專利名稱：一種聲表面波濾波器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及一種中頻、大帶寬、高矩形度和高帶外抑制度的移動通訊用的聲表面波濾波器，屬于聲表面波濾波技術(shù)領(lǐng)域。
背景技術(shù)：
隨著通訊技術(shù)的發(fā)展進(jìn)步，對通訊基站的要求也越來越高。在低頻段，更需要一種相對帶寬較窄、抑制度較高的濾波器來對信號進(jìn)行有效地過濾，同時對帶外的信號進(jìn)行高度的抑制，保證通帶內(nèi)信號的無干擾傳送。而現(xiàn)有的濾波設(shè)備無法實現(xiàn)在通訊領(lǐng)域的中頻、 大帶寬、高矩形度和高抑制度的聲表面波濾波。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型的目的是提供一種應(yīng)用于通訊領(lǐng)域的中頻、大帶寬、高矩形度和高抑制度的聲表面波濾波器。本實用新型的目的是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的一種聲表面波濾波器，包括基片，所述采用42度ST切型的水晶晶片，所述基片采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。由上述本發(fā)明提供的技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明所述的聲表面波濾波器，采用42 度ST切型的水晶晶片，實現(xiàn)了產(chǎn)品頻率的零溫飄；芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計上，采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)的芯片設(shè)計方案，實現(xiàn)了產(chǎn)品的高抑制度。通過采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)的芯片設(shè)計方案和 42度ST切型的水晶晶片，實現(xiàn)了產(chǎn)品的窄帶濾波，使相對帶寬僅為3. 9%。
圖1是本實用新型具體實施方式
提供的聲表面波濾波器的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2是本實用新型具體實施方式
提供的封裝結(jié)構(gòu)示意圖。
具體實施方式
本實用新型具體實施方式
提供了一種聲表面波濾波器，如圖1和圖2所示，包括基片，所述采用42度ST切型的水晶晶片，所述基片采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。具體的，芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計上，采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)的芯片設(shè)計方案，實現(xiàn)了產(chǎn)品的高抑制度。在材料的選取上，采用42度ST切型的水晶晶片，實現(xiàn)了產(chǎn)品頻率的零溫飄； 通過芯片結(jié)構(gòu)上的設(shè)計和材料上的選取，實現(xiàn)了產(chǎn)品的窄帶濾波，窄帶濾波的相對帶寬為 3. 9%，抑制大于45dB。制作中要解決的關(guān)鍵問題是工藝問題。聲表面波器件的制作采用的半導(dǎo)體IC器件制作工藝，但又不同于一般的IC制作，不要求多層套刻，但對指條的光刻質(zhì)量和芯片表面質(zhì)量要求比IC高。因此在聲表波器件制作過程中，鍍膜和光刻工藝都是關(guān)鍵工藝。本發(fā)明中的濾波器的頻率為10M。由于頻率較低，故在工藝生產(chǎn)過程中要求產(chǎn)品的鋁膜較厚，達(dá)
3到了 2萬埃以上。這就對光刻工藝提出了更嚴(yán)格的要求。在實際生產(chǎn)中，我們通過增加曝光能量和延長曝光時間的方法，使產(chǎn)品能夠充分曝光。嚴(yán)格控制顯影和腐蝕的過程時間，最終研制出了合格產(chǎn)品。該產(chǎn)品的電性能指標(biāo)如下
權(quán)利要求1.一種聲表面波濾波器，其特征在于，包括基片，所述采用42度ST切型的水晶晶片，所述基片采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的聲表面波濾波器，其特征在于，所述基片的特征頻率為 10. 6 10. 8MHz。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的聲表面波濾波器，其特征在于，所述聲表面波濾波器的窄帶濾波的相對帶寬為3.9%。
4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的聲表面波濾波器，其特征在于，所述聲表面波濾波器的抑制大于45dB。
專利摘要本實用新型提供了一種聲表面波濾波器，包括基片，所述采用42度ST切型的水晶晶片，所述基片采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)設(shè)置。本實用新型所述的聲表面波濾波器，采用42度ST切型的水晶晶片，實現(xiàn)了產(chǎn)品頻率的零溫飄；芯片的結(jié)構(gòu)設(shè)計上，采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)的芯片設(shè)計方案，實現(xiàn)了產(chǎn)品的高抑制度。通過采用雙DCMA對稱結(jié)構(gòu)的芯片設(shè)計方案和42度ST切型的水晶晶片，實現(xiàn)了產(chǎn)品的窄帶濾波，使相對帶寬僅為3.9％。
文檔編號H03H9/64GK202334457SQ20112048245
公開日2012年7月11日 申請日期2011年11月28日 優(yōu)先權(quán)日2011年11月28日
發(fā)明者張敬鈞, 董啟明 申請人:北京中訊四方科技股份有限公司