專利名稱：彈性波器件、使用其的雙工器以及使用該雙工器的通信機(jī)的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及具有彈性波諧振器的彈性波器件，特別涉及功率持久性高的彈性波器
件、使用該彈性波器件的雙工器以及使用該雙工器的通信機(jī)。
背景技術(shù)：
彈性波諧振器在壓電基板或者壓電薄膜上等具有由鋁合金、Cu合金等形成的具有 與所希望的頻率相對(duì)應(yīng)的周期的梳形電極，并利用由梳形電極激發(fā)的彈性波。由梳形電極 激發(fā)的彈性波中具有表面聲波、彈性邊界波等。例如，示出了在單端口諧振器的情況下具有 諧振頻率和反諧振頻率的雙重諧振特性。作為利用上述的特性的電路而具有梯形濾波器， 所述梯形濾波器將具有不同的梳形電極周期的單端口諧振器在串聯(lián)臂和并列臂上配置成 構(gòu)成梯子狀(例如，參考專利文獻(xiàn)l)。另外，還有由多個(gè)梳形電極形成諧振器的匿S (Double mode SAW(Surface Acoustic Wave,表面聲波)，雙模式表面聲波)濾波器、具有激發(fā)用梳形 電極和接收用梳形電極的IIDT型濾波器等。 圖15A是表示梯形濾波器的基本結(jié)構(gòu)的電路圖，圖15B是圖15A的梯形濾波器的 上表面圖。梯形濾波器在輸入端子101和輸出端子102之間形成有連接成串聯(lián)臂的串聯(lián)諧 振器102、 103、 104以及并聯(lián)連接的并聯(lián)諧振器105、 106、 107。分別由串聯(lián)諧振器102和并 聯(lián)諧振器105、串聯(lián)諧振器103和并聯(lián)諧振器106、串聯(lián)諧振器104和并聯(lián)諧振器107構(gòu)成 一級(jí)濾波器，這些一級(jí)濾波器被連接成多級(jí)(3級(jí))。圖15A中的輸入端子101和輸出端子 102由圖15B中的輸入凸塊112和輸出凸塊113構(gòu)成，圖15A中的地由圖15B中被接地的地 凸±央114、115、116構(gòu)成。 梯形濾波器被使用在與通信機(jī)的天線連接的雙工器上。進(jìn)而，特別在發(fā)送用 的梯形濾波器中由于直接施加被發(fā)送到天線上的電力，因此需要功率持久性(power durability)。在梯形濾波器中，在設(shè)計(jì)上提高功率持久性的第一方法是通過提高設(shè)備的排 熱性來降低設(shè)備的溫度，由此難以發(fā)生遷移(migration)。 壓電基板的排熱主要經(jīng)由封裝等將熱量散向連接基板來進(jìn)行。在以往的結(jié)構(gòu)中， 如圖16A的上表面圖和圖16B的截面圖所示，構(gòu)成濾波器的壓電基板121通過芯片鍵合 (DIE-B0NDING)材料122被連接到封裝123上，從壓電基板121的背面的整個(gè)面向封裝123 進(jìn)行排熱。并且，熱量從封裝123被散向連接基板(未圖示)。壓電基板121上的電極經(jīng)由 電線125與封裝123的電極124連接。 另外，被小型化了的封裝的結(jié)構(gòu)如圖17A的上表面圖和圖17B的截面圖所示，為了 實(shí)現(xiàn)小型低曲線化，而采用在形成有濾波器的壓電基板131上所形成的金屬凸塊132通過 面向下方式與封裝133連接的倒裝焊(FCB， flip-chip bonding)的結(jié)構(gòu)，并且通過金屬凸 塊132向封裝133排熱。 另外，提高功率持久性的第二種方法是增加每個(gè)諧振器的對(duì)數(shù)(梳形電極數(shù))。圖 18是表示單端口諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖。單端口諧振器具有壓電基板141、諧振部143、 以及反射器142。諧振部143具有相向的兩個(gè)激發(fā)電極144、 145。由激發(fā)電極144、 145的對(duì)數(shù)決定諧振器的電容CO，由電容決定濾波器的阻抗。因此，不合理地增加對(duì)數(shù)會(huì)使濾波器
的阻抗偏移。因此，如圖19所示的上表面圖那樣，將兩個(gè)具有諧振部146的諧振器串聯(lián)連
接，由此能夠不改變兩個(gè)諧振器的電容而使一個(gè)諧振器的對(duì)數(shù)成倍，使功率持久性提高，所
述諧振部146具有對(duì)數(shù)成倍的激發(fā)電極147、 148。 專利文獻(xiàn)1 :日本專利文獻(xiàn)特開平7-122961號(hào)公報(bào)。

發(fā)明內(nèi)容
但是，在上述以往的濾波器中存在以下問題。在提高功率持久性的第一種方法中， 由于使用金，因此每個(gè)凸塊的熱傳導(dǎo)性好，但是排熱路徑變少，因此濾波器的溫度上升。因 此為了有效地排熱，重要的是將凸塊配置在發(fā)熱體(梳形電極)的旁邊。圖20是單端口諧 振器的上表面圖。在不可配置凸塊區(qū)域149布有用于向電極供電的布線(未圖示)?？膳?置凸塊區(qū)域150位于諧振部143的比反射器141更靠外的位置，并且遠(yuǎn)離發(fā)熱體的中心(圖 中的圓圈標(biāo)記)，因此不能有效地排熱。 另外，在提高功率持久性的第二種方法中，諧振器自身變大，因此存在設(shè)備尺寸變 大的問題。另外，由于可配置凸塊區(qū)域遠(yuǎn)離發(fā)熱體的中心，因此存在由凸塊進(jìn)行的排熱效果 變?nèi)醯葐栴}。 本發(fā)明其目的在于解決上述以往的問題，提供一種不改變電容而提高散熱效率、
功率持久性高的彈性波器件、使用該彈性波器件的雙工器以及使用該雙工器的通信機(jī)。 本發(fā)明的彈性波器件，包括諧振器，所述諧振器包括壓電基板、形成在所述壓電
基板上的諧振部、形成在所述壓電基板上的諧振部的兩端的反射器；以及凸塊，所述凸塊被
形成在所述壓電基板上。為了解決上述問題，所述諧振器的特征在于所述諧振器通過并聯(lián)
連接兩個(gè)以上的分割諧振器來構(gòu)成，并在被所述分割諧振器的反射器所夾而成的區(qū)域形成
有凸塊。 該結(jié)構(gòu)的彈性波器件為了在使用時(shí)接收電力供應(yīng)以及為了固定位置而通過凸塊 被連接在封裝或者連接基板上。通過在被分割諧振器的反射器所夾的區(qū)域形成凸塊，來有 效地排出由分割諧振器產(chǎn)生的熱量，與沒被分割的諧振器相比能夠提高功率持久性。
另外，也能構(gòu)成為所述彈性波器件具有與所述諧振部連接的信號(hào)布線，所述凸塊 被所述信號(hào)布線和所述反射器包圍。 另外，也能構(gòu)成為所述凸塊與地連接。另外，也能構(gòu)成為所述凸塊與外部布線連 接。 另外，也能構(gòu)成為所述各個(gè)分割諧振器的梳形電極的對(duì)數(shù)是相同的。通過將對(duì)數(shù) 形成為相同的，來自各個(gè)分割諧振器的發(fā)熱量變得相同，從被分割諧振器的發(fā)射器所夾的 凸塊的排熱效率提高。 另外，也能構(gòu)成為所述各個(gè)分割諧振器的梳形電極以相同設(shè)計(jì)來形成。通過該結(jié) 構(gòu)，各個(gè)分割諧振器的諧振頻率和反諧振頻率一致。另外，能夠防止由信號(hào)的反射等引起的 信號(hào)的衰減。另外，所謂的相同設(shè)計(jì)是除了制造誤差之外，梳形電極的材料質(zhì)量、寬度、開口 長度(梳形電極與其他的梳形電極相向的長度)、根數(shù)全部相同。 另外，也能構(gòu)成為所述凸塊的材料是Au。通過使用熱傳導(dǎo)性高的Au能夠提高排熱效率。
4
本發(fā)明的濾波器是一種連接有多個(gè)諧振器的濾波器，其中，所述多個(gè)諧振器是權(quán)
利要求1至7中任一項(xiàng)所述的彈性波器件。通過該結(jié)構(gòu)能夠提高功率持久性。
另外，本發(fā)明的雙工器為了解決上述問題，包括發(fā)送用濾波器；以及通過頻帶與
所述發(fā)送用濾波器不同的接收用濾波器；所述發(fā)送用濾波器和所述接收用濾波器中的至少
一個(gè)使用上述所述的濾波器。通過該結(jié)構(gòu)能夠提高濾波器的功率持久性，同時(shí)也提高雙工
器的功率持久性。 另外，本發(fā)明的通信機(jī)也能構(gòu)成為包括天線；與所述天線連接的上述雙工器；以 及與所述雙工器連接的信號(hào)處理部。通過該結(jié)構(gòu)能夠提高雙工器的功率持久性，同時(shí)也能 提高通信機(jī)的功率持久性。 根據(jù)本發(fā)明，通過在諧振器的分割諧振器之間設(shè)置有凸塊，來提供不改變電容而 提高散熱效率、功率持久性高的彈性波器件、使用該彈性波器件的雙工器以及使用該雙工 器的通信機(jī)，所述諧振器并聯(lián)連接了將對(duì)數(shù)分成一半后的兩個(gè)分割諧振器。


圖1A是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)的電路圖； 圖IB是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖2A是表示本實(shí)施方式的梯形濾波器的第二串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖2B是表示圖2A的A-A'線的截面的截面圖； 圖3是表示本實(shí)施方式的梯形濾波器的合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖4A是表示以往的諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖4B是通過仿真求出圖4A所示的諧振器驅(qū)動(dòng)時(shí)的、壓電基板表面的溫度分布的 圖； 圖5A是表示以往的另一諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖5B是通過仿真求出圖5A所示的諧振器驅(qū)動(dòng)時(shí)的、壓電基板表面的溫度分布的 圖； 圖6A是表示本實(shí)施方式的諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖6B是通過仿真求出圖6A所示的諧振器驅(qū)動(dòng)時(shí)的、壓電基板表面的溫度分布的 圖； 圖7A是表示去除圖6A所示的諧振器的內(nèi)部凸塊的諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖7B是通過仿真求出圖7A所示的諧振器驅(qū)動(dòng)時(shí)的、壓電基板表面的溫度分布的 圖； 圖8是表示本實(shí)施方式的合成并聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖9是表示本實(shí)施方式的另一合成并聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖10是表示本實(shí)施方式的合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖11是表示本實(shí)施方式的另一合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖12是表示本實(shí)施方式的另一合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖13是表示本實(shí)施方式的另一合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的上表面圖； 圖14是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的通信機(jī)的結(jié)構(gòu)的框圖； 圖15A是表示以往的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)的電路 圖15B是圖15A所示的梯形濾波器的上表面圖； 圖16A是表示以往的濾波器的封裝的上表面圖； 圖16B是表示以往的濾波器的封裝的截面圖； 圖17A是表示另一濾波器的封裝的上表面圖； 圖17B是表示另一濾波器的封裝的截面圖； 圖18是表示單端口諧振器的構(gòu)造的上表面圖； 圖19是表示將使梳形電極成倍后的諧振器串聯(lián)連接的結(jié)構(gòu)的上表面圖； 圖20是表示單端口諧振器的構(gòu)造的上表面圖。 標(biāo)號(hào)說明 1梯形濾波器 2輸入端子 3輸出端子 4第一級(jí)濾波器 5第二級(jí)濾波器 6第三級(jí)濾波器 11、21、31、51壓電基板 12輸入凸塊 13輸出凸塊 14、15、16地凸±央 22、32、33、52諧振部 23a、34a、34b第一總線條 23b、37a、37b第二總線條 24a、35a、35b第一梳形電極 24b、38a、38b第二梳形電極 25a、36a、36b第一激發(fā)電極 25b、39a、39b第二激發(fā)電極 26a、26b反射器 27a、27b、44、47a、47b、64金屬膜 28a、28b、55、56、57、65凸±央 40a、61第一信號(hào)布線 40b、63第二信號(hào)布線 41a、41b外側(cè)反射器 42a、42b內(nèi)側(cè)反射器 43內(nèi)側(cè)凸塊可形成區(qū)域 45內(nèi)側(cè)凸塊 46a、46b外側(cè)凸塊可形成區(qū)域 48a、48b外側(cè)凸土央 53、54引出布線 62地凸塊
66信號(hào)布線凸塊71天線72雙工器73發(fā)送側(cè)信號(hào)處理部74接收側(cè)信號(hào)處理部75麥克76揚(yáng)聲器77發(fā)送用濾波器78接收用濾波器Sl合成串聯(lián)諧振器S11、P11第一分割諧振器S12、P12第二分割諧振器S2、S3串聯(lián)諧振器P1、P2、P3并聯(lián)諧振器
具體實(shí)施例方式(實(shí)施方式1) 圖1A是表示本發(fā)明實(shí)施方式1的梯形濾波器的結(jié)構(gòu)的電路圖。梯形濾波器1在 輸入端子2和輸出端子3之間級(jí)聯(lián)連接第一級(jí)濾波器4、第二級(jí)濾波器5、以及第三級(jí)濾波 器6。 第一級(jí)濾波器4具有配置在串聯(lián)臂上的合成串聯(lián)諧振器Sl和配置在并聯(lián)臂上的 并聯(lián)諧振器Pl。第二級(jí)濾波器5具有配置在串聯(lián)臂上的串聯(lián)諧振器S2和配置在并聯(lián)臂上 的并聯(lián)諧振器P2。第三級(jí)濾波器6具有配置在串聯(lián)臂上的串聯(lián)諧振器S3和配置在并聯(lián)臂 上的并聯(lián)諧振器P3。合成串聯(lián)諧振器Sl被形成為第一分割諧振器Sll和第二分割諧振器 S12并聯(lián)連接。 合成串聯(lián)諧振器Sl、第二串聯(lián)諧振器S2以及第三串聯(lián)諧振器S3的諧振頻率是 frs，反諧振頻率是fas。第一并聯(lián)諧振器Pl、第二并聯(lián)諧振器P2以及第三并聯(lián)諧振器P3 的諧振頻率是frp，反諧振頻率是f即。串聯(lián)諧振器的諧振頻率frs和并聯(lián)諧振器的反諧振 頻率fap被設(shè)定為大致是相同頻率，梯形濾波器1作為帶通濾波器而動(dòng)作。
圖1B是表示梯形濾波器1的結(jié)構(gòu)的上表面圖。在梯形濾波器l中，在壓電基板 11上形成元件。梯形濾波器1被構(gòu)成為通過面向下方式而將凸塊連接到連接基板或者封 裝(未圖示)上。輸入凸塊12是具體構(gòu)成圖1A中的輸入端子2的，并被電連接在連接基 板的外部布線(未圖示)上。輸出凸塊13是具體構(gòu)成圖1A中的輸出端子3的，并被電連 接在連接基板的外部布線上。地凸塊15 17被電連接在安裝有梯形濾波器1的連接基板 的地(未圖示)上。內(nèi)部凸塊14被形成在第一分割諧振器Sll和第二分割諧振器S12所 夾的區(qū)域(在連接第一分割諧振器Sll和第二分割諧振器S12的線段上)。
圖2A是表示第二串聯(lián)諧振器S2的結(jié)構(gòu)的上表面圖，圖2B是表示圖2A的A-A'線 的截面的截面圖。第三串聯(lián)諧振器S3、第一并聯(lián)諧振器P1、第二并聯(lián)諧振器P2以及第三并 聯(lián)諧振器P3的結(jié)構(gòu)與第二串聯(lián)諧振器S2是同樣的。圖2A所示的第二串聯(lián)諧振器S2是SAW的單端口諧振器。第二串聯(lián)諧振器P2具有諧振部22和反射器26a、26b。諧振部22具 有壓電基板21、形成在壓電基板21上的第一激發(fā)電極25a以及第二激發(fā)電極25b。
第一激發(fā)電極25a通過多個(gè)第一梳形電極24a與第一總線條23a連接來形成。同 樣，第二激發(fā)電極25b通過多個(gè)第二梳形電極24b與第二總線條23b連接來形成。第一激 發(fā)電極25a和第二激發(fā)電極25b以使第一梳形電極24a和第二梳形電極彼此交替排列的方 式來相對(duì)配置。在與第一梳形電極24a的長度方向垂直的方向上的、諧振部22的兩側(cè)形成 有反射器26a、26b。 在反射器26a、26b的與形成諧振部22的相反側(cè)形成有金屬膜27a、27b。在金屬膜 27a、27b上形成有凸塊28a、28b。該凸塊27a、27b運(yùn)出由諧振部22產(chǎn)生的熱量。由于作為 用于運(yùn)出所述熱量的熱傳導(dǎo)路而被使用，因此優(yōu)選靠近諧振部22而設(shè)置在可配置的反射 器26a、26b的橫向上。該凸塊28a、28b與封裝連接，并與諧振部22電連接。但是，也可以 是不與諧振部22連接的結(jié)構(gòu)。另外，該凸塊27a、27b的形成位置不一定要在反射器26a、 26b的與諧振部22相反的一側(cè)，另外如果不需要凸塊27a、27b則也可以沒有。
圖3是表示合成諧振器Sl的結(jié)構(gòu)的上表面圖。合成串聯(lián)諧振器Sl由被設(shè)置在壓 電基板31上的第一分割諧振器Sll和第二分割諧振器S12構(gòu)成。第一分割諧振器Sll具 有諧振部32、外側(cè)反射器41a，內(nèi)側(cè)反射器42a。諧振部32具有第一激發(fā)電極36a和第二激 發(fā)電極39a。同樣，第二分割電極S12具有諧振部33、外側(cè)反射器41b以及內(nèi)側(cè)反射器42b。 諧振部33具有第一激發(fā)電極36b和第二激發(fā)電極39b。諧振部32和諧振部33分別與第一 信號(hào)布線40a連接并且分別與第二信號(hào)布線40b連接。 第一激發(fā)電極36a和第二激發(fā)電極39a、以及第一激發(fā)電極36b和第二激發(fā)電極 39b以使第一梳形電極35a、35b和第二梳形電極38a、38b交替排列的方式來分別相向配置。 在第一激發(fā)電極36a中，多個(gè)第一梳形電極35a分別與第一總線條34a連接。同樣，在第二 激發(fā)電極39a中，多個(gè)第二梳形電極38a分別與第二總線條37a連接。在第一激發(fā)電極36b 中，多個(gè)第一梳形電極35b分別與第一總線條34b連接。同樣，在第二激發(fā)電極39b中，多 個(gè)第二電極38b分別與第二總線條37b連接。 以被內(nèi)側(cè)反射器42a、42b夾著的方式設(shè)置有內(nèi)側(cè)凸塊可形成區(qū)域43。在內(nèi)側(cè)凸塊 可形成區(qū)域43上形成有金屬膜44，在金屬膜44上形成有內(nèi)側(cè)凸塊45。另外，在外側(cè)反射 器41a、41b的外側(cè)設(shè)置有外側(cè)凸塊可形成區(qū)域46a、46b。在外側(cè)凸塊可形成區(qū)域46a、46b 上分別形成金屬膜47a、47b，在金屬膜47a、47b上分別形成外側(cè)凸塊48a、48b。
內(nèi)側(cè)凸塊45和外側(cè)凸塊48a、48b與封裝連接。由此，由第一分割諧振器Sll和第 二分割諧振器S12產(chǎn)生的熱量通過內(nèi)側(cè)凸塊45和外側(cè)凸塊48a、48b被排向封裝。內(nèi)側(cè)凸 塊45和外側(cè)凸塊48a、48b與電路(諧振器)連接。但是，不一定要與電路連接，也可以設(shè)為 電氣上相對(duì)于電路浮動(dòng)的結(jié)構(gòu)。另外，在內(nèi)側(cè)凸塊45和外側(cè)凸塊48a、48b與電路連接的情 況下，內(nèi)側(cè)凸塊45和外側(cè)凸塊48a、48b既可以與外部布線連接也可以被接到地上。另外， 外側(cè)凸塊48a、48b的形成位置不一定要在外側(cè)反射器41a、41b的與諧振部32、33相反的一 側(cè)。另外如果不需要凸塊48a、48b則也可以沒有。 圖4A和圖5A是簡略示出以往的諧振器的結(jié)構(gòu)的上表面圖，圖4B和圖5B是通過 仿真求出圖4A和圖5A的諧振器驅(qū)動(dòng)時(shí)的、壓電基板表面(形成有激發(fā)電極側(cè))的溫度分 布的圖。如圖4A所示的以往的諧振器具有設(shè)置在壓電基板51上的諧振部52(包含反射器)、與諧振部52連接的引出布線53、54、以及凸塊55、56。凸塊55、56形成在相對(duì)于諧振 部52沒有形成引出布線53、54的方向的兩端。如圖4B所示的溫度分布是假設(shè)處于使諧振 部52驅(qū)動(dòng)了的、熱量上的穩(wěn)定狀態(tài)并且在將1W的發(fā)熱源置于諧振部52的狀態(tài)下進(jìn)行溫度 分布仿真時(shí)的結(jié)果。該仿真對(duì)壓電基板51使用LiTaOy對(duì)諧振器的激發(fā)電極和反射器使用 Al來進(jìn)行。使在壓電基板51的與凸塊55、56相反的一側(cè)與陶瓷基板的Cu電極連接，并設(shè) 定仿真條件使該電極部分為25t:。仿真結(jié)果為圖4B所示的溫度分布，壓電基板51的最高 溫度是119°C。 圖5A所示的諧振器是在與圖4A所示的諧振器的凸塊56鄰接地再配置了另一個(gè) 凸塊57的結(jié)構(gòu)。針對(duì)該諧振器進(jìn)行基于上述條件的溫度分布仿真。其結(jié)果是，由于到封裝 的熱傳導(dǎo)路徑增加到三條，因此如圖5B所示，溫度比圖4B所示的諧振器的情況降低，最高 溫度為102 °C。 圖6A是為了易于與圖4A、圖5A進(jìn)行比較而對(duì)圖3所示的本發(fā)明實(shí)施方式的合成 諧振器Sl進(jìn)行簡化了的上表面圖。圖6B是與圖4B、圖5B所示的以往的諧振器同樣地通 過仿真求出與合成諧振器S1的溫度分布的圖。與形成有三個(gè)凸塊的圖5B所示的諧振器相
比，合成諧振器si的溫度降低，最高溫度為src。 圖7A是為了比較而簡略示出去除了圖6A的合成諧振器中內(nèi)側(cè)凸塊45的諧振器 的上表面圖。在該諧振器中，如圖7B所示的仿真結(jié)果所示，即使與圖4B所示的諧振器比較， 溫度也變高，最高溫度為122°C。這是由于與圖4A的諧振器相比，諧振器變大，凸塊的位置 距離發(fā)熱源相對(duì)地變遠(yuǎn)。與此相對(duì)，在圖6A的構(gòu)造中，通過設(shè)置內(nèi)部凸塊，從作為發(fā)熱源的 分割諧振器S11、S12的每個(gè)的發(fā)熱中心到凸塊的距離與圖4A所示的構(gòu)造相比變短，散熱效 率提高。 如上所述，通過分割諧振器并設(shè)置內(nèi)部凸塊，能夠有效地將在諧振器中產(chǎn)生的熱 量散到封裝中。其結(jié)果是，諧振器的溫度沒有上升，而功率持久性變高。
圖8和圖9是表示將兩個(gè)分割諧振器并聯(lián)連接的合成諧振器被連接在并聯(lián)臂上的 情況下的合成并聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的圖。在圖8所示的合成并聯(lián)諧振器中，第一分割諧振 器Pll和第二分割諧振器P12分別與第一信號(hào)布線61連接并且分別與第二信號(hào)布線63連 接。在第一信號(hào)布線61上形成有電連接在連接基板(未圖示)的地上的地凸塊62。另外， 第一信號(hào)布線61與形成有內(nèi)部凸塊65的金屬膜64連接。第二信號(hào)布線63與其他諧振器 連接。 圖9所示的合成并聯(lián)諧振器的金屬膜64未與第一信號(hào)布線61連接。其他的結(jié)構(gòu) 與圖8所述的合成諧振器是同樣的。 圖10 圖13是表示將兩個(gè)分割諧振器并聯(lián)連接后的合成諧振器連接在串聯(lián)臂上
的合成串聯(lián)諧振器的結(jié)構(gòu)例的圖。在圖io所示的合成串聯(lián)諧振器中，第一分割諧振器sii 和第二分割諧振器S12分別與第一信號(hào)布線40a連接并且分別與第二信號(hào)布線40b連接。 第一信號(hào)布線40a與其他諧振器連接。在第二信號(hào)布線40b上形成有電連接在連接基板的 外部布線上的信號(hào)布線凸塊66。第二信號(hào)布線40b與形成有內(nèi)部凸塊45的金屬膜44連 接。內(nèi)部凸塊45被電連接在連接基板的外部布線上或者與電氣上浮動(dòng)的位置連接。
圖11所示的合成串聯(lián)諧振器與圖10所示的合成串聯(lián)諧振器的不同點(diǎn)在于在第 二信號(hào)布線40b上沒有形成信號(hào)布線凸塊66。內(nèi)部凸塊45電連接在連接基板的外部布線上。其他的結(jié)構(gòu)是與圖io所示的合成串聯(lián)諧振器同樣的。 圖12所示的合成串聯(lián)諧振器與圖IO所示的合成串聯(lián)諧振器的不同點(diǎn)在于第二 信號(hào)布線40b沒被連接在形成有內(nèi)部凸塊45的金屬膜44上。其他的結(jié)構(gòu)與圖10所示的 合成串聯(lián)諧振器是同樣的。 如圖13所示的合成串聯(lián)諧振器與圖12所示的串聯(lián)諧振的不同在于內(nèi)側(cè)反射器 42a、42b與第一信號(hào)布線40a連接。其他的結(jié)構(gòu)與圖10所示的合成串聯(lián)諧振器是同樣的。
在圖8 圖13所示的合成諧振器中，由于從作為兩個(gè)分割諧振器的發(fā)熱中心的、 靠近梳形電極的內(nèi)部凸塊45排熱，因此功率持久性優(yōu)良。 以上，本實(shí)施方式的濾波器通過相對(duì)于以往諧振器將梳形電極的根數(shù)為一半的諧 振器(分割諧振器)并聯(lián)連接、并在分割諧振器的反射器所夾的位置形成凸塊，由此能夠提 高排熱效率并提高功率持久性。 另外，在本實(shí)施方式中，示出了多個(gè)合成諧振器的結(jié)構(gòu)例，但是合成諧振器的結(jié)構(gòu) 并不限于這些結(jié)構(gòu)例，只要是內(nèi)部凸塊以被分割諧振器所夾的方式來被形成凸塊，就什么 樣的結(jié)構(gòu)都可以。另外，可以將多個(gè)合成諧振器配置在濾波器中。并且，在本實(shí)施方式中， 示出了用兩個(gè)分割諧振器來設(shè)計(jì)合成諧振器的例子，但是也可以利用三個(gè)以上的分割諧振 器來形成合成諧振器。 另外，在圖l所示的梯形濾波器中，第一級(jí)濾波器4、第二級(jí)濾波器5、第三級(jí)濾波 器6以各自的阻抗相同的方式被形成。通過使各級(jí)的濾波器的阻抗相同，由此能夠防止在 各級(jí)的濾波器之間反射信號(hào)。因此，合成串聯(lián)諧振器的阻抗值通過并聯(lián)諧振器P1的阻抗值 被唯一地決定。 另外，各個(gè)分割諧振器的梳形電極的根數(shù)(對(duì)數(shù))可以是不同，但是優(yōu)選是相同 的。通過將梳形電極的根數(shù)設(shè)為相同，使得來自分割諧振器的發(fā)熱量變?yōu)橄嗟取Ｒ虼?，形?內(nèi)部凸塊的位置為排出來自分割諧振器的熱量的最有效的位置。另外，梳形電極優(yōu)選的是 以相同的設(shè)計(jì)構(gòu)成。相同的設(shè)計(jì)是指梳形電極的材質(zhì)、寬度、開口長度(梳形電極與其他的 梳形電極相向的長度)、根數(shù)完全相同。通過設(shè)為相同的設(shè)計(jì)，由此各個(gè)分割諧振器的諧振 頻率、反諧振頻率一致。另外，通過設(shè)為相同的設(shè)計(jì)，能夠防止由于信號(hào)的反射等引起的信 號(hào)的衰減。 另外，在本實(shí)施方式中，作為濾波器以梯形濾波器為例進(jìn)行了說明，但是即使使用 格形濾波器也能得到同樣的效果。 另外，合成諧振器的用途不限于濾波器，作為彈性波器件也可使用在其他的用途 上。 另外，示出了濾波器通過面向下方式與封裝連接的結(jié)構(gòu)的例子，但是不一定限定 于面向下方式。只要是通過凸塊進(jìn)行排熱的結(jié)構(gòu)就能夠得到同樣的排熱效果。
(實(shí)施方式2) 圖14是表示本發(fā)明實(shí)施方式2的通信機(jī)的結(jié)構(gòu)圖。通信機(jī)具有天線71、雙工器 72、發(fā)送側(cè)信號(hào)處理部73、接收側(cè)信號(hào)處理部74、麥克75、揚(yáng)聲器76。雙工器72具有使用 實(shí)施方式的濾波器的發(fā)送用濾波器77以及接收用濾波器78。接收用濾波器78具有與發(fā)送 用濾波器77的通帶不同的通帶(接收頻帶)。 麥克75將聲音轉(zhuǎn)換為音頻信號(hào)并將音頻信號(hào)輸入到發(fā)送側(cè)信號(hào)處理部73。發(fā)送側(cè)信號(hào)處理部73生成對(duì)音頻信號(hào)進(jìn)行了調(diào)制后的發(fā)送信號(hào)。雙工器72將由發(fā)送側(cè)信號(hào)處 理部73生成的發(fā)送信號(hào)輸入給天線71。 天線71將發(fā)送信號(hào)轉(zhuǎn)換為電波并輸出。另外，天線71將電波轉(zhuǎn)換為作為電信號(hào) 的接收信號(hào)，并將接收信號(hào)輸入到雙工器72。在雙工器72中，接收用濾波器78使接收頻帶 的接收信號(hào)通過，并輸入到接收側(cè)信號(hào)處理部74。另一方面，發(fā)送用濾波器77由于通帶與 接收頻帶不同，因此不使接收信號(hào)通過。因此，接收信號(hào)不被輸入到發(fā)送側(cè)信號(hào)處理部73。 接收側(cè)信號(hào)處理部74對(duì)接收信號(hào)進(jìn)行檢波、放大等處理，并生成音頻信號(hào)。擴(kuò)音器77將音 頻信號(hào)轉(zhuǎn)換為聲音并輸出。 發(fā)送用濾波器77和接收用濾波器78由于使用圖1所示的結(jié)構(gòu)的梯形濾波器5，因 此能夠抑制由于發(fā)熱引起的濾波器的溫度上升。因此，功率持久性提高，能夠穩(wěn)定地使用通 信機(jī)。 另外，對(duì)通信機(jī)具有麥克75和揚(yáng)聲器76的結(jié)構(gòu)進(jìn)行了說明，但是不一定被限定為 該結(jié)構(gòu)，例如可以是如個(gè)人計(jì)算機(jī)那樣不一定需要麥克75或者擴(kuò)音器76、以及收發(fā)聲音數(shù) 據(jù)以外的數(shù)據(jù)的結(jié)構(gòu)。 以上，對(duì)本發(fā)明的實(shí)施方式進(jìn)行了詳細(xì)敘述，但是本發(fā)明并不限定于該特定的實(shí) 施方式，在記載在權(quán)利要求的范圍內(nèi)的本發(fā)明的主旨的范圍內(nèi)能夠進(jìn)行各種變形、變更。
產(chǎn)業(yè)上的實(shí)用性 本發(fā)明的濾波器功率持久性優(yōu)良，并且能夠使用在通信機(jī)的雙工器等上。
1權(quán)利要求
一種彈性波器件，包括諧振器，所述諧振器包括壓電基板、形成在所述壓電基板上的諧振部、形成在所述壓電基板上的諧振部的兩端的反射器；以及凸塊，所述凸塊被形成在所述壓電基板上，其中，所述諧振器通過并聯(lián)連接兩個(gè)以上的分割諧振器來構(gòu)成，并在被所述分割諧振器的反射器所夾的區(qū)域形成有凸塊。
2. 如權(quán)利要求l所述的彈性波器件，其中， 所述彈性波器件具有與所述諧振部連接的信號(hào)布線， 所述凸塊被所述信號(hào)布線和所述反射器包圍。
3. 如權(quán)利要求1或2所述的彈性波器件，其中， 所述凸塊與地連接。
4. 如權(quán)利要求1或2所述的彈性波器件，其中，所述凸塊與外部布線連接。
5. 如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的彈性波器件，其中， 所述各個(gè)分割諧振器的梳形電極的對(duì)數(shù)是相同的。
6. 如權(quán)利要求1至4中任一項(xiàng)所述的彈性波器件，其中， 所述各個(gè)分割諧振器的梳形電極以相同設(shè)計(jì)形成。
7. 如權(quán)利要求1至6中任一項(xiàng)所述的彈性波器件，其中， 所述凸塊的材料是Au。
8. —種連接有多個(gè)諧振器的濾波器，其中，所述多個(gè)諧振器是權(quán)利要求1至7中任一項(xiàng) 所述的彈性波器件。
9. 一種雙工器，包括 發(fā)送用濾波器；以及通頻帶與所述發(fā)送用濾波器不同的接收用濾波器；所述發(fā)送用濾波器和所述接收用濾波器中的至少一個(gè)使用權(quán)利要求8所述的濾波器 來構(gòu)成。
10. —種通信機(jī)，包括 天線；與所述天線連接的權(quán)利要求9所述的雙工器；以及 與所述雙工器連接的信號(hào)處理部。
全文摘要
提供一種不改變電容而提高散熱效率并且功率持久性高的濾波器、使用該濾波器的雙工器以及使用該雙工器的通信機(jī)。濾波器包括諧振器(S1、S2、S3、P1、P2、P3)和凸塊(12～17)，所述諧振器包括壓電基板(11)、形成在壓電基板(11)上的諧振部、以及形成在壓電基板(11)上的諧振部的兩端的反射器，所述凸塊形成在壓電基板(11)上。諧振器(S1、S2、S3、P1、P2、P3)通過兩個(gè)以上的分割諧振器(S11、S12)并聯(lián)連接來構(gòu)成，在被分割諧振器(S11、S12)的反射器所夾的區(qū)域形成凸塊(12)。
文檔編號(hào)H03H9/145GK101796722SQ200780100269
公開日2010年8月4日 申請(qǐng)日期2007年11月15日 優(yōu)先權(quán)日2007年11月15日
發(fā)明者三浦道雄, 井上和則, 松田隆志 申請(qǐng)人:太陽誘電株式會(huì)社