專利名稱：諧振型濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及諧振型濾波器，涉及在用于分離在移動(dòng)電話等的通信裝置中使用的GHz帶的高頻發(fā)送信號(hào)或接收信號(hào)的濾波器裝置中使用時(shí)合適的諧振型濾波器。
背景技術(shù)：
近幾年，移動(dòng)電話不僅具有簡(jiǎn)單的通話功能而且具有高速數(shù)據(jù)通信功能漸漸成為必須。因此，實(shí)現(xiàn)通信的高頻部分的面積/體積的小型化的要求變得嚴(yán)格。在高頻部分中的用于分離通信所必需的信號(hào)的濾波器部分也和高頻部分的小型化一樣，漸漸要求小型、高性能的特性。
作為用于實(shí)現(xiàn)在移動(dòng)通信中所要求的高性能的濾波器的手段，組合了在下面的專利文獻(xiàn)1中披露的串臂諧振器和并臂諧振器的所謂的諧振型濾波器被較多使用。在該專利文獻(xiàn)1中作為實(shí)現(xiàn)諧振器的手段披露了在壓電性基板上形成簾狀電極、激發(fā)表面彈性波的表面彈性波諧振器。然而，在專利文獻(xiàn)1中披露的諧振型濾波器中使用的諧振器不限于表面彈性波諧振器。例如，在下面的非專利文獻(xiàn)1中介紹了通過(guò)使壓電性薄膜在下部電極上堆積后在其上面堆積上部電極來(lái)激發(fā)壓電性薄膜在膜厚方向上的縱向振動(dòng)以作為諧振器的FBAR(薄膜體聲波諧振器，F(xiàn)ilmed Bulk Acoustic Resonator)諧振器的實(shí)用例。
另一方面，作為通過(guò)在諧振型濾波器中在諧振器上并聯(lián)某個(gè)高頻電路元件來(lái)改善濾波器特性的公知手段，披露了下面的技術(shù)。
在專利文獻(xiàn)2中，披露了通過(guò)在串臂諧振器上并列地并聯(lián)靜電電容來(lái)控制串聯(lián)諧振頻率和并聯(lián)諧振頻率的間隔，以提高頻率特性的技術(shù)。
并且，在專利文獻(xiàn)3中披露了通過(guò)在串臂諧振器上并列地并聯(lián)靜電電容、根據(jù)靜電電容的溫度特性來(lái)補(bǔ)償諧振器的溫度特性的技術(shù)。
并且，在專利文獻(xiàn)4中披露了通過(guò)在串臂諧振器上并聯(lián)電感來(lái)控制串聯(lián)諧振頻率和并聯(lián)諧振頻率的間隔，以提高頻率特性的技術(shù)。
并且，作為改善表面彈性諧振器的濾波特性的技術(shù)，知道有專利文獻(xiàn)5和專利文獻(xiàn)6。
專利文獻(xiàn)5通過(guò)將串聯(lián)的彈性波諧振器和并聯(lián)的彈性波諧振器的復(fù)合諧振器的諧振頻率和反諧振頻率維持為規(guī)定的關(guān)系來(lái)改善低頻側(cè)的減推量惡化。
專利文獻(xiàn)6涉及在具有規(guī)定諧振頻率的并臂的彈性波諧振器和具有反諧振頻率的串臂的彈性波諧振器中設(shè)置有在串臂的彈性波諧振器上串聯(lián)的阻抗和并聯(lián)的阻抗的濾波器。
特開(kāi)平11-195957號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)2]特開(kāi)平2001-345675號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)3]特開(kāi)平2001-44790號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)4]特開(kāi)平2004-242281號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)5]特開(kāi)平2003-347896號(hào)公報(bào)[專利文獻(xiàn)6]特開(kāi)平2002-223147號(hào)公報(bào)[非專利文獻(xiàn)1]ELECTRONICS LETTERS 5月13日卷35第10期794-795頁(yè)在上述的表面彈性波諧振器、FBAR諧振器的任一諧振器中，如果在壓電振動(dòng)體的上部不確保中空空間，則振動(dòng)衰減，因此濾波芯片被容納在由陶瓷等的材料構(gòu)成的封裝中，通過(guò)封裝實(shí)現(xiàn)必要的電氣連接。作為濾波芯片與外部電路的連接方法，適時(shí)使用引線接合法、倒裝式接合法、穿過(guò)封裝的通孔等，為了連接單元的電阻變小，接線等被盡可能地變短、增加根數(shù)地使用。并且，通孔被盡可能地增大孔徑、增多孔數(shù)地使用。
諧振型濾波器作為實(shí)現(xiàn)移動(dòng)通信中所必要的頻率選擇特性的設(shè)備其應(yīng)用正在擴(kuò)大，然而如上所述小型化的要求也很嚴(yán)格。如果小型化容納濾波芯片的封裝，則作為與外部電路的連接手段的引線接合、封裝的通孔等就難以無(wú)視材料所具有的電阻成分。尤其是在并臂諧振器的阻抗不限于串聯(lián)諧振頻率、利用接近于0在通頻帶的低頻側(cè)形成衰減頻帶的諧振型濾波器中，與外部電路的連接單元的高電阻化作為低頻側(cè)衰減頻帶的衰減量的劣化而顯露出來(lái)。
美國(guó)的PCS規(guī)格、第三代移動(dòng)電話W-CDMA規(guī)格等，世界上被采用的多數(shù)移動(dòng)電話系統(tǒng)中，與發(fā)送頻帶的頻率相比，接收頻帶的頻率被設(shè)定在低頻側(cè)。在這種系統(tǒng)中為了分離來(lái)自移動(dòng)終端的發(fā)送信號(hào)和從基站飛來(lái)的微弱的接收信號(hào)，發(fā)送頻帶的衰減量大約50dB左右、接收頻帶的通過(guò)損失為數(shù)dB的接收濾波器成為必要。
在諧振型濾波器設(shè)計(jì)了上述接收濾波器的情況下，作為濾波芯片雖然滿足了要求性能然而當(dāng)容納在小型的封裝中、通過(guò)高電阻的連接單元與外部電路相連接的時(shí)候存在著發(fā)送頻帶衰減量劣化的問(wèn)題。
該傾向在利用了今后將推進(jìn)實(shí)用化的SiP(系統(tǒng)級(jí)封裝，System inPackage)、SoC(系統(tǒng)級(jí)芯片，System on Chip)等的技術(shù)的被動(dòng)能動(dòng)統(tǒng)一設(shè)備中，有可能進(jìn)一步成為嚴(yán)重的問(wèn)題。
下面，利用圖12至圖15對(duì)于小型化了封裝的情況下濾波器特性劣化的問(wèn)題進(jìn)行說(shuō)明。
圖12為示出了現(xiàn)有技術(shù)的諧振型濾波器的等價(jià)電路的圖。圖13為示出了大型的封裝和小型封裝的結(jié)構(gòu)的對(duì)比的圖。圖14為表示串臂諧振器和并臂諧振器的頻率特性的表格。圖15為示出了對(duì)于大型封裝和小型封裝的濾波特性的劣化的表格。
如上所述，在現(xiàn)有技術(shù)中存在著小型化封裝、高電阻化與外部電路的連接單元、濾波特性劣化的問(wèn)題。
圖12例如是專利文獻(xiàn)1中描述的諧振型濾波器的等價(jià)電路，明確地示出了與外部電路的連接單元3的電阻成分。
在該諧振型濾波器中，串臂諧振器1的并聯(lián)諧振頻率與通頻帶相比在高頻側(cè)形成衰減域，并臂諧振器2的串聯(lián)諧振頻率在通頻帶的低頻側(cè)形成衰減極。圖14為示出了串臂、并臂、各自的諧振器的阻抗的虛部的頻率特性的圖。阻抗的虛部，如圖14中所示在串聯(lián)諧振頻率上為0，然而由于并臂的阻抗串聯(lián)有諧振器的阻抗和連接單元3的阻抗，即使諧振器的阻抗的虛部為0、由連接單元的電阻而引起的阻抗的實(shí)部在串聯(lián)諧振頻率上也會(huì)殘留。如已描述的那樣，由于在并臂諧振器的串聯(lián)諧振頻率上形成低頻側(cè)的衰減頻帶，殘留的電阻成分大，衰減頻帶的衰減量比理想狀態(tài)劣化。
在圖13中，模式地示出了承載濾波芯片的封裝的大小與外部連接端子(輸入輸出端子S、接地端子G)以及通孔V的關(guān)系。比較如圖13(a)所示的封裝相對(duì)較大的情況和如圖13(b)所示的封裝相對(duì)較小的情況，根據(jù)制造上的物理制約與輸入輸出端子S相對(duì)應(yīng)的接地端子G對(duì)于封裝大的情況下為6個(gè)、在封裝小的情況下減少為4個(gè)。并且，通孔V的數(shù)目也從7個(gè)減為4個(gè)，與此同時(shí)通孔V的直徑也不得不變小。
這些封裝小型化引起的變化，從電氣的角度看，對(duì)應(yīng)于在圖12中圖示的連接單元的電阻成分3等價(jià)地變大。由于存在于并臂諧振器和接地電位之間的電阻成分變大導(dǎo)致低頻側(cè)的衰減量的劣化，由封裝小型化引起的濾波特性劣化變成圖15的實(shí)線(封裝大的情況)和虛線(封裝小的情況)所示的樣子。
這樣在現(xiàn)有技術(shù)的諧振型濾波器的結(jié)構(gòu)中，不能避開(kāi)由連接單元的高電阻化所引起的濾波特性的劣化，安裝越密集濾波器的低頻側(cè)衰減量的劣化就越嚴(yán)重。
上述專利文獻(xiàn)2至專利文獻(xiàn)6，均沒(méi)有披露針對(duì)伴隨封裝的小型化低頻側(cè)衰減量的特性劣化的改善的內(nèi)容。

發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明提出了改善由于伴隨這些封裝的安裝的連接單元的高電阻化而產(chǎn)生的衰減頻帶的衰減量劣化的方法，在利用了表面彈性波諧振器、利用縱波振動(dòng)的FBAR諧振器等的諧振器的諧振型濾波器中可廣泛應(yīng)用。
本發(fā)明的諧振型濾波器中，通過(guò)在具有專利文獻(xiàn)1中記載的串臂諧振器和并臂諧振器的諧振型濾波器中的至少一個(gè)的串臂諧振器上并聯(lián)地追加衰減頻帶衰減量改善用的諧振器，從而改善由于伴隨封裝的安裝的連接單元的高電阻化而產(chǎn)生的衰減頻帶的衰減量劣化。通過(guò)將在串臂上并聯(lián)地追加的諧振器的串聯(lián)諧振頻率和并臂的諧振器的串聯(lián)諧振頻率設(shè)定為大致相同，并聯(lián)有2個(gè)諧振器的串臂的合成導(dǎo)納由于2個(gè)諧振器的相互作用，除了在追加諧振器之前存在的導(dǎo)納＝0的頻率，在其他頻率上產(chǎn)生導(dǎo)納＝0的頻率。在串臂的合成電路中導(dǎo)納＝0的頻率產(chǎn)生2個(gè)，即表示由串臂的諧振器(2個(gè)諧振器被并聯(lián))產(chǎn)生2個(gè)衰減極。如專利文獻(xiàn)1記載的那樣，在諧振型濾波器中，串臂諧振器的并聯(lián)諧振頻率(導(dǎo)納＝0)上形成通頻帶的寬頻側(cè)的衰減頻帶，在并臂諧振器的串聯(lián)諧振頻率(導(dǎo)納＝0)上形成通頻帶的低頻側(cè)衰減域。在串臂上追加的諧振器而新產(chǎn)生的導(dǎo)納＝0的頻率由于產(chǎn)生于并臂諧振器的串聯(lián)諧振頻率(導(dǎo)納＝0)附近，因此由串臂產(chǎn)生的第二衰減極產(chǎn)生于通頻帶的低頻側(cè)的衰減頻帶中。此處，由于新產(chǎn)生的第二衰減極自串臂的諧振器產(chǎn)生，因此如發(fā)明將要解決的課題所述，不受由于封裝的小型化而引起的同外部電路的連接單元的高電阻化的影響。
如上面說(shuō)明的那樣，本發(fā)明的諧振型濾波器由于不受同外部電路的連接單元的影響的串臂諧振器的功能，可確保低頻側(cè)衰減頻帶的衰減量。這樣，即便封裝小型化、采用SiP、SoC等的第二代安裝形態(tài)時(shí)，也可實(shí)現(xiàn)必要的衰減特性。
根據(jù)本發(fā)明，可以改善由于伴隨封裝的安裝的連接單元的高電阻化而產(chǎn)生的衰減頻帶的衰減量劣化，在利用了表面彈性波諧振器、利用縱波振動(dòng)的FBAR諧振器等的諧振器的諧振型濾波器中可被廣泛應(yīng)用。


圖1為示出了本發(fā)明的諧振型濾波器的等價(jià)電路的圖。
圖2為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的阻抗的虛部的頻率特性的圖表。
圖3為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的導(dǎo)納的頻率特性的圖表。
圖4為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的合成導(dǎo)納的頻率特性的圖表。
圖5為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的通過(guò)特性的圖表。
圖6為表示在串臂諧振器上并聯(lián)了電感的情況下的通頻特性的圖表。
圖7為示出了本發(fā)明的諧振型濾波器的頻率特性的改善例的圖表。
圖8為示出了表面彈性波諧振器的情況下的模型例的圖。
圖9為在并聯(lián)地追加的串臂的諧振器6上、進(jìn)一步串聯(lián)地追加了電感的情況下的等價(jià)圖。
圖10為利用了本發(fā)明的諧振型濾波器的分波器的構(gòu)成圖。
圖11為利用了本發(fā)明的諧振型濾波器的前端組件的構(gòu)成圖。
圖12為示出了現(xiàn)有技術(shù)的諧振型濾波器的等價(jià)電路的圖。
圖13為示出了對(duì)比大型的封裝和小型封裝的結(jié)構(gòu)的圖。
圖14為表示串臂諧振器和并臂諧振器的頻率特性的表格。
圖15為示出了對(duì)于大型封裝和小型封裝的濾波特性的劣化的表格。
具體實(shí)施例方式
下面，使用圖1至圖11說(shuō)明本發(fā)明的各個(gè)實(shí)施方式。
下面，使用圖1至圖6說(shuō)明本發(fā)明的第一實(shí)施方式。
本發(fā)明為了改善由于安裝的高密度化而引起的連接單元的高電阻化所導(dǎo)致的濾波特性的劣化，在串臂諧振器的至少一個(gè)上并聯(lián)新的諧振器。在下面，針對(duì)通過(guò)在串聯(lián)諧振器上追加并聯(lián)諧振器可改善低頻側(cè)衰減量的情形，在示出表示具體的頻率特性的圖表的同時(shí)進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。
圖1為示出了本發(fā)明的諧振型濾波器的等價(jià)電路的圖。圖2為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的阻抗的虛部的頻率特性的圖表。圖3為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的阻抗的頻率特性的圖表。圖4為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的合成導(dǎo)納的頻率特性的圖表。圖5為表示構(gòu)成本發(fā)明的諧振型濾波器的串臂諧振器的通過(guò)特性的圖表。圖6為表示在串臂諧振器上并聯(lián)了電感的情況下的通過(guò)特性的圖表。圖7為示出了本發(fā)明的諧振型濾波器的頻率特性的改善例的圖表。
圖1中所示的例子顯示了在構(gòu)成現(xiàn)有技術(shù)的諧振型濾波器的一個(gè)串臂諧振器上并聯(lián)地連接了諧振器的情況下的等價(jià)電路。如圖1中所示，在串臂的諧振器1上并聯(lián)地連接有諧振器6，在并臂上連接有諧振器2，通過(guò)由與外部電路的連接單元而產(chǎn)生的電阻3接地。并且，圖2是為了說(shuō)明并聯(lián)地連接了諧振器的效果而圖示了圖1的虛線中所示的2個(gè)諧振器的阻抗的頻率特性的圖。串臂的諧振器具有與圖10和圖12中所示內(nèi)容相同的頻率特性。根據(jù)串臂諧振器上并聯(lián)的諧振器的阻抗特性，非常明顯地，并聯(lián)的諧振器的串聯(lián)諧振頻率被設(shè)定成與圖12所示的并臂連接的諧振器大致相同。
由諧振器6和諧振器1組成的合成電路通過(guò)諧振器6和諧振器1的相互作用，在比諧振器6具有的諧振頻率稍高的頻率fc上導(dǎo)納變?yōu)?，即產(chǎn)生衰減極。在本發(fā)明中通過(guò)在并臂的諧振器的串聯(lián)諧振頻率附近設(shè)定上述頻率fc來(lái)提高衰減特性。
因此，希望圖1的諧振器6和諧振器2的諧振頻率在衰減頻帶頻率寬度(例如，在PCS系統(tǒng)中60MHz)的范圍內(nèi)一致。該條件如果被滿足，則在并臂諧振器的串聯(lián)諧振頻率上所形成的衰減頻帶特性通過(guò)追加諧振器6而被改善就是顯而易見(jiàn)的了。
為了理解由圖1的虛線內(nèi)所示的2個(gè)諧振器構(gòu)成的電路的動(dòng)作，有必要計(jì)算合成電路的導(dǎo)納，因此基于圖2的阻抗的頻率特性，計(jì)算了各個(gè)諧振器的導(dǎo)納特性的情形為圖3。根據(jù)圖3可知，在點(diǎn)化線表示的頻率fc上各個(gè)諧振器的導(dǎo)納的正分量和負(fù)分量相等。由于合成電路的導(dǎo)納可用各個(gè)諧振器的導(dǎo)納的和來(lái)計(jì)算，在fc上合成電路的導(dǎo)納變?yōu)?。實(shí)際的合成導(dǎo)納的計(jì)算結(jié)果變?yōu)槿鐖D4所示的情形。
眾所周知，在現(xiàn)有技術(shù)的諧振型濾波器中也在為了形成通頻域的高頻側(cè)的衰減頻帶而利用的頻率fa的導(dǎo)納0的頻率以外，還在頻率fc產(chǎn)生新的導(dǎo)納0的頻率。將由圖1的虛線內(nèi)所示的2個(gè)諧振器構(gòu)成的串臂電路的通頻特性根據(jù)圖4的導(dǎo)納特性進(jìn)行計(jì)算則得到圖5那樣的特性。圖5的通頻特性示出了通過(guò)在串臂諧振器上并聯(lián)諧振器，從串臂的電路不僅形成通頻帶的高頻側(cè)的衰減極，而且在通過(guò)域的低頻側(cè)也形成衰減極。由于這些衰減極均由串臂諧振器(2個(gè)諧振器被并聯(lián))而引起，與在諧振型濾波器的等價(jià)電路中所示的連接單元3的高電阻化無(wú)關(guān)，即便在高密度安裝中也可形成不劣化的低頻側(cè)衰減頻帶。
如上所示，由于串臂諧振器的并聯(lián)化而形成新的衰減極在并聯(lián)了諧振器的情況中是特有的現(xiàn)象，如在專利文獻(xiàn)2和專利文獻(xiàn)3中記載的那樣，在并聯(lián)了靜電電容的情況下，只要現(xiàn)存的串臂諧振器的串聯(lián)諧振頻率和并聯(lián)諧振頻率的間隔變化，新的衰減極就不會(huì)形成。并且，如在專利文獻(xiàn)4中記載的那樣，在并聯(lián)電感的情況下，可使合成導(dǎo)納產(chǎn)生新的0點(diǎn)，然而由于電感的單一頻率特性、合成電路的通頻特性不得不變?yōu)閳D6所示的那樣。
根據(jù)圖6可知，將在并聯(lián)的電感中產(chǎn)生2個(gè)衰減極作為條件，則fa同原來(lái)的諧振器的fa相比、大幅度地向高頻率側(cè)移動(dòng)，原來(lái)諧振器具有的陡峭性被損壞、沒(méi)有實(shí)用的意義。
如上面說(shuō)明的那樣，通過(guò)在串臂的諧振器1上并聯(lián)地連接諧振器6(圖1)，則可通過(guò)由串臂引起的衰減極來(lái)增強(qiáng)因?yàn)橥獠侩娐返倪B接單元的高電阻化而導(dǎo)致的劣化的通頻帶的低頻側(cè)衰減頻帶(由圖7的實(shí)線圖示)。
下面，利用圖8對(duì)本發(fā)明的第二實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖8為示出了表面彈性波諧振器的情況下的模型例的圖。
本實(shí)施方式例示了在表面彈性波濾波器中具體地并聯(lián)了2個(gè)諧振器的情況。表面彈性波諧振器的情況下，通過(guò)在由IDT7和反射器8構(gòu)成的諧振器上將由IDT9和反射器10構(gòu)成的反射器如圖8(a)那樣配置，可并聯(lián)串臂的諧振器。并且，如圖8(b)那樣通過(guò)將配置在IDT7和IDT9中間的反射器一體化、變成反射器11那樣，可將由并聯(lián)到串臂的諧振器上的諧振器所引起的芯片面積的增大限于最小限度。
下面，利用圖9對(duì)本發(fā)明的第三實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖9為在并聯(lián)地追加的串臂的諧振器6上、進(jìn)一步串聯(lián)地追加了電感的情況下的等價(jià)圖。
本實(shí)施方式為說(shuō)明在FBAR(薄膜體聲波諧振器)、SMR(固態(tài)粘著諧振器)等的BAW(體聲波諧振器)中應(yīng)用本發(fā)明的結(jié)構(gòu)時(shí)的具體例。
在表面彈性波諧振器的情況下，諧振頻率可在IDT的基本周期內(nèi)任意設(shè)定，然而由于BAW的情況的諧振頻率有必要利用壓電薄膜的膜厚進(jìn)行控制，過(guò)分追求自由度則制造工序的工時(shí)增加、花費(fèi)變高。本實(shí)施方式提出了解決該問(wèn)題點(diǎn)的方法。如已說(shuō)明的那樣，通過(guò)將并聯(lián)到串臂諧振器上的諧振器的諧振頻率設(shè)定為與并臂諧振器的諧振頻率大致相同可改善通頻域的低頻側(cè)衰減量，然而從設(shè)計(jì)論的角度，有時(shí)希望在諧振頻率的設(shè)定上有自由度。在該情況下，如圖13所示那樣，通過(guò)在并聯(lián)到串臂上的諧振器6上導(dǎo)入串聯(lián)的電感12，可微調(diào)由諧振器6的追加而產(chǎn)生的衰減極的頻率。這樣，用于實(shí)現(xiàn)濾波特性的膜厚的種類不增加、可提高設(shè)計(jì)自由度。
下面，使用圖10對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖10為利用了本發(fā)明的諧振型濾波器的分波器的構(gòu)成圖。
如上面說(shuō)明的那樣根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)成，改善了在現(xiàn)有技術(shù)中成為問(wèn)題的由于安裝的小型化引起的性能劣化的高頻濾波器的實(shí)現(xiàn)成為可能。這些高頻濾波器例如如圖10中圖示的構(gòu)成那樣，通過(guò)適用于由發(fā)送濾波器、接收濾波器和相位電路組成的分波器，可實(shí)現(xiàn)高性能的分波器。
下面，使用圖11對(duì)本發(fā)明的第四實(shí)施方式進(jìn)行說(shuō)明。
圖11為利用了本發(fā)明的諧振型濾波器的前端組件的構(gòu)成圖。
本發(fā)明的諧振型的高頻濾波器可適用于例如如圖11中圖示的構(gòu)成那樣的組合多個(gè)頻帶的接收濾波器和開(kāi)關(guān)電路形成的高頻前端組件(FEM)，成為用于實(shí)現(xiàn)高性能FEM的要素技術(shù)。
根據(jù)本發(fā)明的構(gòu)成可實(shí)現(xiàn)能夠小型安裝的諧振型濾波器。這些內(nèi)置濾波器的分波器、前端組件、RF模塊以及無(wú)線系統(tǒng)的性能得到提高。
權(quán)利要求
1.一種諧振型濾波器，其特征在于具有串臂諧振部分和并臂諧振部分，上述串臂諧振部分并聯(lián)有不同的2個(gè)諧振器，上述串臂諧振部分一方的諧振頻率與上述并臂諧振部分的諧振器的諧振頻率大致相等。
2.根據(jù)權(quán)利要求1的諧振型濾波器，其特征在于在上述并臂諧振部分與接地電位間的連接上使用引線接合或通孔。
3.根據(jù)權(quán)利要求1的諧振型濾波器，其特征在于諧振器由表面彈性波元件構(gòu)成。
4.根據(jù)權(quán)利要求1的諧振型濾波器，其特征在于諧振器由BAW元件構(gòu)成。
5.根據(jù)權(quán)利要求3的諧振型濾波器，其特征在于上述串臂的并聯(lián)的雙方的諧振器的反射器成為一體。
6.根據(jù)權(quán)利要求4的諧振型濾波器，其特征在于在上述串臂的并聯(lián)的諧振器的一方上串聯(lián)有電感。
7.一種使用諧振型濾波器的分波器，其特征在于上述諧振型濾波器具有串臂諧振部分和并臂諧振部分，上述串臂諧振部分并聯(lián)有不同的2個(gè)諧振器，上述串臂諧振部分的一方的諧振頻率與上述并臂諧振部分的諧振器的諧振頻率大致相等。
8.一種使用諧振型濾波器的前端組件，其特征在于上述諧振型濾波器具有串臂諧振部分和并臂諧振部分，上述串臂諧振部分并聯(lián)有不同的2個(gè)諧振器，上述串臂諧振部分的一方的諧振頻率與上述并臂諧振部分的諧振器的諧振頻率大致相等。
全文摘要
本發(fā)明提供一種諧振型濾波器。濾波器的低頻側(cè)衰減量由于因安裝的高密度化而產(chǎn)生的連接單元的高電阻化而劣化。在具有串臂和并臂的諧振型濾波器中，在串臂連接的諧振器的至少一個(gè)上并聯(lián)地連接諧振器。這時(shí)，將并聯(lián)的諧振器的諧振頻率設(shè)定為與并臂連接的諧振器的諧振頻率大致相同。
文檔編號(hào)H03H9/25GK1929304SQ20051013813
公開(kāi)日2007年3月14日 申請(qǐng)日期2005年12月22日 優(yōu)先權(quán)日2005年9月8日
發(fā)明者柴垣信彥, 疋田光孝 申請(qǐng)人:株式會(huì)社日立媒介電子