專利名稱：：壓電振子的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
：本發(fā)明涉及壓電振子，特別涉及壓電振子的電極構(gòu)造。
背景技術(shù)：
：使用了AT切割水晶振動(dòng)板等厚度振動(dòng)系統(tǒng)壓電振動(dòng)板的壓電振子的結(jié)構(gòu)一般是在壓電振動(dòng)板的正反面上正相對(duì)地形成一對(duì)激振電極，向該激振電極施加交流電壓。這樣的壓電振子的各特性依存于激振電極的結(jié)構(gòu)。例如，通過使用大尺寸的電極而使激振區(qū)域變廣，能夠改善串聯(lián)共振電阻，或者加大頻率可變量。另外，壓電振子的各特性還很大地依存于壓電振動(dòng)板。例如，壓電振動(dòng)板由于加工條件或加工離散，而有板面的平面平行度不均勻的情況，在這樣的情況下會(huì)較強(qiáng)地激振偽振動(dòng)，使作為壓電振子的特性惡化。例如，在特開2001-196890號(hào)(專利文獻(xiàn)1)中揭示了這樣由于壓電振動(dòng)板的平面平行度的離散而特性惡化的情況。在專利文獻(xiàn)l中，揭示了以下的結(jié)構(gòu)，即其結(jié)構(gòu)為相對(duì)電極(激振電極)的一方由2個(gè)分割電極構(gòu)成，使該分割電極分別與另一方的相對(duì)電極之間的振動(dòng)頻率大致一致，從而改善特性，分割電極通過導(dǎo)通單元相互電氣導(dǎo)通。上述偽振動(dòng)所造成的問題隨著高頻而變得顯著，在薄地形成了激振區(qū)域的厚度的面向高頻的壓電振動(dòng)板中特別容易受到影響。另外，在通過改變外部電壓使主振動(dòng)頻率可變的電壓控制型壓電振蕩器中，有時(shí)在使頻率很大地可變的情況下顯著出現(xiàn)。主振動(dòng)頻率的可變引起與上述的偽振動(dòng)的耦合的可能性高，會(huì)產(chǎn)生頻率的跳頻現(xiàn)象，或者產(chǎn)生振蕩不穩(wěn)定這樣的不正常。專利文獻(xiàn)1:特開2001-196890號(hào)公報(bào)
發(fā)明內(nèi)容本發(fā)明就是鑒于該點(diǎn)而提出的，其目的在于提供一種抑制了偽振動(dòng)的特性良好的壓電振子。因此，在本發(fā)明的壓電振子中，與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，上述正反面的激振電極具有一個(gè)以上的平行邊，并且上述正反面的激振電極的中心相互相對(duì)地形成，沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)軸方向形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極的平行邊，不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成上述正反面的激振電極中的另一方激振電極的平行邊。通過上述結(jié)構(gòu)，沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)軸方向形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極的平行邊，并且在正反面的激振電極的中心附近確保正相對(duì)，因此，不妨礙在激振電極的中心附近具有最強(qiáng)振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生。并且，對(duì)于在激振電極的端部附近具有振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的偽振動(dòng)，例如作為厚度系統(tǒng)的2次模式的(1，2，1)模式或(1，1，2)模式、或者作為厚度系統(tǒng)的3次模式的(1，3，1)模式或(1，1，3)模式等，由于在正反面的激振電極的端部正相對(duì)的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)變少，因此對(duì)各偽振動(dòng)變位產(chǎn)生影響地被抑制。另外，理想的是上述正反面的激振電極的中心被形成在完全相對(duì)的同一位置，但即使由于制造誤差等而會(huì)稍微錯(cuò)位，也可以期待同樣的效果，因此也屬于本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，上述正反面的激振電極也可以形成為相同形狀。在該情況下，在上述的作用效果以外，還由于正反面的激振電極形成為相同形狀，所以形成在壓電振動(dòng)板上的激振電極的面積不會(huì)大型化，能夠成為在確保激振電極的中心附近的振動(dòng)區(qū)域的同時(shí)，使激振電極的端部附近的各偽振動(dòng)區(qū)域縮小的結(jié)構(gòu)。即，能夠不妨礙壓電振動(dòng)板的小型化和主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生，而抑制偽振動(dòng)。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，也可以以相互的中心為中心點(diǎn)，使上述正反面的激振電極從Z'軸(相對(duì)于Z'軸)在平面視圖上(在主面上)在20°70°的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)而形成。在該情況下，由于抑制偽振動(dòng)效果增大，所以是理想的。特別地在上述結(jié)構(gòu)中，適合的是上述正反面的激振電極中的任意一個(gè)激振電極以其中心為中心點(diǎn)，其平行邊從Z'軸在平面視圖上傾斜45。而形成。具體地說，如果使上述平行邊從Z'軸在平面視圖上旋轉(zhuǎn)45°，則在正反面的激振電極的端部正相對(duì)的區(qū)域變得最少，因此能夠得到最高的各偽振動(dòng)的抑制效果。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，理想的是激振電極的平面視圖形狀是方形狀。在該情況下，在使正反面的激振電極相互旋轉(zhuǎn)時(shí)，通過壓電振動(dòng)板的X軸和Z'軸上延長(zhǎng)的偽振動(dòng)旋轉(zhuǎn)了的激振電極的相互垂直的各邊而確實(shí)地使偽振動(dòng)變位區(qū)域變小，能夠更高效地抑制偽振動(dòng)。另外，由于另一方激振電極的各邊與X軸和Z'軸平行地延長(zhǎng)，所以在消除主振動(dòng)的抑制這一點(diǎn)上更理想。另外，理想的是在將激振電極的平面視圖形狀設(shè)為方形狀的情況下，使用沿著X軸和Z'軸的方形狀的壓電振動(dòng)板分別平行地配置該壓電振動(dòng)板的各邊和一方的激振電極的各邊。在該情況下，能夠不妨礙壓電振動(dòng)板的小型化地靠近壓電振動(dòng)板的邊而使激振電極的面積擴(kuò)大，并且不會(huì)產(chǎn)生以下的情況，即這樣設(shè)置的激振電極的主振動(dòng)的振動(dòng)變位被壓電振動(dòng)板的端部的邊遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，在本發(fā)明的另一個(gè)壓電振子中，其特征在于與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，按照平行邊沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)而形成的矩形來形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極，按照平行邊不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向而形成的菱形形狀形成上述正反面的激振電極中的另一方激振電極，上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心相對(duì)。在此所述的上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心相對(duì)是指在壓電振子的平面視圖中，上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心相對(duì)地形成在同一位置。通過上述結(jié)構(gòu)，不妨礙在激振電極的中心附近具有最強(qiáng)的振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生。對(duì)于在激振電極的端部附近具有振動(dòng)變位分布的偽振動(dòng)，例如作為厚度系統(tǒng)的2次模式的(1，2，1)模式、(1，1，2)模式、或者作為厚度系統(tǒng)的3次模式的(1，3，1)模式、(1，1，3)模式等，在正反面的振動(dòng)電極的端部正相對(duì)的區(qū)域減少，因此對(duì)各偽振動(dòng)變位產(chǎn)生影響而抑制。特別地，上述正反面的激振電極中的一方激振電極按照各邊沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的矩形而形成，上述正反面的激振電極中的另一方激振電極按照平行邊不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向而形成的菱形形狀而形成，并且上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心形成在相對(duì)的同一位置上，因此消除了通過其邊沿著上述壓電振動(dòng)板的各軸的矩形形狀的振動(dòng)電極而抑制了主振動(dòng)的情況，同時(shí)通過上述菱形形狀的激振電極的各邊能夠最確實(shí)并且有效地使在壓電振動(dòng)板的X軸和Z'軸上延長(zhǎng)的偽振動(dòng)變位區(qū)域變小，成為抑制各偽振動(dòng)的效果高的壓電振子的激振電極構(gòu)造。另外，理想的是上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心形成在完全相對(duì)的同一位置上，但即使由于制造誤差等而稍微錯(cuò)位，也能夠期待同樣的效果，因此屬于本發(fā)明的權(quán)利范圍內(nèi)。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，理想的是上述另一方激振電極形成得比上述一方激振電極厚。在該情況下，通過不沿著壓電振動(dòng)板的X軸和Z'軸而形成的另一方激振電極的厚度效果，能夠進(jìn)一步提高各偽振動(dòng)的抑制效果。進(jìn)而，在面向高頻形成的壓電振動(dòng)板中，最近按照希望只將振動(dòng)區(qū)域形成得薄的所謂倒臺(tái)階形狀而構(gòu)成的情況很多。理想的是在這樣的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板中，將周圍的厚的框區(qū)域和薄的振動(dòng)區(qū)域的邊界部分即臺(tái)階部分形成為沿著X軸和Z'軸的方形，分別平行地配置上述一方激振電極的各邊。在該情況下，針對(duì)壓電振動(dòng)板的薄的振動(dòng)區(qū)域，能夠使其接近壓電振動(dòng)板的端部的邊而使激振電極的面積擴(kuò)大，并且這樣設(shè)計(jì)的激振電極的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板的臺(tái)階部分遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，在上述結(jié)構(gòu)中，在上述激振電極中，也可以在外周角部分(平面視圖外周角部分)形成缺口。在該情況下，通過在上述激振電極的外周角部分形成缺口，能夠減小缺口部分的偽振動(dòng)的面積，同時(shí)使主振動(dòng)與偽振動(dòng)離開距離，其結(jié)果是能夠進(jìn)一步抑制振動(dòng)泄露的能接著，對(duì)于本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明A、本發(fā)明B、本發(fā)明C、本發(fā)明D、本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G)與現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有A、現(xiàn)有B、現(xiàn)有C、現(xiàn)有D)，對(duì)各性能進(jìn)行比較確認(rèn)。所確認(rèn)的性能是主振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值(所謂的CI值)、偽振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值、以及它們的電阻值比。另外，作為本發(fā)明產(chǎn)品和現(xiàn)有產(chǎn)品的共通項(xiàng)目，例如使用在基波300MHz上產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，在AT切割水晶振動(dòng)板的正反面形成有正方形狀的激振電極。該激振電極在鉻的基底層的上部形成有金屬，其電極膜厚度為0.2iim，其平面視圖1邊的尺寸為0.25mm(樣本A)或0.275mm(樣本B)?；蛘?，該激振電極在鉻的基底層的上部形成有金屬，其電極膜厚度為0.3iim，其平面視圖1邊的尺寸為0.25mm(樣本C)或者0.275mm(樣本D)。在現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有A、現(xiàn)有B、現(xiàn)有C、現(xiàn)有D)中，正反面的激振電極相互不錯(cuò)開地正對(duì)(參照表1)。與此相對(duì)，在本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明A、本發(fā)明B、本發(fā)明C、本發(fā)明D)中，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)，其平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)了20°(參照表2)，旋轉(zhuǎn)了45°(參照表3)，旋轉(zhuǎn)了70°(參照表4)。另外，在表5中，在本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G)中，反面?zhèn)鹊募ふ?電極相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)使其激振電極的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)45°。本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G的正反面的激振電極是相同的電極材料，由激振電極的1邊的尺寸為0.275mm的正方形材料構(gòu)成。另外，這些本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G使用基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子。更具體地說，在本發(fā)明E中，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚為0.025ym，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚被形成為0.75iim(樣本E)。在本發(fā)明F中，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚為0.2ym，背面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚被形成為0.1iim(樣本F)。進(jìn)而，在本發(fā)明G中，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚為0.1iim，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的電極膜厚被形成為0.2iim(樣本G)。另外，在表6中，作為本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明H)，使用在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)，相對(duì)正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)其激振電極的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)45°的壓電振子(樣本H)。本發(fā)明H的正反面的激振電極是相同的電極材料，由激振電極的1邊的尺寸為0.2mm的正方形的材料構(gòu)成。另外，在本發(fā)明H中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的正相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為八角形狀。另外，在表6中，作為現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有例子E)，使用由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊恼叫?0.2X0.2mm)的激振電極和沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊恼叫?0.2X0.2mm)的激振電極構(gòu)成，并在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子。另外，在現(xiàn)有產(chǎn)品E中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O正相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為正方形(0.2X0.2mm)。另外，在表7中，作為本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明I)，使用以下這樣的壓電振子由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊拈L(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)的激振電極、不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向而對(duì)角線分別沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的反面?zhèn)鹊牧庑?一邊0215mm)的激振電極構(gòu)成，在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)。另外，在本發(fā)明I中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和背面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為八角形狀。另外，在表7中，作為現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有例子I)，使用以下這樣的壓電振子由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊拈L(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)的激振電極、沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的背面?zhèn)鹊拈L(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)的激振電極構(gòu)成，在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)。另外，在該現(xiàn)有產(chǎn)品F中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和背面?zhèn)鹊募ふ耠姌O相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為長(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)。表1表7表示試驗(yàn)結(jié)果。表1<table>tableseeoriginaldocumentpage8</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage9</column></row><table><table>tableseeoriginaldocumentpage10</column></row><table>如根據(jù)這些試驗(yàn)結(jié)果所知道的那樣，很明顯與現(xiàn)有產(chǎn)品相比，本發(fā)明產(chǎn)品的主振動(dòng)和偽裝振動(dòng)的電阻比絕對(duì)高，偽振動(dòng)抑制效果飛躍性地提高。進(jìn)而，可知在本發(fā)明產(chǎn)品中的45。旋轉(zhuǎn)品中，電極膜厚為0.3iim但偽振動(dòng)抑制效果最高。根據(jù)以上的驗(yàn)證結(jié)果，如果使一方的激振電極的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)，側(cè)表現(xiàn)出偽振動(dòng)的抑制效果，在本次比較中，在45。時(shí)最大。另外，對(duì)于激振電極的厚度比0.3ym厚的產(chǎn)品，有偽振幅抑制效果高的傾向。另外，從表5可知，通過將不沿著壓電振動(dòng)板的X軸和Z'軸的上述反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O形成得比上述正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O厚，能夠提高偽振動(dòng)的抑制效果。另外，在本發(fā)明的另一個(gè)壓電振子中，其特征在于在通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面形成一對(duì)激振電極和引出電極，上述正反面的激振電極是相同形狀并形成為相互相對(duì)，并且由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)形成的l個(gè)以上的平行邊、不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成而以相互相同的尺寸形成的4個(gè)以上的邊構(gòu)成，不沿著上述上述軸的邊比沿著上述軸的平行邊形成得長(zhǎng)、或者以相同的尺寸形成沿著上述軸的平行邊和不沿著上述軸的邊。通過以上結(jié)構(gòu)，不妨礙在激振電極的中心附近具有最強(qiáng)振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生。對(duì)于在激振電極的端部附近具有振動(dòng)變位分布的偽振動(dòng)，例如作為厚度系統(tǒng)的2次模式的(1，2，1)模式、(1，1，2)模式、或者作為厚度系統(tǒng)的3次模式(1，3，1)模式、(1，1，3)模式等，在正反面的激振電極的端部正相對(duì)的區(qū)域減少，因此對(duì)各偽振動(dòng)的振動(dòng)變位產(chǎn)生影響而抑制。特別地，上述正反面的激振電極是相同形狀而相互相對(duì)地形成，并且由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)形成的1個(gè)以上的平行邊、不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成的相互以相同尺寸形成的4個(gè)以上的邊構(gòu)成，以相同尺寸形成沿著上述邊的平行邊和不沿著軸的邊、或者將不沿著上述軸的邊比沿著上述軸的平行邊長(zhǎng)，因此不會(huì)由于沿著上述壓電振動(dòng)板的正反面的激振電極中的任意一個(gè)軸形成的1個(gè)以上的平行邊部分抑制主振動(dòng)，能夠通過上述壓電振動(dòng)板的正反面的激振電極中的以平行邊以上的長(zhǎng)度并且不沿著任意一個(gè)軸形成的4個(gè)以上的各邊部分最確實(shí)并且高效地減小在壓電振動(dòng)板的壓電振動(dòng)板的X軸和Z'軸上延長(zhǎng)的偽振動(dòng)變位區(qū)域，成為各偽振動(dòng)的抑制效果高的壓電振子的激振電極構(gòu)造。接著，針對(duì)本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明J、本發(fā)明K)和現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有G、現(xiàn)有H)，對(duì)各性能進(jìn)行比較確認(rèn)。確認(rèn)的性能是主振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值(所謂的CI值)、偽振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值和它們的電阻值比。本發(fā)明J是在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，形成激振電極的1邊的尺寸為0.124mm的正八角形狀的激振電極。與此相對(duì)，現(xiàn)有G是在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，形成激振電極的1邊的尺寸為0.3mm的正方形狀的激振電極。本發(fā)明K是在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，形成激振電極的1邊的尺寸為0.124mm的正八角形狀的激振電極。與此相對(duì)，現(xiàn)有H是在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，形成激振電極的1邊的尺寸為0.3mm的正方形狀的激振電極。另外，作為上述本發(fā)明J、本發(fā)明K和現(xiàn)有G、現(xiàn)有H的共通項(xiàng)目，例如在AT切割水晶振動(dòng)板的正反面將激振電極的電極膜厚形成為0.2ym，該激振電極在鉻的基底層的上部形成金屬。表8表示試驗(yàn)結(jié)果。<table>tableseeoriginaldocumentpage11</column></row><table>如從這些試驗(yàn)結(jié)果明確的那樣，明顯地與現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有G、現(xiàn)有H)相比，在本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明J、本發(fā)明K)中，主振動(dòng)和偽振動(dòng)的電阻比絕對(duì)高，飛躍地提高了偽振動(dòng)抑制效果。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，理想的是使用沿著X軸和Z'軸的方形狀的壓電振動(dòng)板，平行地配置該壓電振動(dòng)板的各邊的任意一個(gè)和上述平行邊。在該情況下，能夠不妨礙壓電振動(dòng)板的小型化而與壓電振動(dòng)板的端部的邊接近地使激振電極的面積擴(kuò)大，并且這樣設(shè)計(jì)的激振電極的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板的端部的邊遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，在面向高頻而形成的壓電振動(dòng)板中，按照只希望將振動(dòng)區(qū)域形成得薄的所謂倒臺(tái)階形狀的情況最近很多。理想的是在這樣的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板中，將周圍的厚的框區(qū)域和薄的振動(dòng)區(qū)域的邊界部分即臺(tái)階部分形成為沿著X軸和Z'軸的方形狀，平行地配置該臺(tái)階部分的任意一個(gè)和上述激振電極的平行邊。在該情況下，針對(duì)壓電振動(dòng)板的薄的振動(dòng)區(qū)域，使其與壓電振動(dòng)板的端部的邊接近而使激振電極的面積擴(kuò)大，并且這樣設(shè)計(jì)的激振電極的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板的端部的邊遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，在上述結(jié)構(gòu)以外，理想的是上述壓電振動(dòng)板按照具有中央薄的振動(dòng)區(qū)域和周圍厚的框區(qū)域的倒臺(tái)階形狀而構(gòu)成，并且將上述壓電振動(dòng)板的薄的振動(dòng)區(qū)域的中心與上述正反面的激振電極的中心形成在同一位置。在該情況下，在壓電振動(dòng)板的薄的振動(dòng)區(qū)域的中心，因蝕刻臺(tái)階差等產(chǎn)生的平面平行度難以產(chǎn)生離散，因此通過使該中心與激振電極的中心處于同一位置，能夠更有效地抑制因平面平行度的離散產(chǎn)生的偽振動(dòng)的影響。特別在通過濕式蝕刻加工將水晶等的壓電振動(dòng)板加工為倒臺(tái)階形狀的情況下，在上述薄的振動(dòng)區(qū)域與厚的框區(qū)域的邊界附近，由于蝕刻臺(tái)階差而形成斜坡狀的厚度漸減區(qū)域，因此，振動(dòng)區(qū)域的平行平面度有可能產(chǎn)生離散。在沒有受到這樣的厚度漸減區(qū)域的影響的振動(dòng)區(qū)域的中心形成激振電極能夠抑制偽振動(dòng)的基礎(chǔ)上，是更理想的結(jié)構(gòu)。如上所述，根據(jù)本發(fā)明，特別地，將壓電振動(dòng)板的激振區(qū)域的厚度形成得薄，平面平行度的離散的影響變得顯著，適合于抑制通過基波振動(dòng)而在150MHz以上產(chǎn)生振動(dòng)的面向高頻的壓電振子的偽振動(dòng)，不實(shí)施特別的調(diào)整方法，就能夠只通過變更激振電極的形狀而極其容易并且高效地抑制偽振動(dòng)。另外，還適合于通過改變外部電壓來抑制用于改變主振動(dòng)頻率的電壓控制型壓電振動(dòng)器中的壓電振子的偽振動(dòng)，不產(chǎn)生主振動(dòng)與偽振動(dòng)的耦合、頻率的跳頻現(xiàn)象，就能夠?qū)崿F(xiàn)振動(dòng)頻率的穩(wěn)定化。另外，在其他的本發(fā)明的壓電振子中，其特征在于與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，相互相對(duì)地形成上述正反面的激振電極的中心，并且在該壓電振子的平面視圖中正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊與反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊重疊。根據(jù)本發(fā)明，與上述壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)上述激振電極和上述引出電極，相互相對(duì)地形成上述正反面的激振電極的中心，并且在該壓電振子的平面視圖中正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊與反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊重疊，因此，不妨礙在激振電極的中心附近具有最強(qiáng)振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生，能夠抑制偽振動(dòng)。如上所述，在本發(fā)明中，能夠得到抑制了偽振動(dòng)的特性良好的壓電振子。圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖2是圖1的底面圖。圖3由圖3(a)圖3(d)組成，圖3(a)圖3(d)分別是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖4是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖5是實(shí)施例1的其他例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖6是圖5的底面圖。圖7是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖8是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖9是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖10是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖11是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖12是表示實(shí)施例1的本發(fā)明的變形例子的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖13是本發(fā)明的實(shí)施例2的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖14是圖13的底面圖。圖15是表示本發(fā)明的實(shí)施例2-2的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖16是圖15的底面圖。圖17是表示本發(fā)明的實(shí)施例2-3的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖18是圖17的底面圖。圖19是表示本發(fā)明的實(shí)施例2-4的壓電振動(dòng)板的概要平面圖。圖20是圖19的底面圖。符號(hào)說明11、14、21、24:水晶振動(dòng)板(壓電振動(dòng)板);12、13、22、23:激振電極具體實(shí)施方式實(shí)施例1以下，根據(jù)附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施例1。在本實(shí)施例中，說明將本發(fā)明的結(jié)構(gòu)適用于通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的AT切割水晶振子的情況。圖1是本發(fā)明的實(shí)施例1的壓電振動(dòng)板的平面圖，圖2是圖1的底面圖。壓電振動(dòng)板11由矩形平板狀的AT切割水晶振動(dòng)板(厚度滑動(dòng)振動(dòng))構(gòu)成，在其正反面的中央?yún)^(qū)域形成有平面視圖看大致正方形狀的激振電極12、13。激振電極12、13例如以同一形狀構(gòu)成為同一面積，并且其中心121U31隔著壓電振動(dòng)板11正相對(duì)地形成。壓電振動(dòng)板11例如被設(shè)定為X軸為長(zhǎng)邊，Z'軸為短邊，對(duì)于激振電極12，沿著X軸和Z'軸形成各邊，對(duì)于激振電極13，不沿著X軸和Z'軸形成各邊。S卩，在本實(shí)施例1中，激振電極12、13是正方形狀，因此其特征結(jié)構(gòu)具有2個(gè)平行邊而形成為相同形狀，并且對(duì)于激振電極12，沿著壓電振動(dòng)板11的X軸方向和Z'軸方向的雙方形成各平行邊，對(duì)于激振電極13，不沿著壓電振動(dòng)板11的X軸方向和Z'軸方向形成各平行邊，將激振電極12的中心121作為中心點(diǎn)相對(duì)于激振電極12在平面視圖中(在主面上)在20°70°的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。另外，在本實(shí)施例中，揭示了旋轉(zhuǎn)到45。，因此，在激振電極12或激振電極13的各個(gè)激振電極的端部，不正相對(duì)的區(qū)域(在水晶振子的平面視圖中正反面的激振電極12、13的重疊區(qū)域)的面積最多(激振電極12和激振電極13雙方的激振電極的端部正相對(duì)的區(qū)域最少)，因此，對(duì)于激振電極12、13的端部附近具有振動(dòng)變位分布的偽振動(dòng)、例如作為厚度系統(tǒng)的2次模式的(1，2，1)模式、(1，1，2)模式、或作為厚度系統(tǒng)的3次模式的(1，3，1)模式、(1，1，3)模式等，對(duì)振動(dòng)變位進(jìn)行影響而最有效地進(jìn)行抑制。從各激振電極12、13向壓電振動(dòng)板11的外周端部引出引出電極122、132。這些激振電極12、13和引出電極122、132例如是鉻-金合金的層疊結(jié)構(gòu)，通過真空蒸鍍法、噴濺法而構(gòu)成，但并不只限于該金屬材料。壓電振動(dòng)板11被容納在未圖示的陶瓷封裝等封裝中，并且用導(dǎo)電性樹脂粘結(jié)劑、金屬焊點(diǎn)、鍍點(diǎn)等導(dǎo)電性接合材料將壓電振動(dòng)板11電氣機(jī)械地接合到封裝。另外，在通過規(guī)定的加熱等而進(jìn)行了穩(wěn)定化處理后，通過用未圖示的蓋體用接縫接合、波束接合、釬焊接合、玻璃密封等手段對(duì)封裝的開口部分進(jìn)行氣密封，而完成壓電振子(具體地說，是AT切割水晶振子)。通過以上那樣構(gòu)成，沿著壓電振動(dòng)板ll的X軸方向和Z'軸方向雙方形成正反面的激振電極12、13中的激振電極12的2個(gè)平行邊，并且在激振電極12、13的中心121U31附近確保正相對(duì)的區(qū)域，因此不妨礙在激振電極12、13的中心121U31附近具有最強(qiáng)振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生。并且，對(duì)于在激振電極12、13的端部附近具有振動(dòng)變位分布的偽振動(dòng)、例如作為厚度系統(tǒng)的2次模式的(1，2，1)模式、(1，1，2)模式、或者作為厚度系統(tǒng)的3次模式的(1，3，1)模式、(1，1，3)模式等，在正反面的激振電極12、13的端部正相對(duì)的區(qū)域減少，因此對(duì)各偽振動(dòng)的振動(dòng)變位產(chǎn)生影響而抑制。另外，理想的是正反面的激振電極12、13的中心被形成在完全相對(duì)的同一位置上，但即使由于制造誤差等而稍微偏離，也能夠期待同樣的效果。另外，由于正反面的激振電極12、13形成為相同形狀，所以并不使形成在壓電振動(dòng)板11上的激振電極12、13的面積大型化，能夠成為在確保激振電極的中心附近的振動(dòng)區(qū)域的同時(shí)而縮小激振電極的端部附近的各偽振動(dòng)的振動(dòng)區(qū)域的結(jié)構(gòu)。即，不妨礙壓電振動(dòng)板的小型化和主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生，就能夠抑制偽振動(dòng)。在上述實(shí)施例1中，作為激振電極12、13揭示了正方形的結(jié)構(gòu)，但只要具備至少1個(gè)平行邊就可以，但并不只限于此。例如，如圖3(a)所示，可以是長(zhǎng)方形，也可以如圖3(b)所示那樣，是6角形狀等其他多角形狀?？梢匀鐖D3(c)所示那樣，將曲率邊組合到邊的一部分。另外，也可以由這些形狀的組合構(gòu)成。另外，在本發(fā)明的實(shí)施例1中，用同一形狀的激振電極形成正反面，沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成一方的激振電極的平行邊，以中心為中心點(diǎn)相對(duì)于一方的激振電極在平面視圖中在20。70°的范圍內(nèi)使另一方的激振電極的平行邊旋轉(zhuǎn)使其不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向，從而抑制偽振動(dòng)，但即使在如下這樣的結(jié)構(gòu)，也能夠得到具有同樣的偽振動(dòng)抑制效果的電極結(jié)構(gòu)。即，如圖3(d)所示，按照沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成各邊的矩形形狀而形成正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12，按照不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向而形成的菱形形狀而形成背面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13，并且上述正面?zhèn)鹊木匦涡螤畹募ふ耠姌O12的中心和上述反面?zhèn)鹊牧庑涡螤畹募ふ耠姌O13的中心形成在相對(duì)的同一位置。能夠在消除由于使邊沿著壓電振動(dòng)板ll的X軸方向和Z'軸方向的矩形形狀的激振電極12而抑制主振動(dòng)的情況的同時(shí)，通過菱形形狀的激振電極13的各邊而最確實(shí)并且有效地使在壓電振動(dòng)板11的X軸和Z'軸上延長(zhǎng)的偽振動(dòng)的振動(dòng)變位區(qū)域變小，成為各偽振動(dòng)的抑制效果高的壓電振子的激振電極構(gòu)造。作為本發(fā)明的壓電振動(dòng)板，并不只限于上述實(shí)施例1所示的平板狀，也可以如圖4所示那樣，在壓電振動(dòng)板的中央具有薄的振動(dòng)區(qū)域而在周圍具有厚的振動(dòng)區(qū)域的倒臺(tái)階形狀。即，在面向高頻而形成的壓電振動(dòng)板中，最近很多是通過施加蝕刻加工而按照只希望將振動(dòng)區(qū)域形成得薄的所謂倒臺(tái)階形狀而構(gòu)成。在這樣的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板14中，周圍的厚的框區(qū)域141與薄的振動(dòng)區(qū)域142的邊界部分即臺(tái)階部143為沿著X軸和Z'軸的方形狀，分別平行地配置正反面中的一方振動(dòng)電極12的各邊。對(duì)于激振電極13，與上述實(shí)施例1一樣，使其平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)45°。通過這樣構(gòu)成，能夠針對(duì)面向高頻的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板，極其容易并且高效地抑制偽振動(dòng)。進(jìn)而，對(duì)于壓電振動(dòng)板14的薄的振動(dòng)區(qū)域142，使其接近壓電振動(dòng)板的端部的邊地使激振電極的面積擴(kuò)大，并且這樣設(shè)計(jì)的激振電極的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板的臺(tái)階部分遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，由于圖4所示的倒臺(tái)階形狀在平面視圖上是方形狀，因此能夠更多地確保振動(dòng)區(qū)域142，能夠?qū)⒓ふ耠姌O12、13的尺寸設(shè)定得大。其結(jié)果是能夠提高水晶振動(dòng)板14的主振動(dòng)的特性。另外，圖4所示的倒臺(tái)階形狀(壓電振動(dòng)板11的中央具有薄的振動(dòng)區(qū)域)在平面視圖中是方形狀，但并不只限于此，也可以是平面視圖中為圓形狀。在該情況下，沒有倒臺(tái)階形狀的角部，其結(jié)果是能夠防止裂縫。另外，并不只限于上述圖1、2所示的激振電極12、13的形狀，例如也可以是圖5、6所示那樣的激振電極12、13。在該圖5、6所示的激振電極12、13中，分別在外周角部(平面視圖中外周角部)形成缺口。另外，該缺口當(dāng)然也可以適用于上述圖3(a)圖3(d)所示的激振電極12、13。通過這樣在激振電極12、13的外周角部形成缺口，能夠在減小缺口部分的偽振動(dòng)的面積的同時(shí)，使主振動(dòng)和偽振動(dòng)離開距離，其結(jié)果是能夠進(jìn)一步抑制振動(dòng)泄漏的能量。在上述本實(shí)施例1中，其特征結(jié)構(gòu)為對(duì)于激振電極13，不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向地形成各平行邊，以激振電極12的重心121為中心點(diǎn)使其相對(duì)于激振電極12在平面視圖中在20°70°的范圍內(nèi)旋轉(zhuǎn)。因此，接著，針對(duì)該旋轉(zhuǎn)了20°、45°和70°的形式(參考上述表25所示的本發(fā)明A、本發(fā)明B、本發(fā)明C、本發(fā)明D、本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G)、沒有旋轉(zhuǎn)的現(xiàn)有產(chǎn)品(參考上述表1所示的現(xiàn)有A、現(xiàn)有B、現(xiàn)有C、現(xiàn)有D)，對(duì)各性能進(jìn)行比較確認(rèn)。確認(rèn)了的性能是主振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值(所謂的CI值)、偽振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值、以及它們的電阻值比。另外，作為上述的表1表4所示的形式(本發(fā)明和現(xiàn)有產(chǎn)品)的共通項(xiàng)目，例如使用在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的水晶振子，在AT切割水晶振動(dòng)板的正反面形成正方形狀的激振電極12、13。激振電極12、13在鉻的基底層的上部形成金屬，其電極膜厚為0.2ym，其平面視圖1邊的尺寸為0.25mm(樣本A)或0.275mm(樣本B)?；蛘撸摷ふ耠姌O12、13在鉻的基底層的上部形成金屬，其電極膜厚為0.3iim，其平面視圖l邊的尺寸為0.25mm(樣本C)，或者O.275mm(樣本D)。在現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有產(chǎn)品A、現(xiàn)有產(chǎn)品B、現(xiàn)有產(chǎn)品C、現(xiàn)有產(chǎn)品D)中，正反面的激振電極不相互偏離而正相對(duì)(參考表1)。與此相對(duì)，表2表4所示的本形式(本發(fā)明A、本發(fā)明B、本發(fā)明C、本發(fā)明D)使用以下的形式相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)使其平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)20°(參考表2)、旋轉(zhuǎn)45。(參考表3)、旋轉(zhuǎn)70。(參考表4)。另外，表5所示的本形式(本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G)是以下形式相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)使該激振電極13的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)45°。另外，本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G的正反面的激振電極12、13由相同的電極材料并且激振電極12、13的1邊的尺寸為0.275mm的正方形狀的材料構(gòu)成。另外，在該表5中，使用在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子作為本發(fā)明E、本發(fā)明F、本發(fā)明G。更具體地說，對(duì)于本發(fā)明E，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的正面?zhèn)入姌O膜厚是0.025iim，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的反面?zhèn)入姌O膜厚被形成為0.75iim(樣本E)。對(duì)于本發(fā)明F，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的電極膜厚是O.2ym，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的電極膜厚被形成為0.1m(樣本F)。進(jìn)而，對(duì)于本發(fā)明G，相對(duì)于正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的電極膜厚是0.lym，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的電極膜厚被形成為0.2m(樣本G)。另外，在表6中，作為圖l所示那樣的本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明H)，使用以下這樣的水晶振子(樣本H):在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)，相對(duì)于正面?zhèn)燃ふ耠姌O12，反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13以其中心(中心位置)為中心點(diǎn)，使一方的激振電極(在圖1中是激振電極13)的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)45°。本發(fā)明H的正反面的激振電極12、13由相同電極材料并且激振電極12、13的1邊的尺寸為0.2mm的正方形狀的材料構(gòu)成。另外，在本發(fā)明H中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的正相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在水晶振子的平面視圖中正反面的激振電極12、13的重疊區(qū)域)為八角形狀。另外，如圖l所示，在水晶振子的平面視圖中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13分別在任意的邊重疊。另外，在表6中，作為現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有例子E)，使用以下這樣的壓電振子由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊恼叫?0.2X0.2mm)的激振電極、沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊恼叫?0.2X0.2mm)的激振電極構(gòu)成，并且在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)。另外，在該現(xiàn)有產(chǎn)品E中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為正方形(0.2X0.anrn)。另外，在表7中，作為圖3(d)所示那樣的本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明I)，使用以下這樣的壓電振子(樣本H):由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊恼叫?0.15X0.268mm)的激振電極12和不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向而沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向分別形成對(duì)角線的反面?zhèn)鹊牧庑?一邊0.215mm)的激振電極13構(gòu)成，并且在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)。另外，在本發(fā)明I中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在水晶振子的平面視圖中正反面的激振電極12、13的重疊區(qū)域)為八角形狀。另外，如圖3所示，在水晶振子的平面視圖中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13分別在任意的邊重疊。另外，在表7中，作為現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有F)，使用以下這樣的壓電振子由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的正面?zhèn)鹊拈L(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)的激振電極、沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向形成的反面?zhèn)鹊拈L(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)的激振電極構(gòu)成，在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)。另外，在該現(xiàn)有產(chǎn)品F中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O相對(duì)的激振電極的區(qū)域(在壓電振子的平面視圖中正反面的激振電極的重疊區(qū)域)為長(zhǎng)方形(0.15X0.268mm)。如上所述，根據(jù)表6、7所示的本發(fā)明H、本發(fā)明I，與壓電振動(dòng)板ll的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極12、13和引出電極122、132，正反面的激振電極12、13的中心相互相對(duì)地形成，并且在該水晶振子的平面視圖中正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的邊和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的邊重疊，因此不妨礙在激振電極12、13的中心附近具有最強(qiáng)的振動(dòng)變位分布的主振動(dòng)的振動(dòng)產(chǎn)生，能夠抑制偽振動(dòng)。如從上述的各試驗(yàn)結(jié)果可知的那樣，很明顯，與現(xiàn)有產(chǎn)品(參考上述的表1所示的現(xiàn)有A、現(xiàn)有B、現(xiàn)有C、現(xiàn)有D、現(xiàn)有E、現(xiàn)有F)相比，本實(shí)施例(參考上述的表24、6、7所16示的本發(fā)明A、本發(fā)明B、本發(fā)明C、本發(fā)明D、本發(fā)明H、本發(fā)明I)的主振動(dòng)與偽振動(dòng)的電阻比絕對(duì)高，飛躍地提高了偽振動(dòng)抑制效果。進(jìn)而，對(duì)于本實(shí)施例中的45。旋轉(zhuǎn)品(參考表3)，可知電極膜厚為0.3iim的產(chǎn)品的偽振動(dòng)抑制效果最高。根據(jù)以上的驗(yàn)證結(jié)果，如果使一方的激振電極的平行邊從Z'軸旋轉(zhuǎn)，則顯示出偽振動(dòng)的抑制效果，在本次比較中，在45。時(shí)最大。另外，對(duì)于激振電極的厚度為0.3iim和更厚的，具有偽振動(dòng)抑制效果高的傾向。另外，從表5可知，將壓電振動(dòng)板的不沿著X軸和Z'軸的上述反面?zhèn)燃ふ耠姌O形成得比上述正面?zhèn)燃ふ耠姌O厚，能夠提高偽振動(dòng)的抑制效果。另外，如上所述，在本實(shí)施例中，對(duì)于激振電極12、13，除了圖3(c)以外的全部的邊為直線，但并不只限于此，也可以如圖3(c)所示那樣是曲線。另外，激振電極12、13的至少一方在平面視圖中也可以是圓形(參考圖7)、在平面視圖中是橢圓形(參考圖8)。另外，在圖7中，激振電極13在平面視圖中與激振電極12內(nèi)接。在該情況下，在正反面的激振電極12、13的平面視圖上不重疊的部分中沒有角部(邊緣部)，因此難以產(chǎn)生該角部的偽振動(dòng)，對(duì)抑制偽振動(dòng)更適合。另外，如上所述，根據(jù)本實(shí)施例，激振電極12、13的一方的邊為沿著X軸和Z'軸的形式，但在激振電極12、13的任意一邊都為不沿著X軸和Z'軸的形式時(shí)，激振電極12、13的任意一邊都不沿著X軸和Z'軸會(huì)產(chǎn)生偽振動(dòng)，因此是不理想的。另外，在表7、8所示的本實(shí)施例中，在水晶振子的平面視圖中正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13分別在任意的邊重疊，但也可以如圖9、圖10所示那樣，在水晶振子的平面視圖中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的邊與反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的平面視圖外周角部重疊。另外，在圖9中，激振電極12、13被形成為平面視圖矩形(方形)。另外，在圖IO中，激振電極12在平面視圖中被形成為具有長(zhǎng)邊和短邊的長(zhǎng)方形，激振電極13在平面視圖中被形成為菱形。對(duì)于這些圖9、圖10所示的激振電極12、13的關(guān)系，在平面視圖中激振電極12與激振電極13內(nèi)接?；蛘?，也可以如圖11、12所示，在水晶振子的平面視圖中，正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O12的平面視圖外周角部和反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O13的邊重疊。另外，在圖1中，激振電極12、13被形成為平面視圖矩形(方形)。另外，在圖12中，激振電極12在平面視圖中形成為具有長(zhǎng)邊和短邊的長(zhǎng)方形，激振電極13在平面視圖中形成為菱形。對(duì)于這些圖12、圖13所示的激振電極12、13的關(guān)系，在平面視圖中激振電極12與激振電極13外接。在如上述那樣，激振電極12與激振電極13內(nèi)接或外接的情況下，能夠增大正反面的激振電極12、13中的任意一方的電極面積，其結(jié)果是在調(diào)整頻率時(shí)容易進(jìn)行定位。接著，說明與上述實(shí)施例1不同的形式的實(shí)施例2。實(shí)施例2以下，根據(jù)附圖，說明本發(fā)明的實(shí)施例2。在本實(shí)施例中，說明將本發(fā)明的結(jié)構(gòu)適用于通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的AT切割水晶振子的情況。圖13是本發(fā)明的實(shí)施例2的壓電振動(dòng)板的平面圖，圖14是圖13的底面圖。壓電振動(dòng)板21由矩形平板狀的AT切割水晶振動(dòng)板(厚度滑動(dòng)振動(dòng))構(gòu)成，在其正反面的中央?yún)^(qū)域形成有平面視圖大致正八角形狀的激振電極22、23。激振電極22、23例如是相同形狀并構(gòu)成為同一面積，并且其中心220、230隔著壓電振動(dòng)板21相對(duì)地形成(在水晶振動(dòng)板21的平面視圖中正反面的激振電極22、23位于同一位置，并且重疊)。壓電振動(dòng)板21例如被設(shè)定為X軸為長(zhǎng)邊、Z'軸為短邊，沿著X軸形成激振電極22的平行邊221和222以及激振電極23的平行邊231和232，沿著Z'軸形成激振電極22的平行邊223和224以及激振電極23的平行邊233和234。不沿著X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)地形成激振電極22的另一邊225、226、227、228和激振電極23的另一邊235、236、237、238。全部按照相同尺寸構(gòu)成這些激振電極22和激振電極23的各邊221228、231238。另外，從各激振電極22、23向壓電振動(dòng)板21的外周端部引出引出電極229、239。這些激振電極和引出電極例如是鉻-金的層疊結(jié)構(gòu)，通過真空蒸鍍法、噴濺法構(gòu)成，但并不只限于該金屬材料。壓電振動(dòng)板21被容納在陶瓷封裝等封裝中，并且用導(dǎo)電性樹脂粘結(jié)劑、金屬焊點(diǎn)、鍍點(diǎn)等導(dǎo)電性接合材料將壓電振動(dòng)板21電氣機(jī)械地接合到封裝。另外，在通過規(guī)定的加熱等而進(jìn)行了穩(wěn)定化處理后，通過用未圖示的蓋體用接縫接合、波束接合、釬焊接合、玻璃密封等手段對(duì)封裝的開口部分進(jìn)行氣密封，而完成壓電振子(具體地說，是AT切割水晶振子)。通過如以上那樣構(gòu)成，正反面的激振電極22、23按照相同形狀的平面視圖大致正八角形狀相互相對(duì)地形成，并且沿著X軸形成激振電極22的平行邊221和222以及激振電極23的平行邊231和232，沿著Z'軸形成激振電極22的平行邊223和224以及激振電極23的平行邊233和234。因此，能夠消除抑制主振動(dòng)的情況。進(jìn)而，不沿著X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成激振電極22的其他邊225、226、227、228和激振電極23的其他邊235、236、237、238。全部按照相同的尺寸構(gòu)成這些激振電極22和激振電極23的各邊221228、231238。因此，能夠最確實(shí)并且高效地減小在壓電振動(dòng)板21的X軸和Z'軸上延伸的偽振動(dòng)的振動(dòng)變位區(qū)域，成為各偽振動(dòng)的抑制效果高的壓電振子的激振電極構(gòu)造。另外，使用沿著X軸和Z'軸的方形狀的壓電振動(dòng)板21，分別平行地配置該壓電振動(dòng)板21的各邊中的短邊、激振電極22的平行邊223、224和激振電極23的平行邊233、234。另外，分別平行地配置該壓電振動(dòng)板21的各邊中的長(zhǎng)邊、激振電極22的平行邊221、222和激振電極23的平行邊231、232。在該情況下，不妨礙壓電振動(dòng)板21的小型化，就能夠使其接近壓電振動(dòng)板21的端部的邊地使激振電極22、23的面積放大，并且這樣設(shè)計(jì)的激振電極22、23的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板21的端部的邊遮擋而抑制主振動(dòng)。接著，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例2的其他例子(實(shí)施例2-2)。圖15是表示實(shí)施例2-2的正面安裝型水晶振子的平面圖，圖16是圖15的底面圖。向與實(shí)施例2相同的部分附加相同編號(hào)，并且省略說明的一部分。在本發(fā)明的實(shí)施例2-2中，如圖15、16所示那樣，作為壓電振動(dòng)板24，并不是上述實(shí)施例2所示的平板狀，而是使用在壓電振動(dòng)板24的中央具有薄的振動(dòng)區(qū)域242和在周圍具有厚的框區(qū)域241的倒臺(tái)階形狀。即，在面向高頻形成的2壓電振動(dòng)板24中，最近很多都是通過施加蝕刻加工，按照只希望將振動(dòng)區(qū)域形成得薄的倒臺(tái)階形狀而構(gòu)成。在這樣的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板24中，周圍的厚的框區(qū)域241與薄的振動(dòng)區(qū)域242的邊界部分即臺(tái)階部分243為沿著X軸和Z'軸的方形狀，在其正面的薄的振動(dòng)區(qū)域242中形成平面視圖大致正八角形狀的激振電極22、23。另外，壓電振動(dòng)板24例如被設(shè)定為X軸為長(zhǎng)邊、Z'軸為短邊。激振電極22、23例如是相同形狀，被構(gòu)成為同一面積。另外，相對(duì)于壓電振動(dòng)板24的薄的振動(dòng)區(qū)域的中心點(diǎn)(未圖示)，各激振電極的中心點(diǎn)221、231正相對(duì)地形成在同一位置。沿著X軸形成這些激振電極22的平行邊221和222以及激振電極23的平行邊231和232。另外，沿著Z'軸形成這些激振電極22的平行邊223和224以及激振電極23的平行邊233和234。不沿著X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成這些激振電極22的其他邊225、226、227、228以及激振電極23的其他邊235、236、237、238。另外，按照相同的尺寸構(gòu)成這些激振電極22和激振電極23的各邊221228、231238。通過這樣構(gòu)成，針對(duì)面向高頻的倒臺(tái)階形狀的壓電振動(dòng)板24，能夠極其容易并且高效地抑制偽振動(dòng)。即，與上述實(shí)施例2—樣，能夠消除抑制主振動(dòng)的情況。進(jìn)而，不沿著X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成這些激振電極22的其他邊225、226、227、228以及激振電極23的其他邊235、236、237、238。按照相同的尺寸構(gòu)成這些激振電極22和激振電極23的各邊221228、231238。因此，能夠最確實(shí)地并且有效地使在壓電振動(dòng)板24的X軸和Z'軸上延長(zhǎng)的偽振動(dòng)的振動(dòng)變位區(qū)域變小，成為抑制各偽振動(dòng)的效果高的壓電振子的激振電極構(gòu)造。另外，相對(duì)于壓電振動(dòng)板24的薄的振動(dòng)區(qū)域242，周圍的厚的框區(qū)域241與薄的振動(dòng)區(qū)域242的邊界部分即臺(tái)階部分為沿著X軸和Z'軸的方形狀，平行地配置該臺(tái)階部分243和激振電極22、23的平行邊221、222、平行邊223、224、平行邊231、232、平行邊233、234。因此，相對(duì)于壓電振動(dòng)板24的薄的振動(dòng)區(qū)域242，能夠使其接近壓電振動(dòng)板24的端部的邊地使激振電極22、23的面積擴(kuò)大。另外，這樣設(shè)計(jì)的激振電極22、23的主振動(dòng)的振動(dòng)變位不會(huì)被壓電振動(dòng)板24的臺(tái)階部分243遮擋而抑制主振動(dòng)。另外，激振電極22、23例如是相同形狀，被構(gòu)成為同一面積，相對(duì)于壓電振動(dòng)板24的薄的振動(dòng)區(qū)域242的中心點(diǎn)，各激振電極22、23的中心點(diǎn)221、231正相對(duì)地形成在同一位置。因此，在壓電振動(dòng)板24的薄的振動(dòng)區(qū)域242的中心，因蝕刻臺(tái)階差等產(chǎn)生的平面平行度難以產(chǎn)生離散，因此通過使該中心與激振電極22、23的中心處于同一位置，能夠更有效地抑制因平面平行度的離散產(chǎn)生的偽振動(dòng)的影響。特別在通過濕式蝕刻加工將水晶等的壓電振動(dòng)板24加工為倒臺(tái)階形狀的情況下，在薄的振動(dòng)區(qū)域242與厚的框區(qū)域241的邊界附近(臺(tái)階部分243附近)，由于蝕刻臺(tái)階差而形成斜坡狀的厚度漸減區(qū)域，因此，振動(dòng)區(qū)域242的平行平面度有可能產(chǎn)生離散。在沒有受到這樣的厚度漸減區(qū)域的影響的振動(dòng)區(qū)域242的中心形成激振電極22、23能夠抑制偽振動(dòng)的基礎(chǔ)上，是更理想的結(jié)構(gòu)。另外，在上述實(shí)施例2-2中，作為激振電極22、23揭示了平面視圖大致正八角形狀，但也可以如圖17、18所示那樣構(gòu)成以下這樣的激振電極按照相同尺寸構(gòu)成激振電極22和激振電極23的各軸和平行邊221224、231234，按照相同尺寸構(gòu)成不沿著激振電極22和激振電極23的各軸的邊225228、235238，并且相對(duì)于平行邊221224、231234，將上述不沿著各軸的邊225228、235238形成得長(zhǎng)，在X軸方向長(zhǎng)(實(shí)施例2-3)。通過這樣構(gòu)成，能夠得到與上述實(shí)施例2-2相同的偽振動(dòng)抑制效果。如果不沿著各軸的邊比沿著各軸的平行邊短，則在激振電極22、23的端部附近具有振動(dòng)變位分布的偽振動(dòng)的抑制效果降低。另外，與圖17、圖18不同，也可以構(gòu)成為在Z'軸方向長(zhǎng)的激振電極。另外，在上述實(shí)施例2-2中，作為激振電極22、23揭示了具有沿著各軸的2個(gè)平行邊，但也可以具備至少一個(gè)平行邊，并不只限于此。例如，如圖19、20所示那樣，也可以用平面視圖大致六角形狀的激振電極22、23構(gòu)成(實(shí)施例2-4)。即，激振電極22、23是相同形狀，被構(gòu)成為同一面積，并且，相對(duì)于壓電振動(dòng)板21的薄的振動(dòng)區(qū)域的中心點(diǎn)(未圖示)，各激振電極22、23的中心點(diǎn)221、231正相對(duì)地形成在同一位置。壓電振動(dòng)板24例如被設(shè)定為X軸為長(zhǎng)邊、Z'軸為短邊，沿著X軸形成這些激振電極22的平行邊221和222以及激振電極23的平行邊231和232。不沿著X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成激振電極22的其他邊225、226、227、228以及激振電極23的其他邊235、236、237、238。另外，按照相同的尺寸構(gòu)成激振電極22和激振電極23的各軸和平行邊221、222和平行邊231、232，按照相同尺寸構(gòu)成不沿著激振電極22和激振電極23的各軸的邊225228、235238，并且相對(duì)于平行邊221、222和平行邊231、232，將上述不沿著各軸的邊225228、235238構(gòu)成得長(zhǎng)。通過這樣構(gòu)成，能夠得到與上述實(shí)施例2_2相同的偽振動(dòng)抑制效果。對(duì)于以上述的本實(shí)施例2、實(shí)施例2-2、實(shí)施例2-3、實(shí)施例2_4為實(shí)施例的本發(fā)明和現(xiàn)有產(chǎn)品(參考上述的表8)，對(duì)各性能進(jìn)行比較確認(rèn)。確認(rèn)的性能是主振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值(所謂的CI值)、偽振動(dòng)的串聯(lián)共振電阻值、以及它們的電阻值比。本發(fā)明產(chǎn)品J使用在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，在安裝在之上的壓電振動(dòng)板中，形成有激振電極的1邊的尺寸為0.124mm的正八角形狀的激振電極?，F(xiàn)有產(chǎn)品G使用在基波200MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，在安裝在之上的壓電振動(dòng)板中，形成有激振電極的1邊的尺寸為0.3mm的正方形狀的激振電極。本發(fā)明產(chǎn)品K使用在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，在安裝在之上的壓電振動(dòng)板中，形成有激振電極的1邊的尺寸為0.124mm的正八角形狀的激振電極?，F(xiàn)有產(chǎn)品H使用在基波300MHz產(chǎn)生振動(dòng)的壓電振子，在安裝在之上的壓電振動(dòng)板中，形成有激振電極的1邊的尺寸為0.3mm的正方形狀的激振電極。另外，作為表8所示的本發(fā)明產(chǎn)品和現(xiàn)有產(chǎn)品的共通項(xiàng)目，例如使用在AT切割水晶振動(dòng)板的正反面，在厚度全體上形成0.2iim的激振電極，該激振電極在鉻的基底層的上部形成金屬。如表8所示，如從這些試驗(yàn)結(jié)果所明確知道的那樣，明顯的是，與現(xiàn)有產(chǎn)品(現(xiàn)有G、現(xiàn)有H)相比，本發(fā)明產(chǎn)品(本發(fā)明J、本發(fā)明K)的主振動(dòng)與偽振動(dòng)的電阻比絕對(duì)高，偽振動(dòng)抑制效果飛躍性地提高。另外，不脫離其精神或主要特征地，可以按照其他各種形式實(shí)施本發(fā)明。因此，上述實(shí)施例在任意一點(diǎn)上都只限于單純的示例，并不限定地解釋。本發(fā)明的范圍為權(quán)利要求的范圍，在說明書中完全沒有限制。進(jìn)而，屬于權(quán)利要求的均等范圍內(nèi)的變形和變更全部屬于本發(fā)明的范圍內(nèi)。另外，本申請(qǐng)請(qǐng)求基于2007年8月3日在日本申請(qǐng)的特愿2007-203010號(hào)、2007年9月21日在日本申請(qǐng)的特愿2007-246279號(hào)、以及2007年9月28日在日本申請(qǐng)的特愿2007-254046號(hào)的優(yōu)先權(quán)。通過在此說明，而將其全部?jī)?nèi)容組合到本申請(qǐng)中。本發(fā)明特別適合于水晶振子。權(quán)利要求一種壓電振子，與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，其特征在于上述正反面的激振電極具有一個(gè)以上的平行邊，并且上述正反面的激振電極的中心相互相對(duì)地形成，沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z’軸方向的任意一個(gè)軸方向形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極的平行邊，不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z’軸方向形成上述正反面的激振電極中的另一方激振電極的平行邊。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電振子，其特征在于上述正反面的激振電極具有1個(gè)以上的平行邊，并形成為相同形狀。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的壓電振子，其特征在于上述正反面的激振電極以相互的中心為中心點(diǎn)，使任意一個(gè)激振電極的平行邊相對(duì)于Z'軸在平面視圖中旋轉(zhuǎn)45。而形成。4.一種壓電振子，與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，其特征在于按照平行邊沿著壓電振動(dòng)板的x軸方向或z'軸方向的任意一個(gè)而形成的矩形形狀來形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極，按照平行邊不沿著壓電振動(dòng)板的x軸方向和z'軸方向而形成的菱形形狀形成上述正反面的激振電極中的另一方激振電極，上述一方矩形形狀的激振電極的中心與上述另一方菱形形狀的激振電極的中心相對(duì)。5.根據(jù)權(quán)利要求14中的任意一個(gè)所述的壓電振子，其特征在于上述另一方激振電極形成得比上述一方激振電極厚。6.根據(jù)權(quán)利要求15中的任意一個(gè)所述的壓電振子，其特征在于在上述激振電極中，分別在頂點(diǎn)形成缺口。7.—種壓電振子，在通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面形成一對(duì)激振電極和引出電極，其特征在于上述正反面的激振電極是相同形狀并相互相對(duì)地形成，并且由沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)形成的1個(gè)以上的平行邊、不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成而以相互相同的尺寸形成的4個(gè)以上的邊構(gòu)成，不沿著上述上述軸的邊比沿著上述軸的平行邊形成得長(zhǎng)。8.—種壓電振子，在通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面形成一對(duì)激振電極和引出電極，其特征在于上述正反面的激振電極是相同形狀并相互相對(duì)地形成，并且由沿著壓電振動(dòng)板的x軸方向或Z'軸方向的任意一個(gè)形成的1個(gè)以上的平行邊、不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z'軸方向的任意一個(gè)形成而以相互相同的尺寸形成的4個(gè)以上的邊構(gòu)成，以相同的尺寸形成沿著上述軸的平行邊和不沿著上述軸的邊。9.一種壓電振子，與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極，其特征在于相互相對(duì)地形成上述正反面的激振電極的中心，并且在該壓電振子的平面視圖中正面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊與反面?zhèn)鹊募ふ耠姌O的邊重;全文摘要本發(fā)明的壓電振子與通過厚度滑動(dòng)振動(dòng)而動(dòng)作的壓電振動(dòng)板的正反面相對(duì)地形成一對(duì)激振電極和引出電極。上述正反面的激振電極具有一個(gè)以上的平行邊而形成為相同形狀，并且上述正反面的激振電極的中心相互相對(duì)地形成。沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向或Z’軸方向的任意一個(gè)軸方向形成上述正反面的激振電極中的一方激振電極的平行邊，不沿著壓電振動(dòng)板的X軸方向和Z’軸方向形成上述正反面的激振電極中的另一方激振電極的平行邊。文檔編號(hào)H03H9/19GK101772889SQ20088010172公開日2010年7月7日申請(qǐng)日期2008年7月30日優(yōu)先權(quán)日2007年8月3日發(fā)明者小山伸一申請(qǐng)人:株式會(huì)社大真空