊盤和所述輸出焊盤的至少任意一方在具有壓電性的所述基板上全部共同連接。
12.如權(quán)利要求2所述的彈性表面波器件，其特征在于，構(gòu)成使流到所述元件間連接電極的信號(hào)相位相反。
13.如權(quán)利要求2所述的彈性表面波器件，其特征在于，設(shè)置有連接所述元件間各連接電極的連接電極。
14.如權(quán)利要求2所述的彈性表面波器件，其特征在于，構(gòu)成電極使從所述輸入焊盤或所述輸出焊盤看阻抗是50Ω。
15.如權(quán)利要求2或3所述的彈性表面波器件，其特征在于，共同連接構(gòu)成所述彈性表面波元件的所述梳狀轉(zhuǎn)換器電極的梳狀電極中的一個(gè)的接地側(cè)連接電極與所述接地焊盤對稱配置。
16.如權(quán)利要求1至3所述的彈性表面波器件，其特征在于，還具有固定密封所述壓電基板的封裝件；構(gòu)成所述接地焊盤經(jīng)多條引線或補(bǔ)片與所述封裝件上形成的接地電極端子連接。
17.如權(quán)利要求3所述的彈性表面波器件，其特征在于，多個(gè)元件間連接電極中把流過直接相面對的兩條所述元件間連接電極中的信號(hào)的相位作成同相位。
18.如權(quán)利要求17所述的彈性表面波器件，其特征在于，形成連接直接相對的兩條所述元件間連接電極間的連接電極。
19.如權(quán)利要求3所述的彈性表面波器件，其特征在于，形成共同連接多個(gè)元件間連接電極的連接電極。
全文摘要
一種彈性表面波器件。其并聯(lián)兩個(gè)以上在至少三個(gè)梳狀電極兩側(cè)設(shè)置反射器電極的縱模耦合型SAW元件，其用接地側(cè)連接電極把構(gòu)成IDT電極的一對梳狀電極中的一方共同連接，并把該接地側(cè)電極連接在接地焊盤上，從而能夠?qū)⑦B接焊盤的個(gè)數(shù)減少到最小限度，得到小型且濾波特性優(yōu)良的SAW器件。
文檔編號(hào)H03H9/25GK1543064SQ20041005953
公開日2004年11月3日 申請日期2004年3月31日 優(yōu)先權(quán)日2003年3月31日
發(fā)明者中谷忍, 中村弘幸, 都築茂, 幸 申請人:松下電器產(chǎn)業(yè)株式會(huì)社