專利名稱：獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器的制作方法
技術領域：
本實用新型屬于電子儀器設備領域，特別涉及到一種獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器。
背景技術：
匹配器是在射頻應用中經(jīng)常使用到的一種設備，本申請所說的匹配器，是將負載阻抗經(jīng)可調(diào)的電容和電感通過L型網(wǎng)絡，將阻抗變?yōu)?0歐姆，從而與射頻電源達到匹配，使反射功率最小的一種設備?，F(xiàn)在國內(nèi)常見的匹配器為手動匹配器，需要手動調(diào)節(jié)匹配，而本申請所設計的是一種新穎的采用伺服電機控制的匹配器，隨時自動調(diào)節(jié)匹配，匹配速度快和精確。
發(fā)明內(nèi)容本實用新型需要解決的技術問題是，針對現(xiàn)有技術中多數(shù)為手動匹配器，速度慢，調(diào)節(jié)精度低。為了克服這些缺陷就要重新設計一種可自動調(diào)節(jié)匹配的器件。本實用新型的目的是提供一種獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器。為了實現(xiàn)本實用新型的目的，所采用的技術方案如下，一種獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器，包含一個整體機箱，機箱前面板上設有電源指示與電機調(diào)節(jié)指示，其特征在于，整體機箱內(nèi)部設有一個進行采樣的射頻匹配傳感器，還設有包含兩個可變電容與一個可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是電機調(diào)控部分和匹配控制電路部分；在電路主板上將這兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片，實現(xiàn)對該匹配器的整體控制。所述的兩個可變電容與一個可調(diào)電感中，并聯(lián)電容和串聯(lián)電容對稱放置在該自動匹配器的射頻部分，可變電感采用鍍銀銅管并在每隔一圈的位置焊接一個便于調(diào)節(jié)的銅塊，以便方便地調(diào)節(jié)電感量。電感調(diào)節(jié)通過連接 于電容上的銅帶配合使用，方便調(diào)節(jié)電感量以適應不同的負載情況。本實用新型的有益效果是，該自動匹配器是采用獨特的電容電感分布結(jié)構(gòu)，有效利用空間和方便調(diào)節(jié)，排除射頻的相互干擾，因而匹配速度快和精確。

圖1為所述自動匹配器的整體機箱示意圖；圖2為機箱內(nèi)部電容電感分布結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為上述自動匹配器整體機箱內(nèi)部電路連接關系圖。
具體實施方式
參照圖1，表示所述自動匹配器的整體機箱示意圖，圖中I為整體機箱外形，前面板1-1包含有電源指示和電機調(diào)節(jié)指示，射頻電源通過射頻輸入接頭輸入到射頻傳感器2-1中，該傳感器測量射頻信號的幅值和相位，輸入到電路主板2，主板按照設定的算法計算得到ca、cb電容的容量，通過驅(qū)動伺服電機2-3將可調(diào)電容調(diào)節(jié)到計算的容量，達到將負載阻抗調(diào)到50歐的目的。參照圖2，表示機箱內(nèi)部電容電感分布結(jié)構(gòu)示意圖，圖中ca、cb為兩個可變電容器，L為可調(diào)電感。 參照圖3，表示自動匹配器整體機箱內(nèi)部電路連接關系圖，圖中電路主板為2，該電路主板上分布的幾部分為射頻傳感器2-1，完成對射頻主線路進行采樣，采集相位和幅值信號，提供給計算電路進行計算和判斷，是否達到匹配；調(diào)諧部分2-2，它包含有兩個可變電容ca、cb, 一個可變電感L，主要負責將負載的阻抗變換為50歐，實現(xiàn)阻抗匹配，使射頻電源與負載能夠完成射頻能量的傳輸；電機調(diào)節(jié)部分2-3，執(zhí)行計算電路的指令，通過驅(qū)動精密的電機運動對電容進行調(diào)節(jié)，從而改變匹配器接入電路中的阻抗，完成射頻阻抗從負載阻抗，變換到匹配阻抗(50歐)；匹配控制部分2-4，通過輸入射頻匹配傳感器的相位和幅值信號，輸入給CPU控制電路，計算電路的阻抗，判斷電容該如何調(diào)節(jié)，對電機驅(qū)動輸出調(diào)節(jié)指令帶動電容進行調(diào)節(jié)，從而達到匹配狀態(tài)，并隨時跟蹤射頻電路的阻抗變化，隨時調(diào)整，實現(xiàn)自動匹配的目的；直流電源部分為2-6 ；CPU中央處理器2-5，完成對匹配器的整體控制，算法計算和實 現(xiàn)與計算機或射頻電源的控制，實現(xiàn)外部對匹配器的數(shù)字控制。
權利要求1.一種獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器,包含一個整體機箱,機箱前面板上設有電源指示與電機調(diào)節(jié)指示，其特征在于，整體機箱內(nèi)部設有一個進行采樣的射頻匹配傳感器，還設有包含兩個可變電容與一個可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是電機調(diào)控部分和匹配控制電路部分；在電路主板上將這兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片，實現(xiàn)對該匹配器的整體控制。
2.根據(jù)權利要求1所述的獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器，其特征在于，所述的兩個可變電容與一個可調(diào)電感中， 并聯(lián)電容和串聯(lián)電容對稱放置在該自動匹配器的射頻部分，可變電感采用鍍銀銅管并在每隔一圈的位置焊接一個便于調(diào)節(jié)的銅塊。
專利摘要獨特電容電感分布結(jié)構(gòu)的自動匹配器，屬于電子儀器設備領域，包含一個整體機箱，機箱前面板上設有電源指示與電機調(diào)節(jié)指示，整體機箱內(nèi)部設有一個進行采樣的射頻匹配傳感器，還設有包含兩個可變電容與一個可調(diào)電感的組合調(diào)諧部分，與該部分相連接的是電機調(diào)控部分和匹配控制電路部分；在電路主板上將這兩部分信息送至與它們相連接的中央處理器芯片，實現(xiàn)對該匹配器的整體控制。該自動匹配器是采用獨特的電容電感分布結(jié)構(gòu)，有效利用空間和方便調(diào)節(jié)，排除射頻的相互干擾，因而匹配速度快和精確。
文檔編號H03H7/38GK203104378SQ20122068558
公開日2013年7月31日 申請日期2012年12月13日 優(yōu)先權日2012年12月13日
發(fā)明者李樹瑜 申請人:北京吉兆源科技有限公司