專利名稱：射頻匹配器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種射頻匹配器。
背景技術(shù)：
射頻匹配器的應(yīng)用廣泛，主要的具體領(lǐng)域?yàn)榘雽?dǎo)體生產(chǎn)領(lǐng)域、等離子刻蝕、真空 鍍膜、PECVD、等離子清洗、物理氣象沉積(PVD)、化學(xué)氣象沉積(CVD)、射頻濺射等等。目前 市場(chǎng)上的射頻匹配器多為手動(dòng)射頻匹配器，使用起來(lái)十分不便，在系統(tǒng)設(shè)備啟動(dòng)后要不斷 地手動(dòng)調(diào)整匹配器的阻抗而使輸出達(dá)到工藝的要求，無(wú)法實(shí)現(xiàn)應(yīng)用系統(tǒng)的全自動(dòng)控制，同 時(shí)調(diào)節(jié)匹配的時(shí)間長(zhǎng)、工作效率低、設(shè)備使用費(fèi)用高
發(fā)明內(nèi)容
本發(fā)明的目的在于提供一種能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)測(cè)并輸出信號(hào)驅(qū)動(dòng)電機(jī)工作以實(shí)現(xiàn)電容 自動(dòng)匹配的自動(dòng)射頻匹配器。為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明采用如下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)射頻匹配器，包括一個(gè)信號(hào)檢測(cè)模塊，該信號(hào)檢測(cè)模塊用于檢測(cè)負(fù)載反饋的反射 信號(hào)，并將該反射信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出；以及一個(gè)控制模塊，該控制模塊包括放大電路，所述的放大電路用于將接收到的 直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大后輸出；以及一個(gè)傳動(dòng)執(zhí)行模塊，該傳動(dòng)執(zhí)行模塊用于接收經(jīng)過(guò)放大電路放大直流驅(qū)動(dòng)信 號(hào)，并驅(qū)動(dòng)阻抗匹配器進(jìn)行與負(fù)載之間的阻抗匹配調(diào)整。上述方案中信號(hào)檢測(cè)模塊檢測(cè)到反射信號(hào)后，將直流信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸 出至控制模塊，控制模塊將接收到的驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出給傳動(dòng)執(zhí)行模塊，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變， 從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的。所述的控制模塊還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測(cè)到阻抗匹 配器為最大值或最小值時(shí)控制所述的放大電路失去放大作用。所述保護(hù)模塊包括可調(diào)電位器，該可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情況， 并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出； 以及與可調(diào)電位器連接的比較器，該比較器將來(lái)自于可調(diào)電位器的電壓信號(hào)與該 比較器設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個(gè)控制信號(hào)；以及與比較器連接的控制開(kāi)關(guān)，該控制開(kāi)關(guān)接收比較器輸出的控制信號(hào)后使所述 放大電路失去放大作用。所述的控制模塊還包括一個(gè)用于顯示阻抗匹配器容量的容量顯示器，該容量顯示 器與控制模塊連接。所述放大電路包括一級(jí)放大器、二級(jí)放大器以及三級(jí)放大器。所述傳動(dòng)執(zhí)行模塊包括傳動(dòng)齒輪組以及連接于放大電路輸出端的直流電機(jī)，傳動(dòng) 齒輪組包括設(shè)置于直流電機(jī)輸出軸上的第一齒輪，以及用于連接在阻抗匹配器上的第二齒輪，以及連接在可調(diào)電位器上的第三齒輪，第一齒輪與第二齒輪嚙合，第二齒輪與第三齒輪 嚙合。所述第一齒輪、第二齒輪、第三齒輪的傳動(dòng)比為1.2 1 2.5。上述方案中，經(jīng)檢測(cè)模塊輸出的信號(hào)經(jīng)一級(jí)放大器初級(jí)放大，再由二級(jí)放大器再 次放大以驅(qū)動(dòng)三級(jí)放大器對(duì)信號(hào)進(jìn)行第三次放大后驅(qū)動(dòng)直流電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)。直流電動(dòng)機(jī)通過(guò) 齒輪組可帶動(dòng)真空電容和可調(diào)電位器進(jìn)行轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)可調(diào)電位器轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)反饋一個(gè)電壓信 號(hào)給比較器，當(dāng)可調(diào)電位器的反饋電壓信號(hào)達(dá)到極限時(shí)，則輸出一個(gè)低電平到控制開(kāi)關(guān)，這 時(shí)，二級(jí)放大器失去放大作用，三級(jí)放大器得不到足夠的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，直流電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，此 時(shí)真空電容達(dá)到最大容量值，上述可調(diào)電位器的反饋電壓信號(hào)可通過(guò)容量顯示器顯示出 來(lái)。通過(guò)直流電機(jī)的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以帶動(dòng)真空電容轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻 抗的目的，同時(shí)，真空電容的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)可調(diào)電位器的轉(zhuǎn)動(dòng)，可調(diào)電位器的轉(zhuǎn)動(dòng)則可以實(shí)現(xiàn) 對(duì)真空電容容量值的電壓反饋。所述信號(hào)檢測(cè)模塊包括定向耦合器，以及與該定向耦合器連接的信號(hào)處理電路。所述信號(hào)處理電路包括第一濾波器，與該第一濾波器連接的第一功率分配器，以 及與該第一功率分配器連接的第一檢測(cè)器；以及第二濾波器，與該第二濾波器連接的第一移電路，以及與第一移相電路連接 的第二功率分配器，以及與第二功率分配器連接的第二移相電路，以及與第二移相電路連 接的第二檢測(cè)器；所述第一功率分配器還與第二檢測(cè)器連接，所述第二功率分配器還與第一檢測(cè)器 連接。上述方案中定向耦合器對(duì)反射信號(hào)進(jìn)行采樣，得到的正向功率信號(hào)和反向功率信 號(hào)兩個(gè)信號(hào)，正向功率信號(hào)經(jīng)過(guò)第一濾波器，經(jīng)第一功率分配器一分為二，分別到達(dá)第一檢 測(cè)器和第二檢測(cè)器的輸入端，同時(shí)濾波后的反射信號(hào)經(jīng)第一移相電路調(diào)整相位后，再由第 二功率分配器一分為二，，一支信號(hào)直接到達(dá)第一檢測(cè)器，另一支信號(hào)則經(jīng)過(guò)第二移相電路 調(diào)整相位后到達(dá)第二檢測(cè)器的輸入端。當(dāng)負(fù)載與射頻信號(hào)阻抗失匹配時(shí)，第一檢測(cè)器和第 二檢測(cè)器分別輸出檢測(cè)信號(hào)，兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)可驅(qū)動(dòng)直流電機(jī)對(duì)真空電容進(jìn)行調(diào)節(jié)，當(dāng)真空 電容調(diào)節(jié)到匹配點(diǎn)時(shí)，反射信號(hào)輸出為零，這時(shí)第一檢測(cè)器和第二檢測(cè)器的輸出也為零，這 時(shí)直流電機(jī)沒(méi)有了驅(qū)動(dòng)信號(hào)，直流電機(jī)停止轉(zhuǎn)動(dòng)，真空電容也同樣停止了調(diào)節(jié)，這樣，匹配 器實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)匹配的調(diào)節(jié)。由于上述方案中定向偶合器可對(duì)反射信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)采樣，當(dāng)采樣到有反射信 號(hào)時(shí)，檢測(cè)器可以馬上輸出檢測(cè)信號(hào)以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)真空電容進(jìn)行阻抗調(diào)節(jié)，這樣 就實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的自動(dòng)匹配控制，快速、可靠、高效、準(zhǔn)確、節(jié)省人力和時(shí)間。


圖1為本發(fā)明的原理圖；圖2為本發(fā)明的檢測(cè)模塊的原理圖；圖3為本發(fā)明的控制模塊的原理圖；圖4為本發(fā)明控制模塊的電路圖；圖5為本發(fā)明的傳動(dòng)執(zhí)行模塊的原理圖。
圖中1為信號(hào)檢測(cè)模塊，2為控制模塊，3為傳動(dòng)執(zhí)行模塊，4為定向耦合器，5為 第一濾波器，51為第一功率分配器，52為第一檢測(cè)器，53為第一移相電路，6為第二濾波器， 61第二功率分配器，62為第二檢測(cè)器，63為第二移相電路，7為可調(diào)電位器，8為比較器，9 為控制開(kāi)關(guān)，10為容量顯示器，11為一級(jí)放大器，12為二級(jí)放大器，13為三級(jí)放大器，131為 第一晶體管、132為第二晶體管、133為第三晶體管，134為第四晶體管，14為直流電機(jī)，15為 傳動(dòng)齒輪組，151為第一齒輪，152為第二齒輪，153為第三齒輪，16為真空電容，161為真空 電容最大比較器，162為真空電容最小比較器，171為第一控制開(kāi)關(guān)，172為第二控制開(kāi)關(guān)。 如圖1、圖2、圖3、圖4所示，射頻匹配器，包括一個(gè)信號(hào)檢測(cè)模塊1，該信號(hào)檢測(cè)模 塊1用于檢測(cè)負(fù)載反饋的反射信號(hào)，并將該反射信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出；以及一個(gè) 控制模塊2，該控制模塊包括放大電路，所述的放大電路用于將接收到的直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行 放大后輸出；以及一個(gè)傳動(dòng)執(zhí)行模塊3，該傳動(dòng)執(zhí)行模塊用于接收經(jīng)過(guò)放大電路放大直流 驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并驅(qū)動(dòng)阻抗匹配器進(jìn)行與負(fù)載之間的阻抗匹配調(diào)整。信號(hào)檢測(cè)模塊1檢測(cè)到反 射信號(hào)后，將直流信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出至控制模塊2，控制模塊2將接收到的驅(qū)動(dòng) 信號(hào)輸出給傳動(dòng)執(zhí)行模塊3，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的。如圖1和圖2所示，所述的信號(hào)檢測(cè)模塊1包括定向耦合器4，以及與該定向耦合 器連接的信號(hào)處理電路，所述信號(hào)處理電路包括第一濾波器5，與該第一濾波器連接5的第 一功率分配器51，以及與該第一功率分配器51連接的第一檢測(cè)器52，以及第二濾波器6，與 該第二濾波器6連接的第一移相電路53，以及與第一移相電路53連接的第二功率分配器 61，以及與第二功率分配器61連接的第二移相電路63，以及與第二移相電路63連接的第二 檢測(cè)器62 ；所述第一功率分配器51還與第二檢測(cè)器6連接，所述第二功率分配器61還與 第一檢測(cè)器52連接。定向耦合器4對(duì)反射信號(hào)進(jìn)行采樣，得到的正向功率信號(hào)和反向功率 信號(hào)兩個(gè)信號(hào)，正向功率信號(hào)經(jīng)過(guò)第一濾波器5，經(jīng)第一功率分配器51—分為二，分別到達(dá) 第一檢測(cè)器52和第二檢測(cè)器62的輸入端，同時(shí)濾波后的反射信號(hào)經(jīng)第一移相電路53調(diào)整 相位后，再由第二功率分配器61 —分為二，，一支信號(hào)直接到達(dá)第一檢測(cè)器52，另一支信號(hào) 則經(jīng)過(guò)第二移相電路63調(diào)整相位后到達(dá)第二檢測(cè)器62的輸入端。當(dāng)負(fù)載與射頻信號(hào)阻抗 匹配時(shí)，第一檢測(cè)器52和第二檢測(cè)器62分別輸出檢測(cè)信號(hào)，兩個(gè)檢測(cè)信號(hào)可驅(qū)動(dòng)傳動(dòng)執(zhí)行 模塊3對(duì)真空電容進(jìn)行調(diào)節(jié)。當(dāng)真空電容調(diào)節(jié)到匹配點(diǎn)時(shí)，反射信號(hào)輸出為零，這時(shí)第一檢 測(cè)器51和第二檢測(cè)器61的輸出也為零，這時(shí)直流電機(jī)沒(méi)有了驅(qū)動(dòng)信號(hào)，傳動(dòng)執(zhí)行模塊3停 止工作，真空電容也同樣停止了調(diào)節(jié)，這樣，匹配器實(shí)現(xiàn)了自動(dòng)匹配的調(diào)節(jié)。如圖1和圖3所示，放大電路包括一級(jí)放大器11、二級(jí)放大器12以及三級(jí)放大器 13，其中一級(jí)放大器和二級(jí)大器均為增益放大器，三級(jí)放大器為功率放大器，所述功率放大 器由第一晶體管131、第二晶體管132、第三晶體管133以及第四晶體管134構(gòu)成，第二晶體 管132的基極連接第一晶體管131的基極，第二晶體管132的發(fā)射極連接第一晶體管131 的發(fā)射極，第二晶體管132的集電極連接第三晶體管133的集電極，第三晶體管133的發(fā)射 極連接第四晶體管134的發(fā)射極，第三晶體管133的基極連接第四晶體管134的基極，第一 晶體管131和第四晶體管132均為NPN型的晶體管，第二晶體管132和第三晶體管133均 為PNP型的晶體管?？刂颇K2還包括用于阻抗匹配器的保護(hù)模塊，該保護(hù)模塊包括可調(diào) 電位器7，以及與可調(diào)電位器7連接的比較器8，以及與比較器8連接的控制開(kāi)關(guān)9，所述的 控制模塊2還包括一個(gè)用于顯示阻抗匹配器容量的容量顯示器10，該容量顯示器10與控制模塊2連接。信號(hào)經(jīng)一級(jí)放大器11初級(jí)放大，再由二級(jí)放大器12再次放大，以驅(qū)動(dòng)三級(jí)放 大器13，第一晶體管131、第二晶體管132、第三晶體管133以及第四晶體管134對(duì)信號(hào)進(jìn)行 放大后可驅(qū)動(dòng)直流電機(jī)14。可調(diào)電位器7轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)反饋一個(gè)電壓信號(hào)給三級(jí)放大器，當(dāng)可 調(diào)電位器7的反饋電壓信號(hào)為達(dá)到真空電容最大比較器161極限時(shí)，會(huì)輸出一個(gè)低電平到 控制開(kāi)關(guān)17，這時(shí)二級(jí)放大器12失去放大作用，第一晶體管131、第二晶體管132、第三晶體 管133和第四晶體管134得不到足夠的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，則直流電機(jī)14停止轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)真空電容 16達(dá)到最大容量值，并在容量顯示器10上顯示出。
如圖1和圖4所示，傳動(dòng)執(zhí)行模塊3包括傳動(dòng)齒輪組以及連接于放大電路輸出端 的直流電機(jī)14，傳動(dòng)齒輪組15包括設(shè)置于直流電機(jī)14輸出軸上的第一齒輪151，以及用于 連接在阻抗匹配器上的第二齒輪152，以及連接在可調(diào)電位器7上的第三齒輪153，第一齒 輪151與第二齒輪152嚙合，第二齒輪152與第三齒輪153嚙合，第一齒輪151、第二齒輪 152、第三齒輪153的傳動(dòng)比為1.2 1 2.5。經(jīng)檢測(cè)模塊1輸出的信號(hào)經(jīng)一級(jí)放大器11 初級(jí)放大，再由二級(jí)放大器12再次放大以驅(qū)動(dòng)三級(jí)放大器13對(duì)信號(hào)進(jìn)行第三次放大后驅(qū) 動(dòng)直流電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)14。直流電動(dòng)機(jī)14通過(guò)齒輪組15可帶動(dòng)真空電容16和可調(diào)電位器7進(jìn) 行轉(zhuǎn)動(dòng)。當(dāng)可調(diào)電位器7轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，會(huì)反饋一個(gè)電壓信號(hào)給比較器8，當(dāng)可調(diào)電位器7的反饋 電壓信號(hào)達(dá)到真空電容最大比較器161的極限時(shí)，則輸出一個(gè)低電平到第一控制開(kāi)關(guān)171， 這時(shí)，二級(jí)放大器152失去放大作用，三級(jí)放大器153得不到足夠的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，直流電機(jī)停 止14轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)真空電容16達(dá)到最大容量值，上述可調(diào)電位器7的反饋電壓信號(hào)可通過(guò)容 量顯示器10顯示出來(lái)。同樣，當(dāng)電壓信號(hào)達(dá)到真空電容最小比較器162的極限時(shí)，則輸出 一個(gè)低電平到第二控制開(kāi)關(guān)172，這時(shí)，二級(jí)放大器152失去放大作用，三級(jí)放大器153得不 到足夠的驅(qū)動(dòng)信號(hào)，直流電機(jī)停止14轉(zhuǎn)動(dòng)，此時(shí)真空電容16達(dá)到最小容量值，上述可調(diào)電 位器7的反饋電壓信號(hào)可通過(guò)容量顯示器10顯示出來(lái)。通過(guò)直流電機(jī)14的轉(zhuǎn)動(dòng)，可以帶動(dòng)真空電容16轉(zhuǎn)動(dòng)，以實(shí)現(xiàn)容量值的改變，從而 達(dá)到調(diào)節(jié)阻抗的目的，同時(shí)，真空電容16的轉(zhuǎn)動(dòng)可帶動(dòng)可調(diào)電位器7的轉(zhuǎn)動(dòng)，可調(diào)電位器7 的轉(zhuǎn)動(dòng)則可以實(shí)現(xiàn)對(duì)真空電容16容量值的電壓反饋。
權(quán)利要求
射頻匹配器，其特征在于包括一個(gè)信號(hào)檢測(cè)模塊，該信號(hào)檢測(cè)模塊用于檢測(cè)負(fù)載反饋的反射信號(hào)，并將該反射信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出；以及一個(gè)控制模塊，該控制模塊包括放大電路，所述的放大電路用于將接收到的直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大后輸出；以及一個(gè)傳動(dòng)執(zhí)行模塊，該傳動(dòng)執(zhí)行模塊用于接收經(jīng)過(guò)放大電路放大直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并驅(qū)動(dòng)阻抗匹配器進(jìn)行與負(fù)載之間的阻抗匹配調(diào)整。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器，其特征在于所述的控制模塊還包括用于阻抗 匹配器的保護(hù)模塊，當(dāng)該保護(hù)模塊檢測(cè)到阻抗匹配器為最大值或最小值時(shí)控制所述的放大 電路失去放大作用。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻匹配器，其特征在于所述保護(hù)模塊包括可調(diào)電位器，該 可調(diào)電位器用于獲知阻抗匹配器的調(diào)整情況，并將該調(diào)整情況轉(zhuǎn)換為電壓信號(hào)輸出；以及與可調(diào)電位器連接的比較器，該比較器將來(lái)自于可調(diào)電位器的電壓信號(hào)與該比較 器設(shè)定的電壓進(jìn)行比較后輸出一個(gè)控制信號(hào)；以及與比較器連接的控制開(kāi)關(guān)，該控制開(kāi)關(guān)接收比較器輸出的控制信號(hào)后使所述放大 電路失去放大作用。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的射頻匹配器，其特征在于所述傳動(dòng)執(zhí)行模塊包括傳動(dòng)齒輪 組以及連接于放大電路輸出端的直流電機(jī)，傳動(dòng)齒輪組包括設(shè)置于直流電機(jī)輸出軸上的第 一齒輪，以及用于連接在阻抗匹配器上的第二齒輪，以及連接在可調(diào)電位器上的第三齒輪， 第一齒輪與第二齒輪嚙合，第二齒輪與第三齒輪嚙合。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的射頻匹配器，其特征在于所述第一齒輪、第二齒輪、第三齒 輪的傳動(dòng)比為1.2 1 2.5。
6.根據(jù)權(quán)利要求2所述的射頻匹配器，其特征在于還包括一個(gè)用于顯示阻抗匹配器 容量的容量顯示器，該容量顯示器與控制模塊連接。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配器，其特征在于所述放大電路包括一級(jí)放大器、二 級(jí)放大器以及三級(jí)放大器。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的射頻匹配1器，其特征在于所述信號(hào)檢測(cè)模塊包括定向耦 合器，以及與該定向耦合器連接的信號(hào)處理電路。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的射頻匹配器，其特征在于所述信號(hào)處理電路包括第一濾 波器，與該第一濾波器連接的第一功率分配器，以及與該第一功率分配器連接的第一檢測(cè) 器；以及第二濾波器，與該第二濾波器連接的第一移電路，以及與第一移相電路連接的第 二功率分配器，以及與第二功率分配器連接的第二移相電路，以及與第二移相電路連接的 第二檢測(cè)器；所述第一功率分配器還與第二檢測(cè)器連接，所述第二功率分配器還與第一檢測(cè)器連接。
全文摘要
本發(fā)明公開(kāi)了一種射頻匹配器，包括信號(hào)檢測(cè)模塊，控制模塊和傳動(dòng)執(zhí)行模塊，信號(hào)檢測(cè)模塊用于檢測(cè)負(fù)載反饋的反射信號(hào)，并將該反射信號(hào)轉(zhuǎn)化為直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)輸出；該控制模塊包括放大電路，放大電路用于將接收到的直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)進(jìn)行放大后輸出，該傳動(dòng)執(zhí)行模塊用于接收經(jīng)過(guò)放大電路放大的直流驅(qū)動(dòng)信號(hào)，并驅(qū)動(dòng)阻抗匹配器進(jìn)行與負(fù)載之間的阻抗匹配調(diào)整。由于定向偶合器可對(duì)反射信號(hào)進(jìn)行實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)采樣，當(dāng)采樣到有反射信號(hào)時(shí)，檢測(cè)器可以馬上輸出檢測(cè)信號(hào)以驅(qū)動(dòng)兩個(gè)電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)，對(duì)真空電容進(jìn)行阻抗調(diào)節(jié)，這樣就實(shí)現(xiàn)了實(shí)時(shí)的自動(dòng)匹配控制，快速、可靠、高效、準(zhǔn)確、節(jié)省人力和時(shí)間。
文檔編號(hào)H03H7/40GK101873110SQ20101018581
公開(kāi)日2010年10月27日 申請(qǐng)日期2010年5月28日 優(yōu)先權(quán)日2010年5月28日
發(fā)明者劉丕華, 楊友明, 項(xiàng)亮 申請(qǐng)人:常州瑞思杰爾電子科技有限公司